JP2020088278A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】弁体を付勢する弾性部材と、バルブ体を構成する部品のいずれか一つと、を一体化して部品点数を削減するとともに、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供する。【解決手段】基板収納容器１に取り付けられるバルブ体４０は、容器本体１０の外部と内部とを連通させる連通孔４１０が形成されたブロック体４１と、連通孔４１０を開閉する弁部４２と、を有し、連通孔４１０を閉鎖することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。弁部４２は、連通孔４１０に臨む貫通孔４３１が形成された枠体４３と、貫通孔４３１を閉鎖する板状の弾性部材４４と、を含んでもよい。【選択図】図３

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、基板収納容器に基板を気密状態で収納するために、供給された気体を容器本体に流通させたり、また、容器本体から外部に気体を排出させたりする。

具体的には、このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と、弁体を開閉させる弾性部材と、を少なくとも含み、これらを組み付けるための多数の部品で構成されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

特開２００８−０６６３３０号公報 特開２００４−１７９４４９号公報

ところで、バルブ体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて設けるために、バルブ体自体を取り替えたり、弁体及び弾性部材を組み替えたりするが、上述の特許文献１及び２にみられるバルブ体は、多数の部品を組み合わせて組み立てる必要があり、組立作業性がよくなかった。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、弁体を開閉させる部材と、バルブ体を構成する部品のいずれか一つと、を一体化して部品点数を削減するとともに、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、前記バルブ体は、前記容器本体の外部と内部とを連通させる連通孔が形成されたブロック体と、前記連通孔を開閉する弁部と、を有し、前記連通孔を閉鎖することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記弁部は、前記連通孔に臨む貫通孔が形成された枠体と、前記貫通孔を閉鎖する板状の弾性部材と、を含み、前記弾性部材は、固定手段により前記枠体に固定されてもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記固定手段は、前記枠体に設けられた被係合部と、前記弾性部材に設けられた係合部と、を係合させることにより固定してもよい。
（４）上記（２）又は（３）の態様において、前記弾性部材は、前記気体の圧力により変形可能な薄肉部を有してもよい。
（５）上記（２）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記ブロック体は、前記枠体が装着される装着溝を含んでもよい。
（６）上記（２）から（５）までのいずれか１つの態様において、前記枠体又は前記弾性部材は、前記弾性部材により前記貫通孔を閉鎖したときに、前記弾性部材と前記貫通孔の周縁とが接する領域に、凸条が形成されてもよい。
（７）上記（２）から（６）までのいずれか１つの態様において、前記枠体は、前記弾性部材とは異なる材料で形成されてもよい。
（８）上記（１）から（７）までのいずれか１つの態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。

本発明によれば、弁体を付勢する弾性部材と、バルブ体を構成する部品のいずれか一つと、を一体化して部品点数を削減するとともに、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す概略分解斜視図である。 第１実施形態の給気用のバルブ体を示す断面斜視図である。 第１実施形態の給気用のバルブ体を示す断面図である。 第１実施形態の枠体を示す（ａ）一方側からみた斜視図、（ｂ）他方側からみた斜視図である。 第１実施形態の弾性部材を示す（ａ）一方側からみた斜視図、（ｂ）他方側からみた斜視図である。 第１実施形態の弁部の装着溝への装着状態と、枠体及び弾性部材の係合状態を示す拡大断面図である。 変形例１の弁部の枠体及び弾性部材の係合状態を示す拡大断面図である。 変形例２の弁部の枠体及び弾性部材による貫通孔の閉鎖状態を示す拡大断面図である。 第１実施形態の排気用のバルブ体を示す断面斜視図である。 第２実施形態のバルブ体を示す断面斜視図である。 第３実施形態の（ａ）基板収納容器を示す概略断面図、（ｂ）バルブ体を示す断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉鎖する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。

容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。

容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０，５０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉鎖された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。

さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置していてもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。

このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。

そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたとき、開口１１の段差部より奥に入り込む。

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。

つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

パッキン３０は、蓋体２０に取り付けられるとともに、容器本体１０と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０で容器本体１０の開口１１を閉鎖した際に、容器本体１０のシール面１２に密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。なお、逆に、パッキン３０を容器本体１０側に取り付け、蓋体２０側にシール面１２を形成してもよい。

パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。

ここで、第１実施形態のバルブ体４０について説明する。図２は、第１実施形態の給気用のバルブ体４０を示す断面斜視図である。図３は、第１実施形態の給気用のバルブ体４０を示す断面図である。図４は、第１実施形態の枠体４３を示す（ａ）一方側からみた斜視図、（ｂ）他方側からみた斜視図である。図５は、第１実施形態の弾性部材４４を示す（ａ）一方側からみた斜視図、（ｂ）他方側からみた斜視図である。図６は第１実施形態の弁部４２の装着溝４１３への装着状態と、枠体４３及び弾性部材４４の係合状態を示す拡大断面図である。図７は、変形例１の弁部４２の枠体４３及び弾性部材４４の係合状態を示す拡大断面図である。図８は、変形例２の弁部４２の枠体４３及び弾性部材４４による貫通孔４３１の閉鎖状態を示す拡大断面図である。

バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流路を介して給気部１６と連通している。

このバルブ体４０は、図３に示すように、容器本体１０の壁面に、リブ１８０などによって形成された取付孔１８に下方から嵌められる略円柱状又は円錐台状のブロック体４１と、気体の流通を制御する弁部４２とを、有している。

ブロック体４１は、容器本体１０の外部と内部とを連通させる連通孔４１０（なお、連通孔４１０は、流体が通過する領域であるから、通路部４１０ということができる。）が形成されており、弁部４２により第１連通孔４１１と第２連通孔４１２とに区分けされている。第１連通孔４１１は、容器本体１０の外部（又は、図１１の気体導入部７０など）につながり、第２連通孔４１２は、容器本体１０の内部側（給気部１６）につながっている。なお、第１連通孔４１１と第２連通孔４１２とは、弁部４２以外の箇所では、互いにつながっていない。

ブロック体４１の円形の上面凹所４１ａには、後述するフィルタ４６が装着されている（図３参照）。また、この上面凹所４１ａの略中央部には、後述する弁部４２の枠体４３を装着する装着溝４１３がスリット状に形成されている。

装着溝４１３は、上面凹所４１ａの直径に等しいか、直径よりも狭い幅で形成されており、装着溝４１３の内面同士の間隔が一部で狭くなるような狭窄部４１３ａも形成されている。この狭窄部４１３ａにより、弁部４２の装着溝４１３からの脱落が防止されている（図６参照）。

さらに、ブロック体４１は、凸リング状のシール部４７が外周面に形成されており、ブロック体４１の外周面と取付孔１８の内周面との間から容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。なお、ブロック体４１が後述するゴム系材料で形成されている場合には、一体形成されたシール部４７も弾性変形するが、シール部４７のみをゴム系材料で二色成形したり、シール部４７に替えてＯリングを用いたりしてもよい。

つぎに、弁部４２は、貫通孔４３１が形成された枠体４３と、貫通孔４３１を閉鎖する板状の弾性部材４４と、を含んでいる。

枠体４３は、図４に示すように、略矩形の板状部材であり、中央に略矩形の中央凹所４３０が形成されている。この中央凹所４３０には、略矩形状の貫通孔４３１が形成されている。弁部４２は、通路部４１０の途中に配置されることから、貫通孔４３１は、他方側が第１連通孔４１１に臨み、一方側は、弾性部材４４を介して第２連通孔４１２に臨むことになる。

一方、弾性部材４４は、図５に示すように、弾性変形可能な略矩形の平坦な板状部材であり、中央凹所４３０（貫通孔４３１）の周縁に接触して、貫通孔４３１を閉鎖する弁体となっている。そのため、枠体４３の中央凹所４３０は、弁体（弾性部材４４）が着座する弁座面の一部を形成しているといえる。

また、弾性部材４４は、本体部４４０の厚みよりも薄肉化された薄肉部４４１を有している。薄肉部４４１は、気体の圧力（気体が流れることにより発生する押圧力）により変形可能な強度で形成されており、本体部４４０は、この圧力では変形しないような強度であるとよい。ただし、弾性部材４４を低圧力で貫通孔４３１から離間させるために、本体部４４０を含めた全体を薄肉化することも考えられるが、全体を薄肉化すると、貫通孔４３１を気体が流れる際に、弾性部材４４の先端が振動し、笛吹音のような不快音が発生する。そのため、薄肉部４４１を設けることが好ましい。そして、薄肉部４４１は、本体部４４０を弁座面に付勢する部材、つまり弁体を開閉させる部材として機能することになる。

なお、弾性部材４４は、連通孔４１０を直接閉鎖するのではなく、貫通孔４３１を開閉することで、連通孔４１０を間接的に閉鎖し、また、連通孔４１０を間接的に開放するようになっている（図２及び３参照）。

