JP2019021735A

JP2019021735A - Substrate housing container

Info

Publication number: JP2019021735A
Application number: JP2017138068A
Authority: JP
Inventors: 康大藤本; Yasuhiro Fujimoto; 統小川; Osamu Ogawa
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2017-07-14
Filing date: 2017-07-14
Publication date: 2019-02-07
Anticipated expiration: 2037-07-14
Also published as: JP6915203B2

Abstract

To provide a substrate housing container including a valve body capable of controlling gas flow without using a metallic member.SOLUTION: A valve body 40 installed in a substrate housing container includes an elastic body 44 that partitions a first passage 4100 that communicates with the outside of a container body 10 and a second passage 4300 that communicates with the interior of the container body 10, and the elastic body 44 allows gas to flow through the container body by being deformed in a case in which positive pressure or negative pressure is applied to the first passage 4100 or a case in which positive pressure or negative pressure is applied to the second passage 4300 and blocks the flow of gas to the container body when positive pressure and negative pressure are not applied to the first passage 4100 and the second passage 4300. Further, the elastic body 44 has a partition plate 440 that partitions the first passage 4100 and the second passage 4300, and at least one slit 441 is formed in the partition plate 440, and a gap C is formed when the slit 441 is deformed .SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。 The present invention relates to a substrate storage container including a valve body that controls the flow of gas to a container body.

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と弁体を開閉させる金属製の弾性部材とを有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。 A substrate storage container that stores a substrate includes a container body, a lid that closes the opening of the container body, and a valve body that controls the flow of gas to the container body. The valve body has a check valve function, and includes a valve body and a metal elastic member that opens and closes the valve body (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

バルブ体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて、バルブ体自体が取り替えられたり、弁体及び弾性部材が組み替えられたりしている。 Since the check valve function of the valve body controls the flow of gas in one direction, the valve body itself may be replaced, or the valve body and the elastic member may be replaced depending on the gas flow direction. .

特開２００８−０６６３３０号公報JP 2008-066633 A 特開２００４−１７９４４９号公報JP 2004-179449 A

ところで、基板収納容器は、基板を気密状態で収納するために、バルブ体から気体が供給され、また、バルブ体を介して排出されるが、収納する基板の加工時に、基板に付着した残留物質も、供給した気体とともに排出されることがある。そのため、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されることがあった。 By the way, in order to store the substrate in an airtight state, the substrate storage container is supplied with gas from the valve body and is discharged through the valve body. May be discharged together with the supplied gas. Therefore, the metal elastic member of the valve body may be corroded by the residual material.

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。
また、本発明は、気体の供給又は排気といった気体の両方向への流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate storage container including a valve body that can control the flow of gas without using a metal member.
It is another object of the present invention to provide a substrate storage container including a valve body that can control the flow of gas in both directions, such as gas supply or exhaust.

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体及び前記蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とを仕切る弾性体を有し、前記弾性体は、前記第１通路に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、前記第２通路に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１通路及び前記第２通路に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記弾性体は、前記第１通路と前記第２通路とを仕切る仕切板を有し、前記仕切板は、少なくとも１本のスリットが形成され、前記スリットは、変形することで隙間が形成されてもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記スリットは、０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅で形成されてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記弾性体は、内部通路を有する筒状であるとともに、前記第１通路と、前記内部通路と、前記第２通路と、のみを前記気体が流れるように、前記第１通路と前記第２通路との間を、シールしてもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成されてもよい。
（６）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成されてもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか１つの態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。
（８）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられてもよい。 (1) One aspect according to the present invention is attached to a container main body for storing a substrate, a lid for closing an opening of the container main body, and at least one through hole of the container main body and the lid, And a valve housing that controls the flow of gas to the container body, wherein the valve body communicates with a first passage that communicates with the outside of the container body and a second that communicates with the interior of the container body. An elastic body that partitions the passage, and the elastic body is deformed both when a positive pressure or a negative pressure is applied to the first passage and when a positive pressure or a negative pressure is applied to the second passage. The flow of the gas to the container main body is enabled, and the flow of the gas to the container main body is interrupted when a positive pressure and a negative pressure are not applied to the first passage and the second passage. It is.
(2) In the aspect of (1), the elastic body has a partition plate that partitions the first passage and the second passage, and the partition plate is formed with at least one slit, and the slit The gap may be formed by deformation.
(3) In the aspect of (2), the slit may be formed with a width of 0.1 mm to 1.0 mm.
(4) In any one of the above aspects (1) to (3), the elastic body has a cylindrical shape having an internal passage, and the first passage, the internal passage, and the second passage. In addition, the gap between the first passage and the second passage may be sealed so that the gas flows only through the first passage.
(5) In any one of the above aspects (1) to (4), the first passage is formed in a fixed cylinder fitted in a through-hole formed in the container body, and the second passage is You may form in the holding cylinder combined with the said fixed cylinder.
(6) In any one of the above aspects (1) to (4), the first passage is formed in a fixed cylinder fitted in a through hole formed in the container body, and the second passage is You may form in the inner cover cylinder connected with the holding | maintenance cylinder combined with the said fixed cylinder.
(7) In any one of the above aspects (1) to (6), the valve body may include a filter for filtering the gas.
(8) In any one of the above aspects (1) to (4), the valve body may be attached in the middle of a gas flow path provided in the container body.

本発明によれば、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a board | substrate storage container provided with the valve body which can control the distribution | circulation of gas can be provided, without using metal members.

