JP2018182159A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 カセット
10 チャックテーブル
10a 保持面
11 クランプ部
12 移動テーブル
20 X軸移動手段
30 Y軸移動手段
40 回転手段
50 レーザー光線照射ユニット
60 カセット支持台
60a 載置面
601 収容部
601a 開口部
70 搬送ユニット
71 第1アーム
72 第2アーム
75 レール
90 フレームユニット反転ユニット(反転ユニット)
91 基台
91a 側辺
911 支持部
911a 軸支持壁
92 ガイドレール
92a 端部
92b 端部
921 溝部
922 ストッパ配置部
922a 端面
93 回転機構
931 エアシリンダ部
931a シリンダ
932 ラックギヤ
933 ピニオンギヤ
94 ストッパ
941 回転部
942 規制部
100 制御ユニット
101 加工条件設定部
201 ウエーハ
201a 表面
202 分割予定ライン
203 デバイス
210 フレームユニット
210a 第1フレームユニット
210b 第2フレームユニット
210e 外周縁
211 環状フレーム
212 粘着テープ
Claims (3)
- 板状の被加工物が、環状フレームの開口に粘着テープを介して支持されたフレームユニットの該被加工物にレーザー光線を照射するレーザー加工装置であって、
該フレームユニットの該被加工物を支持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに支持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニットと、
複数の該フレームユニットを収容するカセットを支持するカセット支持台と、
該カセット支持台に支持された該カセットと該チャックテーブルとの間で該フレームユニットを搬送する搬送ユニットと、
該チャックテーブルに搬入前又は搬出後に、該フレームユニットの上下の向きを反転させ、該被加工物又は該粘着テープのどちらかを上向きに設定するフレームユニット反転ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該フレームユニット反転ユニットは、
該フレームユニットを挟んで両側及び上下で対となるガイドレールと、
該対となるガイドレールを回転させる回転機構と、
該回転機構の回転時に該フレームユニットが該ガイドレールから飛び出すのを防ぐストッパと、を有することを特徴とするレーザー加工装置。 - 該制御ユニットは、該被加工物に該レーザー光線を直接照射するか、該粘着テープ越しに該被加工物に照射するかを設定する加工条件設定部を有し、
該加工条件設定部の設定に対応して該搬送ユニットで該フレームユニットを該フレームユニット反転ユニットに搬入し、該フレームユニット反転ユニットに該フレームユニットを反転させることを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工装置。 - 該フレームユニット反転ユニットは、該カセット支持台の下側に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザー加工装置。
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