これらの枠体４３及び弾性部材４４は、図６に示すように、互いに固定手段４５により固定され一体化されている。固定手段４５は、例えば、枠体４３に設けられた被係合部４３２と、弾性部材４４に設けられた係合部４４２とを係合させることにより固定するものである。また、第１実施形態の被係合部４３２及び係合部４４２は、円柱状の突起と、円形の孔とを嵌合させて係合するものであるが、図７の変形例１に示すように、被係合部４３２及び係合部４４２が、アンダーカット部を有する円錐台状の突起と、テーパ状の孔とを嵌合させて係合するものであってもよく、更に他の形状で係合させるものであってもよい。また、固定手段４５は、係合固定に限らず、溶着や他の固着手段を用いてもよい。

そして、ブロック体４１の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどを用いることができるが、硬質の熱可塑性樹脂を用いてもよい。

枠体４３の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの低吸水性の熱可塑性樹脂が挙げられる。

弾性部材４４の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどを用いることができる。特に、弾性部材４４は、枠体４３とは異なる材料で形成されているのが好ましい。また、弾性部材４４は、金属、硬質プラスチック樹脂などの芯材に、上述したようなゴム又は樹脂を被覆したようなものであってもよい。

そして、フィルタ４６は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。

フィルタ４６は、ブロック体４１の上面凹所４１ａに、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４６を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４６は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４６の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。

つぎに、第１実施形態のバルブ体４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
バルブ体４０の通路部４１０において、第１連通孔４１１に陽圧が加わらないか、第２連通孔４１２に陽圧が加わると、弾性部材４４は、枠体４３（弁座面）に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している（図３参照）。

逆に、第１連通孔４１１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性部材４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形することで、枠体４３の貫通孔４３１の周縁から離間し隙間を形成する。そして、第１連通孔４１１側からの気体は、この隙間を通過し、第２連通孔４１２側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される（図２参照）。

このように、第１実施形態のバルブ体４０は、外部からの気体の流通のみを可能とすることができる。つまり、バルブ体４０は、一方向のチェックバブル機能を奏することになる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性部材４４の材料、硬度や厚み（特には薄肉部４４１の厚み）、貫通孔４３１の面積などを変更することで調節可能である。

ところで、弾性部材４４は、枠体４３の貫通孔４３１の周縁領域（中央凹所４３０の凹面）に密着して、貫通孔４３１を閉鎖するが、このとき、弾性部材４４及び枠体４３が実質的に面接触になるため、貫通孔４３１を開放するときに、所期の圧力で動作しないことが起こり得る。そこで、図８の変形例２に示すように、枠体４３の貫通孔４３１の周縁に沿って凸条４３３を形成し、枠体４３と弾性部材４４が実質的に線接触となるように構成し、接触圧を大きくして密閉性を高めてもよい。なお、凸条４３３は、逆に、弾性部材４４における貫通孔４３１の周縁に接触する領域に形成してもよい。

最後に、排気用のバルブ体５０について説明する。図９は、第１実施形態の排気用のバルブ体５０を示す断面斜視図である。
バルブ体５０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して排気部１７と連通している（図１参照）。そして、バルブ体５０では、給気用のバルブ体４０とは逆に、例えば、弾性部材４４が第１連通孔４１１側に配置され、枠体４３が第２連通孔４１２側に配置されるように弁部４２が装着溝４１３に装着されており、容器本体１０の内部から外部への気体の排気は可能にするが、容器本体１０の内部への気体の供給は不能にするようになっている。つまり、バルブ体５０も、一方向のチェックバブル機能を奏することになる。

以上説明したとおり、本発明に係る第１実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉鎖する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０，５０と、を備える基板収納容器１において、バルブ体４０，５０は、容器本体１０の外部と内部とを連通させる連通孔４１０が形成されたブロック体４１と、連通孔４１０を開閉する弁部４２と、を有し、連通孔４１０を閉鎖することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。

これにより、バルブ体４０，５０の一方側から気体が導入され（陽圧になり）、所定の圧力値になると、弾性部材４４が気体に押圧されて薄肉部４４１が変形（屈曲）し、貫通孔４３１を開放することで、第１連通孔４１１と第２連通孔４１２とを連通させるため、導入された気体は、バルブ体４０，５０を介して他方側へ流通されることになる。

また、基板収納容器１のバルブ体４０，５０では、弁体を開閉させる部材にコイルばねを使用することなく、弁体を開閉させる部材と、バルブ体４０，５０を構成する部品のいずれか一つと、が一体化されているため（第１実施形態では、弾性部材４４の本体部４４０と、薄肉部４４１とが一体化されている。）、バルブ体４０，５０の部品点数を削減できる（第１実施形態では、ブロック体４１、弁部４２の枠体４３、弁部４２の弾性部材４４の３点である。）。そのため、組立工数を削減することができ、組立不良及び部品不良などによる動作不全（不能）が起こり難い。