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す概略分解斜視図である。It is a general | schematic disassembled perspective view which shows the substrate storage container of embodiment which concerns on this invention. バルブ体を示す、（ａ）上方からの断面斜視図、（ｂ）下方からの断面斜視図である。It is a cross-sectional perspective view from the upper part which shows a valve body, (b) The cross-sectional perspective view from the lower part. 気体流通を遮断した状態の弾性体を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。It is (a) perspective view and (b) top view which show the elastic body of the state which interrupted | blocked gas distribution. 気体流通を可能にした状態の弾性体を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。It is the (a) perspective view and (b) top view which show the elastic body of the state which enabled gas distribution. 基板収納容器に取り付けられたバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows (a) the state which interrupted | blocked gas distribution, (b) the state which enabled gas distribution, respectively of the valve body attached to the board | substrate storage container. 変形例のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows (a) the state which interrupted | blocked gas distribution, and (b) the state which enabled gas distribution of the valve body of a modification, respectively. 第２実施形態の容器本体におけるバルブ体を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the valve body in the container main body of 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiments of the present specification, the same members are denoted by the same reference numerals throughout.

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。 FIG. 1 is a schematic exploded perspective view showing a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
A container main body 10 for storing the substrate W, a lid body 20 for closing the opening 11 of the container main body 10, and an annular packing 30 provided between the container main body 10 and the lid body 20 are provided.

容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。 The container body 10 is a box-shaped body, and is a front open type in which an opening 11 is formed on the front surface. The opening 11 is bent with a step so as to spread outward, and the surface of the step portion is formed on the inner peripheral edge of the front of the opening 11 as a seal surface 12 with which the packing 30 contacts. The container body 10 is preferably a front open type because it is easy to insert a substrate W having a diameter of 300 mm or 450 mm, but may be a bottom open type in which the opening 11 is formed on the lower surface.

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。 Support bodies 13 are arranged on the left and right sides inside the container body 10. The support 13 has a function of placing and positioning the substrate W. A plurality of grooves are formed in the support body 13 in the height direction to constitute so-called groove teeth. And the board | substrate W is mounted in the groove | channel teeth of two places of right and left of the same height. The material of the support 13 may be the same as that of the container body 10, but a different material may be used in order to improve the cleaning property and the sliding property.

また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。 A rear retainer (not shown) is disposed at the rear (back side) inside the container body 10. The rear retainer holds the substrate W in a pair with a front retainer described later when the lid 20 is closed. However, without providing a rear retainer as in the present embodiment, the support body 13 has, for example, a “H” -shaped or linear substrate holding portion on the back side of the groove teeth, so that the front retainer and the substrate are provided. The substrate W may be held by the holding unit. The support 13 and the rear retainer are provided on the container body 10 by insert molding or fitting.

基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。 The substrate W is supported by the support 13 and stored in the container body 10. An example of the substrate W includes a silicon wafer, but is not particularly limited, and may be a quartz wafer, a gallium arsenide wafer, or the like.

容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。 A robotic flange 14 is detachably provided at the center of the ceiling of the container body 10. The substrate storage container 1 in which the substrate W is hermetically stored in a clean state is gripped by the robotic flange 14 by a transfer robot in the factory, and transferred to a processing apparatus for each process of processing the substrate W.

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。 In addition, a manual handle 15 that is gripped by the operator is detachably attached to the center of the outer surface of both sides of the container body 10.

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。 An air supply unit 16 and an exhaust unit 17 are provided on the bottom surface inside the container body 10, and a valve body 40 described later is attached to the bottom surface outside the container body 10. By supplying an inert gas such as nitrogen gas or dry air from the air supply unit 16 to the inside of the substrate storage container 1 closed by the lid 20 and exhausting it from the exhaust unit 17 as necessary, The inside of the substrate storage container 1 is kept clean by replacing the gas inside the substrate storage container 1, maintaining an airtight state of low humidity, or blowing off impurities on the substrate W. Yes. In addition to supplying air from the air supply unit 16, the exhaust unit 17 may be connected to a negative pressure (vacuum) generator to forcibly exhaust the gas from the exhaust unit 17.

さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置してもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。 Furthermore, by detecting the gas exhausted from the exhaust part 17, it can be confirmed whether the inside of the substrate storage container 1 has been replaced with the introduced gas. Note that the air supply unit 16 and the exhaust unit 17 are preferably located away from the position where the substrate W is projected onto the bottom surface, but the quantities and positions of the air supply unit 16 and the exhaust unit 17 are not limited to those illustrated. Instead, they may be positioned at the four corners of the bottom surface of the container body 10. The air supply unit 16 and the exhaust unit 17 may be attached to the lid 20 side.

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。 On the other hand, the lid 20 has a substantially rectangular shape that is attached to the front surface of the opening 11 of the container body 10. The lid 20 has a locking mechanism (not shown), and is locked when a locking claw is fitted in a locking hole (not shown) formed in the container body 10. The lid 20 is detachably mounted or integrally formed with an elastic front retainer (not shown) that holds the front periphery of the substrate W horizontally at the center.

このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。 Since the front retainer is a part in direct contact with the wafer, like the groove teeth and the substrate holding part of the support 13, a material having good cleaning properties and sliding properties is used. The front retainer can also be provided on the lid 20 by insert molding or fitting.

そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。 An attachment groove 21 for attaching the packing 30 is formed in the lid 20. More specifically, a convex portion 22 smaller than the stepped portion of the opening 11 is formed in an annular shape on the surface of the lid body 20 on the container body 10 side, so that a mounting groove 21 having a substantially U-shaped cross section is formed in an annular shape. ing. When the lid 20 is attached to the container main body 10, the convex portion 22 enters deeper than the step portion of the opening 11.

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。 Examples of the material of the container body 10 and the lid body 20 include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyether sulfone, polyether ether ketone, and liquid crystal polymer. The thermoplastic resin may further be appropriately added with a conductive agent made of conductive carbon, conductive fiber, metal fiber, conductive polymer, various antistatic agents, ultraviolet absorbers, and the like.

つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。 Next, the packing 30 has an annular shape corresponding to the front shape of the lid 20 (and the shape of the opening 11 of the container body 10), and in the present embodiment, has a rectangular frame shape. However, the annular packing 30 may be in a ring shape before being attached to the lid 20.

パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。 The packing 30 is disposed between the sealing surface 12 of the container main body 10 and the lid 20, and when the lid 20 is attached to the container main body 10, the packing 30 is in close contact with the sealing surface 12 and the lid 20. 1 is ensured, the entry of dust, moisture and the like from the outside into the substrate storage container 1 is reduced, and the leakage of gas from the inside to the outside is reduced.

パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。 As the material of the packing 30, elastic materials such as thermoplastic elastomers such as polyester elastomers, polyolefin elastomers, fluorine elastomers, urethane elastomers, fluorine rubber, ethylene propylene rubber, silicone rubbers, and the like are used. Can be used. These materials include fillers made of carbon, glass fiber, mica, talc, silica, calcium carbonate, etc., and resins such as polyethylene, polyamide, polyacetal, fluororesin, and silicone resin from the viewpoint of improving adhesion. A predetermined amount may be selectively added.

ここで、バルブ体４０について説明する。図２は、バルブ体４０を示す、（ａ）上方からの断面斜視図、（ｂ）下方からの断面斜視図である。図３は、気体流通を遮断した状態の弾性体４４を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。図４は、気体流通を可能にした状態の弾性体４４を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。図５は、基板収納容器１に取り付けられたバルブ体４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 Here, the valve body 40 will be described. FIG. 2 is a cross-sectional perspective view from above, and (b) a cross-sectional perspective view from below, showing the valve body 40. 3A is a perspective view, and FIG. 3B is a top view showing the elastic body 44 in a state where the gas flow is blocked. FIGS. 4A and 4B are an (a) perspective view and a (b) top view showing the elastic body 44 in a state where gas flow is enabled. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the valve body 40 attached to the substrate storage container 1 in a state where (a) the gas flow is blocked and (b) a state where the gas flow is enabled.

バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して給気部１６又は排気部１７と連通している。 The valve body 40 controls the flow of gas to the container body 10, and communicates with the air supply unit 16 or the exhaust unit 17 through a gas flow passage (not shown) when attached to the container body 10.

バルブ体４０は、図２に示すように、容器本体１０のリブ１８０によって形成された貫通孔１８（図５も参照）に下方から嵌められる固定筒４１と、貫通孔１８にシール部材４５を介して上方から嵌入されて、固定筒４１に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒４２と、を有している。 As shown in FIG. 2, the valve body 40 includes a fixed cylinder 41 fitted from below into a through hole 18 (see also FIG. 5) formed by a rib 180 of the container body 10, and a seal member 45 in the through hole 18. A holding cylinder 42 that is fitted from above and is detachably combined with the fixed cylinder 41 by screwing from above.

固定筒４１は、容器本体１０の内部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒４１の内周面には、保持筒４２を取り付けるための取り付け用の螺子溝４１２が螺刻形成されている。また、固定筒４１の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４１３が周設されており、リブ１８０の開口周縁部に接触するようになっている。 The fixed cylinder 41 is formed in a bottomed cylindrical shape with the inner side of the container body 10 opened, and a screw groove 412 for attaching the holding cylinder 42 is threaded on the inner peripheral surface of the fixed cylinder 41. Is formed. In addition, a ring-shaped flange 413 extending radially outward is provided around the outer peripheral surface of the fixed cylinder 41 so as to come into contact with the opening peripheral edge of the rib 180.

さらに、固定筒４１は、底部中心に、一端が容器本体１０の外部に連通する第１筒部４１０が、気体流通用の通気口４１１とともに形成されている。第１筒部４１０は、通気口４１１と連通しながら、通気口４１１の周縁から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びている。また、第１筒部４１０と通気口４１１とで、第１通路４１００が形成されている。 Furthermore, the fixed cylinder 41 is formed with a first cylinder part 410 having one end communicating with the outside of the container body 10 and a gas circulation vent 411 at the center of the bottom part. The first cylinder part 410 rises from the peripheral edge of the vent hole 411 and extends toward the holding cylinder 42 while communicating with the vent hole 411. A first passage 4100 is formed by the first tube portion 410 and the vent 411.

一方、保持筒４２は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒４２の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４２３が周設されており、貫通孔１８の開口周縁に接触している。さらに、保持筒４２の外周面には、固定筒４１へ取り付けるための螺子溝４２２が螺刻形成され、この螺子溝４２２が固定筒４１の螺子溝４１２と螺合する。ただし、固定筒４１及び保持筒４２は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。 On the other hand, the holding cylinder 42 is formed in a bottomed cylindrical shape that is open on the outer side of the container body 10, and a ring-shaped flange 423 extending radially outward is provided around the outer peripheral surface of the holding cylinder 42. And is in contact with the opening periphery of the through hole 18. Further, a screw groove 422 for attaching to the fixed cylinder 41 is formed on the outer peripheral surface of the holding cylinder 42, and the screw groove 422 is screwed with the screw groove 412 of the fixed cylinder 41. However, the fixed cylinder 41 and the holding cylinder 42 may be attached to each other not by screwing but by other methods such as press-fitting and locking.

また、保持筒４２は、容器本体１０（底面）の内部側に、気体流通用の複数の通気口４２１を区画する区画リブ４２４が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ４２４の裏面には、後述するフィルタ４６を収納する収納空間が形成されている。 In addition, the holding cylinder 42 is provided with partition ribs 424 for partitioning a plurality of gas flow vents 421 on the inner side of the container body 10 (bottom surface). A storage space for storing a filter 46 to be described later is formed on the back surface.

なお、保持筒４２は、外周面にシール部材４５が装着されており、保持筒４２と貫通孔１８の内周面との間から、容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。 The holding cylinder 42 is provided with a seal member 45 on the outer peripheral surface, blocking outside air and cleaning liquid entering the inside of the container body 10 from between the holding cylinder 42 and the inner peripheral surface of the through hole 18. Moreover, the gas which leaks from the inside of the container main body 10 can be shut off.

ところで、バルブ体４０は、保持筒４２の内周壁にシール部材４７を介して取り付けられ、保持筒４２との間にフィルタ４６を保持する中蓋筒４３も有している。 Incidentally, the valve body 40 is also attached to the inner peripheral wall of the holding cylinder 42 via a seal member 47, and also has an inner lid cylinder 43 that holds the filter 46 between the holding cylinder 42.

