JP2018170498A - 電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】可撓性を有する表示用パネルに可撓性を有する電子部品を精度よく実装することを可能にした電子部品の実装装置を提供する。【解決手段】電子部品の実装装置は、表示用パネルＰの縁部を下側から支持する支持部を備えるステージ４２と、電子部品Ｗを上側から保持する仮圧着ヘッド４１と、表示用パネルＰとその縁部の上方に位置付けられた電子部品Ｗとの間に進入可能で、かつ縁部に設けられたアライメントマークと電子部品Ｗに設けられたアライメントマークとを１つの撮像領域内に同時に取り込んで撮像する撮像装置４３Ａ、４３Ｂと、両アライメントマークの撮像画像から求めた相対位置情報に基づいて、表示用パネルＰと電子部品Ｗとを位置合わせする制御装置とを具備する。【選択図】図４

Description

本発明の実施形態は、可撓性を有する表示用パネルの縁部に可撓性を有する電子部品を実装する電子部品の実装装置と、表示用部材の製造方法に関する。

テレビやパーソナルコンピュータ、スマートフォン等の携帯端末等のディスプレイとして用いられるフラットパネルディスプレイ市場においては、液晶ディスプレイが圧倒的な普及率を占めている。そのような状況下において、近年、バックライトを必要とせずに薄型化が可能で、しかも柔軟な樹脂フィルム上に形成することで折り曲げが可能といった特徴を備えた有機ＥＬディスプレイが、特に携帯端末用の小型ディスプレイ市場を中心に注目されている。このことから、折り曲げが可能、つまり可撓性を有する有機ＥＬディスプレイの組み立てに好適に用いることができる電子部品の実装装置が求められている。

現在、一般的な電子部品の実装装置としては、液晶ディスプレイ用のアウターリードボンディング装置（以下、ＯＬＢ装置という。）が知られている（特許文献１参照）。しかしながら、有機ＥＬディスプレイ用としてのＯＬＢ装置は知られていない。このため、有機ＥＬディスプレイを製造する際に実施される電子部品の実装工程には、液晶ディスプレイ用のＯＬＢ装置が代用されている。

液晶ディスプレイ用のＯＬＢ装置は、ガラス基板によって構成された表示用パネルに異方性導電テープを介して電子部品を実装するものである。液晶ディスプレイ用のＯＬＢ装置を用いた実装工程においては、まず表示用パネルの電子部品が実装される縁部をステージからはみ出させて保持し、この表示用パネルの縁部に電子部品を近接させて保持する。この状態で、表示用パネルの上面のアライメントマークと電子部品の下面のアライメントマークとを、表示用パネルの下側から１つのカメラで同時に撮像し、両者の相対位置を認識する。この後、表示用パネルの縁部を下側からバックアップツールで保持し、認識した相対位置に基づいて表示用パネルに電子部品を位置合わせし、異方性導電テープを介して液晶用パネルの縁部に電子部品を加熱加圧して実装する。

特開２００６−１３５０８２号公報

上述した液晶ディスプレイ用のＯＬＢ装置を、そのまま有機ＥＬディスプレイの製造工程に適用した場合、電子部品を精度良く実装することができない。すなわち、本願発明者等は、上記した液晶ディスプレイ用のＯＬＢ装置をそのまま用いて、有機ＥＬディスプレイの構成部品である、可撓性を有する表示用パネル（以下、有機ＥＬパネルという。）に電子部品を実装し、表示用部材を製造することを試みた。具体的には、スマートフォンで広く普及している、大きさが５．０インチで厚みが約０．２ｍｍの有機ＥＬパネルに、電子部品として幅寸法が３８ｍｍのＣＯＦ（Ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ）を実装した。その結果、液晶ディスプレイ用のＯＬＢ装置をそのまま適用しただけでは、有機ＥＬパネルに電子部品を精度良く実装することができないことが判明した。具体的には、スマートフォン用の有機ＥＬパネルでは、±３μｍ程度の実装精度が要求されるが、このような実装精度を満たすことができないことが明らかとなった。

本願発明者等は、次の２つの要因が精度に影響していることを突き止めた。
（１．有機ＥＬパネルの縁部の垂れの発生）
液晶ディスプレイの製造に用いられる表示用パネル（以下、液晶表示用パネルという。）は、厚みが０．５〜０．７ｍｍのガラス基板同士を貼り合せたものであるから、比較的剛性が高い。そのため、液晶表示用パネルの縁部をステージから数１０ｍｍ程度はみ出させて保持したとしても、その縁部が自重で垂れ下がることはほとんどない。

これに対し、有機ＥＬパネルでは、通常、有機ＥＬ素子が形成される部材である、厚みが０．０１〜０．０３ｍｍ（１０〜３０μｍ）程度のポリイミド（ＰＩ）フィルムを、支持材である厚みが０．１〜０．２ｍｍ程度のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムに接着して構成された薄い樹脂基板を用いているため、剛性が極めて低い。しかも、樹脂フィルムの特性上、吸湿による伸びや前述の貼り合せ時の応力で反りやうねりが生じることがある。そのため、有機ＥＬパネルでは、その縁部をステージから数１０ｍｍはみ出させて保持した場合、はみ出した縁部が自重によって容易に垂れ下がってしまう。有機ＥＬパネルの縁部が垂れ下がると、その分だけ縁部に形成されているアライメントマークの位置が水平方向にずれることになる。そのため、カメラを用いて行う有機ＥＬパネルのアライメントマークの位置認識において、その認識位置にずれが生じることになる。

本願発明者等が実験によって確認したところ、有機ＥＬパネルの縁部を、同等サイズの液晶表示用パネルの場合と同じように、ステージから２０ｍｍはみ出させて保持した場合、縁部に垂れ下がりが生じ、この垂れ下がりによってアライメントマークの位置に、水平方向（ステージ側に向かって）に約４μｍの位置ずれが生じていることが確認された。しかも、有機ＥＬパネルの縁部が垂れ下がった場合、アライメントマークが水平状態に対して傾くことになる。傾斜しているアライメントマークを真下から撮像した場合、撮像されたアライメントマークの傾斜方向における長さが、水平状態で撮像された場合に比べて短く撮像される。つまり、傾斜の分だけ、撮像されるアライメントマークの形状が変形する。その結果、予め記憶されている基準マークとの形状の相違が生じ、これによってもアライメントマークの認識位置に誤差が生じることになる。

本願発明者等が、水平に保持したアライメントマークと水平に対して５°傾けたアライメントマークとで認識位置の誤差を比較する実験を行ったところ、５°傾けたアライメントマークの方が平均して１μｍ程度誤差が大きいことが確認された。なお、アライメントマークを５°傾けて実験したのは、ステージから縁部を２０ｍｍはみ出させた場合に生じる垂れを複数の有機ＥＬパネルについて測定したところ、いずれも５°以上の垂れが確認されたためである。

（２．有機ＥＬパネルの縁部での光の反射の変動）
有機ＥＬパネルのアライメントマークを撮像する際、カメラのある下側から照明を当てるようにしている。そして、この照明の照射条件（照射光量、照射角度等）は、基準となる有機ＥＬパネル（例えば、縁部がフラットな有機ＥＬパネルで、以下「基準パネル」という。）を用いて、この基準パネルのアライメントマークが良好に撮像できる条件に設定している。このことから、実際に撮像される有機ＥＬパネルの縁部には垂れや反りがあり、基準パネルの縁部に対して傾く等、状態が相違するため、有機ＥＬパネルの縁部での照明の反射具合が基準パネルとは異なるものとなってしまう。その結果、アライメントマークを鮮明に撮像することができなくなったり、全く撮像することができなくなったりするという不具合が生じる。本願発明者等の実験の結果、アライメントマークが鮮明に撮像できなかった場合、認識位置に最大で１μｍ程度のずれが生じることが確認された。

これらの知見によって、本願発明者等は有機ＥＬパネルの縁部の垂れや反りを抑制するために、有機ＥＬパネルの縁部を支持する部分（支持面）が平坦に加工され、アライメントマークに対応する部分に上下に貫通する撮像用の貫通孔が形成され、かつ縁部を吸着保持可能な支持部材をステージに取付け、有機ＥＬパネルの縁部に垂れや反りが生じないように保持し、この状態で電子部品の実装を再度試みた。しかしながら、上記した対策によっても、±３μｍの実装精度を十分に満たすことができなかった。その結果を受けて、本願発明者等はさらに鋭意検討の結果、以下の３つの要因が関係することを突き止めた。

