JP2019021735A - Substrate housing container - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。 The present invention relates to a substrate storage container including a valve body that controls the flow of gas to a container body.
基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と弁体を開閉させる金属製の弾性部材とを有している(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
A substrate storage container that stores a substrate includes a container body, a lid that closes the opening of the container body, and a valve body that controls the flow of gas to the container body. The valve body has a check valve function, and includes a valve body and a metal elastic member that opens and closes the valve body (see, for example,
バルブ体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて、バルブ体自体が取り替えられたり、弁体及び弾性部材が組み替えられたりしている。 Since the check valve function of the valve body controls the flow of gas in one direction, the valve body itself may be replaced, or the valve body and the elastic member may be replaced depending on the gas flow direction. .
ところで、基板収納容器は、基板を気密状態で収納するために、バルブ体から気体が供給され、また、バルブ体を介して排出されるが、収納する基板の加工時に、基板に付着した残留物質も、供給した気体とともに排出されることがある。そのため、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されることがあった。 By the way, in order to store the substrate in an airtight state, the substrate storage container is supplied with gas from the valve body and is discharged through the valve body. May be discharged together with the supplied gas. Therefore, the metal elastic member of the valve body may be corroded by the residual material.
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。
また、本発明は、気体の供給又は排気といった気体の両方向への流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate storage container including a valve body that can control the flow of gas without using a metal member.
It is another object of the present invention to provide a substrate storage container including a valve body that can control the flow of gas in both directions, such as gas supply or exhaust.
(1)本発明に係る1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体及び前記蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、前記容器本体の外部に連通する第1通路と、前記容器本体の内部に連通する第2通路とを仕切る弾性体を有し、前記弾性体は、前記第1通路に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、前記第2通路に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第1通路及び前記第2通路に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断するものである。
(2)上記(1)の態様において、前記弾性体は、前記第1通路と前記第2通路とを仕切る仕切板を有し、前記仕切板は、少なくとも1本のスリットが形成され、前記スリットは、変形することで隙間が形成されてもよい。
(3)上記(2)の態様において、前記スリットは、0.1mmから1.0mm幅で形成されてもよい。
(4)上記(1)から(3)までのいずれか1つの態様において、前記弾性体は、内部通路を有する筒状であるとともに、前記第1通路と、前記内部通路と、前記第2通路と、のみを前記気体が流れるように、前記第1通路と前記第2通路との間を、シールしてもよい。
(5)上記(1)から(4)までのいずれか1つの態様において、前記第1通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成されてもよい。
(6)上記(1)から(4)までのいずれか1つの態様において、前記第1通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成されてもよい。
(7)上記(1)から(6)までのいずれか1つの態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。
(8)上記(1)から(4)までのいずれか1つの態様において、前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられてもよい。
(1) One aspect according to the present invention is attached to a container main body for storing a substrate, a lid for closing an opening of the container main body, and at least one through hole of the container main body and the lid, And a valve housing that controls the flow of gas to the container body, wherein the valve body communicates with a first passage that communicates with the outside of the container body and a second that communicates with the interior of the container body. An elastic body that partitions the passage, and the elastic body is deformed both when a positive pressure or a negative pressure is applied to the first passage and when a positive pressure or a negative pressure is applied to the second passage. The flow of the gas to the container main body is enabled, and the flow of the gas to the container main body is interrupted when a positive pressure and a negative pressure are not applied to the first passage and the second passage. It is.
(2) In the aspect of (1), the elastic body has a partition plate that partitions the first passage and the second passage, and the partition plate is formed with at least one slit, and the slit The gap may be formed by deformation.
(3) In the aspect of (2), the slit may be formed with a width of 0.1 mm to 1.0 mm.
(4) In any one of the above aspects (1) to (3), the elastic body has a cylindrical shape having an internal passage, and the first passage, the internal passage, and the second passage. In addition, the gap between the first passage and the second passage may be sealed so that the gas flows only through the first passage.
