JP2019036375A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理能力を向上できる。【解決手段】実施形態によれば、半導体記憶装置は、第1乃至第6メモリセルMTと順次配置された第1乃至第3ビット線BLと、順次配置された第4乃至第6ビット線BLと、第1乃至第6ビット線BLにそれぞれ接続された第1乃至第6センス回路SAUを含み、第1及び第4センス回路SAU、第2及び第5センス回路SAU、及び第3及び第6センス回路SAUがそれぞれ隣接されたセンスアンプ20と、第1及び第4センス回路SAUに接続された第1及び第4ラッチ回路XDL、第2及び第5センス回路SAUに接続された第2及び第5ラッチ回路XDL、及び第3及び第6センス回路SAUに接続された第3及び第6ラッチ回路XDLを含むデータレジスタ21と、入出力回路10と、を含む。【選択図】図7
Description
本発明の実施形態は、半導体記憶装置に関する。
半導体記憶装置として、NAND型フラッシュメモリが知られている。
処理能力を向上できる半導体記憶装置を提供する。
上記実施形態に係る半導体記憶装置は、第1乃至第6メモリセルを含むメモリセルアレイと、第1乃至第3メモリセルにそれぞれ接続され、第1方向に沿って順次配置された第1乃至第3ビット線と、第4乃至第6メモリセルにそれぞれ接続され、第1方向に沿って順次配置された第4乃至第6ビット線と、第1乃至第6ビット線にそれぞれ接続された第1乃至第6センス回路を含み、第1センス回路と第4センス回路とは第2方向に沿って隣接され、第2センス回路と第5センス回路とは第2方向に沿って隣接され、第3センス回路と第6センス回路とは第2方向に沿って隣接されたセンスアンプと、第1乃至第6センス回路にそれぞれ接続された第1乃至第6ラッチ回路を含み、第1及び第4ラッチ回路は、第1バスを介して第1及び第4センス回路に接続され、第2及び第5ラッチ回路は、第2バスを介して第2及び第5センス回路に接続され、第3及び第6ラッチ回路は、第3バスを介して第3及び第6センス回路に接続された前記データレジスタと第1及び第4ラッチ回路と第1データ線を介して接続され、第2及び第5ラッチ回路と第2データ線を介して接続され、第3及び第6ラッチ回路と第3データ線を介して接続された入出力回路と、を含む。
以下、実施形態につき図面を参照して説明する。この説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
1.第1実施形態
第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。以下では半導体記憶装置として、メモリセルトランジスタが半導体基板上方に三次元に積層された三次元積層型NAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。以下では半導体記憶装置として、メモリセルトランジスタが半導体基板上方に三次元に積層された三次元積層型NAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
図1に示すように、メモリシステム1は、NAND型フラッシュメモリ100及びコントローラ200を備えている。コントローラ200及びNAND型フラッシュメモリ100は、例えばそれらの組み合わせにより一つの半導体記憶装置を構成しても良く、その例としてはSDTMカードのようなメモリカードや、SSD(solid state drive)等が挙げられる。
NAND型フラッシュメモリ100は、複数のメモリセルトランジスタを備え、データを不揮発に記憶する。NAND型フラッシュメモリ100は、NANDバスによってコントローラ200と接続され、コントローラ200からの命令に基づいて動作する。より具体的には、NAND型フラッシュメモリ100は、コントローラ200と、例えば8ビットの信号DQ0〜DQ7(以下、DQ0〜DQ7を限定しない場合は、単に信号DQ、または信号DQ[7:0]と表記する)の送受信を行う。信号DQ0〜DQ7には、例えばデータ、アドレス、及びコマンドが含まれる。また、NAND型フラッシュメモリ100は、コントローラ200から、例えばチップイネーブル信号CEn、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、ライトイネーブル信号WEn、及びリードイネーブル信号REnを受信する。そして、NAND型フラッシュメモリ100はコントローラ200に、レディ/ビジー信号R/Bnを送信する。
チップイネーブル信号CEnは、NAND型フラッシュメモリ100をイネーブルにするための信号であり、例えばLow(“L”)レベルでアサートされる。コマンドラッチイネーブル信号CLEは、信号DQがコマンドであることを示す信号であり、例えばHigh(“H”)レベルでアサートされる。アドレスラッチイネーブル信号ALEは、信号DQがアドレスであることを示す信号であり、例えば“H”レベルでアサートされる。ライトイネーブル信号WEnは、受信した信号をNAND型フラッシュメモリ100内へ取り込むための信号であり、コントローラ200よりコマンド、アドレス、及びデータ等を受信する度に、例えば“L”レベルでアサートされる。よって、ライトイネーブル信号WEnがトグルされる度に、信号DQがNAND型フラッシュメモリ100に取り込まれる。リードイネーブル信号REnは、コントローラ200が、NAND型フラッシュメモリ100からデータを読み出すための信号である。リードイネーブル信号REnは、例えば“L”レベルでアサートされる。よって、NAND型フラッシュメモリ100は、トグルされるリードイネーブル信号REnに基づいて、コントローラ200に信号DQを出力する。レディ/ビジー信号R/Bnは、NAND型フラッシュメモリ100がビジー状態であるかレディ状態であるか(コントローラ200からコマンドを受信不可能な状態か可能な状態か)を示す信号であり、例えばNAND型フラッシュメモリ100がビジー状態の際に“L”レベルとされる。
コントローラ200は、ホスト機器2からの命令に応答して、NAND型フラッシュメモリ100に対してデータの読み出し、書き込み、消去等を命令する。また、コントローラ200は、NAND型フラッシュメモリ100のメモリ空間を管理する。
コントローラ200は、ホストインターフェイス回路210、内蔵メモリ(RAM)220、プロセッサ(CPU)230、バッファメモリ240、NANDインターフェイス回路250、及びECC回路260を含む。
ホストインターフェイス回路210は、コントローラバスを介してホスト機器2と接続され、ホスト機器2との通信を司る。ホストインターフェイス回路210は、プロセッサ230及びバッファメモリ240に、ホスト機器2から受信した命令及びデータを転送する。また、ホストインターフェイス回路210は、プロセッサ230の命令に応答して、バッファメモリ240内のデータをホスト機器2へ転送する。
NANDインターフェイス回路250は、NANDバスを介してNAND型フラッシュメモリ100と接続され、NAND型フラッシュメモリ100との通信を司る。NANDインターフェイス回路250は、NAND型フラッシュメモリ100にプロセッサ230から受信した命令を転送する。また、NANDインターフェイス回路250は、書き込み時には、NAND型フラッシュメモリ100に、バッファメモリ240内の書き込みデータを転送する。更に、NANDインターフェイス回路250は、読み出し時には、バッファメモリ240に、NAND型フラッシュメモリ100から読み出されたデータを転送する。
プロセッサ230は、コントローラ200全体の動作を制御する。また、プロセッサ230は、ホスト機器2の命令に応じて、各種コマンドを発行し、NAND型フラッシュメモリ100に送信する。例えば、プロセッサ230は、ホスト機器2から書き込み命令を受信した際には、それに応答して、NAND型フラッシュメモリ100に書き込み命令を送信する。読み出し及び消去の際も同様である。また、プロセッサ230は、ウェアレベリング等、NAND型フラッシュメモリ100を管理するための様々な処理を実行する。更に、プロセッサ230は、各種の演算を実行する。例えば、プロセッサ230は、データの暗号化処理やランダマイズ処理等を実行する。
ECC回路260は、データの誤り訂正(ECC:Error Checking and Correcting)処理を実行する。
内蔵メモリ220は、例えばDRAM等の半導体メモリであり、プロセッサ230の作業領域として使用される。そして内蔵メモリ220は、NAND型フラッシュメモリ100を管理するためのファームウェアや、各種の管理テーブル等を保持する。
1.1.2 半導体記憶装置の構成について
次に、半導体記憶装置の構成について、図2を用いて説明する。なお、図2では各ブロック間の接続の一部を矢印線で示しているが、ブロック間の接続はこれに限定されない。
次に、半導体記憶装置の構成について、図2を用いて説明する。なお、図2では各ブロック間の接続の一部を矢印線で示しているが、ブロック間の接続はこれに限定されない。
図2に示すように、NAND型フラッシュメモリ100は、入出力回路10、ロジック制御回路11、ステータスレジスタ12、アドレスレジスタ13、コマンドレジスタ14、シーケンサ15、レディ/ビジー回路16、電圧発生回路17、メモリセルアレイ18、ロウデコーダ19、センスアンプ20、データレジスタ21、及びカラムデコーダ22を含む。
入出力回路10は、コントローラ200との信号DQの入出力を制御する。より具体的には、入出力回路10は、入力回路と出力回路を備える。入力回路は、コントローラ200から受信したデータDAT(書き込みデータWD)を、データレジスタ21に送信し、アドレスADDをアドレスレジスタ13に送信し、コマンドCMDをコマンドレジスタ14に送信する。出力回路は、ステータスレジスタ12から受信したステータス情報STS、データレジスタ21から受信したデータDAT(読み出しデータRD)、及びアドレスレジスタ13から受信したアドレスADDをコントローラ200に送信する。入出力回路10とデータレジスタ21とは、データバスを介して接続される。より具体的には、例えばデータバスは、信号DQ0〜DQ7に対応する8本のデータ線IO0〜IO7を含む。なお、データ線IOの本数は、8本に限定されず、16本でも32本でも良く、任意に設定可能である。
ロジック制御回路11は、コントローラ200から例えばチップイネーブル信号CEn、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、ライトイネーブル信号WEn、及びリードイネーブル信号REnを受信する。そしてロジック制御回路11は、受信した信号に応じて、入出力回路10及びシーケンサ15を制御する。
ステータスレジスタ12は、例えばデータの書き込み、読み出し、及び消去動作におけるステータス情報STSを一時的に保持し、コントローラ200に動作が正常に終了したか否かを通知する。
アドレスレジスタ13は、入出力回路10を介してコントローラ200から受信したアドレスADDを一時的に保持する。そしてアドレスレジスタ13は、ロウアドレスRAをロウデコーダ19へ転送し、カラムアドレスCAをカラムデコーダ22に転送する。
コマンドレジスタ14は、入出力回路10を介してコントローラ200から受信したコマンドCMDを一時的に保存し、シーケンサ15に転送する。
シーケンサ15は、NAND型フラッシュメモリ100全体の動作を制御する。より具体的には、シーケンサ15は、コマンドレジスタ14が保持するコマンドCMDに応じて、例えばステータスレジスタ12、レディ/ビジー回路16、電圧発生回路17、ロウデコーダ19、センスアンプ20、データレジスタ21、及びカラムデコーダ22等を制御し、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作等を実行する。
レディ/ビジー回路16は、シーケンサ15の動作状況に応じて、レディ/ビジー信号R/Bnをコントローラ200に送信する。