（３．有機ＥＬパネルの表面精度の問題）
有機ＥＬパネルを構成するＰＩフィルムやＰＥＴフィルム等の樹脂フィルムは、一般的に溶液流延法や溶融押出成型法等の加熱や溶媒によって溶かした樹脂を薄く成型し固化させることによって製造される。このように製造された樹脂フィルムは、薄く延ばされたままの精度、いわゆる出来なり（樹脂フィルムを成形したままの状態とし、仕上がりを整えるための研磨等が行われていない状態）の状態であることから、成形された後に化学的または物理的な研磨が行われるガラス基板に比べると、表面に微細な凹凸（うねり）を有している。しかも、この凹凸の状態が樹脂フィルムの一方の面と他方の面とでは異なるものとなっている。そのため、カメラでアライメントマークを撮像する際に、アライメントマークで反射する光の進行方向が、場所によって異なるものとなる。

例えば、有機ＥＬパネルにおいて、アライメントマークが形成された上面部分に、凹状に湾曲した形状となるうねりが生じていた場合を考える。有機ＥＬパネルの下面は略水平面とする。そのような有機ＥＬパネルのアライメントマークに、支持部材の貫通孔を通して下側から光を照射した場合、アライメントマークの一端（左端）の部分に向けて照射された光は、まず有機ＥＬパネルの下面を透過する。このときは、有機ＥＬパネルの下面が水平面なので入射した光はほとんど屈折しない。有機ＥＬパネル内を進行し、有機ＥＬパネルの上面とアライメントマークとの境界面に達した光は、その境界面において反射される。このとき、アライメントマークの左端の部分では、有機ＥＬパネルの表面はアライメントマークに向かって（左から右に向かって）下り傾斜となっているので、傾斜に応じた反射角で外側（左方向）に向かって反射する。そして、反射した光は、有機ＥＬパネルの下面に対して斜めに入射するので屈折し、さらに外側（左方向）に向けて進行する。

一方、アライメントマークの他端（右端）の部分に向けて照射された光は、有機ＥＬパネルの上面とアライメントマークとの境界面で、有機ＥＬパネルの上面の傾斜に応じた反射角で反対方向（右方向）に反射し、さらに有機ＥＬパネルの下面を通過するときに屈折することでさらに外側（右方向）に向けて進行する。このように、アライメントマークが形成された樹脂フィルムの表面に微細な凹凸（うねり）が生じていると、アライメントマークＭに向けて照射された光の反射光が、入射時の光の経路とは異なる経路を辿ってカメラに入射することになり、さらにアライメントマークＭの部位により反射光の経路が異なることになる。これらはアライメントマークの認識誤差を生じさせる要因となり、アライメントマークの位置認識精度が低下する。

（４．有機ＥＬパネルの光透過率の問題）
有機ＥＬパネルは、上述したように、ＰＩフィルムをＰＥＴフィルムに接着剤によって貼り合されて構成される。そのため、有機ＥＬパネルの上面側に形成されたアライメントマークを有機ＥＬパネルの下面側から撮像する場合、有機ＥＬパネルの光透過率がアライメントマークの認識精度に影響を及ぼすことになる。具体的には、照明を如何に調整しても、アライメントマークの縁を鮮明に撮像することが困難となる。

本願発明者等が、アライメントマークが形成された部分において、液晶表示用パネルのガラス板と有機ＥＬパネルの樹脂基板との光透過率を測定したところ、有機ＥＬパネルの方が液晶表示用パネルよりも７．４％程度光透過率が低かった。本願発明者等は、液晶表示用パネルと有機ＥＬパネルとを用い、同じ液晶表示用パネルおよび同じ有機ＥＬパネルについて、アライメントマークの認識をそれぞれ１０回ずつ繰り返して行って、アライメントマークの認識位置の繰り返し精度を確認した。その結果、液晶表示用パネルの位置認識精度のバラツキが±０．３μｍであったのに対し、有機ＥＬパネルでは位置認識精度に±１．２μｍのバラツキが生じた。

（５．有機ＥＬパネルの構造による問題）
有機ＥＬパネルは、特性の異なる複数の樹脂フィルムを接着剤等によって貼り合せて構成されるものである。従って、有機ＥＬパネルに向けて照射された光は、異なる部材同士の境界面を複数回通過した後にカメラに入射することとなる。

ここでは、表面に有機ＥＬ素子やアライメントマークが形成されたＰＩフィルムをＰＥＴフィルムに対して接着剤を介して貼り合せた構成を考える。このような有機ＥＬパネルのアライメントマークに向けて下側から光を照射した場合、照射された光は、空気とＰＥＴフィルムとの境界面、ＰＥＴフィルムと接着剤層との境界面、接着剤層とＰＩフィルムとの境界面を通過する。ＰＩフィルムとアライメントマークとの境界面で反射した光は、上記した各境界面を通過して、カメラに入射することとなる。

前述したように、有機ＥＬパネルの表面精度の影響で、空気とＰＥＴフィルムとの境界面が傾いていた場合には、光がＰＥＴフィルムの下面に対して傾斜して入射することになるため、上述した各境界面で光が屈折し、アライメントマークで反射された光が入射してきた経路とは異なる経路を辿ってカメラに入射することになる。そのため、光が屈折した分だけ、アライメントマークの認識位置がずれる。このようなことからも、アライメントマークの位置認識精度が低下する。図１４は、有機ＥＬパネル（図１４（Ａ））と液晶表示用パネル（図１４（Ｂ））との円形のアライメントマークを撮像した画像である。有機ＥＬパネルのアライメントマークの周縁部分の歪みが大きいことが確認できる。

なお、ＰＩフィルムの裏面側に蒸着等により反射率の高い薄膜が形成されていることがある。このような場合には、有機ＥＬパネルに入射した光のほとんどがその薄膜で反射されてしまう。その場合、アライメントマークを鮮明に撮像することができなくなり、位置認識精度が著しく低下してしまうこととなる。また、有機ＥＬパネルの帯電を防止する等の目的で、基材となるＰＩフィルムにカーボン粒子を含有させる場合がある。そのような場合には、カーボン粒子によって光の透過が遮られ、アライメントマークの撮像が困難となり、認識を正しく行うことができなくなる。

本発明は、上述した従来の液晶ディスプレイ用のＯＬＢ装置を有機ＥＬディスプレイの製造工程に適用した場合に生じる電子部品の実装精度の低下という課題に対処するためになされたもので、可撓性を有する表示用パネルに可撓性を有する電子部品を熱圧着により実装する場合であっても、表示用パネルに電子部品を精度よく実装することを可能にした電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法を提供するものである。

実施形態の電子部品の実装装置は、２０μｍ以上５００μｍ以下の厚みと、２．５ＧＰａ以上４．０ＧＰａ以下の曲げ弾性率を有し、可撓性を有する表示用パネルの縁部に配列された複数の電極に、可撓性を有する電子部品における、前記複数の電極に対応して配列された複数の端子を、接合部材を介して接続することによって、前記電子部品を前記表示用パネルに実装する電子部品の実装装置であって、前記表示用パネルが載置されるステージであって、前記表示用パネルにおける前記電子部品が実装される前記縁部を下側から支持する支持部を備え、前記支持部と共に水平方向に移動可能なステージと、前記電子部品を上側から保持し、前記支持部によって支持された前記縁部の上方位置に前記電子部品を位置付けるように、水平方向および垂直方向に移動可能で、前記縁部の上面に前記電子部品を熱圧着する熱圧着ヘッドと、前記表示用パネルの前記縁部の上方位置に前記電子部品が位置付けられた状態で、前記表示用パネルと前記電子部品との間に進入可能で、かつ前記縁部に設けられたアライメントマークと前記電子部品に設けられたアライメントマークとを、１つの撮像領域内に同時に取り込んで撮像する撮像装置と、前記撮像装置の撮像画像から求めた前記表示用パネルおよび前記電子部品の前記アライメントマークの相対位置情報に基づいて、前記表示用パネルと前記電子部品との位置を合わせるように、前記ステージと前記熱圧着ヘッドの相対位置を調整すると共に、調整された位置関係で前記熱圧着ヘッドにより前記電子部品を前記表示用パネルに熱圧着させるように、前記ステージおよび前記熱圧着ヘッドを制御する制御装置とを具備する。

