JP2018202582A - 加工方法及び加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】良好な加工精度で効率良く加工が行える加工方法及び加工装置を提供する。【解決手段】加工装置１により加工具２をワークＷの表面に沿って移動させて、ワークＷの表面加工を行う加工方法であって、ワークＷの加工すべき領域の一部を先行して表面加工を行い（Ｓ１４）、先行して表面加工したワークＷの表面の形状を計測し（Ｓ１６）、計測されたワークＷの加工形状に基づいて加工具２の移動の軌道を設定し（Ｓ１８）、設定された加工具２の移動の軌道に従って加工すべき領域の表面加工を行う（Ｓ２０）。【選択図】図３

Description

本発明は、被加工物の加工を行う加工方法及び加工装置に関する。

従来、被加工物（ワーク）の加工を行う加工方法及び加工装置として、例えば、特開２０１５−１３９８３１号公報に記載されるように、加工具をワークの表面に沿って移動させ、ワークの表面を研磨する加工方法及び加工装置が知られている。この加工方法及び加工装置は、ロボットアームを備えた研磨ロボットを用い、加工具を回転させながら予め設定された軌道に沿って加工具を移動させ、ワークの表面を研磨する。

特開２０１５−１３９８３１号公報

しかしながら、上述した加工方法及び加工装置においては、研磨などの表面加工を自動化した場合であっても、表面加工を効率良く行うことは難しい。例えば、加工具を選定し、加工具の加工軌道を設定して、ロボットアームの制御により自動加工を行ったとしても、その加工後に加工状態を目視検査した結果、加工状態が不十分であれば追加で加工を行い、表面加工を繰り返さなければならない。つまり、研磨などの表面加工は、実際に加工してみないと、加工の仕上がり具合が想定しにくく、繰り返して加工を行うことが少なくない。この場合、研磨などの表面加工に多大な時間を要することとなる。

そこで、良好な加工精度で効率良く加工が行える加工方法及び加工装置の開発が望まれている。

本発明の一態様に係る加工方法は、加工装置により加工具を被加工物の表面に沿って移動させて、被加工物の表面加工を行う加工方法であって、被加工物の加工すべき領域の一部に対し先行して表面加工を行う先行加工工程と、先行加工工程にて表面加工した被加工物の表面の形状を計測する計測工程と、計測工程にて計測された被加工物の表面の形状に基づいて加工具の移動の軌道を設定する設定工程と、設定工程にて設定された加工具の移動の軌道に従って、加工すべき領域の表面加工を行う本加工工程とを含んで構成される。この加工方法によれば、被加工物の加工すべき領域の一部に対し先行して表面加工を行い、この表面加工による被加工物の表面の形状に基づいて加工具の移動の軌道を設定し、加工すべき領域の全体を表面加工する。先行加工によって加工具の加工形状が確認できるため、本加工での加工具の移動の軌道が適切に設定でき、所望の加工精度で表面加工が行える。従って、加工精度を上げるために本加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

また、この加工方法において、設定工程は、計測工程にて計測された被加工物の表面の形状に基づき、加工具を同方向に繰り返して移動させ、または、加工具を同方向及び逆方向に繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道と軌道の間隔を設定してもよい。この場合、先行加工による被加工物の加工形状に基づき、加工具を繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道と軌道の間隔を設定することにより、十分な加工精度で表面加工が行える軌道を設定することができる。このため、本加工後に加工精度を上げるために更に本加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

本発明の一態様に係る加工装置は、加工具を被加工物の表面に沿って移動させて、被加工物の表面加工を行う加工装置であって、被加工物の表面に沿って前記加工具を移動させて加工を行う加工実行部と、先行して行った被加工物の表面加工の加工形状に基づいて加工具の移動の軌道を設定し、この設定された軌道に基づき加工実行部に制御信号を出力して加工実行部の表面加工の制御を行う制御部とを備えて構成される。この加工装置によれば、先行して行った被加工物の表面加工の加工形状に基づいて加工具の移動の軌道を設定し、この設定された軌道に基づき加工実行部の表面加工を制御する。これにより、先行の加工により加工具による加工形状が確認できるため、加工具の移動の軌道が適切に設定でき、所望の加工精度で表面加工が行える。従って、加工精度を上げるために加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