(5) In any one of the above aspects (1) to (4), the first passage is formed in a fixed cylinder fitted in a through-hole formed in the container body, and the second passage is You may form in the holding cylinder combined with the said fixed cylinder.
(6) In any one of the above aspects (1) to (4), the first passage is formed in a fixed cylinder fitted in a through hole formed in the container body, and the second passage is You may form in the inner cover cylinder connected with the holding | maintenance cylinder combined with the said fixed cylinder.
(7) In any one of the above aspects (1) to (6), the valve body may include a filter for filtering the gas.
(8) In any one of the above aspects (1) to (4), the valve body may be attached in the middle of a gas flow path provided in the container body.
本発明によれば、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a board | substrate storage container provided with the valve body which can control the distribution | circulation of gas can be provided, without using metal members.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiments of the present specification, the same members are denoted by the same reference numerals throughout.
図1は、本発明に係る実施形態の基板収納容器1を示す概略分解斜視図である。
基板Wを収納する容器本体10と、容器本体10の開口11を閉止する蓋体20と、容器本体10と蓋体20との間に設けられる環状のパッキン30と、を備えている。
FIG. 1 is a schematic exploded perspective view showing a
A container
容器本体10は、箱状体であり、開口11が正面に形成されたフロントオープン型である。開口11は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン30が接触するシール面12として、開口11の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体10は、300mm径や450mm径の基板Wの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口11が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。
The
容器本体10の内部の左右両側には、支持体13が配置されている。支持体13は、基板Wの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体13には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Wは、同じ高さの左右2か所の溝ティースに載置されている。支持体13の材料は、容器本体10と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
また、容器本体10の内部の後方(奥側)には、リアリテーナ(図示なし)が配置されている。リアリテーナは、蓋体20が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Wを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体13が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Wを保持するようなものであってもよい。これらの支持体13やリアリテーナは、容器本体10にインサート成形や嵌合などにより設けられている。
A rear retainer (not shown) is disposed at the rear (back side) inside the
基板Wは、この支持体13に支持されて容器本体10に収納される。なお、基板Wの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。
The substrate W is supported by the
容器本体10の天井中央部には、ロボティックフランジ14が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Wを気密収納した基板収納容器1は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ14を把持されて、基板Wを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。
A
また、容器本体10の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル15がそれぞれ着脱自在に装着されている。
In addition, a
そして、容器本体10の内部の底面には、給気部16と排気部17とが設けられており、容器本体10の外部の底面には、後述するバルブ体40が取り付けられている。これらは、蓋体20によって閉止された基板収納容器1の内部に、給気部16から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部17から排出することで、基板収納容器1の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板W上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器1の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部16から給気するだけでなく、排気部17を負圧(真空)発生装置に接続し、強制的に排気部17から気体を排出することもある。
An