実施形態の表示用部材の製造方法は、２０μｍ以上５００μｍ以下の厚みと、２．５ＧＰａ以上４．０ＧＰａ以下の曲げ弾性率を有し、可撓性を有する表示用パネルをステージに保持させると共に、前記表示用パネルの複数の電極を有する縁部を、前記ステージに設けられた支持部によって下側から支持させる支持工程と、前記複数の電極に対応して設けられた複数の端子を有し、可撓性を有する電子部品を熱圧着ヘッドに保持させる保持工程と、前記支持部によって支持された前記縁部の上方位置に、前記熱圧着ヘッドに保持された前記電子部品を位置付ける工程と、前記表示用パネルの前記縁部の上方位置に前記電子部品が位置付けられた状態で、前記表示用パネルと前記電子部品との間に撮像装置を進入させ、前記撮像装置で前記縁部に設けられたアライメントマークと前記電子部品に設けられたアライメントマークとを１つの撮像領域内に同時に取り込んで撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像した前記表示用パネルおよび前記電子部品の前記アライメントマークの画像に基づいて、前記表示用パネルと前記電子部品との相対位置関係を認識する位置認識工程と、前記位置認識工程で認識した前記相対位置関係に基づいて前記ステージと前記熱圧着ヘッドとの相対位置を調整し、調整された位置関係で前記熱圧着ヘッドにより前記電子部品を前記表示用パネルに熱圧着する熱圧着工程とを具備する。

本発明の実装装置によれば、有機ＥＬパネルのような可撓性を有する表示用パネルに、可撓性を有する電子部品を熱圧着により実装する場合であっても、電子部品を精度良く実装することができる。さらに、本発明の表示用部材の製造方法によれば、表示用パネルに電子部品を精度良く実装した表示用部材を提供することができる。

実施形態における電子部品の実装装置を示す平面図である。 図１に示す電子部品の実装装置の側面図である。 図１に示す電子部品の実装装置の仮圧着装置を示す斜視図である。 図３に示す仮圧着装置の位置認識ユニットを示す図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。 図４に示す位置認識ユニットに用いられるプリズムを示す斜視図である。 実施形態の実装装置に適用される有機ＥＬパネルおよび電子部品を示す平面図である。 図４に示す位置認識ユニットのカメラにより撮像されたアライメントマークの撮像画像の一例を模式的に示す図である。 図１に示す電子部品の実装装置の本圧着装置を示す斜視図である。 図１に示す電子部品の実装装置における有機ＥＬパネルの保持体の一例を示す斜視図である。 図１に示す電子部品の実装装置における有機ＥＬパネルの保持体の他の例を示す斜視図である。 他の実施形態における電子部品の実装装置を示す平面図である。 実施例１による実装精度の変動を示すグラフである。 比較例１による実装精度の変動を示すグラフである。 従来のＯＬＢ装置を用いて有機ＥＬパネルと液晶表示用パネルの円形のアライメントマークを撮像した画像の一例を示す図である。

以下、実施形態の電子部品の実装装置および表示用部材の製造方法について、図面を参照して説明する。図面は模式的なものであり、厚さと平面寸法との関係、各部の厚さの比率等は現実のものとは異なる場合がある。説明中における上下の方向を示す用語は、特に明記が無い場合には後述する表示用パネル（有機ＥＬパネル）の電子部品の実装面を上とした場合の相対的な方向を示す。

［実装装置の構成］
図１は、実施形態の電子部品の実装装置の構成を示す平面図、図２は図１の電子部品の実装装置の側面図である。図１および図２に示す電子部品の実装装置１は、有機ＥＬディスプレイのような表示装置の構成部材（表示用部材）の製造に用いられるものである。すなわち、実装装置１は、キャリアテープＴから打ち抜かれたＣＯＦ等の可撓性を有する電子部品Ｗを、可撓性を有する表示用パネルとしての有機ＥＬパネルＰに、接合部材としての異方性導電テープＦを介して実装し、有機ＥＬパネルＰに電子部品Ｗが実装された表示用部材を製造するために用いられる装置である。

ここで、有機ＥＬパネルＰは、可撓性を有する部材を主として形成される。可撓性を有する部材としては、例えば、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＣ（ポリカーボネート）等が用いられる。これらの部材を接着剤によって貼り合せて用いることも可能である。有機ＥＬパネルＰは、厚みが２０μｍ以上５００μｍ以下で、曲げ弾性率が２．５ＧＰａ以上４．０ＧＰａ以下となるように構成される。本実施形態における有機ＥＬパネルＰは、有機ＥＬ素子が形成されたＰＩフィルムを支持材であるＰＥＴフィルムに接着剤を介して貼り合せた構成を有する。ＰＩフィルムの厚み（約１０μｍ）に対してＰＥＴフィルムの厚み（約２００μｍ）が１０倍以上であるため、有機ＥＬパネルＰの曲げ弾性率はＰＥＴフィルムの曲げ弾性率とほぼ等しいと考えられる。

ここで、曲げ弾性率は、ＪＩＳ Ｋ７１７１：プラスチック−曲げ特性の求め方（２０１６年３月２２日改訂版）で規定された試験方法にしたがって測定した値とする。具体的には、曲げ弾性率試験は、長さ８０±２ｍｍ、幅１０．０±０．２ｍｍ、厚さ４．０±０．２ｍｍの寸法を有する試験片を、支点間距離を６４ｍｍに調整した撓み測定装置の支持台に支持させ、この支点間の中央に圧子を２ｍｍ／ｍｉｎの試験速度で下降させることで、試験片の中央を撓ませることにより行う。試験雰囲気は、ＪＩＳ Ｋ７１００で規定する標準雰囲気（温度２３℃／湿度５０％）とする。

電子部品Ｗとしては、可撓性を有するＣＯＦ等の電子部品が用いられる。ＣＯＦは、ＰＩ（ポリイミド）等によって形成された可撓性を有するフィルム状の回路基板上に半導体素子が実装されて構成されたものである。後述するように、ＣＯＦはテープ状のフィルム部材から打ち抜かれることにより個片化されて形成される。
表示用部材は、有機ＥＬパネルＰのような表示用パネルに異方性導電テープＦのような接合部材を介してＣＯＦのような電子部品Ｗを実装して得られるものであり、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置の構成部品として用いられる部材である。

実施形態の実装装置１は、キャリアテープＴから電子部品Ｗを打ち抜く打ち抜き装置１０（１０Ａ、１０Ｂ）、打ち抜かれた電子部品Ｗを吸着保持し、間欠回転しながら搬送する間欠回転搬送装置２０、間欠回転搬送装置２０による搬送経路途中の間欠停止位置に配置され、間欠回転搬送装置２０によって搬送される電子部品Ｗに接合部材としての異方性導電テープＦを貼着する異方性導電テープ貼着装置（接合部材貼着装置）３０、異方性導電テープＦが貼着された電子部品Ｗを有機ＥＬパネルＰに異方性導電テープＦを介して仮圧着する仮圧着装置４０、仮圧着装置４０によって有機ＥＬパネルＰに仮圧着された電子部品Ｗを本圧着する本圧着装置５０、打ち抜き装置１０と間欠回転搬送装置２０との間で電子部品Ｗの受渡しを行う第１の受渡し装置６０、間欠回転搬送装置２０と仮圧着装置４０との間で電子部品Ｗの受渡しを行う第２の受渡し装置７０、仮圧着装置４０に対して有機ＥＬパネルＰの搬入を行う第１の搬送部８０、仮圧着装置４０から本圧着装置５０に有機ＥＬパネルＰを搬送する第２の搬送部９０、本圧着装置５０から有機ＥＬパネルＰを搬出する第３の搬送部１００を備え、さらに打ち抜き装置１０、間欠回転搬送装置２０、異方性導電テープ貼着装置３０、仮圧着装置４０、本圧着装置５０、第１の受渡し装置６０、第２の受渡し装置７０、第１の搬送部８０、第２の搬送部９０、第３の搬送部１００等の各部の動作を制御する制御装置１１０を備えて構成される。

（打ち抜き装置１０）
打ち抜き装置１０は、キャリアテープＴから電子部品ＷとしてのＣＯＦを打ち抜くためのもので、第１の打ち抜き装置１０Ａと第２の打ち抜き装置１０Ｂとを備える。第１の打ち抜き装置１０Ａと第２の打ち抜き装置１０Ｂは、同一の構成を備え、装置正面から見て左右反転した状態で配置される。第１および第２の打ち抜き装置１０Ａ、１０Ｂは、片方ずつ使用され、一方の打ち抜き装置１０Ａ、１０Ｂで打ち抜きを行っている間に他方の打ち抜き装置１０Ａ、１０ＢのキャリアテープＴの交換作業が行えるようになっている。