電圧発生回路17は、シーケンサ15の制御に応じて、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作に必要な電圧を発生させ、この発生した電圧を例えばメモリセルアレイ18、ロウデコーダ19、及びセンスアンプ20等に供給する。ロウデコーダ19及びセンスアンプ20は、電圧発生回路17より供給された電圧をメモリセルアレイ18内のメモリセルトランジスタに印加する。
メモリセルアレイ18は、ロウ及びカラムに対応付けられた不揮発性のメモリセルトランジスタ(以下、「メモリセル」とも表記する)を含む複数のブロックBLK(BLK0、BLK1、…、BLK(L−1))(Lは2以上の整数)を備えている。各々のブロックBLKは、複数のストリングユニットSU(SU0、SU1、SU2、SU3、…)を含む。そして各々のストリングユニットSUは、複数のNANDストリングSRを含む。なお、メモリセルアレイ18内のブロックBLK数及びブロックBLK内のストリングユニットSU数は任意である。メモリセルアレイ18の詳細については後述する。
ロウデコーダ19は、ロウアドレスRAをデコードする。ロウデコーダ19は、デコード結果に基づき、ブロックBLKのいずれかを選択し、更にいずれかのストリングユニットSUを選択する。そして、ロウデコーダ19は、必要な電圧をブロックBLKに印加する。
センスアンプ20は、読み出し動作のときには、メモリセルアレイ18から読み出されたデータをセンスする。そして、センスアンプ20は、読み出しデータRDをデータレジスタ21に送信する。また、センスアンプ20は、書き込み動作のときには、書き込みデータWDをメモリセルアレイ18に送信する。
データレジスタ21は、複数のラッチ回路を備える。ラッチ回路は、書き込みデータWD及び読み出しデータRDを保持する。例えば書き込み動作において、データレジスタ21は、入出力回路10から受信した書き込みデータWDを一時的に保持し、センスアンプ20に送信する。また例えば、読み出し動作において、データレジスタ21は、センスアンプ20から受信した読み出しデータRDを一時的に保持し、入出力回路10に送信する。
カラムデコーダ22は、例えば書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作の際、カラムアドレスCAをデコードし、デコード結果に応じてデータレジスタ21内のラッチ回路を選択する。
1.1.3 メモリセルアレイの構成について
次に、メモリセルアレイ18の構成について、図3を用いて説明する。図3の例は、ブロックBLK0を示しているが、他のブロックBLKの構成も同じである。
次に、メモリセルアレイ18の構成について、図3を用いて説明する。図3の例は、ブロックBLK0を示しているが、他のブロックBLKの構成も同じである。
図3に示すように、ブロックBLK0は、例えば4つのストリングユニットSU(SU0〜SU3)を含む。そして、各々のストリングユニットSUは、複数のNANDストリングSRを含む。NANDストリングSRの各々は、例えば8個のメモリセルトランジスタMT0〜MT7、並びに選択トランジスタST1及びST2を含んでいる。以下、メモリセルトランジスタMT0〜MT7を限定しない場合は、メモリセルトランジスタMTと表記する。メモリセルトランジスタMTは、制御ゲートと電荷蓄積層とを備え、データを不揮発に保持する。
なお、メモリセルトランジスタMTは、電荷蓄積層に絶縁膜を用いたMONOS型であっても良いし、電荷蓄積層に導電層を用いたFG型であっても良い。以下、本実施形態では、MONOS型を例として説明する。また、メモリセルトランジスタMTの個数は8個に限られず、16個や32個、64個、128個等であってもよく、その数は限定されるものではない。更に、選択トランジスタST1及びST2の個数は、任意であり、それぞれ1個以上あれば良い。
メモリセルトランジスタMTは、選択トランジスタST1のソースと選択トランジスタST2のドレインとの間に直列接続されている。より具体的には、メモリセルトランジスタMT0〜MT7は、その電流経路が直列に接続される。そしてメモリセルトランジスタMT7のドレインは、選択トランジスタST1のソースに接続され、メモリセルトランジスタMT0のソースは、選択トランジスタST2のドレインに接続されている。
ストリングユニットSU0〜SU3の各々における選択トランジスタST1のゲートは、選択ゲート線SGD0〜SGD3にそれぞれ接続される。同様に、ストリングユニットSU0〜SU3の各々における選択トランジスタST2のゲートは、選択ゲート線SGS0〜SGS3にそれぞれ接続される。以下、選択ゲート線SGD0〜SGD3を限定しない場合は、選択ゲート線SGDと表記する。選択ゲート線SGS0〜SGS3を限定しない場合は、選択ゲート線SGSと表記する。なお、各ストリングユニットSUの選択ゲート線SGS0〜SGS3は共通に接続されても良い。
ブロックBLK内にあるメモリセルトランジスタMT0〜MT7の制御ゲートは、それぞれワード線WL0〜WL7に共通接続される。以下、ワード線WL0〜WL7を限定しない場合は、ワード線WLと表記する。
ストリングユニットSU内にある各NANDストリングSRの選択トランジスタST1のドレインは、それぞれ異なるビット線BL0〜BL(N−1)(Nは2以上の整数)に接続される。以下、ビット線BL0〜BL(N−1)を限定しない場合は、ビット線BLと表記する。各ビット線BLは、複数のブロックBLK間で各ストリングユニットSU内にある1つのNANDストリングSRを共通に接続する。更に、複数の選択トランジスタST2のソースは、ソース線SLに共通に接続されている。つまり、ストリングユニットSUは、異なるビット線BLに接続され、且つ同一の選択ゲート線SGD及びSGSに接続されたNANDストリングSRの集合体である。またブロックBLKは、ワード線WLを共通にする複数のストリングユニットSUの集合体である。そしてメモリセルアレイ18は、ビット線BLを共通にする複数のブロックBLKの集合体である。
データの書き込み及び読み出しは、いずれかのストリングユニットSUにおけるいずれかのワード線WLに接続されたメモリセルトランジスタMTに対して、一括して行われる。以下、データの書き込み及び読み出しの際、一括して選択されるメモリセルトランジスタMTの群を「メモリセルグループMCG」と呼ぶ。そして、1つのメモリセルグループMCGに書き込まれる、または読み出される1ビットのデータの集まりを「ページ」と呼ぶ。
データの消去は、ブロックBLK単位、またはブロックBLKよりも小さい単位で行うことができる。消去方法に関しては、例えば“NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE”という2011年9月18日に出願された米国特許出願13/235,389号に記載されている。また、“NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE”という2010年1月27日に出願された米国特許出願12/694,690号に記載されている。更に、“NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND DATA ERASE METHOD THEREOF”という2012年5月30日に出願された米国特許出願13/483,610号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
更に、メモリセルアレイ18の構成は、他の構成であっても良い。すなわちメモリセルアレイ18の構成については、例えば、“三次元積層不揮発性半導体メモリ(THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY)”という2009年3月19日に出願された米国特許出願12/407,403号に記載されている。また、“三次元積層不揮発性半導体メモリ(THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY)”という2009年3月18日に出願された米国特許出願12/406,524号、“不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法(NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME)”という2010年3月25日に出願された米国特許出願12/679,991号“半導体メモリ及びその製造方法(SEMICONDUCTOR MEMORY AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME)”という2009年3月23日に出願された米国特許出願12/532,030号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
1.1.4 メモリセルアレイの断面構成について
次に、メモリセルアレイ18の断面構成について、図4を用いて説明する。図4の例は、ストリングユニットSU0及びSU1の断面を示しており、ストリングユニットSU2及びSU3の構成も同様である。なお、図4において、層間絶縁膜は省略されている。
次に、メモリセルアレイ18の断面構成について、図4を用いて説明する。図4の例は、ストリングユニットSU0及びSU1の断面を示しており、ストリングユニットSU2及びSU3の構成も同様である。なお、図4において、層間絶縁膜は省略されている。
図4に示すように、半導体基板30に平行な第1方向D1に沿って、半導体基板30に平行で第1方向D1に垂直な第2方向D2に延びる複数のソース線コンタクトLIが設けられている。2つのソース線コンタクトLIの間には、1つのストリングユニットSUが配置されている。ソース線コンタクトLIは、半導体基板30とNANDストリングSRよりも上方に設けられる図示せぬソース線SLとを接続する。なお、ソース線コンタクトLI及びNANDストリングSRの配置は任意に設定可能である。例えば2つのソース線コンタクトLIの間に複数のストリングユニットSUが設けられても良い。更に図4の例では、説明を簡略化するために1つのストリングユニットSUにおいて、複数のNANDストリングSRが、第2方向D2に沿って1列に配列されている場合を示しているが、1つのストリングユニットSUにおけるNANDストリングSRの配列は任意に設定可能である。例えば、第2方向D2に沿って、2列並行に配置されても良く、4列の千鳥配置に配列されても良い。
各ストリングユニットSUにおいて、NANDストリングSRは、半導体基板30に垂直な第3方向D3に沿って形成されている。より具体的には、半導体基板30の表面領域には、n型ウェル31が設けられている。そして、n型ウェル31の表面領域には、p型ウェル32が設けられている。また、p型ウェル32の表面領域の一部には、n+型拡散層33が設けられている。そしてp型ウェル32の上方には、選択ゲート線SGS、メモリセルトランジスタMT0〜MT7に接続されるワード線WL0〜WL7、及び選択ゲート線SGDとして機能する10層の配線層34が、それぞれ図示せぬ層間絶縁膜を介して順次積層されている。
そして、10層の配線層34を貫通してp型ウェル32に達するピラー状の半導体層35が形成されている。半導体層35の側面には、トンネル絶縁膜36、電荷蓄積層37、及びブロック絶縁膜38が順次形成される。半導体層35には、例えば多結晶シリコンが用いられる。トンネル絶縁膜36及びブロック絶縁膜38には、例えばシリコン酸化膜が用いられる。電荷蓄積層37には、例えばシリコン窒化膜が用いられる。半導体層35は、NANDストリングSRの電流経路として機能し、各トランジスタのチャネルが形成される領域となる。そして半導体層35の上端は、コンタクトプラグ39を介して、第1方向D1に延びる配線層40に接続される。配線層40は、ビット線BLとして機能する。