さらに、排気部17から排気された気体を検知することで、基板収納容器1の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部16及び排気部17は、基板Wを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部16及び排気部17の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体10の底面の四隅部に位置してもよい。また、給気部16及び排気部17は、蓋体20の側に取り付けられてもよい。
Furthermore, by detecting the gas exhausted from the
一方、蓋体20は、容器本体10の開口11の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体20は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体10に形成された係止穴(図示なし)に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体20は、中央部に基板Wの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ(図示なし)が着脱自在に装着又は一体形成されている。
On the other hand, the
このフロントリテーナは、支持体13の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体20にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
Since the front retainer is a part in direct contact with the wafer, like the groove teeth and the substrate holding part of the
そして、蓋体20には、パッキン30を取り付ける取付溝21が形成されている。より詳しくは、蓋体20の容器本体10側の面には、開口11の段差部より小さい凸部22が環状に形成されることで、断面略U字状の取付溝21が環状に形成されている。この凸部22は、蓋体20を容器本体10に取り付けた時、開口11の段差部より奥に入り込む。
An
これらの容器本体10及び蓋体20の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。
Examples of the material of the
つぎに、パッキン30は、蓋体20の正面形状(及び容器本体10の開口11の形状)に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン30は、蓋体20への取り付け前の状態で、円環(リング)状であってもよい。
Next, the packing 30 has an annular shape corresponding to the front shape of the lid 20 (and the shape of the
パッキン30は、容器本体10のシール面12と蓋体20との間に配置され、蓋体20を容器本体10に取り付けた際に、シール面12と蓋体20とに密着して基板収納容器1の気密性を確保し、基板収納容器1への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。
The packing 30 is disposed between the sealing
パッキン30の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。 As the material of the packing 30, elastic materials such as thermoplastic elastomers such as polyester elastomers, polyolefin elastomers, fluorine elastomers, urethane elastomers, fluorine rubber, ethylene propylene rubber, silicone rubbers, and the like are used. Can be used. These materials include fillers made of carbon, glass fiber, mica, talc, silica, calcium carbonate, etc., and resins such as polyethylene, polyamide, polyacetal, fluororesin, and silicone resin from the viewpoint of improving adhesion. A predetermined amount may be selectively added.
ここで、バルブ体40について説明する。図2は、バルブ体40を示す、(a)上方からの断面斜視図、(b)下方からの断面斜視図である。図3は、気体流通を遮断した状態の弾性体44を示す、(a)斜視図、(b)上面図である。図4は、気体流通を可能にした状態の弾性体44を示す、(a)斜視図、(b)上面図である。図5は、基板収納容器1に取り付けられたバルブ体40の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
Here, the
バルブ体40は、容器本体10に対する気体の流通を制御するもので、容器本体10に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して給気部16又は排気部17と連通している。
The
バルブ体40は、図2に示すように、容器本体10のリブ180によって形成された貫通孔18(図5も参照)に下方から嵌められる固定筒41と、貫通孔18にシール部材45を介して上方から嵌入されて、固定筒41に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒42と、を有している。
As shown in FIG. 2, the
固定筒41は、容器本体10の内部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒41の内周面には、保持筒42を取り付けるための取り付け用の螺子溝412が螺刻形成されている。また、固定筒41の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ413が周設されており、リブ180の開口周縁部に接触するようになっている。
The fixed
さらに、固定筒41は、底部中心に、一端が容器本体10の外部に連通する第1筒部410が、気体流通用の通気口411とともに形成されている。第1筒部410は、通気口411と連通しながら、通気口411の周縁から立ち上がって、保持筒42に向かって延びている。また、第1筒部410と通気口411とで、第1通路4100が形成されている。
Furthermore, the fixed