第１および第２の打ち抜き装置１０Ａ、１０Ｂは、それぞれ、打ち抜き前のキャリアテープＴが巻かれた供給リール１１と、供給リール１１から供給されたキャリアテープＴから電子部品Ｗを打ち抜く金型装置１２と、金型装置１２で電子部品Ｗが打ち抜かれたキャリアテープＴを巻き取る巻取りリール１３とを備える。供給リール１１から繰り出されたキャリアテープＴは、複数のガイドローラ１４およびスプロケット１５によって方向を変換され、金型装置１２を経由して巻取りリール１３へと送られる。なお、スプロケット１５は、キャリアテープＴの搬送方向において金型装置１２の手前に配置され、図示しない駆動モータによる回転駆動によりキャリアテープＴを搬送しつつ、キャリアテープＴを金型装置１２に対して位置決めすることが可能とされている。

金型装置１２は、上金型１２ａと、上金型１２ａに対向配置された下金型１２ｂとを備える。上金型１２ａは、その下面にパンチ１２ｃを備える。一方、下金型１２ｂには、パンチ１２ｃが入り込む、上下に貫通するダイ孔１２ｄが形成されている。このような金型装置１２に対してキャリアテープＴを供給および位置決めした状態で、上金型１２ａを上下方向に移動させることによって、キャリアテープＴから電子部品Ｗが打ち抜かれる。なお、パンチ１２ｃの先端面には吸着孔（不図示）が設けられており、打ち抜いた電子部品Ｗを吸着保持できるように構成されている。

（間欠回転搬送装置２０）
間欠回転搬送装置２０は、同一形状の４つのアーム部２１が互いに直交する関係で配置され、平面視で十字形状を有するインデックステーブル２２と、インデックステーブル２２を９０°間隔で間欠的に回転駆動させる回転駆動部２３とを備える。インデックステーブル２２の各アーム部２１の先端には、それぞれ電子部品Ｗを吸着保持する保持ヘッド２４が設けられている。インデックステーブル２２の９０°毎の４つの停止位置Ａ〜Ｄには、打ち抜き装置１０で打ち抜かれた電子部品Ｗを受け取るための受け取り位置Ａ、保持ヘッド２４に保持された電子部品Ｗに対して位置決め（ゲージング）と清掃を行うためのゲージング／清掃位置Ｂ、保持ヘッド２４に保持された電子部品Ｗに対して異方性導電テープＦを貼着するための貼着位置Ｃ、異方性導電テープＦが貼着された電子部品Ｗを仮圧着装置４０に受け渡すための受渡し位置Ｄが設定されている。

（異方性導電テープ貼着装置３０）
異方性導電テープ貼着装置３０は、間欠回転搬送装置２０の貼着位置Ｃに対応して設けられ、異方性導電テープＦを離型テープＲに貼着支持させたテープ状部材Ｓが巻かれた供給リール３１と、貼着位置Ｃに位置付けられた保持ヘッド２４と対向する位置に配置された貼着ヘッド３２と、異方性導電テープＦが剥離された後の離型テープＲを収容する回収部３３と、供給リール３１から供給されたテープ状部材Ｓを、貼着位置Ｃを通過する搬送経路を辿って回収部３３へと案内する複数のガイド部３４と、複数のガイド部３４によるテープ状部材Ｓの搬送経路の貼着位置Ｃよりも下流側に配置され、テープ状部材Ｓの搬送方向に沿って往復移動することで、テープ状部材Ｓを所定長さずつ間欠搬送するチャック送り部３５と、テープ状部材Ｓの搬送経路の貼着位置Ｃよりも上流側に配置され、テープ状部材Ｓのうち異方性導電テープＦのみを切断する切断部３６とを備えている。

貼着ヘッド３２は、貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド２４に保持された電子部品Ｗの端子部に、所定長さに切断されて貼着位置Ｃに搬送および位置決めされた異方性導電テープＦを押圧するための貼着ツール３２ａと、この貼着ツール３２ａを昇降動させる昇降駆動部３２ｂと、貼着ツール３２ａに内蔵され、貼着ツール３２ａを加熱して異方性導電テープＦを電子部品Ｗの端子部に貼着するヒータ３２ｃとを有する。

（仮圧着装置４０）
仮圧着装置４０は、異方性導電テープ貼着装置３０によって異方性導電テープＦが貼着された電子部品Ｗを吸着保持し、有機ＥＬパネルＰに仮圧着するための熱圧着ヘッドとしての仮圧着ヘッド４１と、有機ＥＬパネルＰを保持および位置決めするためのステージ４２と、ステージ４２に保持された有機ＥＬパネルＰと仮圧着ヘッド４１に保持された電子部品Ｗとの相対位置を認識するための位置認識ユニット４３とを備える。

仮圧着ヘッド４１は、電子部品Ｗをその上面側から吸着保持する加圧ツール４１ａと、加圧ツール４１ａをＹ、Ｚ、θ方向に移動させるツール駆動部４１ｂと、加圧ツール４１ａに内蔵されて加圧ツール４１ａを加熱するヒータ４１ｃとを有する。ステージ４２は、図３に示すように、有機ＥＬパネルＰを載置する載置部４２ａと、載置部４２ａと一体的に設けられ、有機ＥＬパネルＰのうち電子部品Ｗが実装される縁部を下側から支持する支持部４２ｂと、載置部４２ａと支持部４２ｂとを一体的にＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動させるステージ駆動部４２ｃとを有する。

載置部４２ａにおける有機ＥＬパネルＰを載置する載置面４２ｄには、有機ＥＬパネルＰを吸着保持するための吸着孔４２ｅが複数形成されている。この吸着孔４２ｅは、載置面４２ｄに有機ＥＬパネルＰが載置されたとき、有機ＥＬパネルＰにおける画像の表示エリアに対向する位置に主に配置されている。この例においては、載置面４２ｄの有機ＥＬパネルＰが載置される領域（図３において二点鎖線で囲まれた領域）内に吸着孔４２ｅを均等の間隔で行列状に配置した例で説明するが、後述する支持部４２ｂよって支持される有機ＥＬパネルＰの少なくとも縁部が平坦になるように吸着保持できれば良いので、載置面４２ｄに載置されている有機ＥＬパネルＰをその全域で吸着保持しなければならないものではない。例えば、支持部４２ｂ側から縁部とは直交する方向に有機ＥＬパネルＰの長さの半分、あるいは１／３程度の領域を吸着孔４２ｅで吸着保持するようにしても良い。吸着孔４２ｅは、有機ＥＬパネルＰの表示エリアを吸着することになるので、吸着によって表示エリアに吸着痕が残らないように、孔径を小さく設定することが好ましい。孔径は、有機ＥＬパネルＰの固定に必要な吸引力とこの吸引による有機ＥＬパネルＰの変形量の関係を実験等によって求め、吸着痕が残らないようにその大きさを設定するようにすれば良い。なお、載置面４２ｄを多孔質部材、例えば多孔質セラミックスを使用した真空チャックにより構成しても良い。

支持部４２ｂは、前述したように、載置部４２ａと一体的に設けられ、有機ＥＬパネルＰの縁部を支持する長尺状の部材であり、その上面が平坦な支持面４２ｆとして形成されている。支持面４２ｆの高さ位置は、載置部４２ａの載置面４２ｄの高さと同じ高さに設定される。また、この支持面４２ｆには、その長手方向に沿って、有機ＥＬパネルＰの縁部を吸着保持するための複数の吸着孔４２ｇが、複数列に配列されている。支持部４２ｂの吸着孔４２ｇも、載置部４２ａの吸着孔４２ｅと同様に、小さい方が好ましい。ただし、支持部４２ｂが支持する有機ＥＬパネルＰの縁部は、電子部品Ｗとの接続のための電極が配列された部分で表示エリアではない。そのため、載置部４２ａの吸着孔４２ｅほど孔径を小さくする必要はないが、有機ＥＬパネルＰの縁部であってアライメントマークＰＭ（図６参照）が形成された部分に吸引による変形が生じることは、位置認識精度を低下させる要因となるために好ましくない。吸着孔４２ｇの孔径および吸着力は、有機ＥＬパネルＰの縁部に変形が生じない程度の大きさに設定することが好ましい。さらに、有機ＥＬパネルＰの縁部がその全域において支持面４２ｆに密着されるように、吸着孔４２ｇの配置間隔は、有機ＥＬパネルＰの縁部に生じる反りやうねりによる凹凸の周期よりも短い間隔とすることが好ましい。