また、上述の加工装置において、制御部は、先行して行った被加工物の表面加工の形状に基づき、加工具を同方向に繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道と軌道の間隔を設定し、この設定された間隔の軌道に基づき加工実行部に制御信号を出力して加工実行部の表面加工の制御を行ってもよい。この場合、先行して行った被加工物の表面加工の形状に基づき、加工具を同方向に繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道と軌道の間隔を設定し、この設定された間隔の軌道に基づいて加工実行部の表面加工の制御が行われる。このため、十分な加工精度で表面加工が行える軌道を設定することができる。従って、加工精度を上げるために加工領域全体の表面加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

本発明によれば、被加工物の表面加工が良好な加工精度で効率良く行える。

本発明の実施形態に係る加工装置の構成を示す概略図である。 図１の加工装置におけるワークの表面加工の状況を示す図である。 実施形態に係る加工方法を示すフローチャートである。 図３の加工方法における先行加工工程の説明図である。 図４の先行加工における加工形状を示すグラフである。 図３の加工方法における本加工工程の説明図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の実施形態に係る加工装置１の構成の概要図である。図１に示されるように、加工装置１は、加工具２を用いてワークＷの表面加工を行う装置である。ワークＷは、加工装置１により加工される被加工物であり、ワーク保持台９１に固定して保持される。ワークＷとしてはあらゆる部品を適用することができる。ワークＷの例としては、金型、エンジン構成部品など挙げられる。加工装置１は、曲面を有するワークＷの加工に適している。本実施形態では、表面加工として、ワークＷの研磨を行う場合について説明する。

加工装置１は、加工具２の位置及び姿勢の調整を行うロボットアーム３を備えている。ロボットアーム３は、加工具２を用いて加工を実行する加工実行部として機能する。ロボットアーム３は、複数のリンク部３１〜３４及び複数の関節部３５〜３７を有し、加工具２の位置及び姿勢を変更可能に構成されている。リンク部３１〜３４は、軸方向に延びる棒状の部材である。リンク部３１は鉛直方向に向けられ、その基端側がベース部材３８の上面に取り付けられている。リンク部３１は、このリンク部３１の軸線を中心に回転可能に構成されている。リンク部３１の先端側には、関節部３５を介してリンク部３２が取り付けられている。関節部３５は、水平方向の軸線を中心に回転可能に構成されている。関節部３５の回転動作により、リンク部３２が関節部３５の回転軸を中心に回転する。

リンク部３２の先端側には、関節部３６を介してリンク部３３が取り付けられている。関節部３６は、水平方向の軸線を中心に回転可能に構成されている。関節部３６の回転動作により、リンク部３３が関節部３６の回転軸を中心に回転する。リンク部３３は、このリンク部３３の軸線を中心に回転可能に構成されている。リンク部３３の先端側には、関節部３７を介してリンク部３４が取り付けられている。関節部３７は、水平方向の軸線を中心に回転可能に構成されている。関節部３７の回転動作により、リンク部３４が関節部３７の回転軸を中心に回転する。リンク部３４は、このリンク部３４の軸線を中心に回転可能に構成されている。

リンク部３４の先端側には、スピンドルモータ４が取り付けられている。スピンドルモータ４は、加工具２を回転させる回転部として機能する。なお、加工装置１の回転部としては、加工具２を回転させることができれば、スピンドルモータ４以外のものを用いてもよく、例えばスピンドルとモータが別体に構成されたものを用いることができる。

スピンドルモータ４の先端側には、加工具２が取り付けられている。加工具２は、ワークＷに当接されて回転して、ワークＷを研磨する部材である。この加工具２としては、例えばゴム砥石が用いられる。具体的には、加工具２は、シャフト２１の先端に円板型の砥石部２２を取り付けて構成される。加工具２は、シャフト２１の基端側をスピンドルモータ４に取り付けられて用いられる。スピンドルモータ４の回転に応じてシャフト２１及び砥石部２２が回転し、砥石部２２がワークＷに当接され、ワークＷの研磨が行われる。