一方、保持筒42は、容器本体10の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒42の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ423が周設されており、貫通孔18の開口周縁に接触している。さらに、保持筒42の外周面には、固定筒41へ取り付けるための螺子溝422が螺刻形成され、この螺子溝422が固定筒41の螺子溝412と螺合する。ただし、固定筒41及び保持筒42は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。
On the other hand, the holding
また、保持筒42は、容器本体10(底面)の内部側に、気体流通用の複数の通気口421を区画する区画リブ424が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ424の裏面には、後述するフィルタ46を収納する収納空間が形成されている。
In addition, the holding
なお、保持筒42は、外周面にシール部材45が装着されており、保持筒42と貫通孔18の内周面との間から、容器本体10の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体10の内部から漏れる気体を遮断することができる。
The holding
ところで、バルブ体40は、保持筒42の内周壁にシール部材47を介して取り付けられ、保持筒42との間にフィルタ46を保持する中蓋筒43も有している。
Incidentally, the
中蓋筒43は、容器本体10の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体10の内部側に、フィルタ46が載置されるようになっている。また、中蓋筒43の外周面には突起が形成されており、保持筒42の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒43は、保持筒42に連結され取り付けられている。
The
この中蓋筒43は、一端が容器本体10の内部に連通するとともに、第1筒部410の他端から離間して設けられる第2筒部430が形成されている。第2筒部430は、通気口421と連通しながら、中央開口の周縁から立ち上がって、固定筒41に形成された第1筒部410に向かって延びている。また、第2筒部430と通気口421とで、第1通路4100が形成されている。なお、第1筒部410の外径及び第2筒部430の外径は、等しい直径で形成されている。
One end of the
上述した固定筒41、保持筒42及び中蓋筒43は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。また、シール部材45,47には、例えば、フッ素ゴム、NBRゴム、ウレタンゴム、EPDMゴム、シリコーンゴムなどの材料から形成された、Oリングなどが用いられている。
The fixed
さらに、バルブ体40は、第1筒部410の他端と、第2筒部430の他端との間に設けられる弾性体44を有している。弾性体44は、内部通路4400を有する円筒状であり、第1筒部410の他端と、第2筒部430の他端と、を覆うように密着して取り付けられている。
Further, the
つまり、給気又は排気される気体が、第1筒部410の第1通路4100と、弾性体44の内部通路4400と、第2筒部430の第2通路4300と、のみを通って流れるように、第1筒部410と第2筒部430との間を、確実にシールしており、位置ズレが起きることもない。
That is, the supplied or exhausted gas flows only through the
また、弾性体44は、第1筒部410の第1通路4100と、第2筒部430の第2通路4300と、を仕切る仕切板440を有し、仕切板440には、少なくとも1本のスリット441形成されている(図3及び図4参照)。なお、本実施形態では、仕切板440に、2本のスリット441が交差して形成されているが、3本以上であってもよい。また、スリット441は、圧力が加わらない場合に、スリット441が密着して、気体の流通を遮断できる形状であればよく、直線に限らず、弓状やS字形状の曲線であってもよい。
The
仕切板440は、円板状であり、交差する溝部442が仕切板440を四等分するように形成され、溝部442にスリット441が形成されている。つまり、仕切板440は、スリット441により、4つの扇形状の仕切片443に分割されている。
The
仕切板440にスリット441を形成する場合は、カッターなどで切断するか、金型による成形時に同時に形成するとよい。スリット441は、仕切板440の厚さにもよるが、0.1mmから1.0mm幅で形成されるとよい。
In the case where the
例えば、スリット441を0.1mmより小さい幅で形成すると、仕切片443同士の密着固定が解消されないことがあり、1.0mmより大きい幅で形成すると、仕切片443同士が密着せず、気体が漏れることがあり、加わる陽圧が小さくても(容器本体10の内部と外部との間に圧力差が小さくても)気体の流通を遮断できなくなることがある。ただし、弾性体44の材料に低粘着性のものを用いるか、弾性体44の表面粗さを粗くすると、スリット441を0.1mmより小さい幅で形成しても、仕切片443同士の密着固定が起きないようにすることができる。
For example, if the
このように、仕切板440に0.1mmから1.0mm幅のスリット441を形成することにより、仕切片443同士が重なり合うなどの干渉を防止することができ、また、仕切片443同士が、弾性体44自体の粘着性や弾性による粘着や吸着などの密着固定を防止することができるため、仕切板440が動作不能になることがなく、適切に気体を流通又は遮断することができ、また、異物の侵入を防止することもできる。
In this way, by forming the
弾性体44の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどを用いることができる。
As the material of the
そして、フィルタ46は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。
And the
フィルタ46は、保持筒42と中蓋筒43との間に、1枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ46を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ46は、容器本体10を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ46の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。
One or