なお、図4の例では、選択ゲート線SGD及びSGSとして機能する配線層34は、それぞれ1層設けられているが、複数層設けられても良い。
ソース線コンタクトLIは、第2方向D2に沿ってライン形状を有する。ソース線コンタクトLIには、例えば多結晶シリコンが用いられる。そしてソース線コンタクトLIの底面はn+型拡散層33に接続され、上面はソース線SLとして機能する配線層(不図示)に接続される。
1.1.5 センスアンプ及びデータレジスタの構成について
次に、センスアンプ20及びデータレジスタ21の構成について、図5を用いて説明する。
次に、センスアンプ20及びデータレジスタ21の構成について、図5を用いて説明する。
センスアンプ20は、各ビット線BL(BL0〜BL(N−1))に対応して設けられた複数のセンスアンプユニットSAU(SAU0〜SAU(N−1)を含む。図5の例は、1本のビット線BLに対応するセンスアンプユニットSAUの回路図である。
なお、本実施形態では、ビット線BLを流れる電流をセンスする電流センス方式のセンスアンプユニットSAUを例に説明するが、電圧センス方式のセンスアンプユニットSAUを用いても良い。以下の説明において、トランジスタのソースまたはドレインの一方を「トランジスタの一端」と呼び、ソースまたはドレインの他方を「トランジスタの他端」と呼ぶ。
データレジスタ21は、各センスアンプユニットSAUにそれぞれ対応して設けられた複数のラッチ回路XDLを含む。ラッチ回路XDLは、センスアンプユニットSAUから受信した読み出しデータRD及び入出力回路10から受信した書き込みデータWDを一時的に保持する。より具体的には、入出力回路10が受信した書き込みデータWDは、ラッチ回路XDLを介して、センスアンプユニットSAUに転送される。また、センスアンプユニットSAUから受信した読み出しデータRDは、ラッチ回路XDLを介して入出力回路10に転送される。
図5に示すように、センスアンプユニットSAUは、BLフックアップ回路BHUを介して、ビット線BLに接続される。また、センスアンプユニットSAUは、DBUSスイッチ回路DSWを介して、データレジスタ21内のラッチ回路XDLに接続される。
BLフックアップ回路BHUは、各ビット線BLに対応して設けられた複数の高耐圧nチャネルMOSトランジスタ50を含む。トランジスタ50の一端は対応するビット線BLに接続され、トランジスタ50の他端は対応するセンスアンプ線SALを介してセンスアンプユニットSAUに接続される。トランジスタ50のゲートには信号BLSが入力される。信号BLSは、ビット線BLとセンスアンプユニットSAUとの電気的接続を制御するための信号である。
センスアンプユニットSAUは、センス回路SA、ラッチ回路SDL、及びプリチャージ回路LPCを含む。
センス回路SAは、低耐圧nチャネルMOSトランジスタ51〜60、低耐圧pチャネルMOSトランジスタ61、及び容量素子62を含む。
トランジスタ51のゲートには、信号BLCが入力される。トランジスタ51の一端はセンスアンプ線SALに接続され、トランジスタ51の他端はノードSCOMに接続される。トランジスタ51は、対応するビット線BLを、信号BLCに応じた電位にクランプするためのものである。
トランジスタ52のゲートには、信号BLXが入力される。トランジスタ52の一端はノードSCOMに接続され、トランジスタ52の他端はノードSSRCに接続される。
トランジスタ53のゲートは、ノードINV_Sに接続される。トランジスタ53の一端はノードSSRCに接続され、トランジスタ53の他端はノードSRCGNDに接続される。ノードSRCGNDには、例えば接地電圧VSSが印加される。
トランジスタ61のゲートは、ノードINV_Sに接続される。トランジスタ61の一端に電源電圧VDDSAが印加され、トランジスタ61の他端はノードSSRCに接続される。
トランジスタ54のゲートには、信号XXLが入力される。トランジスタ54の一端はノードSCOMに接続され、トランジスタ54の他端はノードSENに接続される。
トランジスタ55のゲートには、信号HLLが入力される。トランジスタ55の一端には電圧VSENPが印加され、トランジスタ55の他端はノードSENに接続される。
容量素子62の一方の電極は、ノードSENに接続され、容量素子62の他方の電極にはクロック信号CLKが入力される。
トランジスタ57のゲートは、ノードSENに接続される。トランジスタ57の一端はトランジスタ58の一端に接続され、トランジスタ57の他端にはクロック信号CLKが入力される。トランジスタ57は、ノードSENの電圧をセンスするセンストランジスタとして機能する。
トランジスタ58のゲートには、信号STBが入力される。トランジスタ58の他端はバスLBUSに接続される。
トランジスタ56のゲートには、信号BLQが入力される。トランジスタ56の一端はノードSENに接続され、トランジスタ56の他端はバスLBUSに接続される。例えば、バスLBUSを介して、ノードSENを充電する場合、トランジスタ56はオン状態とされる。
トランジスタ59のゲートは、バスLBUSに接続される。トランジスタ59の一端はトランジスタ60の一端に接続され、トランジスタ59の他端には電圧VLSAが印加される。電圧VLSAは、例えば接地電圧VSSであっても良い。
トランジスタ60のゲートには、信号LSLが入力される。トランジスタ60の他端はノードSENに接続される。
データの書き込み時には、センス回路SAは、ラッチ回路SDLの保持データに応じて、ビット線BLを制御する。
ラッチ回路SDLは、低耐圧nチャネルMOSトランジスタ70〜73及び低耐圧pチャネルMOSトランジスタ74〜77を含む。
トランジスタ70のゲートには、信号STLが入力される。トランジスタ70の一端はバスLBUSに接続され、トランジスタ70の他端はノードLAT_Sに接続される。
トランジスタ71のゲートには、信号STIが入力される。トランジスタ71の一端はバスLBUSに接続され、トランジスタ71の他端はノードINV_Sに接続される。
トランジスタ72のゲートは、ノードINV_Sに接続される。トランジスタ72の一端は接地され(接地電圧配線に接続され)、トランジスタ72の他端はノードLAT_Sに接続される。
トランジスタ73のゲートは、ノードLAT_Sに接続される。トランジスタ73の一端は接地され、トランジスタ73の他端はノードINV_Sに接続される。
トランジスタ74のゲートは、ノードINV_Sに接続される。トランジスタ74の一端はノードLAT_Sに接続され、トランジスタ74の他端はトランジスタ76の一端に接続される。
トランジスタ75のゲートは、ノードLAT_Sに接続される。トランジスタ75の一端はノードINV_Sに接続され、トランジスタ75の他端はトランジスタ77の一端に接続される。
トランジスタ76のゲートには、信号SLLが入力される。トランジスタ76の他端には電源電圧VDDSAが印加される。
トランジスタ77のゲートには信号SLIが入力される。トランジスタ77の他端には電源電圧VDDSAが印加される。
ラッチ回路SDLでは、トランジスタ72及び74で第1インバータが構成され、トランジスタ73及び75で第2インバータが構成されている。ラッチ回路SDLは、データをノードLAT_Sで保持し、その反転データをノードINV_Sで保持する。
なお、センスアンプユニットSAUは、例えば、個々のメモリセルトランジスタMTが2ビット以上のデータを保持する多値動作用ラッチ回路として、ラッチ回路SDLと同様の構成をしたラッチ回路を複数備えていても良い。この場合、ラッチ回路は、データの送受信が可能なようにバスLBUSに接続されている。
プリチャージ回路LPCは、バスLBUSをプリチャージする。プリチャージ回路LPCは、例えば低耐圧nチャネルMOSトランジスタ80を含む。トランジスタ80のゲートには、信号LBPが入力される。トランジスタ80の一端はバスLBUSに接続され、トランジスタ80の他端には電圧VHLBが印加される。そしてプリチャージ回路LPCは、バスLBUSに電圧VHLBを転送することで、バスLBUSをプリチャージする。
DBUSスイッチ回路DSWは、バスLBUSとバスDBUSとを接続する。すなわち、DBUSスイッチ回路DSWは、センスアンプユニットSAUとデータレジスタ21内のラッチ回路XDLとを接続する。DBUSスイッチ回路DSWは、例えば低耐圧nチャネルMOSトランジスタ81を含む。トランジスタ81のゲートには、信号DBSが入力される。トランジスタ81の一端はバスLBUSに接続され、トランジスタ81の他端はバスDBUSを介してデータレジスタ21内のラッチ回路XDLに接続される。
なお、上記構成の、BLフックアップ回路BHU、センスアンプユニットSAU、及びDBUSスイッチ回路DSWにおける各種信号は、例えばシーケンサ15によって与えられる。
1.2 ビット線とセンスアンプの接続について
次に、ビット線BLとセンスアンプ20の接続について説明する。
1.2.1 BLフックアップ回路、センスアンプ及びデータレジスタの配置について
まず、BLフックアップ回路BHU、センスアンプ20、及びデータレジスタ21の配置について、図6を用いて説明する。図6の例は、半導体基板上に設けられたメモリセルアレイ18、BLフックアップ回路BHU、センスアンプユニットSAU、及びデータレジスタ21を示している。
次に、ビット線BLとセンスアンプ20の接続について説明する。
1.2.1 BLフックアップ回路、センスアンプ及びデータレジスタの配置について
まず、BLフックアップ回路BHU、センスアンプ20、及びデータレジスタ21の配置について、図6を用いて説明する。図6の例は、半導体基板上に設けられたメモリセルアレイ18、BLフックアップ回路BHU、センスアンプユニットSAU、及びデータレジスタ21を示している。
図6に示すように、メモリセルアレイ18は、第1方向D1に延びるN本のビット線BL(BL0〜BL(N−1))を介してBLフックアップ回路BHUに接続される。ビット線BL0〜BL(N−1)は、層間絶縁膜(不図示)を介して第2方向D2に沿って、順次配置されている。
また、BLフックアップ回路BHUは、第1方向D1に延びるM本(Mは、整数Nと同数)のセンスアンプ線SAL(SAL0〜SAL(M−1))を介してセンスアンプ20に接続される。センスアンプ線SAL0〜SAL(M−1)は、層間絶縁膜を介して第2方向D2に沿って、順次配置されている。本実施形態では、ビット線BLとセンスアンプ線SALとは同数設けられているが、ビット線BL0、BL1、BL2、…、BL(N−1)にそれぞれ接続されるセンスアンプ線SALは、SAL0、SAL1、SAL2、…、SAL(M−1)の順番にはならない。BLフックアップ回路BHUにおけるビット線BLとセンスアンプ線SALの接続については後述する。
センスアンプ20において、各センスアンプ線SALは、それぞれ対応するセンスアンプユニットSAUに接続される。本実施形態では、センスアンプ線SALとセンスアンプユニットSAUとは同数設けられているが、センスアンプ線SAL0、SAL1、SAL2、…、BL(M−1)にそれぞれ接続されるセンスアンプユニットSAUは、SAU0、SAU1、SAU2、…、SAU(N−1)の順番にはならない。センスアンプ線SALとセンスアンプユニットSAUとの接続については後述する。
センスアンプ20は、第1方向D1に延びるK本(Kは任意の整数)のバスDBUS(DBUS0〜DBUS(K−1))を介してデータレジスタ21に接続される。バスDBUS0〜DBUS(K−1)は、層間絶縁膜を介して、第2方向D2に沿って、順次配置されている。1つのバスDBUSは、センスアンプ20内の複数個のセンスアンプユニットSAUと、これに対応するデータレジスタ21内の複数個のラッチ回路XDLとを接続する。
データレジスタ21は、8本のデータ線IO(IO0〜IO7)を介して、入出力回路10に接続される。なお、図6の例では、データ線IOは第1方向D1に沿って延びているが、第2方向D2に沿って延びていても良い。
1.2.2 ビット線BLとセンスアンプとデータレジスタとの接続について