さらに、各実施形態の基板収納容器１を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差はみられなかったので、気密性も良好であるといえる。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

（第２実施形態）
図１０は、第２実施形態のバルブ体１４０を示す断面斜視図である。
上記第１実施形態のバルブ体４０では、弁部４２における枠体４３の中央凹所４３０及び弾性部材４４は平坦な形状であったが、第２実施形態のバルブ体１４０では、弁部１４２における枠体１４３の中央凹所１４３０は、高さ方向の中央が湾曲するように形成されてもよく、また、枠体１４３の形状に対応して、弾性部材１４４も、中央凹所１４３０の湾曲面に沿って貫通孔１４３１を閉鎖するように、あらかじめ湾曲した形状に形成されてもよい。ただし、第１実施形態のように、湾曲していない平坦な弾性部材４４であっても、自己の弾性変形により湾曲した中央凹所１４３０に沿って貫通孔１４３１を閉鎖することができる。

（第３実施形態）
図１１は、第３実施形態の（ａ）基板収納容器１を示す概略断面図、（ｂ）バルブ体２４０を示す断面図である。なお、第１実施形態と同じ構成（部材）については、説明及び図面中の符号の記載を適宜省略している。

第１実施形態のバルブ体４０は、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に形成された取付孔１８に取り付けられるように構成されたが、第３実施形態のバルブ体２４０は、容器本体１０などに設けられた気体流路（配管）、例えば、給気部１６又は排気部１７の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。なお、図１１は、給気用のバルブ体２４０を示しており、弁部４２の前後を変更して、装着溝４１３に装着することで、排気用にも転用することができる。

また、第３実施形態のバルブ体２４０も、ブロック体４１、弁部４２の枠体４３、弁部４２の弾性部材４４の３点で構成されるため、組立工数を削減することができ、組立不良及び部品不良などによる動作不全（不能）が起こり難い。

さらに、気体導入部７０からバルブ体２４０までの距離が長く、略直角方向に屈曲している部分を有するため、容器本体１０を液体で洗浄した場合でも、バルブ体２４０まで液体が届き難くなり、容器本体１０の乾燥後の水残りを防止することができる。そして、バルブ体２４０よりも奥側の給気部１６及び排気部１７には、液体が届くことがない。

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１６ 給気部、１７ 排気部、１８ 取付孔、１８０ リブ
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 凸部
３０ パッキン
４０ バルブ体（給気用）
４１ ブロック体、４１ａ 上面凹所、４１０ 連通孔、４１１ 第１連通孔、４１２ 第２連通孔、４１３ 装着溝、４１３ａ 狭窄部
４２ 弁部
４３ 枠体、４３０ 中央凹所、４３１ 貫通孔、４３２ 被係合部、４３３ 凸形状部
４４ 弾性部材、４４０ 本体部、４４１ 薄肉部、４４２ 係合部
４５ 固定手段
４６ フィルタ
４７ シール部
５０ バルブ体（排気用）
７０ 気体導入部
１４０ バルブ体、１４２ 弁部
１４３ 枠体、１４３０ 中央凹所、１４３１ 貫通孔
１４４ 弾性部材
２４０ バルブ体
Ｗ 基板

Claims (8)

1. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、
   前記バルブ体は、
   前記容器本体の外部と内部とを連通させる連通孔が形成されたブロック体と、
   前記連通孔を開閉する弁部と、を有し、
   前記連通孔を閉鎖することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する、
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記弁部は、
   前記連通孔に臨む貫通孔が形成された枠体と、
   前記貫通孔を閉鎖する板状の弾性部材と、を含み、
   前記弾性部材は、固定手段により前記枠体に固定されている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記固定手段は、前記枠体に設けられた被係合部と、前記弾性部材に設けられた係合部と、を係合させることにより固定する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記弾性部材は、前記気体の圧力により変形可能な薄肉部を有している、
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載の基板収納容器。
5. 前記ブロック体は、前記枠体が装着される装着溝を含む、
   ことを特徴とする請求項２から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
6. 前記枠体又は前記弾性部材は、前記弾性部材により前記貫通孔を閉鎖したときに、前記弾性部材と前記貫通孔の周縁とが接する領域に、凸条が形成されている、
   ことを特徴とする請求項２から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
7. 前記枠体は、前記弾性部材とは異なる材料で形成されている、
   ことを特徴とする請求項２から６までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
8. 前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する、
   ことを特徴とする請求項１から７までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

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