スピンドルモータ４の基端側には、力覚センサ５が取り付けられている。力覚センサ５は、加工具２に作用する外力を検出するセンサである。力覚センサ５は、当該力覚センサ５よりも先端側の部分に作用する外力を検出する。力覚センサ５としては、例えば直交三軸方向の力と各軸周りのトルクを計測可能な六軸センサが用いられる。このため、力覚センサ５は、加工具２に作用する六自由度の外力と三軸周りのトルクを検出することができる。なお、外力を検出する力センサは、加工具２に作用する外力が検出できるものであれば、力覚センサ５以外のセンサを用いてもよい。

加工装置１は、制御部６を備えている。制御部６は、加工装置１の加工制御を行う制御ユニットである。制御部６は、例えば、一つのコンピュータ又は電子制御ユニットにより構成されていてもよいし、パーソナルコンピュータ及びコントローラにより構成してもよい。制御部６は、加工具２の目標加工データの入力に応じて、加工具２を回転させつつロボットアーム３を作動させて加工具２を移動させ、ワークＷの研磨を行わせる。例えば、制御部６には、先行して行ったワークＷの加工形状に基づいて加工具２の移動の軌道が設定される。制御部６は、この設定された軌道に基づいてロボットアーム３に制御信号を出力して加工制御を行う。具体的には、本加工として、加工具２の軌道をずらして同方向に繰り返して移動させて表面加工を行う場合、隣り合う軌道と軌道の間隔が設定され、各軌道が設定される（図６参照）。この軌道の設定は、先行加工の加工形状に基づいて制御部６が行ってもよいし、先行加工の加工形状に基づいて作業者が制御部６に設定して行われてもよい。なお、軌道の設定の詳細については、後述する。

図１に示すように、制御部６は、ロボットアーム３と電気的に接続され、関節部３５〜３７及びリンク部３１、３３、３４に対し制御信号を出力して関節部３５〜３７及びリンク部３１、３３、３４の回転動作を調整する。また、制御部６は、関節部３５〜３７及びリンク部３１、３３、３４の回転情報を入力し、関節部３５〜３７及びリンク部３１、３３、３４の回転状態を認識する。制御部６は、力覚センサ５と電気的に接続され、力覚センサ５の検知信号を入力し、加工具２の押付力を認識する。

加工装置１は、例えば、加工具２の力制御及び位置制御により、ワークＷの研磨を行う。制御部６は、設定された押付力で加工具２がワークＷを押し付けるようにロボットアーム３を作動させて力制御を行う。上述したように制御部６には力覚センサ５の検知信号により加工具２の実際の押付力が入力されるため、押付力のフィードバック制御が可能である。また、制御部６は、加工具２の進行方向に対して位置制御を行う。すなわち、制御部６は、ワークＷの研磨範囲に設定された目標軌道に沿って加工具２が移動するようにロボットアーム３を作動させて、加工具２の位置制御を行う。このような力制御及び位置制御により、図２に示すように、ワークＷの表面が曲面であっても、加工具２を設定された押付力で押し付けながらワークＷの表面に沿って移動させることができる。従って、曲面を有するワークＷの研磨を目標軌道に沿って安定して行うことができる。

次に、本実施形態に係る加工装置１の動作及び加工方法について説明する。

図３は、本実施形態に係る加工方法を示すフローチャートである。図３に示すように、この表面加工は、ワークＷを加工具２により研磨する加工であって、先行加工の加工形状に基づき加工軌道を設定して本加工を行うものである。まず、ステップＳ１０に示すように、加工具２の選定が行われる。この選定は、加工具２であるゴム砥石の粒度又は番手を選定する工程である。研磨による表面粗さの仕上げ度合い及びワークＷの材質等に応じ、加工具２の粒度が選定される。この選定は、加工の作業者により行われてもよいし、ワークＷの材料などの入力データに基づいて制御部６により行われてもよい。