次に、ビット線BLとセンスアンプ20とデータレジスタ21との接続の詳細について図7乃至図9を用いて説明する。図7は、ビット線BL、BLフックアップ回路、及びセンスアンプ20のレイアウトを示し、図8はセンスアンプ20及びデータレジスタ21のレイアウトを示す。また、図9は、ビット線BL、センスアンプ線SAL、センスアンプユニットSAU、ラッチ回路XDL、及びデータ線IOの関係を示すテーブルである。
次に、ビット線BLとセンスアンプ20とデータレジスタ21との接続の詳細について図7乃至図9を用いて説明する。図7は、ビット線BL、BLフックアップ回路、及びセンスアンプ20のレイアウトを示し、図8はセンスアンプ20及びデータレジスタ21のレイアウトを示す。また、図9は、ビット線BL、センスアンプ線SAL、センスアンプユニットSAU、ラッチ回路XDL、及びデータ線IOの関係を示すテーブルである。
図7及び図8の例は、64本のビット線BL0〜BL63の一部と、これらに対応するBLフックアップ回路BHU、センスアンプユニットSAU、及びラッチ回路XDLとの接続を示している。なお、図7の例において、BLフックアップ回路BHU内の配線のレイアウトについては、ビット線BLとセンスアンプ線SALとの接続関係が変わらなければ、任意に設定可能である。
以下、第2方向D2に沿って順次配置された複数のビット線BLを「ビット線グループBGP」と呼ぶ。本実施形態では、第2方向D2に沿って順次配置された8本のビット線BLを1つのビット線グループBGPとして説明する。例えば、ビット線BL0〜BL7をビット線グループBGP0と表記する。他のビット線BLも同様である。
図7に示すように、第2方向D2に沿って、ビット線BL0〜BL63が順次配列されている。ビット線BL0〜BL7は、ビット線グループBGP0に含まれる。同様に、ビット線BL8〜BL15は、ビット線グループBGP1に含まれ、ビット線BL16〜BL23は、ビット線グループBGP2に含まれ、ビット線BL24〜BL31は、ビット線グループBGP3に含まれる。ビット線BL32〜BL39は、ビット線グループBGP4に含まれ、ビット線BL40〜BL47は、ビット線グループBGP5に含まれる。ビット線BL48〜BL55は、ビット線グループBGP6に含まれ、ビット線BL56〜BL63は、ビット線グループBGP7に含まれる。
BLフックアップ回路BHUでは、第2方向D2に沿って順次配置された1つのビット線グループBGPの8本のビット線BLが、図8に示すデータ線IO0〜IO7に対応する8本のセンスアンプ線SAL(8個のセンスアンプユニットSAU)にそれぞれ接続される。より具体的には、例えば、ビット線グループBGP0のビット線BL0〜BL7において、ビット線BL0は、センスアンプ線SAL0を介して、データ線IO0に対応するセンスアンプユニットSAU0に接続される。ビット線BL1は、センスアンプ線SAL8を介して、データ線IO1に対応するセンスアンプユニットSAU1に接続され、ビット線BL2は、センスアンプ線SAL16を介して、データ線IO2に対応するセンスアンプユニットSAU2に接続される。同様に、図示されていないビット線BL3は、センスアンプ線SAL24を介して、データ線IO3に対応するセンスアンプユニットSAU3に接続される。ビット線BL4は、センスアンプ線SAL32を介して、データ線IO4に対応するセンスアンプユニットSAU4に接続される。ビット線BL5は、センスアンプ線SAL40を介して、データ線IO5に対応するセンスアンプユニットSAU5に接続される。ビット線BL6は、センスアンプ線SAL48を介して、データ線IO6に対応するセンスアンプユニットSAU6に接続される。そして、ビット線BL7は、センスアンプ線SAL56を介して、データ線IO7に対応するセンスアンプユニットSAU7に接続される。
また、ビット線グループBGP1のビット線BL8〜BL15において、ビット線BL8は、センスアンプ線SAL1を介して、データ線IO0に対応するセンスアンプユニットSAU8に接続される。ビット線BL9は、センスアンプ線SAL9を介して、データ線IO1に対応するセンスアンプユニットSAU9に接続され、ビット線BL10は、センスアンプ線SAL17を介して、データ線IO2に対応するセンスアンプユニットSAU10に接続される。同様に、図示されていないビット線BL11は、センスアンプ線SAL25を介して、データ線IO3に対応するセンスアンプユニットSAU11に接続される。ビット線BL12は、センスアンプ線SAL33を介して、データ線IO4に対応するセンスアンプユニットSAU12に接続される。ビット線BL13は、センスアンプ線SAL41を介して、データ線IO5に対応するセンスアンプユニットSAU13に接続される。ビット線BL14は、センスアンプ線SAL49を介して、データ線IO6に対応するセンスアンプユニットSAU14に接続される。そして、ビット線BL15は、センスアンプ線SAL57を介して、データ線IO7に対応するセンスアンプユニットSAU15に接続される。
他のビット線グループBGPも同様である。なお、1つのビット線グループBGPに含まれるビット線BLの本数は任意に設定可能である。例えば、ビット線グループBGPに含まれるビット線BLの個数は、1つのDBUSに接続されるセンスアンプユニットSAUの個数、またはデータ線IOの本数に応じて設定されても良い。
次に、センスアンプユニットSAUとラッチ回路XDLとの接続について説明する。
図8に示すように、第1方向D1に沿ってそれぞれが隣接するように配置された8個のセンスアンプユニットSAUと、それぞれが隣接するように配置された8個のラッチ回路XDLとが1つのバスDBUSを介して共通に接続されている。より具体的には、第1方向D1に沿って配置されたセンスアンプユニットSAU0、SAU8、SAU16、SAU24、SAU32、SAU40、SAU48、及びSAU56は、バスDBUS0を介して、第1方向D1に沿って配置されたラッチ回路XDL0、XDL8、XDL16、XDL24、XDL32、XDL40、XDL48、及びXDL56に接続される。そして、ラッチ回路XDL0、XDL8、XDL16、XDL24、XDL32、XDL40、XDL48、及びXDL56は、データ線IO0に接続される。なお、センスアンプユニットSAU0、SAU8、SAU16、SAU24、SAU32、SAU40、SAU48、及びSAU56の配置は、互いに入れ替えても良い。同様に、ラッチ回路XDL0、XDL8、XDL16、XDL24、XDL32、XDL40、XDL48、及びXDL56の配置は、互いに入れ替えても良い。
また、第1方向D1に沿って配置されたセンスアンプユニットSAU1、SAU9、SAU17、SAU25、SAU33、SAU41、SAU49、及びSAU57は、バスDBUS1を介して、第1方向D1に沿って配置されたラッチ回路XDL1、XDL9、XDL17、XDL25、XDL33、XDL41、XDL49、及びXDL57に接続される。そして、ラッチ回路XDL1、XDL9、XDL17、XDL25、XDL33、XDL41、XDL49、及びXDL57は、データ線IO1に接続される。他のバスDBUSに接続されるセンスアンプユニットSAU及びラッチ回路XDLも同様である。
次に、ビット線BL、センスアンプ線SAL、センスアンプユニットSAU、ラッチ回路XDL、バスDBUS、データ線IOの関係について説明する。
図9に示すように、ビット線BL0は、センスアンプ線SAL0、センスアンプユニットSAU0、バスDBUS0、及びラッチ回路XDL0を介してデータ線IO0に接続される。ビット線BL1は、センスアンプ線SAL8、センスアンプユニットSAU1、バスDBUS1、及びラッチ回路XDL1を介してデータ線IO1に接続される。ビット線BL2は、センスアンプ線SAL16、センスアンプユニットSAU2、バスDBUS2、及びラッチ回路XDL2を介してデータ線IO2に接続される。ビット線BL3は、センスアンプ線SAL24、センスアンプユニットSAU3、バスDBUS3、及びラッチ回路XDL3を介してデータ線IO3に接続される。ビット線BL4は、センスアンプ線SAL32、センスアンプユニットSAU4、バスDBUS4、及びラッチ回路XDL4を介してデータ線IO4に接続される。ビット線BL5は、センスアンプ線SAL40、センスアンプユニットSAU5、バスDBUS5、及びラッチ回路XDL5を介してデータ線IO5に接続される。ビット線BL6は、センスアンプ線SAL48、センスアンプユニットSAU6、バスDBUS6、及びラッチ回路XDL6を介してデータ線IO6に接続される。ビット線BL7は、センスアンプ線SAL56、センスアンプユニットSAU7、バスDBUS7、及びラッチ回路XDL7を介してデータ線IO7に接続される。他のビット線BLの接続も同様である。
例えば、1つのビット線グループBGPに含まれるビット線BLの本数を変数a(aは、a2≦Nの関係を満たす整数)で表し、ビット線BL、センスアンプユニットSAU、及びラッチ回路XDLの番号を変数n(nは、n≦(N−1)の関係を見たす整数)で表し、センスアンプ線SAL(センスアンプユニットSAU)の番号を変数m(mは、m≦(N−1)の関係を満たす整数)で表す。すると、ビット線BLとこれに対応するセンスアンプ線SALとの関係、すなわち変数a、n、及びmの関係は、以下のとおりである。
m=quotient(n,a)+a・mod(n,a)+(a2−a)・quotient(n,a2)
ここで、例えばquotient(n,a)は、nをaで割った商を示し、quotient(n,a2)は、nをa2で割った商を示すquotient関数である。また、mod(n,a)は、nをaで割った整数の剰余を示すmod関数である。
ここで、例えばquotient(n,a)は、nをaで割った商を示し、quotient(n,a2)は、nをa2で割った商を示すquotient関数である。また、mod(n,a)は、nをaで割った整数の剰余を示すmod関数である。
以下、データレジスタ21が、例えば8本のデータ線IO0〜IO7を介して1回で出力する8ビット分のデータを「カラムデータ」と表記する。第2方向D2に沿って順次配置された8本のビット線BLを介してセンスアンプ20に読み出されるデータが、カラムデータに対応している場合、センスアンプ20は、1回のデータ転送動作により、カラムデータをデータレジスタ21に転送できる。より具体的には、センスアンプ20は、1回のデータ転送動作で、例えばビット線グループBGP0のビット線BL0〜BL7に接続されたセンスアンプユニットSAU0〜SAU7のデータを、データレジスタ21に転送できる。そして、データレジスタ21は、第2方向D2に沿って順次配置された8本のビット線BLに対応するカラムデータを出力可能となる。
1.3 読み出し動作について
次に、読み出し動作について説明する。読み出し動作は、大まかに、セル読み出しとキャッシュ読み出しとを含む。セル読み出しは、メモリセルアレイ18からデータレジスタ21、すなわちラッチ回路XDLにデータを読み出す動作であり、キャッシュ読み出しは、データレジスタ21から入出力回路10を介してコントローラ200にデータを読み出す(外部出力する)動作である。そして、セル読み出し動作には「第1セル読み出し」と「第2セル読み出し」と呼ばれる2つのモードがあり、NAND型フラッシュメモリ100は、コントローラ200から受信するコマンドに基づいて、いずれかのモードでセル読み出し動作を行う。第1セル読み出しと第2セル読み出しとは、セル読み出し動作においてレディ/ビジー信号が“L”レベルとされる期間が異なる。すなわち、NAND型フラッシュメモリがセル読み出し命令を受信してからキャッシュ読み出し命令を受信可能となるまでの期間が異なる。第2セル読み出しの方が、第1セル読み出しよりもレディ/ビジー信号が“L”レベルの期間が短い。なお、メモリセルアレイ18からデータレジスタ21にデータを転送する動作は、第1セル読み出しと第2セル読み出しとで同じである。