中蓋筒４３は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体１０の内部側に、フィルタ４６が載置されるようになっている。また、中蓋筒４３の外周面には突起が形成されており、保持筒４２の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒４３は、保持筒４２に連結され取り付けられている。 The inner lid cylinder 43 is formed in a bottomed cylindrical shape with the outer side of the container body 10 opened, and the filter 46 is placed on the inner side of the container body 10. Further, protrusions are formed on the outer peripheral surface of the inner lid cylinder 43, and the inner lid cylinder 43 is attached to the holding cylinder 42 by engaging with an engaging groove formed on the inner peripheral surface side of the holding cylinder 42. Connected and attached.

この中蓋筒４３は、一端が容器本体１０の内部に連通するとともに、第１筒部４１０の他端から離間して設けられる第２筒部４３０が形成されている。第２筒部４３０は、通気口４２１と連通しながら、中央開口の周縁から立ち上がって、固定筒４１に形成された第１筒部４１０に向かって延びている。また、第２筒部４３０と通気口４２１とで、第１通路４１００が形成されている。なお、第１筒部４１０の外径及び第２筒部４３０の外径は、等しい直径で形成されている。 One end of the inner lid cylinder 43 communicates with the inside of the container body 10, and a second cylinder part 430 that is provided apart from the other end of the first cylinder part 410 is formed. The second cylinder portion 430 rises from the peripheral edge of the central opening and extends toward the first cylinder portion 410 formed in the fixed cylinder 41 while communicating with the vent hole 421. In addition, a first passage 4100 is formed by the second tube portion 430 and the vent hole 421. In addition, the outer diameter of the 1st cylinder part 410 and the outer diameter of the 2nd cylinder part 430 are formed by the equal diameter.

上述した固定筒４１、保持筒４２及び中蓋筒４３は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。また、シール部材４５，４７には、例えば、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴムなどの材料から形成された、Ｏリングなどが用いられている。 The fixed cylinder 41, the holding cylinder 42, and the inner lid cylinder 43 described above are molded using a thermoplastic resin such as polycarbonate, polyether imide, polyether ether ketone, or liquid crystal polymer. For the seal members 45 and 47, for example, an O-ring formed from a material such as fluorine rubber, NBR rubber, urethane rubber, EPDM rubber, or silicone rubber is used.

さらに、バルブ体４０は、第１筒部４１０の他端と、第２筒部４３０の他端との間に設けられる弾性体４４を有している。弾性体４４は、内部通路４４００を有する円筒状であり、第１筒部４１０の他端と、第２筒部４３０の他端と、を覆うように密着して取り付けられている。 Further, the valve body 40 has an elastic body 44 provided between the other end of the first tube portion 410 and the other end of the second tube portion 430. The elastic body 44 has a cylindrical shape having an internal passage 4400 and is attached in close contact so as to cover the other end of the first tube portion 410 and the other end of the second tube portion 430.

つまり、給気又は排気される気体が、第１筒部４１０の第１通路４１００と、弾性体４４の内部通路４４００と、第２筒部４３０の第２通路４３００と、のみを通って流れるように、第１筒部４１０と第２筒部４３０との間を、確実にシールしており、位置ズレが起きることもない。 That is, the supplied or exhausted gas flows only through the first passage 4100 of the first cylinder portion 410, the internal passage 4400 of the elastic body 44, and the second passage 4300 of the second cylinder portion 430. Moreover, the gap between the first tube portion 410 and the second tube portion 430 is reliably sealed, and no positional deviation occurs.

また、弾性体４４は、第１筒部４１０の第１通路４１００と、第２筒部４３０の第２通路４３００と、を仕切る仕切板４４０を有し、仕切板４４０には、少なくとも１本のスリット４４１形成されている（図３及び図４参照）。なお、本実施形態では、仕切板４４０に、２本のスリット４４１が交差して形成されているが、３本以上であってもよい。また、スリット４４１は、圧力が加わらない場合に、スリット４４１が密着して、気体の流通を遮断できる形状であればよく、直線に限らず、弓状やＳ字形状の曲線であってもよい。 The elastic body 44 includes a partition plate 440 that partitions the first passage 4100 of the first tube portion 410 and the second passage 4300 of the second tube portion 430. The partition plate 440 includes at least one partition plate 440. A slit 441 is formed (see FIGS. 3 and 4). In this embodiment, two slits 441 are formed in the partition plate 440 so as to intersect with each other, but three or more slits may be used. In addition, the slit 441 may have a shape that allows the slit 441 to be in close contact and block the gas flow when no pressure is applied. The slit 441 is not limited to a straight line, and may be an arcuate or S-shaped curve. .

仕切板４４０は、円板状であり、交差する溝部４４２が仕切板４４０を四等分するように形成され、溝部４４２にスリット４４１が形成されている。つまり、仕切板４４０は、スリット４４１により、４つの扇形状の仕切片４４３に分割されている。 The partition plate 440 has a disc shape, and is formed such that intersecting groove portions 442 divide the partition plate 440 into four equal parts, and slits 441 are formed in the groove portions 442. That is, the partition plate 440 is divided into four fan-shaped partition pieces 443 by the slits 441.

仕切板４４０にスリット４４１を形成する場合は、カッターなどで切断するか、金型による成形時に同時に形成するとよい。スリット４４１は、仕切板４４０の厚さにもよるが、０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅で形成されるとよい。 In the case where the slit 441 is formed in the partition plate 440, it may be formed by cutting with a cutter or the like at the same time as molding with a mold. The slit 441 may be formed with a width of 0.1 mm to 1.0 mm, depending on the thickness of the partition plate 440.