次に、ステップＳ１２において、ワークＷの表面形状の計測が行われる。この計測は、研磨するワークＷの表面形状を計測する処理である。この計測は、例えば接触式の計測器が用いられる。すなわち、ワークＷの表面に触針を接触させて移動させ、この触針の上下動を検知してワークＷの表面形状が計測される。この表面形状の計測器は、ロボットアーム３の先端に触針を取り付けて構成されていてもよいし、ロボットアーム３とは別体の計測器を用いてもよい。また、表面形状の計測器としては、非接触式の計測器を用いてもよい。例えば、レーザをワークＷの表面に照射して表面形状を計測する光学方式の計測器を用いてもよい。この場合も、計測器は、ロボットアーム３の先端にレーザ射出部を取り付けて構成されていてもよいし、ロボットアーム３とは別体の計測器が用いられてもよい。また、ワークＷの表面形状が計測できるものであれば、上述した計測器以外のものを用いることもできる。

ステップＳ１２のワークＷの表面計測の結果、ステップＳ１０において選定した加工具２が適切でないと判断される場合には、異なる粒度の加工具２を変更してもよい。また、ステップＳ１０の選定工程とステップＳ１２の計測工程の順番を入れ替えて行う場合もある。

次に、ステップＳ１４において、ワークＷの先行加工が行われる。先行加工は、ワークＷの研磨すべき領域の一部を先行して研磨する工程であって、本加工に先行して行われる加工工程である。例えば、図１において、先行加工のための加工具２の軌道が制御部６に設定され、加工具２がスピンドルモータ４に取り付けられる。そして、図２に示すように、設定した軌道に従い、制御部６からロボットアーム３に対し制御信号が出力される。これにより、ロボットアーム３は、加工具２を回転させながらワークＷの表面に沿って移動させる。その結果、ワークＷの研磨すべき領域の一部が研磨される。なお、このステップＳ１２の計測は、加工前の形状が既知である場合は省略でき、加工後計測のステップＳ１６の計測結果から、加工による変化分と、未加工部のキズの深さを算出することができる。

図４は、表面加工の軌道の一例を示す図である。図４に示すように、先行加工は、例えば、線状の一つの軌道Ｔ_０について行われる。ワークＷの表面には、キズＷ１が形成されている。このキズＷ１は、同一方向でなく異なる方向に延びて形成される場合もあるが、切削によるキズは同方向に複数延びている場合が多い。表面加工によりこのようなキズＷ１を取り去り又は小さくすることが必要となる。先行加工により、加工具２を力制御により所定の押付力でワークＷへ押し付けて研磨していくことにより、ほぼ一定の深さ及び一定の幅でワークＷを研磨していくことができる。なお、先行加工として一本の線状の軌道Ｔ_０では十分でない場合、それに追加した軌道についても先行加工を行ってもよい。

そして、図３のステップＳ１６において、先行加工による加工形状の計測が行われる。この計測は、先行加工により研磨されたワークＷの表面形状の計測する工程であり、ステップＳ１２と同様に、接触式又は非接触式の計測器により行われる。図５は、先行加工後のワークＷの断面形状を示すグラフであり、横軸は加工の幅、縦軸は加工の深さを表している。図５に示すように、先行加工による加工形状Ｓは、円弧状に凹んだ形状となっている。図５中のＧは、加工に用いた加工具２の形状を表している。この計測工程では、例えば、加工形状Ｓの先行加工の幅Ｓｗと先行加工の深さＳｄが計測値として記録される。なお、幅Ｓｗ及び深さＳｄは、ワークＷの製品としての表面形状の凹凸に対し十分小さな値となっている。

そして、図３のステップＳ１８において、加工軌道の設定が行われる。この設定工程は、本加工の加工軌道を設定する工程である。すなわち、制御部６において、ステップＳ１６にて計測された先行加工による加工形状に基づき、本加工における加工具２の移動の軌道が設定される。つまり、本加工として加工具２を同方向に繰り返して移動させて加工していく場合、先行加工による加工形状に基づいて、隣り合う軌道と軌道との間隔が設定される。例えば、図６に示すように、加工具２の移動の軌道Ｔ、Ｔの間の間隔Ｄが、先行加工による加工形状に基づいて設定される。このとき、間隔Ｄが広すぎると加工後の表面粗さが大きくなり、間隔Ｄが狭すぎると加工時間が長くなる（繰り返しの加工数が多くなる）ため、十分な加工精度が得られる間隔Ｄが設定される。