次に、読み出し動作について説明する。読み出し動作は、大まかに、セル読み出しとキャッシュ読み出しとを含む。セル読み出しは、メモリセルアレイ18からデータレジスタ21、すなわちラッチ回路XDLにデータを読み出す動作であり、キャッシュ読み出しは、データレジスタ21から入出力回路10を介してコントローラ200にデータを読み出す(外部出力する)動作である。そして、セル読み出し動作には「第1セル読み出し」と「第2セル読み出し」と呼ばれる2つのモードがあり、NAND型フラッシュメモリ100は、コントローラ200から受信するコマンドに基づいて、いずれかのモードでセル読み出し動作を行う。第1セル読み出しと第2セル読み出しとは、セル読み出し動作においてレディ/ビジー信号が“L”レベルとされる期間が異なる。すなわち、NAND型フラッシュメモリがセル読み出し命令を受信してからキャッシュ読み出し命令を受信可能となるまでの期間が異なる。第2セル読み出しの方が、第1セル読み出しよりもレディ/ビジー信号が“L”レベルの期間が短い。なお、メモリセルアレイ18からデータレジスタ21にデータを転送する動作は、第1セル読み出しと第2セル読み出しとで同じである。
1.3.1 第1セル読み出しにおけるコントローラの動作について
まず、第1セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図10を用いて説明する。以下の説明において、NAND型フラッシュメモリ100が作業状態であることを示す信号を「内部ビジー信号」と呼ぶ。内部ビジー信号は、NAND型フラッシュメモリ100が作業状態にある場合、“L”レベル(ビジー状態)とされる。例えば、コントローラ200は、NAND型フラッシュメモリ100にステータスリードコマンド(“70h”)を送信することにより、内部ビジー信号(例えばデータレジスタ21がビジー状態か)を確認することができる。
まず、第1セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図10を用いて説明する。以下の説明において、NAND型フラッシュメモリ100が作業状態であることを示す信号を「内部ビジー信号」と呼ぶ。内部ビジー信号は、NAND型フラッシュメモリ100が作業状態にある場合、“L”レベル(ビジー状態)とされる。例えば、コントローラ200は、NAND型フラッシュメモリ100にステータスリードコマンド(“70h”)を送信することにより、内部ビジー信号(例えばデータレジスタ21がビジー状態か)を確認することができる。
図10に示すように、コントローラ200は、第1セル読み出し命令(コマンドCMD及びアドレスADD)をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、まず、コントローラ200は、第1セル読み出しを実行することを通知するコマンド“00h”をNAND型フラッシュメモリ100に送信するとともに、コマンドラッチイネーブル信号CLEを“H”レベルにしてアサートする。
次に、コントローラ200は、アドレスADDを送信すると共に、アドレスラッチイネーブル信号ALEを“H”レベルにしてアサートする。図10の例では、カラムアドレスCAを2サイクル送信した後、ロウアドレスRAを3サイクル送信する場合を示しているが、カラムアドレスCA及びロウアドレスRAのサイクルは任意に設定可能である。
更に、コントローラ200は、第1セル読み出しの実行を指示する第1セルリードコマンド“30h”を送信すると共に、コマンドラッチイネーブル信号CLEを“H”レベルにしてアサートする。
NAND型フラッシュメモリ100は、第1セルリードコマンド“30h”に応じて、セル読み出しを開始する。このとき、レディ/ビジー信号R/Bn及び内部ビジー信号は、ともに“L”レベル(ビジー状態)とされる。センスアンプ20は、メモリセルアレイ18からデータを読み出した後、データレジスタ21に読み出しデータを転送する。以下、センスアンプ20がメモリセルアレイ18からデータ読み出しを開始してから、データレジスタ21への読み出しデータ転送を終了するまでの期間を「期間tR1」と呼ぶ。第1セル読み出しでは、期間tR1の間、レディ/ビジー信号R/Bn及び内部ビジー信号が、ともに“L”レベル(レディ状態)とされる。
コントローラ200は、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベル(レディ状態)に復帰したのを確認すると、キャッシュ読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、まず、コントローラ200は、キャッシュ読み出しを実行することを通知するコマンド“05h”をNAND型フラッシュメモリ100に送信するとともに、コマンドラッチイネーブル信号CLEを“H”レベルにしてアサートする。
次に、コントローラ200は、アドレスADDとして、カラムアドレスCAを2サイクル送信し、ロウアドレスRAを3サイクル送信すると共に、アドレスラッチイネーブル信号ALEを“H”レベルにしてアサートする。第1セル読み出し後のキャッシュ読み出しにおいては、第1セル読み出し時に送信されたカラムアドレスCAと、キャッシュ読み出し時に送信されたカラムアドレスCAとが異なっていても良い。また、キャッシュ読み出しにおけるアドレスADDにおいて、ロウアドレスRAは省略されても良い。
次に、コントローラ200は、キャッシュ読み出しの実行を指示するキャッシュリードコマンド“E0h”を送信すると共に、コマンドラッチイネーブル信号CLEを“H”レベルにしてアサートする。
NAND型フラッシュメモリ100は、キャッシュリードコマンド“E0h”に応じて、キャッシュ読み出しを開始する。より具体的には、コントローラ200は、コマンド“E0h”に対応するライトイネーブル信号WEnが“L”レベルから“H”レベルに立ち上がってから、待機期間tWHR1経過後、“L”レベルのリードイネーブル信号REnを送信する。NAND型フラッシュメモリ100は、リードイネーブル信号REnに基づいて、コントローラ200に読み出しデータRDを送信する。
1.3.2 第2セル読み出しにおけるコントローラの動作について
次に、第2セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図11を用いて説明する。以下、図10と異なる点についてのみ説明する。
次に、第2セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図11を用いて説明する。以下、図10と異なる点についてのみ説明する。
図11に示すように、コントローラ200は、第2セル読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、まず、コントローラ200は、第2セル読み出しを実行することを通知するコマンド“XXh”をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。
次に、コントローラ200は、カラムアドレスCA及びロウアドレスRAを送信後、第2セル読み出しの実行を指示する第2セルリードコマンド“YYh”を送信する。
NAND型フラッシュメモリ100は、第2セルリードコマンド“YYh”に応じて、セル読み出しを開始する。このとき、レディ/ビジー信号R/Bn及び内部ビジー信号は、ともに“L”レベル(ビジー状態)とされる。センスアンプ20は、メモリセルアレイ18からデータを読み出した後、データレジスタ21に読み出しデータを転送する。このとき、センスアンプ20は、データレジスタ21への1回目のデータ転送において、第2セル読み出しで指定されたカラムアドレスCAの先頭カラムのカラムデータを転送する。そして、NAND型フラッシュメモリ100は、先頭カラムのカラムデータの転送が終了すると、レディ/ビジー信号R/Bnを“H”レベルとする。以下、センスアンプ20がデータ読み出しを開始してから、データレジスタ21への先頭カラムのカラムデータ転送を終了するまでの期間を「期間tR2」と呼ぶ。なお、期間tR2に転送されるデータは、先頭カラムのカラムデータに限定されない。期間tR2にデータが転送される回数は、データ転送が終了する回数よりも少ない回数が設定されていれば良く、期間tR2が期間tR1よりも短ければ良い。
センスアンプ20は、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベルとされた後に、残りのデータをデータレジスタ21に転送する。従って、内部ビジー信号は、期間tR1終了まで“L”レベルとされる。
コントローラ200は、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベル(レディ状態)に復帰したのを確認すると、キャッシュ読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、コントローラ200は、コマンド“05h”、カラムアドレスCA及びロウアドレスRA、キャッシュリードコマンド“E0h”を順に送信する。
第2セル読み出しの場合、キャッシュ読み出しのカラムアドレスCAは、第2セル読み出しのカラムアドレスCAと同じにする。第1セル読み出しでは、センスアンプ20からデータレジスタ21にデータを転送する場合に、予め設定された順番でデータが転送される。他方で、第2セル読み出しでは、センスアンプ20からデータレジスタ21に転送される1回目のデータは、第2セル読み出しのカラムアドレスCAに基づいて決定される。従って、キャッシュ読み出しのカラムアドレスCAが、第2セル読み出しのカラムアドレスCAと異なると、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送が未了の状態にあるため、NAND型フラッシュメモリ100は、データ出力ができない。この場合、NAND型フラッシュメモリ100は、読み出し不可を示すエラー信号をコントローラ200に送信しても良い。あるいは、NAND型フラッシュメモリ100は、期間tR1終了まで、すなわちセンスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送終了まで、キャッシュ読み出しを待機状態としても良い。すなわち、NAND型フラッシュメモリ100は、期間tR1終了まで待機期間tWHR1を延長しても良い。なお、期間tR1終了後であれば、データレジスタ21へのデータの転送が終了しているため、コントローラ200は、キャッシュ読み出しで異なるカラムアドレスCAを指定しても良い。以下、第2セルリードコマンド“YYh”を取り込んでから期間tR1終了までの期間を、「カラムアドレス変更禁止期間tIHB」と呼ぶ。
NAND型フラッシュメモリ100は、期間tR2後であれば、期間tR1が終了していない状態においても、リードイネーブル信号REnに基づいて、読み出しデータRDの送信を開始できる。従って、期間tR2後から期間tR1が終了するまでの期間(以下、「期間t(R1−R2)」と呼ぶ)において、NAND型フラッシュメモリ100は、キャッシュ読み出しと並行して、残りのデータをセンスアンプ20からデータレジスタ21に転送する。
1.3.3 NAND型フラッシュメモリにおける読み出し動作の全体の流れについて
次に、NAND型フラッシュメモリ100における読み出し動作の全体の流れについて、図12を用いて説明する。
次に、NAND型フラッシュメモリ100における読み出し動作の全体の流れについて、図12を用いて説明する。
図12に示すように、NAND型フラッシュメモリ100は、コントローラ200からセル読み出し命令を受信する(ステップS1)
シーケンサ15は、第1セル読み出し命令を受信した場合(ステップS2_Yes)、第1セル読み出しを開始する(ステップS3)。このとき、レディ/ビジー信号R/Bnは、“L”レベルとされる。より具体的には、センスアンプ20は、メモリセルアレイ18からデータを読み出し、読み出したデータをデータレジスタ21に転送する。