ステージ駆動部４２ｃは、載置部４２ａおよび支持部４２ｂを、水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動させるＸ軸方向駆動部、Ｘ軸方向に直交する水平方向であるＹ軸方向に移動させるＹ軸方向駆動部、水平方向に直交するＺ軸方向に移動させるＺ軸方向駆動部、水平面内で回転動させるθ駆動部を、下側からこの順で積層して構成された駆動部である。なお、ステージ駆動部４２ｃは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の位置決め精度の向上を図るため、Ｘ軸方向駆動部およびＹ軸方向駆動部にリニアエンコーダを付随して設けている。

次に、位置認識ユニット４３について、図４ないし図６を用いて説明する。図４（Ａ）は位置認識ユニット４３の概略構成を示す平面図、図４（Ｂ）は位置認識ユニット４３の概略構成を示す正面図である。図５は位置認識ユニット４３に用いられるプリズムの構成を示す斜視図である。図６は、位置認識ユニット４３によって位置認識される有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗの概略構成を示す平面図である。図中、Ｘ軸方向を左右方向として説明する。有機ＥＬパネルＰは、その縁部に形成された電極列ＥＲと、電極列ＥＲの左右両側にそれぞれ設けられた一対のアライメントマークＰＭとを有する。電子部品Ｗは、電極列ＥＲと対応するように配列された端子列ＴＲと、端子列ＴＲの左右両側にそれぞれ設けられた一対のアライメントマークＷＭとを有する。なお、図６においては分かりやすくするために、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗとを間隔を開けた状態で示しているが、位置認識の際には、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲと電子部品Ｗの端子列ＴＲとが上下方向に間隔を開けた状態で重なるように配置される。

位置認識ユニット４３は、ステージ４２に保持された有機ＥＬパネルＰの一対のアライメントマークＰＭと、仮圧着ヘッド４１に保持された電子部品ＷのアライメントマークＷＭとの相対位置関係を認識する。このため、位置認識ユニット４３は、第１の撮像装置４３Ａと第２の撮像装置４３Ｂとを備える。第１の撮像装置４３Ａは、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭのうち、左側のアライメントマークＰＭ、ＷＭを撮像するためのものである。第２の撮像装置４３Ｂは、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭのうち、右側のアライメントマークＰＭ、ＷＭを撮像するためのものである。第１の撮像装置４３Ａおよび第２の撮像装置４３Ｂは、同一の構成を備え、図４において左右反転した状態で配置されている。

第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂは、それぞれアライメントマークＰＭ、ＷＭを静止画で撮像する、撮像素子を備えて成るＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等のカメラ（撮像部）４３ａと、カメラ４３ａと一体的に設けられ、上下の画像をカメラ４３ａの１つの撮像領域に、この撮像領域を上下に２分割した状態で同時に取込むための鏡筒部４３ｂと、カメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂをＸ軸方向に往復移動自在に支持するＸ軸移動装置４３ｃとを備える。第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂは、第１の撮像装置４３Ａのカメラ４３ａによって撮像した画像と第２の撮像装置４３Ｂのカメラ４３ａによって撮像した画像とを処理する画像処理部４３ｄを備える。ここで、１つの撮像領域とは、カメラ４３ａが備える、受光素子が行列状に配置されて成る撮像素子が一度に画像を取り込む範囲として設定された領域のことである。従って、この領域は撮像素子の全ての受光素子によって構成されることもあれば、一部の受光素子によって構成されることともある。第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂのカメラ４３ａは、その光軸Ｌが図４に示す水平方向であるＸ軸方向に平行となるように配置される。カメラ４３ａには、同軸照明が組み込まれている。

鏡筒部４３ｂは、上下の画像をカメラ４３ａの撮像領域内に同時に導く導光用光学部材としての直角プリズム４３ｅを備える。直角プリズム４３ｅとは、図５に示すように、頂角を９０°とした二等辺三角形（直角二等辺三角形）を成す三角柱に形成されたプリズムであり、長さの等しい２つの辺に対応する二側面が反射面４３ｅ１、４３ｅ２として機能する。この直角プリズム４３ｅは、２つの反射面４３ｅ１、４３ｅ２によって形成される稜線４３ｅ３の中央がカメラ４３ａの光軸Ｌ上に位置し、一方の反射面４３ｅ１が上側を向き、他方の反射面４３ｅ２が下側を向き、かつ二等辺三角形の底辺に対応する面がＸＹ平面に対して垂直となるように、鏡筒部４３ｂに取り付けられる。つまり、プリズム４３ｅの底面に対応する面が鏡筒部４３ｂ先端の垂直面に固定される。これによって、カメラ４３ａの光軸に平行に進行し、プリズム４３ｅの上向きの反射面４３ｅ１に入射した光は真上に向けて反射され、またカメラ４３ａの光軸に平行に進行し、プリズム４３ｅの下向きの反射面４３ｅ２に入射した光は真下に向けて反射されることとなる。その結果、後述するように、電子部品ＷのアライメントマークＭＷを含む画像が反射面４３ｅ１によりカメラ４３ａの撮像素子の第１の領域に導かれ、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭの画像が反射面４３ｅ２によりカメラ４３ａの撮像素子の第２の領域（第１の領域とは異なる）に同時に導かれる。図示は省略するが、プリズム４３ｅにおける底辺に対応する面と鏡筒部４３ｂ先端の垂直面との間には、プリズム４３ｅの取り付け角度を三次元に調整可能な、微小送りねじやマイクロメータ等を用いた傾き調整機構が設けられる。

Ｘ軸移動装置４３ｃは、仮圧着ヘッド４１による仮圧着位置に位置付けられた有機ＥＬパネルＰおよび電子部品ＷそれぞれのアライメントマークＰＭ、ＷＭを撮像する撮像位置（図４（Ｂ）に示された位置）と、退避位置（図４（Ａ）において鏡筒部４３ｂが実線で示された位置）とにカメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂを移動可能とする。ここで、退避位置は、仮圧着動作を実施する際に加圧ツール４１ａが電子部品Ｗに対して昇降動したときに、加圧ツール４１ａの動作を妨げることのない位置に設定される。具体的には、第１の撮像装置４３Ａについては、撮像位置に対してＸ軸方向左側の位置に設定される。また、第２の撮像装置４３Ｂについては、撮像位置に対してＸ軸方向右側の位置に設定される。第１の撮像装置４３Ａと第２の撮像装置４３Ｂのカメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂの移動は同期して行なわれる。

なお、仮圧着位置に位置付けられた状態においては、図４（Ｂ）に示すように、仮圧着ヘッド４１に保持された電子部品Ｗが有機ＥＬパネルＰの縁部に対してその上方で対向して離間した位置にある。そのため、鏡筒部４３ｂは、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗの間に進入して、撮像位置に位置付けられる。この撮像位置に位置付けられた状態においては、プリズム４３ｅの上向きの反射面４３ｅ１が電子部品ＷのアライメントマークＷＭに対向し、下向きの反射面４３ｅ２が有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭに対向するようになっている。

画像処理部４３ｄはカメラ４３ａの撮像信号を受け、図７に示すように、１つの撮像領域内に同時に取り込まれて得られた撮像画像Ｈ中における有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭとを認識し、両アライメントマークＰＭ、ＷＭの相対位置に関するデータ（以下、「相対位置データ」という。）を検出する。具体的には、カメラ４３ａの撮像画像Ｈにおいては、図７に示すように、プリズム４３ｅの稜線４３ｅ３がその中央を水平に横切るように撮像され、この稜線４３ｅ３の画像を境にして上側領域（第１の領域）Ｈ１に電子部品Ｗ（電子部品ＷのアライメントマークＷＭ）の画像が撮像され、下側領域（第２の領域）Ｈ２に有機ＥＬパネルＰ（有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭ）の画像が撮像される。なお、図７においては、有機ＥＬパネルＰおよび電子部品Ｗに形成されているアライメントマークＰＭ、ＷＭ以外のパターンは図示を省略している。