具体的には、加工具２の移動の軌道Ｔ、Ｔの間の間隔Ｄは、加工具２の加工の幅Ｓｗより狭い距離に設定される。これにより、表面のキズを、加工具２の加工の深さＳｄ分を越える距離だけ小さくすることができ。また、この加工具２の移動の軌道Ｔ、Ｔの間の間隔Ｄは、加工具２の加工の幅Ｓｗの半分の距離としてもよい。加工の間隔Ｄを小さくすると、加工によって除去される深さが深くなり、加工具２のカスプに相当する表面の凹凸は小さくなる反面、加工時間を要する。このため、間隔Ｄは、加工時間や求められる表面粗さなどに応じて、幅Ｓｗの１／３〜１／２の距離に選択してもよい。

そして、加工具２の移動の軌道Ｔ、Ｔの間の間隔Ｄを設定したら、ワークＷの表面の研磨すべき領域がすべて研磨されるように、同方向への軌道Ｔの数、すなわち繰り返しの加工回数が設定される。

そして、図３のステップＳ２０において、本加工が行われる。本加工は、ステップＳ１８で設定した加工軌道に従って、ワークＷの研磨すべき領域全体を研磨する工程である。すなわち、制御部６は、設定した加工軌道に従って、ロボットアーム３に対し制御信号を出力する。これにより、図６に示すように、加工具２が回転しながらワークＷの表面に沿って移動し、同方向に向けて繰り返して研磨が行われる。本加工では、事前に先行加工を行い、加工形状を確認して加工具２の移動の軌道Ｔを設定しているため、所望の研磨精度で円滑に加工が行える。従って、本加工後に研磨精度を上げるために加工をやり直すことが抑制される。なお、ワークＷのキズＷ１の深さによっては、一回の本加工でキズＷ１を十分に取りきれない場合には、研磨すべき領域全体を二回又はそれ以上繰り返す場合もある。また、図６に示す工程では、同一の向きに加工具２を繰り返して移動させて研磨を行っているが、加工具２を往復加工させて研磨を行ってもよい。つまり、加工具２を順方向（同方向）へ移動させて研磨し、間隔Ｄずらして逆方向へ加工具２を移動させて研磨を行ってもよい。なお、図６に示すように、同一の向きを繰り返して研磨する場合、すなわち順方向への研磨を繰り返して研磨する場合には、研磨による加工形状が安定するため、良好な加工精度で研磨が行える。

以上説明したように、本実施形態に係る加工方法によれば、ワークＷにおける表面加工すべき領域の一部を先行して表面加工を行い、この表面加工によるワークＷの表面形状に基づいて加工具２の移動の軌道Ｔを設定し、加工すべき領域の表面加工を行う。先行加工により加工具２による加工形状が確認できるため、本加工での加工具２の移動の軌道が適切に設定でき、所望の加工精度で表面加工が行える。従って、加工精度を上げるために本加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

これに対し、先行加工を行わずに本加工によりワークＷの表面加工を行うと、十分な加工精度が得られない場合があり、加工具２を変更したり加工具２の軌道を変更したりして本加工がやり直しとなる。一方、本実施形態に係る加工方法では、予め先行加工を行って加工具２による加工形状を確認するので、本加工により十分な加工精度が得られ、本加工の繰り返しを抑制することができるのである。

また、本実施形態に係る加工方法において、先行加工によるワークＷの加工形状に基づき、加工具２を同方向に繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道Ｔと軌道Ｔの間隔Ｄを設定することにより、十分な加工精度で表面加工が行える軌道Ｔを設定することができる。このため、本加工後に加工精度を上げるために更に本加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

本実施形態に係る加工装置１によれば、先行して行ったワークＷの表面加工の加工形状に基づいて加工具２の移動の軌道Ｔを設定し、この設定された軌道Ｔに基づきロボットアーム３による表面加工を制御する。これにより、先行の加工による加工具２の加工形状が確認できるため、加工具２の移動の軌道Ｔが適切に設定でき、所望の加工精度で表面加工が行える。従って、加工精度を上げるために加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