シーケンサ15は、第1セル読み出し命令を受信した場合(ステップS2_Yes)、第1セル読み出しを開始する(ステップS3)。このとき、レディ/ビジー信号R/Bnは、“L”レベルとされる。より具体的には、センスアンプ20は、メモリセルアレイ18からデータを読み出し、読み出したデータをデータレジスタ21に転送する。
センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータの転送が終了すると、シーケンサ15は、レディ/ビジー信号R/Bnを“H”レベルとし、第1セル読み出しを終了する(ステップS4)。
次に、シーケンサ15は、コントローラ200からキャッシュ読み出し命令を受信する(ステップS5)。
シーケンサ15は、キャッシュ読み出し命令に基づいて、キャッシュ読み出しを開始する(ステップS6)。より具体的には、シーケンサ15は、リードイネーブル信号REnに基づいて、データをコントローラ200に送信する。
シーケンサ15は、コントローラ200へのデータの送信が終了すると、キャッシュ読み出しを終了する(ステップS7)
ステップS2において、シーケンサ15は、第2セル読み出し命令を受信した場合(ステップS2_No)、第2セル読み出しを開始する(ステップS4)。このとき、レディ/ビジー信号R/Bnは、“L”レベルとされる。
ステップS2において、シーケンサ15は、第2セル読み出し命令を受信した場合(ステップS2_No)、第2セル読み出しを開始する(ステップS4)。このとき、レディ/ビジー信号R/Bnは、“L”レベルとされる。
センスアンプ20からデータレジスタ21への先頭カラムのカラムデータの転送が終了すると、シーケンサ15は、レディ/ビジー信号R/Bnを“H”レベルとする(ステップS9)。
レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベルとされた後も、センスアンプ20は、残りのデータをデータレジスタ21に転送する。そして、残りのデータの転送が終了すると(ステップS10)、シーケンサ15は、第2セル読み出しを終了する。
シーケンサ15は、センスアンプ20が残りのデータをデータレジスタ21に転送している間に、キャッシュ読み出し命令を受信すると(ステップS5)、キャッシュ読み出し命令を開始する(ステップS6)。そして、シーケンサ15は、センスアンプ20のデータ転送が終了し(ステップS10)、コントローラ200へのデータの送信が終了すると、キャッシュ読み出しを終了する(ステップS7)。
1.4 第2セル読み出しにおけるデータ転送の具体例について
次に、第2セル読み出しにおけるデータ転送の具体例について2つの例を説明する。
次に、第2セル読み出しにおけるデータ転送の具体例について2つの例を説明する。
1.4.1 ビット線BL0〜BL63に対応するデータを転送する場合について
まず、ビット線BL0〜BL63に対応するデータを転送する場合について、図13〜図17を用いて説明する。図13〜図17の例では、説明を簡略化するため、ビット線BL0〜BL63に対応するデータを転送する場合について説明する。
まず、ビット線BL0〜BL63に対応するデータを転送する場合について、図13〜図17を用いて説明する。図13〜図17の例では、説明を簡略化するため、ビット線BL0〜BL63に対応するデータを転送する場合について説明する。
図13に示すように、シーケンサ15は、第2セル読み出し命令を受信すると、レディ/ビジー信号R/Bn及び内部ビジー信号を“L”レベルとして、第2セル読み出しを開始する。すなわち、期間tR2及び期間tR1が開始される。第2セル読み出し命令に基づいて、センスアンプユニットSAU0〜SAU63は、対応するビット線BL0〜BL63を介してメモリセルトランジスタMTからデータを読み出す。以下、ビット線BL0〜BL63に対応するデータをデータD0〜D63と表記する。
図14に示すように、次に、センスアンプ20は、ラッチ回路XDLへの1回目のデータ転送により、先頭カラムのデータD0〜D7を転送する。より具体的には、センスアンプユニットSAU0からバスDBUS0を介してラッチ回路XDL0にデータD0が転送される。同様に、センスアンプユニットSAU1〜SAU7からバスDBUS1〜DBUS7を介してラッチ回路XDL1〜XDL7にデータD1〜D7が転送される。1回目のデータ転送終了後、レディ/ビジー信号R/Bnは“H”レベルとされ、期間tR2が終了する。すなわち、期間tR2において、図13及び図14で説明したセンスアンプ20へのデータの読み出しと、センスアンプ20からデータレジスタ21への先頭カラムのデータ転送が行われる。コントローラ200は、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベルに復帰したのを確認すると、キャッシュ読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。
図15に示すように、次に、シーケンサ15は、キャッシュ読み出し命令に基づいて、ラッチ回路XDL0〜XDL7に格納されている先頭カラムのデータD0〜D7を、データ線IO0〜IO7を介して、コントローラ200に出力する。NAND型フラッシュメモリ100は、キャッシュ読み出し命令を受信して先頭カラムのデータを出力している間も、これらの処理と並行して、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送を行う。より具体的には、センスアンプ20は、1回目のデータ転送から、先頭カラムのデータD0〜D7がコントローラ200に出力される間も、ラッチ回路XDLへのデータの転送を継続しており、例えば、第2〜第5カラムのデータD8〜D39がラッチ回路XDL8〜XDL39に転送される。
図16に示すように、引き続き、シーケンサ15は、キャッシュ読み出し命令に基づいて、第2カラムのデータD8〜D15を、データ線IO0〜IO7を介して、コントローラ200に出力する。この間、センスアンプ20では、例えば第6〜第8カラムのデータD40〜D63がラッチ回路XDL40〜XDL63に転送され、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送が終了する。データ転送の終了に伴い、内部ビジー信号は、“H”レベルとされ、期間tR1が終了する。従って、期間t(R1−R2)において、キャッシュ読み出しとセンスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送とが並行して行われる。
図17に示すように、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送終了後もキャッシュ読み出しは継続され、例えば、第3カラムのデータD16〜D23がデータ線IO0〜IO7を介して、コントローラ200に出力される。その後、キャッシュ読み出し命令に基づいて、データレジスタ21に格納されている他のデータも、コントローラ200に出力される。
1.4.2 ビット線BL0〜BL6399に対応するデータを転送する場合について
次に、ビット線BL0〜BL6339に対応するデータを転送する場合について、図18を用いて説明する。
次に、ビット線BL0〜BL6339に対応するデータを転送する場合について、図18を用いて説明する。
図18に示すように、ビット線BL0〜BL6399に対応してラッチ回路XDL0〜XDL6399が設けられている。そして、センスアンプ20からデータレジスタ21への1回目のデータ転送により、カラム0〜99に対応するカラムデータが、ラッチ回路XDL0〜XDL7、XDL64〜XDL71、…、XDL6336〜XDL6343に転送される。1回目のデータ転送終了後、レディ/ビジー信号R/Bnは“H”レベルとされ、NAND型フラッシュメモリ100は、キャッシュ読み出し命令を受信する。
シーケンサ15は、キャッシュ命令に基づいて、カラム0〜99のカラムデータを、データ線IO0〜IO7を介して、コントローラ200に順次出力する。これと並行して、センスアンプ20は、2回目以降のデータ転送を行い、他のカラムのカラムデータをデータレジスタ21に転送する。カラム0〜99に対応するカラムデータ出力後、シーケンサ15は、カラム100〜799のカラムデータを、データ線IO0〜IO7を介して、コントローラ200に順次出力する。
1.5 本実施形態における効果について
本実施形態に係る構成であれば、処理能力を向上できる。以下、本効果について詳述する。
本実施形態に係る構成であれば、処理能力を向上できる。以下、本効果について詳述する。
例えば、メモリセルアレイ18からデータレジスタ21へのデータ転送を終了するまでの期間tR1には、メモリセルアレイ18からセンスアンプ20にデータが読み出される読み出し期間と、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送期間が含まれる。例えば、複数のセンスアンプユニットSAUと複数のラッチ回路XDLとが共通のバスDBUSで接続されている場合、データが複数のラッチ回路XDLにシリアルに送信される(データの転送が複数回行われる)。より具体的には、例えば、メモリセルアレイ18から順次配置された8本のビット線BLを介して読み出される8ビットのデータが、カラムデータに相当するとする。そして、この順次配置された8本のビット線BLに接続された8個のセンスアンプユニットSAUが、1つのバスDBUSを介して8個のラッチ回路XDLに接続されている場合、データレジスタ21が1カラム分のデータを出力するためには、センスアンプ20からデータレジスタ21にデータを8回転送する必要がある。
これに対し、本実施形態に係る構成では、順次配置された複数のビット線BLが、BLフックアップ回路BHUにおいて、異なるデータ線IOに対応するセンスアンプ線SAL(センスアンプユニットSAU)に接続される。従って、データレジスタ21は、順次配置された複数のビット線BLに対応するカラムデータを、1回のデータ転送により、センスアンプ20から受信できる。これにより、データレジスタ21がカラムデータを出力できる状態になるまでの期間を短くすることができる。
更に、本実施形態に係る構成であれば、半導体記憶装置が、セル読み出しにおいて、第1セル読み出しと第2セル読み出しの2つのモードを備える。そして、コントローラ200は、セル読み出しとキャッシュ読み出しとが同じカラムアドレスCAの場合、第2セル読み出しを選択できる。第1セル読み出しの場合、センスアンプ20からデータレジスタ21への読み出しデータの転送が終わった後に、レディ/ビジー信号は“H”レベル(レディ状態)とされ、キャッシュ読み出しが可能となる。これに対し、第2セル読み出しの場合、センスアンプ20は、データレジスタ21への1回目のデータ転送において、第2セル読み出しで指定されたカラムアドレスCAの先頭カラムのカラムデータをデータレジスタ21に転送できる。そして、半導体記憶装置は、先頭カラムのカラムデータの転送が終了したら、レディ/ビジー信号を“H”レベル(レディ状態)にできる。そして、半導体記憶装置は、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送が終了していない状態においても、キャッシュ読み出し命令を受信してデータの出力を開始できる。例えば、半導体記憶装置から8カラム分のカラムデータを読み出す場合、第1セル読み出しでは、8回のデータ転送で、8カラム分のカラムデータをセンスアンプ20からデータレジスタ21に転送した後に、キャッシュ読み出しが実行可能となる。これに対し、第2セル読み出しでは、1回目のデータ転送で、先頭カラムのカラムデータをセンスアンプ20からデータレジスタ21に転送した後に、キャッシュ読み出しが実行可能となる。そして、第2セル読み出しでは、キャッシュ読み出しと並行して、残りの7カラム分のカラムデータがセンスアンプ20からデータレジスタ21に転送される。従って、第2セル読み出しでは、7回のデータ転送期間の分だけ、キャッシュ読み出し動作を早く開始することができる。すなわち、半導体記憶装置は、セル読み出し命令を受信してから、キャッシュ読み出し命令を受信するまでの期間を短くできる。従って、半導体記憶装置の処理能力を向上できる。