画像処理部４３ｄは、公知のパターンマッチング処理により、第１の領域Ｈ１内において、予め設定された電子部品ＷのアライメントマークＷＭの基準パターンと閾値以上のマッチング率が得られる画像を電子部品ＷのアライメントマークＷＭとして認識する。また、第２の領域Ｈ２内において、予め設定された有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭの基準パターンと閾値以上のマッチング率が得られる画像を有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭとして認識する。そして、認識した２つのアライメントマークＷＭ、ＰＭとの相対位置データをカメラ座標系に基づいて検出する。求めた相対位置データは、制御装置１１０に送信する。第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂの画像処理部４３ｄの機能は、後述する制御装置１１０が担うようにしても良い。

（本圧着装置５０）
本圧着装置５０は、図８に示すように、異方性導電テープＦを介して電子部品Ｗが仮圧着された有機ＥＬパネルＰを保持および位置決めするためのステージ５１と、有機ＥＬパネルＰに対して電子部品Ｗを本圧着するための本圧着ヘッド５２と、この本圧着ヘッド５２の下側に本圧着ヘッド５２に対向して配置され、本圧着の際に有機ＥＬパネルＰにおける電子部品Ｗの仮圧着された縁部を下方から支持するバックアップ部５３と、有機ＥＬパネルＰの位置を認識するための位置認識ユニット５４とを備える。

ステージ５１は、有機ＥＬパネルＰを載置する載置部５１ａと、載置部５１ａをＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動させるステージ駆動部５１ｂとを有する。載置部５１ａは、平面視において矩形状を成す部材であり、有機ＥＬパネルＰを載置する載置面（上面）５１ｃには、有機ＥＬパネルＰを吸着保持するための吸着孔５１ｄが複数形成されている。吸着孔５１ｄは、仮圧着装置４０のステージ４２の吸着孔４２ｅと同様に、有機ＥＬパネルＰの吸着痕が残らないように、孔径を小さく設定することが好ましい。ステージ駆動部５１ｂは、仮圧着装置４０のステージ駆動部４２ｃと同様に、Ｘ軸方向駆動部、Ｙ軸方向駆動部、Ｚ軸方向駆動部、θ駆動部を、下側からこの順で積層して構成された駆動部である。

本圧着ヘッド５２は、有機ＥＬパネルＰに仮圧着された電子部品Ｗをその上面側から押圧する加圧ツール５２ａと、加圧ツール５２ａをＺ軸方向に移動させるツール駆動部５２ｂと、加圧ツール５２ａに内蔵され、加圧ツール５２ａを加熱するヒータ５２ｃとを有する。バックアップ部５３は、本圧着ヘッド５２の加圧ツール５２ａの真下の位置に設けられた、加圧ツール５２ａと同等の長さに形成されたバックアップツール５３ａと、バックアップツール５３ａを支持する支持部材５３ｂとを有する。バックアップツール５３ａの上面は、載置部５１ａに載置された有機ＥＬパネルＰの電子部品Ｗが仮圧着された縁部の下面を支持する平坦面として形成されている。

位置認識ユニット５４は、第１のカメラ５４ａと、第２のカメラ５４ｂと、画像処理部（不図示）とを有する。第１および第２のカメラ５４ａ、５４ｂは、ステージ５１による有機ＥＬパネルＰの移動範囲内の上方に、所定の間隔を開けて下向きに取り付けられており、有機ＥＬパネルＰの電子部品Ｗが仮圧着された縁部における両端部近傍に設けられたアライメントマークを撮像する。上述した第１および第２のカメラ５４ａ、５４ｂの間隔（所定の間隔）は、このアライメントマーク同士の間隔である。なお、このアライメントマークは、仮圧着装置４０において相対位置データの認識に用いたアライメントマークＰＭとは別のアライメントマークである。不図示の画像処理部は、第１および第２のカメラ５４ａ、５４ｂによって撮像された有機ＥＬパネルＰのアライメントマークの撮像画像に基づいて、公知のパターンマッチング処理によりアライメントマークを認識し、アライメントマークの位置を検出する。

（第１の受渡し装置６０）
第１の受渡し装置６０は、キャリアテープＴから打ち抜かれた電子部品Ｗを下側から吸着保持する受け部６１と、受け部６１を打ち抜き装置１０Ａ、１０Ｂの金型装置１２の真下の位置と受け取り位置Ａに位置付けられた間欠回転搬送装置２０の保持ヘッド２４の真下の位置とに移動させるためのＸ、Ｙ、Ｚ、θ駆動部６２とを備える。

（第２の受渡し装置７０）
第２の受渡し装置７０は、電子部品Ｗを下側から吸着保持する受け部７１と、受け部７１を受渡し位置Ｄに位置付けられた間欠回転搬送装置２０の保持ヘッド２４の真下の位置と仮圧着装置４０の仮圧着ヘッド４１の真下の位置とに移動させるためのＸ、Ｙ、Ｚ、θ駆動部７２とを備える。

（第１の搬送部８０）
第１の搬送部８０は、不図示の供給部から供給される有機ＥＬパネルＰを上側から吸着保持する保持体８１と、この保持体８１を不図示の供給部による有機ＥＬパネルＰの供給位置と仮圧着装置４０のステージ４２に対する有機ＥＬパネルＰの搬入位置とに移動させるためのＸＺ駆動部８２とを備える。

保持体８１は、図９に示すように、有機ＥＬパネルＰにおける電子部品Ｗが実装される電極列ＥＲが形成された縁部を吸着保持する電極面吸着ブロック８１ａと、この電極面吸着ブロック８１ａに隣接して配置され、有機ＥＬパネルＰにおける電極面吸着ブロック８１ａによって吸着される部分以外の部分を吸着保持する表示エリア吸着部８１ｂとを有している。電極面吸着ブロック８１ａは、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲが形成された縁部全域を吸着保持可能な長さに形成され、当該縁部に沿う方向に長い直方体形状の部材である。この電極面吸着ブロック８１ａの吸着面８１ｃは平坦に形成され、複数の吸着孔８１ｄが設けられている。そして、この吸着孔８１ｄは、仮圧着装置４０の支持部４２ｂと同様に、有機ＥＬパネルＰの縁部に変形が生じない程度の大きさに孔径が設定されており、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲが形成された縁部を平坦にして吸着保持することができるようになっている。表示エリア吸着部８１ｂは、吸着面が平坦な多孔質体やスポンジで形成されており、多数の吸着孔を有している。電極面吸着ブロック８１ａおよび表示エリア吸着部８１ｂの吸着面は、同一平面上に位置するように調整されている。

図９では１つの表示エリア吸着部８１ｂを示しているが、複数の表示エリア吸着部８１ｂが並べて配置されていても良い。表示エリア吸着部８１ｂは、図１０に示すように、電極面吸着ブロック８１ａの長手方向（電極面吸着ブロック８１ａに保持された有機ＥＬパネルＰの縁部方向）とは交差する方向（この実施形態では、直交する方向）に２つ並べて配置される。２つの表示エリア吸着部８１ｂは、それぞれが電極面吸着ブロック８１ａとの間の間隔を調整自在に保持体８１の本体部８１ｅに支持される。これらの表示エリア吸着部８１ｂは、アルミニウム等の金属製のベース部８１ｂ１と、このベース部８１ｂ１における有機ＥＬパネルＰを保持する面（以下、「下面」という。）を覆う平坦な多孔質シート８１ｂ２とを備える。ベース部８１ｂ１には、真空吸引孔に連通する概略格子状の吸引溝がその下面に形成されており、この下面に設けられた多孔質シート８１ｂ２の全域に真空吸引力を作用させ、多孔質シート８１ｂ２の全域で有機ＥＬパネルＰを略均一な吸引力で平坦に保持することができるようになっている。多孔質シート８１ｂ２としては、例えば樹脂の多孔質成形体をフィルム状に加工したものを用いることができる。このように構成することによって、保持体８１は可撓性を有する薄いフィルム状の有機ＥＬパネルＰであっても、平坦にかつ吸着痕を生じさせることなく吸着保持することができる。

また、有機ＥＬパネルＰを仮圧着装置４０のステージ４２上に載置するときには、電極面吸着ブロック８１ａが有機ＥＬパネルＰの電極が形成された縁部の上面（電極面）をステージ４２の支持部４２ｂに対して押し付けることとなる。従って、有機ＥＬパネルＰの電極面は、電極面吸着ブロック８１ａの平坦な吸着面８１ｃと支持部４２ｂの平坦な支持面４２ｆとの間に挟まれ、平坦に矯正された状態で、支持部４２ｂに吸着保持される。さらに、表示エリア吸着部８１ｂが有機ＥＬパネルＰを平坦に吸着保持した状態で、有機ＥＬパネルＰを載置部４２ａの載置面４２ｄに当接させるので、有機ＥＬパネルＰは電極面以外でも皺等が生じることなく載置部４２ａに吸着保持される。