例えば、スリット４４１を０．１ｍｍより小さい幅で形成すると、仕切片４４３同士の密着固定が解消されないことがあり、１．０ｍｍより大きい幅で形成すると、仕切片４４３同士が密着せず、気体が漏れることがあり、加わる陽圧が小さくても（容器本体１０の内部と外部との間に圧力差が小さくても）気体の流通を遮断できなくなることがある。ただし、弾性体４４の材料に低粘着性のものを用いるか、弾性体４４の表面粗さを粗くすると、スリット４４１を０．１ｍｍより小さい幅で形成しても、仕切片４４３同士の密着固定が起きないようにすることができる。 For example, if the slit 441 is formed with a width smaller than 0.1 mm, the tight fixing between the partition pieces 443 may not be canceled. If the slit 441 is formed with a width larger than 1.0 mm, the partition pieces 443 do not adhere to each other, and the gas Even if the positive pressure applied is small (even if the pressure difference between the inside and the outside of the container body 10 is small), the gas flow may not be blocked. However, if the elastic body 44 is made of a material having low adhesiveness or the surface roughness of the elastic body 44 is made rough, even if the slit 441 is formed with a width smaller than 0.1 mm, the partition pieces 443 are closely fixed to each other. Can be prevented.

このように、仕切板４４０に０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅のスリット４４１を形成することにより、仕切片４４３同士が重なり合うなどの干渉を防止することができ、また、仕切片４４３同士が、弾性体４４自体の粘着性や弾性による粘着や吸着などの密着固定を防止することができるため、仕切板４４０が動作不能になることがなく、適切に気体を流通又は遮断することができ、また、異物の侵入を防止することもできる。 In this way, by forming the slit 441 having a width of 0.1 mm to 1.0 mm in the partition plate 440, interference such as the partition pieces 443 overlapping can be prevented, and the partition pieces 443 are elastic. Since it is possible to prevent adhesion and fixation such as adhesion and adsorption due to the adhesiveness and elasticity of the body 44 itself, the partition plate 440 can be prevented from becoming inoperable, and gas can be circulated or blocked appropriately, Intrusion of foreign matter can also be prevented.

弾性体４４の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどを用いることができる。 As the material of the elastic body 44, various rubbers, thermoplastic elastomer resins, and the like can be used. For example, thermoplastic elastomers such as polyester elastomers, polyolefin elastomers, fluorine elastomers, urethane elastomers, fluorine rubber, ethylene propylene rubber, silicone rubber, and the like can be used.

そして、フィルタ４６は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。 And the filter 46 filters the gas supplied or discharged | emitted, Filter materials, such as a porous membrane which consists of tetrafluoroethylene, polyester fiber, a fluororesin, etc., a molecular filtration filter which consists of glass fiber, etc., activated carbon fiber It is selected from a chemical filter in which a chemical adsorbent is supported.

フィルタ４６は、保持筒４２と中蓋筒４３との間に、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４６を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４６は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４６の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。 One or more filters 46 are held between the holding cylinder 42 and the inner lid cylinder 43. In the case where a plurality of filters 46 are used, they may be of the same type, but it is possible to prevent contamination of organic matter in addition to particles by combining those having different properties. preferable. For example, the filter 46 also has a function of suppressing the passage of liquid so that liquid such as water and cleaning liquid does not stay when the container body 10 is washed. Therefore, a hydrophobic or hydrophilic material is provided on one side of the filter 46. May be used to further suppress the permeation of the liquid.

最後に、バルブ体４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図３及び図５（ａ）において、第１筒部４１０の第１通路４１００及び第２筒部４３０の第２通路４３００に陽圧が加わらないと、弾性体４４は、スリット４４１を閉じ、仕切片４４３同士を密着させて、内部通路４４００を遮断し、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。 Finally, the state in which the valve body 40 controls the flow of gas will be described.
3 and 5A, when positive pressure is not applied to the first passage 4100 of the first tube portion 410 and the second passage 4300 of the second tube portion 430, the elastic body 44 closes the slit 441 and partitions The pieces 443 are brought into close contact with each other to block the internal passage 4400 and block the flow of gas to either side.

例えば、図５（ｂ）に矢印で示したように、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて仕切片４４３が上方に折れ曲がる（捲れ上がる）ように変形することで、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃを形成する。そして、第１筒部４１０側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第２筒部４３０側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。 For example, as indicated by an arrow in FIG. 5B, when a positive pressure of a predetermined value or more is applied to the first passage 4100 of the first tube portion 410, the elastic body 44 is partitioned according to the magnitude of the positive pressure. A gap C is formed between the partition pieces 443 by deforming so that the pieces 443 bend upward (roll up). And the gas from the 1st cylinder part 410 side passes through this clearance gap C, distribute | circulates to the 2nd cylinder part 430 side, and is supplied to the inside of the container main body 10. FIG.

また、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陰圧が加わった場合は、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用し、図５（ｂ）に矢印で示したように、弾性体４４は、仕切片４４３が上方に折れ曲がる（捲れ上がる）ように変形することで、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃを形成する。 Further, when a negative pressure greater than or equal to a predetermined value is applied to the second passage 4300 of the second tube portion 430, it acts in the same manner as when a positive pressure greater than or equal to a predetermined value is applied to the first passage 4100 of the first tube portion 410. 5B, the elastic body 44 is deformed so that the partition piece 443 bends upward (rolls up), thereby forming a gap C between the partition pieces 443. .

逆に、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陽圧が加わっても、弾性体４４の仕切片４４３は逆方向の下方に変形し、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃを形成する。そして、第２筒部４３０側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第１筒部４１０側へ流通し、容器本体１０の外部に排出される。 Conversely, even when a positive pressure of a predetermined value or more is applied to the second passage 4300 of the second cylindrical portion 430, the partition piece 443 of the elastic body 44 is deformed downward in the reverse direction, and the gap C between the partition pieces 443 is separated. Form. And the gas from the 2nd cylinder part 430 side passes through this clearance gap C, distribute | circulates to the 1st cylinder part 410 side, and is discharged | emitted outside the container main body 10. FIG.

