JP2019062150A - インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(第1実施形態)
インプリント装置100は、照明部110、型保持部120、基板保持部130、供給部140、型搬送部160、基板搬送部170、制御部180を備えうる。
図1のインプリント装置100を用いて、マスターモールドMMに形成されたパターンをレプリカモールドRMに転写することによってレプリカモールドを作製する、モールド作製方法を説明する。図2は、第1実施形態に係るインプリント装置100を用いたインプリント方法(モールド作製方法)を説明するフローチャートである。各フローは、主に制御部180による各部の制御により実行される。
本実施形態におけるマスターモールドMMおよびレプリカモールドRMの搬送方法について説明する。図3は、第1実施形態に係るマスターモールドMMおよびレプリカモールドRMの搬送方法を説明するための模式図である。
図8は、第2実施形態に係るマスターモールドMMの搬送方法を説明するための模式図である。第1実施形態と同様の構成は同符号で示し、説明は省略する。本実施形態では、型搬送経路に反転部303を設ける。
図10は、第3実施形態に係るマスターモールドMMおよびレプリカモールドRMの搬送方法を説明するための模式図である。本実施形態においても、第1実施形態と同様の構成は同符号で示し、説明は省略する。本実施形態のインプリント装置100は、型搬送経路および基板搬送経路に亘って1つの反転部303設置されることを特徴とする。
図11は、第4実施形態に係るレプリカモールドRMの搬送方法を説明するための模式図である。本実施形態においても、第1実施形態と同様の構成は同符号で示し、説明は省略する。本実施形態のインプリント装置100は、基板搬送経路中にレプリカモールドRMの面の向きを判別する判別部1101を備える。
第4実施形態に係るインプリント装置100の制御部180は、指示部(不図示)と接続され、指示部によって、搬出時のマスターマスクMM(型)およびレプリカモールドRM(基板)の面の向きを設定することを特徴とする。指示部は、表示部(不図示)と入力部(不図示)を備えうる。
(物品の製造方法)
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
110 照明部
120 型保持部
130 基板保持部
150 型搬送部
160 基板搬送部
170 制御部
301 第1開口部
302 第2開口部
303 反転部
MM マスターモールド
RM レプリカモールド
Claims (12)
- 型を用いて基板の上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を保持する型保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、
装置に対して前記型を搬入出するための第1開口部から前記型保持部までの型搬送経路および、装置に対して前記基板を搬入出するための第2開口部から前記基板保持部までの基板搬送経路において前記型の面の向きまたは前記基板の面の向きを反転させる反転部と、
前記型の面の向きに基づいて前記型の面の向きを反転するか否かを決定し、前記基板の面の向きに基づいて前記基板の面の向きを反転するか否かを決定し、決定結果に基づいて前記反転部を制御する制御部と、を備える、
ことを特徴とする、インプリント装置。 - 前記制御部は、前記型の搬出先に基づいて前記型の面の向きを反転するか否かを決定し、前記基板の搬出先に基づいて前記基板の面の向きを反転するか否かを決定する、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記反転部は、前記型または基板の搬送を行うことを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。
- 前記反転部は、前記型搬送経路および前記基板搬送経路に亘って1つ設置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記反転部は、前記型搬送経路および前記基板搬送経路のそれぞれに設置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記第1開口部と前記第2開口部とが同一の開口部として設けられることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記型の面の向きおよび前記基板の面の向きを判別する判別部を備え、
前記制御部は、前記判別部の判別結果に基づいて前記反転を行うか否かを決定する、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記判別部は、前記型の面のいずれかに設けられた型側凸部また前記基板の面のいずれかに設けられた基板側凸部の有無に基づき、前記型の面の向きまたは前記基板の面の向きを判別する、ことを特徴とする請求項7に記載のインプリント装置。
- 前記判別部は、前記型の面のいずれかに設けられた凹部また前記基板の面のいずれかに設けられた凹部の有無に基づき、前記型の面の向きまたは前記基板の面の向きを判別する、ことを特徴とする請求項7または8に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記制御部に前記型または前記基板の面の向きを反転するか否かの指示を行う指示部と接続され、
前記指示部は、予め設定された前記型または前記基板の搬入時の面の向きおよび搬出時の面の向きに基づき、前記指示を行う、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 型を用いて基板の上にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記型および前記基板を搬送元から搬送先に搬送する間に、
前記型の面の向きに基づいて前記型の面の向きを反転するか否かを決定する工程と、
前記基板の面の向きに基づいて前記基板の面の向きを反転するか否かを決定する工程と、を含む、
ことを特徴とする、インプリント方法。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターン形成を基板上に行う工程と、
前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする、物品製造方法。
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