2.第2実施形態
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、キャッシュ読み出しの読み出し命令が無い場合について説明する。以下、第1実施形態と異なる点についてのみ説明する。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、キャッシュ読み出しの読み出し命令が無い場合について説明する。以下、第1実施形態と異なる点についてのみ説明する。
2.1 第1セル読み出しにおけるコントローラの動作について
まず、第1セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図19を用いて説明する。
まず、第1セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図19を用いて説明する。
図19に示すように、コントローラ200は、第1実施形態の図10と同様に、第1セル読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、コントローラ200は、コマンド“00h”、カラムアドレスCA及びロウアドレスRA、第1リードコマンド“30h”を順に送信する。
NAND型フラッシュメモリ100は、セル読み出しを開始し、データレジスタ21へのデータ転送が終了するまでの期間tR1において、レディ/ビジー信号R/Bn及び内部ビジー信号を“L”レベルにする。
コントローラ200は、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベルになった後に、“L”レベルのリードイネーブル信号REnを送信する。
2.2 第2セル読み出しにおけるコントローラの動作について
次に、第2セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図20を用いて説明する。以下、図19と異なる点についてのみ説明する。
次に、第2セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図20を用いて説明する。以下、図19と異なる点についてのみ説明する。
図20に示すように、コントローラ200は、第1実施形態の図11と同様に、第2セル読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、コントローラ200は、コマンド“XXh”、カラムアドレスCA及びロウアドレスRA、第2セルリードコマンド“YYh”を順に送信する。
NAND型フラッシュメモリ100は、セル読み出しを開始し、データレジスタ21への先頭カラムのカラムデータ転送が終了するまでの期間tR2において、レディ/ビジー信号R/Bnを“L”レベルにする。
コントローラ200は、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベルになった後に、“L”レベルのリードイネーブル信号REnを送信する。NAND型フラッシュメモリ100は、リードイネーブル信号REnに基づいて、コントローラ200に読み出しデータRDを送信する。
2.3 本実施形態に係る効果について
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。
3.第3実施形態
次に、第3実施形態について説明する。第3実施形態では、第2セル読み出しにおいて、センスアンプ20からデータレジスタ21にデータが転送される前に、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベルとされる場合について説明する。以下、第1及び第2実施形態と異なる点についてのみ説明する。
次に、第3実施形態について説明する。第3実施形態では、第2セル読み出しにおいて、センスアンプ20からデータレジスタ21にデータが転送される前に、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベルとされる場合について説明する。以下、第1及び第2実施形態と異なる点についてのみ説明する。
3.1 第2セル読み出しにおけるコントローラの動作について
第2セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図21を用いて説明する。
第2セル読み出しにおけるコントローラ200の動作について、図21を用いて説明する。
図21に示すように、コントローラ200は、第1実施形態の図11と同様に、第2セル読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、コントローラ200は、コマンド“XXh”、カラムアドレスCA及びロウアドレスRA、第2セルリードコマンド“YYh”を順に送信する。
NAND型フラッシュメモリ100は、第2セルリードコマンド“YYh”に応じて、メモリセルアレイ18からセンスアンプ20へのデータ読み出しを開始する。このとき、レディ/ビジー信号R/Bn及び内部ビジー信号は、ともに“L”レベル(ビジー状態)とされる。本実施形態では、第2セル読み出しにおいて、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送は実行されない。NAND型フラッシュメモリ100は、メモリセルアレイ18からセンスアンプ20へのデータの読み出しを終了すると、レディ/ビジー信号R/Bn及び内部ビジー信号を“H”レベルとする。
以下、センスアンプ20がデータ読み出しを開始してから終了するまでの期間を「期間tR3」と呼ぶ。期間tR3は、データレジスタ21へのデータ転送期間が含まれないため、期間tR2よりも短い期間となる。
コントローラ200は、レディ/ビジー信号R/Bnが“H”レベル(レディ状態)に復帰したのを確認すると、キャッシュ読み出し命令をNAND型フラッシュメモリ100に送信する。より具体的には、コントローラ200は、コマンド“05h”、カラムアドレスCA及びロウアドレスRA、キャッシュリードコマンド“E0h”を順に送信する。
本実施形態では、第2セル読み出しが終了した時点ではセンスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送が行われていないため、キャッシュ読み出しのカラムアドレスCAと、第2セル読み出しのカラムアドレスCAとは異なっていても良い。
NAND型フラッシュメモリ100は、キャッシュ読み出しのカラムアドレスCAに基づいて、センスアンプ20からデータレジスタ21へのデータ転送を実行する(以下、この期間を「期間tCT」とする)。
コントローラ200は、第2セルリードコマンド“YYh”に対応するライトイネーブル信号WEnが“L”レベルから“H”レベルに立ち上がってから、待機期間tWHR2経過後、“L”レベルのリードイネーブル信号REnを送信する。この場合、待機期間tWHR2は、キャッシュ読み出しで指定されたカラムアドレスCAの先頭カラムのカラムデータがデータレジスタ21に転送されるまでの期間よりも長い期間が設定される。例えば、待機期間tWHR2は、カラムデータの転送期間を含むため第1実施形態で説明した待機期間tWHR1よりも長い。
NAND型フラッシュメモリ100は、リードイネーブル信号REnに基づいて、コントローラ200に読み出しデータRDを送信する。そして、NAND型フラッシュメモリ100は、キャッシュ読み出しと並行して、データをセンスアンプ20からデータレジスタ21に転送する。
3.2 本実施形態における効果について
本実施形態に係る構成であれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られる。
本実施形態に係る構成であれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られる。
更に、本実施形態に係る構成であれば、キャッシュ読み出しにおいて、第2セル読み出しと異なるカラムアドレスCAを選択することができる。
4.変形例等
上記実施形態に係る半導体記憶装置は、第1乃至第6メモリセル(MT)を含むメモリセルアレイ(18)と、第1乃至第3メモリセルにそれぞれ接続され、第1方向に沿って順次配置された第1乃至第3ビット線(BL0-BL2)と、第4乃至第6メモリセルにそれぞれ接続され、第1方向に沿って順次配置された第4乃至第6ビット線(BL8-BL10)と、第1乃至第6ビット線にそれぞれ接続された第1乃至第6センス回路(SAU0〜SAU2, SAU8〜SAU10)を含み、第1センス回路(SAU0)と第4センス回路(SAU8)とは第2方向に沿って隣接され、第2センス回路(SAU1)と第5センス回路(SAU9)とは第2方向に沿って隣接され、第3センス回路(SAU2)と第6センス回路(SAU10)とは第2方向に沿って隣接されたセンスアンプと、第1乃至第6センス回路にそれぞれ接続された第1乃至第6ラッチ回路(XDL0〜XDL2, XDL8〜XDL10)を含み、第1及び第4ラッチ回路(XDL0, XDL8)は、第1バス(DBUS0)を介して第1及び第4センス回路に接続され、第2及び第5ラッチ回路(XDL1, XDL9)は、第2バス(DBUS1)を介して第2及び第5センス回路に接続され、第3及び第6ラッチ回路(XDL2, XDL10)は、第3バス(DBUS2)を介して第3及び第6センス回路に接続された前記データレジスタと、第1及び第4ラッチ回路と第1データ線(IO0)を介して接続され、第2及び第5ラッチ回路と第2データ線(IO1)を介して接続され、第3及び第6ラッチ回路と第3データ線(IO2)を介して接続された入出力回路(10)と、を含む。
上記実施形態に係る半導体記憶装置は、第1乃至第6メモリセル(MT)を含むメモリセルアレイ(18)と、第1乃至第3メモリセルにそれぞれ接続され、第1方向に沿って順次配置された第1乃至第3ビット線(BL0-BL2)と、第4乃至第6メモリセルにそれぞれ接続され、第1方向に沿って順次配置された第4乃至第6ビット線(BL8-BL10)と、第1乃至第6ビット線にそれぞれ接続された第1乃至第6センス回路(SAU0〜SAU2, SAU8〜SAU10)を含み、第1センス回路(SAU0)と第4センス回路(SAU8)とは第2方向に沿って隣接され、第2センス回路(SAU1)と第5センス回路(SAU9)とは第2方向に沿って隣接され、第3センス回路(SAU2)と第6センス回路(SAU10)とは第2方向に沿って隣接されたセンスアンプと、第1乃至第6センス回路にそれぞれ接続された第1乃至第6ラッチ回路(XDL0〜XDL2, XDL8〜XDL10)を含み、第1及び第4ラッチ回路(XDL0, XDL8)は、第1バス(DBUS0)を介して第1及び第4センス回路に接続され、第2及び第5ラッチ回路(XDL1, XDL9)は、第2バス(DBUS1)を介して第2及び第5センス回路に接続され、第3及び第6ラッチ回路(XDL2, XDL10)は、第3バス(DBUS2)を介して第3及び第6センス回路に接続された前記データレジスタと、第1及び第4ラッチ回路と第1データ線(IO0)を介して接続され、第2及び第5ラッチ回路と第2データ線(IO1)を介して接続され、第3及び第6ラッチ回路と第3データ線(IO2)を介して接続された入出力回路(10)と、を含む。
上記実施形態を適用することにより、処理能力を向上できる半導体記憶装置を提供できる。
なお、実施形態は上記説明した形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
例えば、上記実施形態は、メモリセルトランジスタMTが半導体基板上に二次元に配置された平面型NAND型フラッシュメモリにも適用できる。