また、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陰圧が加わった場合も、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用する。 In addition, when a negative pressure of a predetermined value or more is applied to the first passage 4100 of the first tube portion 410, the same action as when a positive pressure of a predetermined value or more is applied to the second passage 4300 of the second tube portion 430 is performed. To do.

このように、実施形態のバルブ体４０は、いずれか一方側からの、気体の流通を遮断又は可能とするものではなく、双方向の気体の流通を遮断又は可能とすることができる。そして、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度、仕切板４４０の厚み、直径、スリット４４１の個数を変更することで調節可能である。 Thus, the valve body 40 of the embodiment does not block or enable the flow of gas from any one side, but can block or enable the flow of bidirectional gas. The predetermined value of the pressure at which the gas can flow can be adjusted by changing the material of the elastic body 44, the hardness, the thickness of the partition plate 440, the diameter, and the number of slits 441.

例えば、基板収納容器１の内部の気体を、排気部１７から強制的に排気し、パージ状態の検知やガスや混入物の分析を行う場合でも、排気部１７に接続されたバルブ体４０の第１筒部４１０の第１通路４１００側に陰圧が加わることになり、排気部１７に接続されたバルブ体４０は、仕切板４４０の隙間Ｃを開放する。また、基板収納容器１の内部の気体を、排気部１７から強制的に排気せず、給気部１６から気体を供給するだけの場合は、排気部１７に接続されたバルブ体４０の第２筒部４３０の第２通路４３００側に陽圧が加わることになり、排気部１７に接続されたバルブ体４０は、仕切板４４０の隙間Ｃを開放し、給気部１６に接続されたバルブ体４０は、第１筒部４１０の第１通路４１００側に陽圧が加わることになり、仕切板４４０の隙間Ｃを開放する。 For example, even when the gas inside the substrate storage container 1 is forcibly exhausted from the exhaust unit 17 and the purge state is detected or the analysis of gas or contaminants is performed, the first of the valve body 40 connected to the exhaust unit 17 is used. Negative pressure is applied to the first tube portion 410 on the first passage 4100 side, and the valve body 40 connected to the exhaust portion 17 opens the gap C of the partition plate 440. Further, when the gas inside the substrate storage container 1 is not forcibly exhausted from the exhaust part 17 but only supplied from the air supply part 16, the second of the valve body 40 connected to the exhaust part 17. A positive pressure is applied to the second passage 4300 side of the cylinder part 430, and the valve body 40 connected to the exhaust part 17 opens the gap C of the partition plate 440 and is connected to the air supply part 16. 40, a positive pressure is applied to the first passage 4100 side of the first tube portion 410, and the gap C of the partition plate 440 is opened.

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０と、を備える基板収納容器１であって、バルブ体４０は、容器本体１０の外部に連通する第１通路４１００と、容器本体１０の内部に連通する第２通路４３００とを仕切る弾性体４４、を有し、弾性体４４は、第１通路４１００に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、第２通路４３００に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、容器本体１０に対する気体の流通を可能にするとともに、第１通路４１００及び第２通路４３００に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、容器本体１０に対する気体の流通を遮断するものである。また、弾性体４４は、第１通路４１００と第２通路４３００とを仕切る仕切板４４０を有し、仕切板４４０は、少なくとも１本のスリット４４１が形成され、スリット４４１は、変形することで隙間Ｃが形成される。 As described above, the substrate storage container 1 according to the embodiment of the present invention has a container main body 10 that stores the substrate W, a lid body 20 that closes the opening 11 of the container main body 10, and gas flow to the container main body 10. The substrate storage container 1 includes a valve body 40 to be controlled, and the valve body 40 includes a first passage 4100 that communicates with the outside of the container body 10 and a second passage 4300 that communicates with the inside of the container body 10. The elastic body 44 has a partition, and the elastic body 44 is deformed both when a positive pressure or a negative pressure is applied to the first passage 4100 and when a positive pressure or a negative pressure is applied to the second passage 4300. Thus, the flow of gas to the container body 10 is enabled, and the flow of gas to the container body 10 is blocked when positive pressure and negative pressure are not applied to the first passage 4100 and the second passage 4300. That. The elastic body 44 includes a partition plate 440 that partitions the first passage 4100 and the second passage 4300. The partition plate 440 is formed with at least one slit 441, and the slit 441 is deformed to form a gap. C is formed.

これにより、バルブ体４０の一方側から気体が導入され（陽圧になり）、所定の圧力値になると、弾性体４４の仕切板４４０の仕切片４４３が変形し、スリット４４１も変形し、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃが形成されるため、導入された気体はバルブ体４０の他方側へ供給されることになる。 Thereby, when gas is introduced from one side of the valve body 40 (positive pressure) and reaches a predetermined pressure value, the partition piece 443 of the partition plate 440 of the elastic body 44 is deformed, the slit 441 is also deformed, and the partition Since the gap C is formed between the pieces 443, the introduced gas is supplied to the other side of the valve body 40.

また、基板収納容器１は、金属性の部材を用いないバルブ体４０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０が作動しないようなことが起こり難い。 Further, since the substrate storage container 1 includes the valve body 40 that does not use a metal member, even if there is a metal corrosive residual material in the substrate W to be stored, the problem of metal corrosion does not occur, and the valve It is unlikely that the body 40 will not operate.

さらに、基板収納容器１は、双方向の気体の流通を制御するバルブ体４０を備えているため、同じバルブ体４０を容器本体１０の貫通孔１８に取り付けるだけで、給気部１６や排気部１７の位置や個数にかかわらず、あらゆる気体の給気及び排気ルートに対応することができる。 Furthermore, since the substrate storage container 1 includes the valve body 40 that controls the flow of bidirectional gas, the air supply section 16 and the exhaust section can be simply installed by attaching the same valve body 40 to the through hole 18 of the container body 10. Regardless of the position and number of the 17, it is possible to correspond to all gas supply and exhaust routes.

くわえて、実施形態の基板収納容器１を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差は見られなかった。 In addition, a humidity holding test was performed using the substrate storage container 1 of the embodiment, but no significant difference was observed in the humidity reduction over time with respect to the conventional one.