最後に、バルブ体40が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図3及び図5(a)において、第1筒部410の第1通路4100及び第2筒部430の第2通路4300に陽圧が加わらないと、弾性体44は、スリット441を閉じ、仕切片443同士を密着させて、内部通路4400を遮断し、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
Finally, the state in which the
3 and 5A, when positive pressure is not applied to the
例えば、図5(b)に矢印で示したように、第1筒部410の第1通路4100に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体44は、陽圧の大きさに応じて仕切片443が上方に折れ曲がる(捲れ上がる)ように変形することで、仕切片443同士の間に隙間Cを形成する。そして、第1筒部410側からの気体は、この隙間Cを通過して、第2筒部430側へ流通し、容器本体10の内部に供給される。
For example, as indicated by an arrow in FIG. 5B, when a positive pressure of a predetermined value or more is applied to the
また、第2筒部430の第2通路4300に所定値以上の陰圧が加わった場合は、第1筒部410の第1通路4100に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用し、図5(b)に矢印で示したように、弾性体44は、仕切片443が上方に折れ曲がる(捲れ上がる)ように変形することで、仕切片443同士の間に隙間Cを形成する。
Further, when a negative pressure greater than or equal to a predetermined value is applied to the
逆に、第2筒部430の第2通路4300に所定値以上の陽圧が加わっても、弾性体44の仕切片443は逆方向の下方に変形し、仕切片443同士の間に隙間Cを形成する。そして、第2筒部430側からの気体は、この隙間Cを通過して、第1筒部410側へ流通し、容器本体10の外部に排出される。
Conversely, even when a positive pressure of a predetermined value or more is applied to the
また、第1筒部410の第1通路4100に所定値以上の陰圧が加わった場合も、第2筒部430の第2通路4300に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用する。
In addition, when a negative pressure of a predetermined value or more is applied to the
このように、実施形態のバルブ体40は、いずれか一方側からの、気体の流通を遮断又は可能とするものではなく、双方向の気体の流通を遮断又は可能とすることができる。そして、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体44の材料、硬度、仕切板440の厚み、直径、スリット441の個数を変更することで調節可能である。
Thus, the
例えば、基板収納容器1の内部の気体を、排気部17から強制的に排気し、パージ状態の検知やガスや混入物の分析を行う場合でも、排気部17に接続されたバルブ体40の第1筒部410の第1通路4100側に陰圧が加わることになり、排気部17に接続されたバルブ体40は、仕切板440の隙間Cを開放する。また、基板収納容器1の内部の気体を、排気部17から強制的に排気せず、給気部16から気体を供給するだけの場合は、排気部17に接続されたバルブ体40の第2筒部430の第2通路4300側に陽圧が加わることになり、排気部17に接続されたバルブ体40は、仕切板440の隙間Cを開放し、給気部16に接続されたバルブ体40は、第1筒部410の第1通路4100側に陽圧が加わることになり、仕切板440の隙間Cを開放する。
For example, even when the gas inside the
以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器1は、基板Wを収納する容器本体10と、容器本体10の開口11を閉止する蓋体20と、容器本体10に対する気体の流通を制御するバルブ体40と、を備える基板収納容器1であって、バルブ体40は、容器本体10の外部に連通する第1通路4100と、容器本体10の内部に連通する第2通路4300とを仕切る弾性体44、を有し、弾性体44は、第1通路4100に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、第2通路4300に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、容器本体10に対する気体の流通を可能にするとともに、第1通路4100及び第2通路4300に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、容器本体10に対する気体の流通を遮断するものである。また、弾性体44は、第1通路4100と第2通路4300とを仕切る仕切板440を有し、仕切板440は、少なくとも1本のスリット441が形成され、スリット441は、変形することで隙間Cが形成される。
As described above, the
これにより、バルブ体40の一方側から気体が導入され(陽圧になり)、所定の圧力値になると、弾性体44の仕切板440の仕切片443が変形し、スリット441も変形し、仕切片443同士の間に隙間Cが形成されるため、導入された気体はバルブ体40の他方側へ供給されることになる。
Thereby, when gas is introduced from one side of the valve body 40 (positive pressure) and reaches a predetermined pressure value, the
また、基板収納容器1は、金属性の部材を用いないバルブ体40を備えているため、収納する基板Wに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体40が作動しないようなことが起こり難い。
Further, since the
さらに、基板収納容器1は、双方向の気体の流通を制御するバルブ体40を備えているため、同じバルブ体40を容器本体10の貫通孔18に取り付けるだけで、給気部16や排気部17の位置や個数にかかわらず、あらゆる気体の給気及び排気ルートに対応することができる。
Furthermore, since the
くわえて、実施形態の基板収納容器1を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差は見られなかった。
In addition, a humidity holding test was performed using the
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.