更に、上記実施形態における「接続」とは、間に例えばトランジスタあるいは抵抗等、他の何かを介在させて間接的に接続されている状態も含む。
更に、上記実施形態における「隣接」とは、間に層間絶縁膜を介在させて配置されている状態も含む。
なお、本発明に関する各実施形態において、以下の通りであっても良い。例えばメモリセルトランジスタMTが2ビット(4値)のデータを保持可能であり、4値のいずれかを保持している際の閾値レベルを低い方からErレベル(消去レベル)、Aレベル、Bレベル、及びCレベルとしたとき、
(1)読み出し動作では、
Aレベルの読み出し動作に選択されたワード線に印加される電圧は、例えば0V〜0.55Vの間である。これに限定されることなく、0.1V〜0.24V、0.21V〜0.31V、0.31V〜0.4V、0.4V〜0.5V、及び0.5V〜0.55Vのいずれかの間にしても良い。
なお、本発明に関する各実施形態において、以下の通りであっても良い。例えばメモリセルトランジスタMTが2ビット(4値)のデータを保持可能であり、4値のいずれかを保持している際の閾値レベルを低い方からErレベル(消去レベル)、Aレベル、Bレベル、及びCレベルとしたとき、
(1)読み出し動作では、
Aレベルの読み出し動作に選択されたワード線に印加される電圧は、例えば0V〜0.55Vの間である。これに限定されることなく、0.1V〜0.24V、0.21V〜0.31V、0.31V〜0.4V、0.4V〜0.5V、及び0.5V〜0.55Vのいずれかの間にしても良い。
Bレベルの読み出し動作に選択されたワード線に印加される電圧は、例えば1.5V〜2.3Vの間である。これに限定されることなく、1.65V〜1.8V、1.8V〜1.95V、1.95V〜2.1V、及び2.1V〜2.3Vのいずれかの間にしても良い。
Cレベルの読み出し動作に選択されたワード線に印加される電圧は、例えば3.0V〜4.0Vの間である。これに限定されることなく、3.0V〜3.2V、3.2V〜3.4V、3.4V〜3.5V、3.5V〜3.6V、及び3.6V〜4.0Vのいずれかの間にしても良い。
読み出し動作の時間(tR)としては、例えば25μs〜38μs、38μs〜70μs、または70μs〜80μsの間にしても良い。
(2)書き込み動作は、上述した通りプログラム動作とベリファイ動作を含む。書き込み動作では、
プログラム動作時に選択されたワード線に最初に印加される電圧は、例えば13.7V〜14.3Vの間である。これに限定されることなく、例えば13.7V〜14.0V及び14.0V〜14.6Vのいずれかの間としても良い。
プログラム動作時に選択されたワード線に最初に印加される電圧は、例えば13.7V〜14.3Vの間である。これに限定されることなく、例えば13.7V〜14.0V及び14.0V〜14.6Vのいずれかの間としても良い。
奇数番目のワード線を書き込む際の、選択されたワード線に最初に印加される電圧と、偶数番目のワード線を書き込む際の、選択されたワード線に最初に印加される電圧を変えても良い。
プログラム動作をISPP方式(Incremental Step Pulse Program)としたとき、ステップアップの電圧として、例えば0.5V程度が挙げられる。
非選択のワード線に印加される電圧としては、例えば6.0V〜7.3Vの間としてもよい。この場合に限定されることなく、例えば7.3V〜8.4Vの間としてもよく、6.0V以下としても良い。
非選択のワード線が奇数番目のワード線であるか、偶数番目のワード線であるかで、印加するパス電圧を変えても良い。
書き込み動作の時間(tProg)としては、例えば1700μs〜1800μs、1800μs〜1900μs、または1900μs〜2000μsの間にしても良い。
(3)消去動作では、
半導体基板上部に形成され、且つ、上記メモリセルが上方に配置されたウェルに最初に印加する電圧は、例えば12V〜13.6Vの間である。この場合に限定されることなく、例えば13.6V〜14.8V、14.8V〜19.0V、19.0〜19.8V、または19.8V〜21Vの間であっても良い。
半導体基板上部に形成され、且つ、上記メモリセルが上方に配置されたウェルに最初に印加する電圧は、例えば12V〜13.6Vの間である。この場合に限定されることなく、例えば13.6V〜14.8V、14.8V〜19.0V、19.0〜19.8V、または19.8V〜21Vの間であっても良い。
消去動作の時間(tErase)としては、例えば3000μs〜4000μs、4000μs〜5000μs、または4000μs〜9000μsの間にしても良い。
(4)平面型NAND型フラッシュメモリにおけるメモリセルの構造は、
半導体基板(シリコン基板)上に膜厚が4〜10nmのトンネル絶縁膜を介して配置された電荷蓄積層を有している。この電荷蓄積層は膜厚が2〜3nmのSiN、またはSiONなどの絶縁膜と膜厚が3〜8nmのポリシリコンとの積層構造にすることができる。また、ポリシリコンにはRuなどの金属が添加されていても良い。電荷蓄積層の上には絶縁膜を有している。この絶縁膜は、例えば、膜厚が3〜10nmの下層High−k膜と膜厚が3〜10nmの上層High−k膜に挟まれた膜厚が4〜10nmのシリコン酸化膜を有している。High−k膜はHfOなどが挙げられる。また、シリコン酸化膜の膜厚はHigh−k膜の膜厚よりも厚くすることができる。絶縁膜上には膜厚が3〜10nmの仕事関数調整用の材料を介して膜厚が30nm〜70nmの制御電極が形成されている。ここで仕事関数調整用の材料はTaOなどの金属酸化膜、TaNなどの金属窒化膜である。制御電極にはWなどを用いることができる。
半導体基板(シリコン基板)上に膜厚が4〜10nmのトンネル絶縁膜を介して配置された電荷蓄積層を有している。この電荷蓄積層は膜厚が2〜3nmのSiN、またはSiONなどの絶縁膜と膜厚が3〜8nmのポリシリコンとの積層構造にすることができる。また、ポリシリコンにはRuなどの金属が添加されていても良い。電荷蓄積層の上には絶縁膜を有している。この絶縁膜は、例えば、膜厚が3〜10nmの下層High−k膜と膜厚が3〜10nmの上層High−k膜に挟まれた膜厚が4〜10nmのシリコン酸化膜を有している。High−k膜はHfOなどが挙げられる。また、シリコン酸化膜の膜厚はHigh−k膜の膜厚よりも厚くすることができる。絶縁膜上には膜厚が3〜10nmの仕事関数調整用の材料を介して膜厚が30nm〜70nmの制御電極が形成されている。ここで仕事関数調整用の材料はTaOなどの金属酸化膜、TaNなどの金属窒化膜である。制御電極にはWなどを用いることができる。
また、メモリセル間にはエアギャップを形成することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…メモリシステム、2…ホスト機器、10…入出力回路、11…ロジック制御回路、12…ステータスレジスタ、13…アドレスレジスタ、14…コマンドレジスタ、15…シーケンサ、16…レディ/ビジー回路、17…電圧発生回路、18…メモリセルアレイ、19…ロウデコーダ、20…センスアンプ、21…データレジスタ、22…カラムデコーダ、30…半導体基板、31…n型ウェル、32…p型ウェル、33…n+型拡散層、34、40…配線層、35…半導体層、36…トンネル絶縁膜、37…電荷蓄積層、38…ブロック絶縁膜、39…コンタクトプラグ、50〜61、70〜77、80、81…トランジスタ、62…容量素子、100…NAND型フラッシュメモリ、200…コントローラ、210…ホストインターフェイス回路、220…内蔵メモリ、230…プロセッサ、240…バッファメモリ、250…NANDインターフェイス回路、260…ECC回路。
Claims (7)
- 第1乃至第6メモリセルを含むメモリセルアレイと、
前記第1乃至第3メモリセルにそれぞれ接続され、第1方向に沿って順次配置された第1乃至第3ビット線と、
前記第4乃至第6メモリセルにそれぞれ接続され、前記第1方向に沿って順次配置された第4乃至第6ビット線と、
前記第1乃至第6ビット線にそれぞれ接続された第1乃至第6センス回路を含み、前記第1センス回路と前記第4センス回路とは第2方向に沿って隣接され、前記第2センス回路と前記第5センス回路とは前記第2方向に沿って隣接され、前記第3センス回路と前記第6センス回路とは前記第2方向に沿って隣接されたセンスアンプと、
前記第1乃至第6センス回路にそれぞれ接続された第1乃至第6ラッチ回路を含み、前記第1及び第4ラッチ回路は、第1バスを介して前記第1及び第4センス回路に接続され、前記第2及び第5ラッチ回路は、第2バスを介して前記第2及び第5センス回路に接続され、前記第3及び第6ラッチ回路は、第3バスを介して前記第3及び第6センス回路に接続されたデータレジスタと、
前記第1及び第4ラッチ回路と第1データ線を介して接続され、前記第2及び第5ラッチ回路と第2データ線を介して接続され、前記第3及び第6ラッチ回路と第3データ線を介して接続された入出力回路と、
を備える半導体記憶装置。 - 読み出し動作は、データを前記メモリセルアレイから前記データレジスタに読み出す第1読み出し動作と、前記データを前記データレジスタから前記入出力回路を介して外部出力する第2読み出し動作とを含み、
前記第1読み出し動作のカラムアドレスと前記第2読み出し動作のカラムアドレスとが一致しない場合、レディ/ビジー信号は、前記メモリセルアレイから前記センスアンプへの前記データの読み出しを開始してから前記データレジスタへの前記データの転送が終了するまでの第1期間、ビジー状態を示し、
前記第1読み出し動作の前記カラムアドレスと前記第2読み出し動作の前記カラムアドレスとが一致する場合、前記レディ/ビジー信号は、前記メモリセルアレイから前記センスアンプへの前記データの前記読み出しを開始してから前記データレジスタへの1回目の前記データの転送が終了するまでの第2期間、前記ビジー状態を示す請求項1記載の半導体記憶装置。 - 読み出し動作は、データを前記メモリセルアレイから前記センスアンプを介して前記データレジスタに読み出す第1読み出し動作と、前記データを前記データレジスタから前記入出力回路を介して外部出力する第2読み出し動作とを含み、
前記第1読み出し動作において、前記レディ/ビジー信号は、前記メモリセルアレイから前記センスアンプへの前記データの読み出しを開始してから、前記メモリセルアレイから前記センスアンプへの前記データの前記読み出しが終了するまでの第3期間、ビジー状態を示し、前記センスアンプから前記データレジスタへの前記データの転送は、前記第2読み出し動作のカラムアドレスに基づいて実行される請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプから前記データレジスタにデータを転送する場合、1回目の転送動作で、前記第1乃至第3センス回路が読み出した前記データが前記第1乃至第3ラッチ回路にそれぞれ転送され、2回目の前記転送動作で、前記第4乃至第6センス回路が読み出した前記データが前記第4乃至第6ラッチ回路にそれぞれ転送される請求項1乃至3のいずれか一項記載の半導体記憶装置。
- 前記第2期間は、前記第1期間よりも短い請求項2記載の半導体記憶装置。
- 前記第2期間に前記第1乃至第3メモリセルのデータが前記センスアンプから前記データレジスタに転送された後、前記第2読み出し動作において前記第1乃至第3メモリセルの前記データが前記データレジスタから前記入出力回路に出力されるのと並行して、前記第4乃至第6メモリセルのデータが前記センスアンプから前記データレジスタに転送される請求項2記載の半導体記憶装置。
- 前記第1乃至第3メモリセルのデータが前記センスアンプから前記データレジスタに転送された後、前記第2読み出し動作において前記第1乃至第3メモリセルの前記データが前記データレジスタから前記入出力回路に出力されるのと並行して、前記第4乃至第6メモリセルのデータが前記センスアンプから前記データレジスタに転送される請求項3記載の半導体記憶装置。
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