（第２の搬送部９０）
第２の搬送部９０は、仮圧着装置４０によって電子部品Ｗが仮圧着された有機ＥＬパネルＰを上側から吸着保持する保持体９１と、この保持体９１を仮圧着装置４０のステージ４２から有機ＥＬパネルＰを搬出する搬出位置と本圧着装置５０のステージ５１に対する有機ＥＬパネルＰの搬入位置とに移動させるためのＸＺ駆動部９２とを備える。保持体９１は、有機ＥＬパネルＰの上面における略全域を吸着保持する、吸着面が平坦な多孔質体等で形成された表示エリア吸着部を備えている。この表示エリア吸着部は、保持体８１の表示エリア吸着部８１ｂと同様に構成される。

（第３の搬送部１００）
第３の搬送部１００は、本圧着装置５０によって電子部品Ｗが本圧着された有機ＥＬパネルＰ、つまり表示用部材を上側から吸着保持する保持体１０１と、この保持体１０１を、本圧着装置５０のステージ５１から有機ＥＬパネルＰを搬出する搬出位置と不図示の搬出装置への受渡し位置とに移動させるためのＸＺ駆動部１０２とを備える。

（制御装置１１０）
制御装置１１０は、記憶部１１１を備える。この記憶部１１１には、例えば仮圧着装置４０での荷重、加熱温度やアライメントマークＰＭ、ＷＭの基準位置情報等、各部を制御するための各種の情報が記憶される。

［実装装置の動作］
次に、実施形態の実装装置１の作動について説明する。まず、第１の打ち抜き装置１０Ａの供給リール１１からキャリアテープＴが供給され、金型装置１２によってキャリアテープＴから電子部品Ｗが打ち抜かれる。打ち抜かれた電子部品Ｗは、パンチ１２ｃに吸着保持される。パンチ１２ｃに保持された電子部品Ｗは、第１の受渡し装置６０の受け部６１に受け渡され、第１の受渡し装置６０により間欠回転搬送装置２０の受け取り位置Ａへと移送される。受け取り位置Ａに移送された電子部品Ｗは、受け取り位置Ａに位置付けられた間欠回転搬送装置２０の保持ヘッド２４へと受け渡される。なお、第１の受渡し装置６０は、電子部品Ｗを受け取り位置Ａに移送する途中で、電子部品Ｗの向きを９０°回転させることで、端子列ＴＲが形成された縁部を受け取り位置Ａに位置付けられた保持ヘッド２４の外方側面に沿う方向（Ｙ方向）に合わせる。

保持ヘッド２４に保持された電子部品Ｗは、インデックステーブル２２の間欠回転によって、ゲージング／清掃位置Ｂ、貼着位置Ｃ、受渡し位置Ｄへと順次移送される。この移送中、ゲージング／清掃位置Ｂにおいて、電子部品Ｗは不図示の位置決め機構の当接により保持ヘッド２４に対して位置決めされると共に、不図示の回転ブラシ等の清掃機構により端子部に付着した塵埃の清掃が行われる。また、貼着位置Ｃにおいて、電子部品Ｗの端子部には、異方性導電テープ貼着装置３０によって異方性導電テープＦが貼着される。ゲージング／清掃位置Ｂにて位置決めおよび清掃が行われ、貼着位置Ｃにて異方性導電テープＦが貼着された電子部品Ｗが受渡し位置Ｄに位置付けられると、電子部品Ｗは受渡し位置Ｄにおいて第２の受渡し装置７０の受け部７１に受け渡される。受け部７１に受け渡された電子部品Ｗは、仮圧着装置４０の仮圧着ヘッド４１の真下の位置に移送され、仮圧着ヘッド４１に受け渡される。

一方、上述した動作と並行的に、不図示の供給部から第１の搬送部８０の保持体８１によって有機ＥＬパネルＰが取出され、仮圧着装置４０のステージ４２に供給載置される。まず、第１の搬送部８０の保持体８１が不図示の供給部へ移動し、供給部において準備された有機ＥＬパネルＰの上面に保持体８１の保持面、すなわち電極面吸着ブロック８１ａの吸着面８１ｃおよび表示エリア吸着部８１ｂの吸着面を当接させる。この際、保持体８１によって有機ＥＬパネルＰを軽く押え付けた状態で電極面吸着ブロック８１ａと表示エリア吸着部８１ｂの吸着力を作用させる。このようにすることによって、有機ＥＬパネルＰに反りや撓みが生じている場合においても、有機ＥＬパネルＰを平坦な状態で保持体８１に保持させることができる。

保持体８１に保持された有機ＥＬパネルＰは、仮圧着装置４０のステージ４２上に搬送される。このとき、仮圧着装置４０のステージ４２は、保持体８１から有機ＥＬパネルＰの供給を受ける供給位置（図１に二点鎖線で示す位置）に位置付けられている。ステージ４２上に搬送された有機ＥＬパネルＰはステージ４２に載置される。このとき、保持体８１の下降によって、有機ＥＬパネルＰはステージ４２上に押し付けられて平坦化される。

より詳細には、有機ＥＬパネルＰは、保持体８１の電極面吸着ブロック８１ａの吸着面８１ｃに電極面が吸着保持されていると共に、表示エリア吸着部８１ｂに表示エリアが吸着保持されており、これらによって平坦な状態で保持されている。この状態で、有機ＥＬパネルＰはステージ４２上に押し付けられるので、有機ＥＬパネルＰは保持体８１の電極面吸着ブロック８１ａの吸着面８１ｃおよび表示エリア吸着部８１ｂの吸着面と、ステージ４２の支持部４２ｂの支持面４２ｆおよび載置部４２ａの載置面４２ｄとの間に挟まれる。そのため、有機ＥＬパネルＰは、平坦化された状態を維持したままでステージ４２上に受け渡され、ステージ４２に吸着保持される。

この際、有機ＥＬパネルＰがステージ４２上に押し付けられた状態で、ステージ４２の支持部４２ｂの吸着孔４２ｇおよび載置部４２ａの吸着孔４２ｅに吸引力を作用させた後、保持体８１の電極面吸着ブロック８１ａと表示エリア吸着部８１ｂの吸引力を解除するようにしても良いが、ステージ４２に吸引力を作用させる前に保持体８１の吸引力を解除するようにしても良い。このようにすることで、ステージ４２と保持体８１との間に挟持された有機ＥＬパネルＰの面方向における拘束が軽減されることになるので、仮に反りや撓みが残った状態で保持体８１に保持されていた場合でも、その反りや撓みが挟持によって矯正されて平坦化されることが期待される。このため、保持体８１をステージ４２に押し付ける力は、前述の矯正の妨げにならない程度の大きさに設定することが好ましい。

ステージ４２に有機ＥＬパネルＰが保持されると、保持体８１は不図示の供給部へと移動する。ステージ４２は、仮圧着ヘッド４１による仮圧着位置に移動する。これによって、ステージ４２に支持された有機ＥＬパネルＰは、仮圧着位置に位置付けられる。

一方、電子部品Ｗを保持した仮圧着ヘッド４１は、第２の受渡し装置７０から電子部品Ｗを受け取った受渡し位置から仮圧着位置に移動する。仮圧着位置において、電子部品Ｗは仮圧着位置に位置付けられた有機ＥＬパネルＰの電極面に対して、所定の高さだけ上方の位置に位置付けられた状態となる。つまり、仮圧着位置における有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗは、有機ＥＬパネルＰの電極面と電子部品Ｗの端子部とが上下に離間した状態で対向配置されることになる。

有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗが仮圧着位置に位置付けられると、位置認識ユニット４３の第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂがそれぞれ退避位置から撮像位置に移動する。この状態で、第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂは、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭの画像をそれぞれ同時に取込む。そして、取り込まれた両アライメントマークＰＭ、ＷＭの画像は画像処理部４３ｄに送られ、画像処理部４３ｄによって両アライメントマークＰＭ、ＷＭの相対位置データが求められる。相対位置データは制御装置１１０に送られ、記憶部１１１に予め記憶されている相対位置データの基準位置情報と比較され、その結果に基づいて有機ＥＬパネルＰと電子部品ＷとのＸ、Ｙ、θ方向の相対位置ずれが求められる。制御装置１１０は、求めた相対位置ずれに基づいて、この位置ずれを無くすようにツール駆動部４１ｂとステージ駆動部４２ｃを制御して、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗとを位置合わせする。