(変形例)
上記実施形態では、バルブ体40の弾性体44は、第1筒部410の他端と、第2筒部430の他端と、を覆うように取り付けられていたが、固定筒41及び中蓋筒43に第1筒部410及び第2筒部430を形成することなく、固定筒41及び中蓋筒43で挟持されるように取り付けられてもよい。
(Modification)
In the above embodiment, the
図6は、変形例のバルブ体40の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図6に示すように、弾性体44は、外部に連通する固定筒41の上面と、内部に連通する中蓋筒43の下面との間に位置し、固定筒41と保持筒42とを組み合わせた際に、長手方向に若干押し潰され、挟持された状態で取り付けられている。このとき、第1通路4100又は第2通路4300は、固定筒41、保持筒42及び中蓋筒43のいずれかに直接形成される。
FIGS. 6A and 6B are schematic cross-sectional views respectively showing (a) a state where the gas flow is blocked and (b) a state where the gas flow is enabled.
As shown in FIG. 6, the
また、上記実施形態では、第1筒部410の外径及び第2筒部430の外径は、すべて等しい直径で形成されていたが、異なる直径で形成されてもよい。また、第1筒部410、第2筒部430及び弾性体44は、円筒状に限らず、弾性体44のスリット441によって仕切板440が変形することで、容器本体10に対する気体の流通を制御できれば、どのような形状であってもよい。
Moreover, in the said embodiment, although the outer diameter of the
さらに、上記実施形態では、保持筒42は、貫通孔18に嵌められた固定筒41の内側に組み合わされたが、逆に、固定筒41が、貫通孔18に嵌められた保持筒42の内側に組み合わされてもよい。また、バルブ体40は中蓋筒43を有したが、中蓋筒43を有さず、第2筒部430が保持筒42に直接形成されてもよい。この場合、フィルタ46は、保持筒42に直接接着又は溶着されるとよい。
Further, in the above embodiment, the holding
また、上記実施形態において、フィルタ46は、バルブ体40とは別に、気体供給源から、容器本体10の内部の気体放出口までの気体流路中に配置してもよい。
In the above embodiment, the
また、上記実施形態では、弾性体44は、双方向にほぼ同じ圧力で作動するように構成されていたが、双方向の作動(開放)圧力を異ならせるように構成してもよい。
Moreover, in the said embodiment, although the
ところで、上記実施形態では、バルブ体40は、容器本体10及び蓋体20の少なくとも一方に形成された貫通孔18に取り付けられるように構成されたが、容器本体10などに設けられた気体流路(配管)、例えば、給気部16又は排気部17の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。
By the way, in the said embodiment, although the
図7は、第2実施形態の容器本体10におけるバルブ体40を示す概略断面図である。
図7に示すように、容器本体10の開口11側に位置し、外部の気体供給源からの気体供給配管に連結される気体導入部50に連通する連通する配管の一端を第1筒部410とし、容器本体10の背面側に位置し、給気部16又は排気部17に連通する配管の一端を第2筒部430とし、これらを覆うように、弾性体44を設けて、略パイプ状の構成としてもよい。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing the
As shown in FIG. 7, one end of the pipe that communicates with the
このとき、第1筒部410及び第2筒部430は、剛性の高い樹脂製の配管であっても、可撓性を有するチューブであってもよい。
At this time, the
第2実施形態の基板収納容器1であっても、金属性の部材を用いないバルブ体40を備えているため、収納する基板Wに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体40が作動しないようなことが起こり難い。
Even the
また、気体導入部50から第1筒部410を介したバルブ体40までの距離が長く、また、気体導入部50の内部通路5000と、第1筒部410の第1通路4100とが略直角方向に屈曲しているため、容器本体10を液体で洗浄した場合でも、バルブ体40まで液体が届き難くなり、容器本体10の乾燥後の水残りを防止することができる。そして、バルブ体40(仕切板440)よりも奥側の給気部16及び排気部17には、液体が届くことがない。
Further, the distance from the
1 基板収納容器
10 容器本体、11 開口、12 シール面、13 支持体、14 ロボティックフランジ、15 マニュアルハンドル、16 給気部、17 排気部、18 貫通孔、180 リブ
20 蓋体、21 取付溝、22 凸部
30 パッキン
40 バルブ体
41 固定筒、410 第1筒部、411 通気口、412 螺子溝、413 フランジ、4100 第1通路、
42 保持筒、421 通気口、422 螺子溝、423 フランジ、424 区画リブ
43 中蓋筒、430 第2筒部、4300 第2通路
44 弾性体、440 仕切板、441 スリット、442 溝部、443 仕切片、4400 内部通路
45 シール部材、46 フィルタ、47 シール部材
50 気体導入部、5000 内部通路
W 基板
C 隙間
DESCRIPTION OF
42 holding cylinder, 421 vent hole, 422 screw groove, 423 flange, 424
Claims (8)
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
前記容器本体の外部に連通する第1通路と、前記容器本体の内部に連通する第2通路とを仕切る弾性体を有し、
前記弾性体は、前記第1通路に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、前記第2通路に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第1通路及び前記第2通路に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする基板収納容器。 A container body for storing a substrate;