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.

（変形例）
上記実施形態では、バルブ体４０の弾性体４４は、第１筒部４１０の他端と、第２筒部４３０の他端と、を覆うように取り付けられていたが、固定筒４１及び中蓋筒４３に第１筒部４１０及び第２筒部４３０を形成することなく、固定筒４１及び中蓋筒４３で挟持されるように取り付けられてもよい。 (Modification)
In the above embodiment, the elastic body 44 of the valve body 40 is attached so as to cover the other end of the first cylinder portion 410 and the other end of the second cylinder portion 430. However, the fixed cylinder 41 and the inner lid Instead of forming the first cylinder portion 410 and the second cylinder portion 430 in the cylinder 43, the cylinder 43 may be attached so as to be sandwiched between the fixed cylinder 41 and the inner lid cylinder 43.

図６は、変形例のバルブ体４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図６に示すように、弾性体４４は、外部に連通する固定筒４１の上面と、内部に連通する中蓋筒４３の下面との間に位置し、固定筒４１と保持筒４２とを組み合わせた際に、長手方向に若干押し潰され、挟持された状態で取り付けられている。このとき、第１通路４１００又は第２通路４３００は、固定筒４１、保持筒４２及び中蓋筒４３のいずれかに直接形成される。 FIGS. 6A and 6B are schematic cross-sectional views respectively showing (a) a state where the gas flow is blocked and (b) a state where the gas flow is enabled.
As shown in FIG. 6, the elastic body 44 is located between the upper surface of the fixed cylinder 41 communicating with the outside and the lower surface of the inner lid cylinder 43 communicating with the inside, and combines the fixed cylinder 41 and the holding cylinder 42. When pressed, it is crushed slightly in the longitudinal direction and attached in a sandwiched state. At this time, the first passage 4100 or the second passage 4300 is directly formed in any of the fixed cylinder 41, the holding cylinder 42, and the inner lid cylinder 43.

また、上記実施形態では、第１筒部４１０の外径及び第２筒部４３０の外径は、すべて等しい直径で形成されていたが、異なる直径で形成されてもよい。また、第１筒部４１０、第２筒部４３０及び弾性体４４は、円筒状に限らず、弾性体４４のスリット４４１によって仕切板４４０が変形することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御できれば、どのような形状であってもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the outer diameter of the 1st cylinder part 410 and the outer diameter of the 2nd cylinder part 430 were all formed with the same diameter, you may form with a different diameter. Moreover, the 1st cylinder part 410, the 2nd cylinder part 430, and the elastic body 44 are not restricted cylindrical, The flow of the gas with respect to the container main body 10 is controlled because the partition plate 440 deform | transforms with the slit 441 of the elastic body 44. Any shape is possible as long as possible.

さらに、上記実施形態では、保持筒４２は、貫通孔１８に嵌められた固定筒４１の内側に組み合わされたが、逆に、固定筒４１が、貫通孔１８に嵌められた保持筒４２の内側に組み合わされてもよい。また、バルブ体４０は中蓋筒４３を有したが、中蓋筒４３を有さず、第２筒部４３０が保持筒４２に直接形成されてもよい。この場合、フィルタ４６は、保持筒４２に直接接着又は溶着されるとよい。 Further, in the above embodiment, the holding cylinder 42 is combined inside the fixed cylinder 41 fitted in the through hole 18, but conversely, the fixed cylinder 41 is inside the holding cylinder 42 fitted in the through hole 18. May be combined. Further, although the valve body 40 has the inner lid cylinder 43, the second cylinder portion 430 may be formed directly on the holding cylinder 42 without having the inner lid cylinder 43. In this case, the filter 46 may be directly bonded or welded to the holding cylinder 42.

また、上記実施形態において、フィルタ４６は、バルブ体４０とは別に、気体供給源から、容器本体１０の内部の気体放出口までの気体流路中に配置してもよい。 In the above embodiment, the filter 46 may be arranged in a gas flow path from the gas supply source to the gas discharge port inside the container body 10, separately from the valve body 40.

また、上記実施形態では、弾性体４４は、双方向にほぼ同じ圧力で作動するように構成されていたが、双方向の作動（開放）圧力を異ならせるように構成してもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the elastic body 44 was comprised so that it might operate | move with the substantially same pressure bidirectionally, you may comprise so that a bidirectional | two-way operating (opening) pressure may differ.

ところで、上記実施形態では、バルブ体４０は、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に形成された貫通孔１８に取り付けられるように構成されたが、容器本体１０などに設けられた気体流路（配管）、例えば、給気部１６又は排気部１７の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。 By the way, in the said embodiment, although the valve body 40 was comprised so that it might be attached to the through-hole 18 formed in at least one of the container main body 10 and the cover body 20, the gas flow path provided in the container main body 10 grade | etc., (Piping), for example, may be configured to be attached in the middle of a gas flow path communicating with at least one of the air supply unit 16 or the exhaust unit 17.

図７は、第２実施形態の容器本体１０におけるバルブ体４０を示す概略断面図である。
図７に示すように、容器本体１０の開口１１側に位置し、外部の気体供給源からの気体供給配管に連結される気体導入部５０に連通する連通する配管の一端を第１筒部４１０とし、容器本体１０の背面側に位置し、給気部１６又は排気部１７に連通する配管の一端を第２筒部４３０とし、これらを覆うように、弾性体４４を設けて、略パイプ状の構成としてもよい。 FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing the valve body 40 in the container body 10 of the second embodiment.
As shown in FIG. 7, one end of the pipe that communicates with the gas introduction part 50 that is located on the opening 11 side of the container body 10 and that is connected to the gas supply pipe from the external gas supply source is connected to the first cylinder part 410. One end of a pipe that is located on the back side of the container body 10 and communicates with the air supply unit 16 or the exhaust unit 17 is defined as a second cylindrical portion 430, and an elastic body 44 is provided so as to cover these, and is substantially pipe-shaped. It is good also as a structure of.