また、本実施形態に係る加工装置１によれば、先行して行ったワークＷの表面加工の形状に基づき、加工具２を同方向に繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道Ｔと軌道Ｔの間隔Ｄを設定し、この設定された間隔Ｄの軌道Ｔに基づいてロボットアーム３の表面加工の制御を行う。このため、十分な加工精度で表面加工が行える軌道Ｔを設定することができる。従って、加工精度を上げるために加工領域全体の表面加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明は、特許請求の範囲の記載の要旨を逸脱しない範囲で様々な変形態様を取ることができる。

例えば、本実施形態では、加工実行部としてロボットアーム３を用いる場合について説明したが、加工具２の位置及び姿勢の調整を行い、加工具２を用いて加工を実行できるものであれば、ロボットアーム３以外の機構や機器などを用いてもよい。具体的には、関節部及びリンク部の設置数の異なるロボットアーム又はマニピュレータを用いてもよいし、加工具２を回転させながら目標軌道に沿って移動させ力制御可能な工作機械などを用いてもよい。

また、本実施形態では、加工具２としてゴム砥石を用いる場合について説明したが、ワークＷを研磨できる加工具であれば、他の加工具を用いてもよい。例えば、その他の砥石、バフ、サンドペーパなどを用いてもよい。

また、本実施形態では、ワークＷの表面加工として研磨を行う場合について説明したが、この表面加工としては、ワークＷの表面切削であってもよい。この場合、ワークＷの加工すべき領域の一部を先行して切削加工を行い、その加工形状に基づいて加工具の移動の軌道を設定して本加工を行えばよい。先行加工によって加工具の加工形状が確認できるため、本加工での加工具の移動の軌道が適切に設定でき、所望の加工精度で表面加工が行える。従って、加工精度を上げるために本加工を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

また、ワークＷの表面加工としては、ワークＷの表面の塗装であってもよい。この場合、ワークＷの塗装すべき領域の一部を先行して塗装を行い、その塗装後の断面形状に基づいて塗装具の移動の軌道を設定して本塗装を行えばよい。先行塗装によって塗装形状が確認できるため、本塗装での塗装具の移動の軌道が適切に設定でき、所望の加工精度で塗装が行えることとなる。従って、加工精度を上げるために本塗装を繰り返して行うことが抑制され、効率良く表面加工が行える。

１ 加工装置
２ 加工具
３ ロボットアーム（加工実行部）
４ スピンドルモータ
５ 力覚センサ
６ 制御部
Ｄ 間隔
Ｔ 軌道
Ｗ ワーク（被加工物）

Claims (4)

1. 加工装置により加工具を被加工物の表面に沿って移動させて、前記被加工物の表面加工を行う加工方法であって、
   前記被加工物の加工すべき領域の一部に対し先行して表面加工を行う先行加工工程と、
   前記先行加工工程にて表面加工した前記被加工物の表面の形状を計測する計測工程と、
   前記計測工程にて計測された前記被加工物の表面の形状に基づいて前記加工具の移動の軌道を設定する設定工程と、
   前記設定工程にて設定された前記加工具の移動の軌道に従って、前記加工すべき領域の表面加工を行う本加工工程と、
   を含む加工方法。
2. 前記設定工程において、前記計測工程にて計測された前記被加工物の表面の形状に基づき、前記加工具を同方向に繰り返して移動させ、または、前記加工具を同方向及び逆方向に繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道と軌道の間隔を設定する、
   請求項１に記載の加工方法。
3. 加工具を被加工物の表面に沿って移動させて、前記被加工物の表面加工を行う加工装置であって、
   前記被加工物の表面に沿って前記加工具を移動させて加工を行う加工実行部と、
   先行して行った前記被加工物の表面加工の加工形状に基づいて前記加工具の移動の軌道を設定し、この設定された軌道に基づき前記加工実行部に制御信号を出力して前記加工実行部の表面加工の制御を行う制御部と、
   を備える加工装置。
4. 前記制御部は、先行して行った前記被加工物の表面加工の形状に基づき、前記加工具を同方向に繰り返して移動させて表面加工する場合の隣り合う軌道と軌道の間隔を設定し、この設定された間隔の軌道に基づき前記加工実行部に制御信号を出力して前記加工実行部の表面加工の制御を行う、
   請求項３に記載の加工装置。

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