A lid for closing the opening of the container body;
A substrate storage container comprising a valve body that controls the flow of gas to the container body,
The valve body is
An elastic body that partitions the first passage communicating with the outside of the container body and the second passage communicating with the inside of the container body;
The elastic body deforms both when a positive pressure or a negative pressure is applied to the first passage and when a positive pressure or a negative pressure is applied to the second passage, so that the gas flows to the container body. A substrate storage container characterized by enabling the flow and blocking the flow of the gas to the container body when positive pressure and negative pressure are not applied to the first passage and the second passage.
前記仕切板は、少なくとも1本のスリットが形成され、
前記スリットは、変形することで隙間が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 The elastic body has a partition plate that partitions the first passage and the second passage,
The partition plate is formed with at least one slit,
The substrate storage container according to claim 1, wherein the slit is deformed to form a gap.
ことを特徴とする請求項2に記載の基板収納容器。 The substrate storage container according to claim 2, wherein the slit is formed with a width of 0.1 mm to 1.0 mm.
ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 The elastic body has a cylindrical shape having an internal passage, and the first passage and the second passage so that the gas flows only through the first passage, the internal passage, and the second passage. The substrate storage container according to any one of claims 1 to 3, characterized in that a gap between and is sealed.
前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成される
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 The first passage is formed in a fixed cylinder fitted into a through hole formed in the container body,
The substrate storage container according to any one of claims 1 to 4, wherein the second passage is formed in a holding cylinder combined with the fixed cylinder.
前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成される
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 The first passage is formed in a fixed cylinder fitted into a through hole formed in the container body,
The substrate storage container according to any one of claims 1 to 4, wherein the second passage is formed in an inner lid cylinder connected to a holding cylinder combined with the fixed cylinder.
ことを特徴とする請求項1から6までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 The substrate storage container according to any one of claims 1 to 6, wherein the valve body includes a filter that filters the gas.
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 The substrate storage container according to any one of claims 1 to 4, wherein the valve body is attached in the middle of a gas flow path provided in the container main body.
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