このとき、第１筒部４１０及び第２筒部４３０は、剛性の高い樹脂製の配管であっても、可撓性を有するチューブであってもよい。 At this time, the first tube portion 410 and the second tube portion 430 may be a highly rigid resin pipe or a flexible tube.

第２実施形態の基板収納容器１であっても、金属性の部材を用いないバルブ体４０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０が作動しないようなことが起こり難い。 Even the substrate storage container 1 of the second embodiment includes the valve body 40 that does not use a metal member. Therefore, even if there is a metal corrosive residual material on the substrate W to be stored, the metal corrosion is not caused. It is difficult for a problem not to occur and for the valve body 40 not to operate.

また、気体導入部５０から第１筒部４１０を介したバルブ体４０までの距離が長く、また、気体導入部５０の内部通路５０００と、第１筒部４１０の第１通路４１００とが略直角方向に屈曲しているため、容器本体１０を液体で洗浄した場合でも、バルブ体４０まで液体が届き難くなり、容器本体１０の乾燥後の水残りを防止することができる。そして、バルブ体４０（仕切板４４０）よりも奥側の給気部１６及び排気部１７には、液体が届くことがない。 Further, the distance from the gas introduction part 50 to the valve body 40 via the first cylinder part 410 is long, and the internal passage 5000 of the gas introduction part 50 and the first passage 4100 of the first cylinder part 410 are substantially perpendicular to each other. Since it is bent in the direction, even when the container main body 10 is washed with liquid, it becomes difficult for the liquid to reach the valve body 40, and water remaining after the container main body 10 is dried can be prevented. The liquid does not reach the air supply unit 16 and the exhaust unit 17 on the back side of the valve body 40 (partition plate 440).

１基板収納容器
１０容器本体、１１開口、１２シール面、１３支持体、１４ロボティックフランジ、１５マニュアルハンドル、１６給気部、１７排気部、１８貫通孔、１８０リブ
２０蓋体、２１取付溝、２２凸部
３０パッキン
４０バルブ体
４１固定筒、４１０第１筒部、４１１通気口、４１２螺子溝、４１３フランジ、４１００第１通路、
４２保持筒、４２１通気口、４２２螺子溝、４２３フランジ、４２４区画リブ
４３中蓋筒、４３０第２筒部、４３００第２通路
４４弾性体、４４０仕切板、４４１スリット、４４２溝部、４４３仕切片、４４００内部通路
４５シール部材、４６フィルタ、４７シール部材
５０気体導入部、５０００内部通路
Ｗ基板
Ｃ隙間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate storage container 10 Container body, 11 Opening, 12 Sealing surface, 13 Support body, 14 Robotic flange, 15 Manual handle, 16 Air supply part, 17 Exhaust part, 18 Through hole, 180 Rib 20 Lid body, 21 Mounting groove , 22 Protrusion 30 Packing 40 Valve body 41 Fixed cylinder, 410 First cylinder part, 411 Vent, 412 Screw groove, 413 Flange, 4100 First passage,
42 holding cylinder, 421 vent hole, 422 screw groove, 423 flange, 424 partition rib 43 inner lid cylinder, 430 second cylinder portion, 4300 second passage 44 elastic body, 440 partition plate, 441 slit, 442 groove portion, 443 partition piece 4400 Internal passage 45 Seal member, 46 Filter, 47 Seal member 50 Gas introduction part, 5000 Internal passage W Substrate C Clearance

Claims

基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とを仕切る弾性体を有し、
前記弾性体は、前記第１通路に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、前記第２通路に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１通路及び前記第２通路に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする基板収納容器。 A container body for storing a substrate;
A lid for closing the opening of the container body;
A substrate storage container comprising a valve body that controls the flow of gas to the container body,
The valve body is
An elastic body that partitions the first passage communicating with the outside of the container body and the second passage communicating with the inside of the container body;
The elastic body deforms both when a positive pressure or a negative pressure is applied to the first passage and when a positive pressure or a negative pressure is applied to the second passage, so that the gas flows to the container body. A substrate storage container characterized by enabling the flow and blocking the flow of the gas to the container body when positive pressure and negative pressure are not applied to the first passage and the second passage.

前記弾性体は、前記第１通路と前記第２通路とを仕切る仕切板を有し、
前記仕切板は、少なくとも１本のスリットが形成され、
前記スリットは、変形することで隙間が形成される
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。 The elastic body has a partition plate that partitions the first passage and the second passage,
The partition plate is formed with at least one slit,
The substrate storage container according to claim 1, wherein the slit is deformed to form a gap.

前記スリットは、０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅で形成される
ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。 The substrate storage container according to claim 2, wherein the slit is formed with a width of 0.1 mm to 1.0 mm.

前記弾性体は、内部通路を有する筒状であるとともに、前記第１通路と、前記内部通路と、前記第２通路と、のみを前記気体が流れるように、前記第１通路と前記第２通路との間を、シールする
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。 The elastic body has a cylindrical shape having an internal passage, and the first passage and the second passage so that the gas flows only through the first passage, the internal passage, and the second passage. The substrate storage container according to any one of claims 1 to 3, characterized in that a gap between and is sealed.

前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、
前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成される
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。 The first passage is formed in a fixed cylinder fitted into a through hole formed in the container body,
The substrate storage container according to any one of claims 1 to 4, wherein the second passage is formed in a holding cylinder combined with the fixed cylinder.

前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、
前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成される
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。 The first passage is formed in a fixed cylinder fitted into a through hole formed in the container body,
The substrate storage container according to any one of claims 1 to 4, wherein the second passage is formed in an inner lid cylinder connected to a holding cylinder combined with the fixed cylinder.

前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する
ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の基板収納容器。 The substrate storage container according to any one of claims 1 to 6, wherein the valve body includes a filter that filters the gas.

前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。 The substrate storage container according to any one of claims 1 to 4, wherein the valve body is attached in the middle of a gas flow path provided in the container main body.