有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗとの位置ずれを修正した後、ツール駆動部４１ｂの駆動によって加圧ツール４１ａが下降される。これによって、予め設定された加熱温度、加圧力、加圧時間で、電子部品Ｗの端子部が有機ＥＬパネルＰの電極面に異方性導電テープＦを介して加熱加圧され、電極列ＥＲを有する縁部が支持部４２ｂにより下側から支持された有機ＥＬパネルＰに電子部品Ｗが仮圧着される。このとき、ステージ４２の支持部４２ｂを下側から支持するバックアップ部材を設けておき、このバックアップ部材によって仮圧着する際に支持部４２ｂを下から支持するようにしても良い。このようにすることで、加圧によってステージ４２に撓みが生じることが防止できるので、ステージ４２の剛性を低くして軽量化を図ることが可能となる。ステージ４２を移動させる際の負荷が低減され、移動時の振動の低減が図れ、安定かつ迅速な移動や位置決めが可能となる。

予め設定された加圧時間が経過すると、加圧ツール４１ａによる電子部品Ｗの吸着が解除されると共に加圧ツール４１ａが上昇する。加圧ツール４１ａは、第２の受渡し装置７０から電子部品Ｗが受け渡される受渡し位置に移動される。また、電子部品Ｗが仮圧着された有機ＥＬパネルＰを載置するステージ４２は、第２の搬送部９０に有機ＥＬパネルＰを受け渡す搬出位置へと移動される。この搬出位置で、有機ＥＬパネルＰは、第２の搬送部９０の保持体９１によって、その上面を第１の搬送部８０の保持体８１による保持と同様にして吸着保持され、本圧着装置５０のステージ５１へと搬送される。

第２の搬送部９０によって本圧着装置５０に供給された有機ＥＬパネルＰは、搬入位置に位置付けられたステージ５１上に受け渡され、ステージ５１上に吸着保持される。この受渡しの際の動作は、第１の搬送部８０からステージ４２への有機ＥＬパネルＰの受渡しと同様にして行なわれる。ただし、電子部品Ｗが仮圧着された有機ＥＬパネルＰの縁部が、ステージ５１からはみ出した状態で保持される点が相違する。

ステージ５１に有機ＥＬパネルＰが保持されると、ステージ５１は有機ＥＬパネルＰの縁部をバックアップツール５３ａの上面に支持させるべく移動される。なお、この移動の途中で、位置認識ユニット５４によって有機ＥＬパネルＰのアライメントマーク（アライメントマークＰＭとは別のマーク）の位置認識が行われる。この位置認識結果に基づいて、ステージ５１は有機ＥＬパネルＰの電極面がバックアップツール５３ａの上面に正しい位置関係で位置するように移動される。バックアップツール５３ａの上面に有機ＥＬパネルＰの縁部が支持されると、ツール駆動部５２ｂの駆動によって加圧ツール５２ａが下降され、予め設定された加熱温度、加圧力、加圧時間で、有機ＥＬパネルＰに仮圧着された電子部品Ｗが本圧着される。

予め設定された加圧時間が経過すると、加圧ツール５２ａは上昇される。また、電子部品Ｗが本圧着された有機ＥＬパネルＰ、つまり表示用部材を載置するステージ５１は、第３の搬送部１００に有機ＥＬパネルＰを受け渡す搬出位置へと移動される。この搬出位置で、有機ＥＬパネルＰは第３の搬送部１００の保持体１０１によって、その上面を吸着保持され、不図示の搬出装置へと搬送される。

上述した電子部品Ｗの有機ＥＬパネルＰへの仮圧着工程および本圧着工程を含む実装動作を、電子部品Ｗを実装すべき有機ＥＬパネルＰが無くなるまで繰り返して実行する。なお、実施形態の実装装置１において、仮圧着工程は位置精度の向上が重要であるのに対し、本圧着工程は異方性導電テープＦによる圧着強度や信頼性の向上が重要であり、また工程時間も相違する。このため、仮圧着装置４０と本圧着装置５０とを適用し、仮圧着工程と本圧着工程とを実施することによって、電子部品Ｗの実装効率を向上させることができる。ただし、実施形態の実装装置１はこのような構成に限定されるものではない。本圧着装置５０で位置決め工程から本圧着工程までを実施するようにしても良い。その場合、本圧着装置５０のステージ５１に支持部４２ｂとバックアップ部５３とが併設される。

［実装装置の作用効果］
上述した実施形態の実装装置１によれば、可撓性を有する有機ＥＬパネルＰにおける電子部品Ｗが実装される縁部を下側から支持する支持部４２ｂを備えたステージ４２によって支持し、このステージ４２に支持された状態の有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと仮圧着ヘッド４１に保持された電子部品ＷのアライメントマークＷＭとの相対位置データを、上下に離間して対向配置された有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭの画像を同時に１つの撮像領域内に取込み可能な第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂを用いて検出し、検出した相対位置データに基づいて有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗとを位置合わせし、有機ＥＬパネルＰに異方性導電テープＦを介して電子部品Ｗを仮圧着した後、本圧着するようにしている。

このため、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭとの相対位置データを検出する際に、有機ＥＬパネルＰにおける電極の形成された縁部がステージ４２の支持部４２ｂによって支持されることになる。これによって、有機ＥＬパネルＰの縁部の垂れが防止され、縁部に設けられたアライメントマークＰＭの位置認識精度を向上させることができる。

また、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭを上側から撮像し、電子部品ＷのアライメントマークＷＭを下側から撮像し、しかも両アライメントマークＰＭ、ＷＭの画像を、単一の鏡筒部４３ｂに設けられたプリズム４３ｅを介して１つのカメラ４３ａの１つの撮像領域内に同時に取込む。そのため、有機ＥＬパネルＰの上面に形成されているアライメントマークＰＭを、有機ＥＬパネルＰを構成するＰＩやＰＥＴ等の樹脂を介することなく撮像することが可能となるから、アライメントマークＰＭを安定して鮮明に撮像することができる。しかも、両アライメントマークＰＭ、ＷＭの画像を単一の鏡筒部４３ｂに設けられたプリズム４３ｅを介してカメラ４３ａの１つの撮像領域内に取り込むので、仮に鏡筒部４３ｂに雰囲気温度の上昇等によって熱変形を生じたとしても、２つのアライメントマークＰＭ、ＷＭの画像を取り込む光軸のずれを極力小さくすることが可能となる。

さらに、両アライメントマークＰＭ、ＷＭの画像を単一の鏡筒部４３ｂに設けられたプリズム４３ｅを介してカメラ４３ａの１つの撮像領域内に同時に取り込むので、装置の振動によって鏡筒部４３ｂ等に振動が生じたとしても、カメラ４３ａの撮像領域内に取り込まれる両アライメントマークＰＭ、ＷＭの相対位置関係にずれが生じることを防止できる。すなわち、両アライメントマークＰＭ、ＷＭの画像をカメラ４３ａに導く鏡筒部４３ｂが単一であるから、この鏡筒部４３ｂが振動したとしても、アライメントマークＰＭ側からカメラ４３ａに至る光の経路とアライメントマークＷＭ側からカメラ４３ａに至る光の経路の位置関係は変わることがない。そのため、カメラ４３ａの撮像領域内においてアライメントマークＰＭ、ＷＭの撮像される位置が変動しても、アライメントマークＰＭ、ＷＭ同士の相対位置関係が変動することは防止される。

これらのことから、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭの相対位置データの認識精度を向上させることかできる。従って、この相対位置データを用いて行われる有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗとの位置合わせ精度が向上し、その結果として可撓性を有する有機ＥＬパネルＰに可撓性を有する電子部品Ｗを実装する場合であっても、その実装精度を向上させることが可能となる。

また、ステージ４２に設けられ、有機ＥＬパネルＰにおける電子部品Ｗが実装される縁部を下側から支持する支持部４２ｂの支持面４２ｆに、複数の吸着孔４２ｇを有機ＥＬパネルＰの縁部に生じる反りやうねりによる凹凸の周期よりも短い間隔で配置して設け、有機ＥＬパネルＰの縁部を支持面４２ｆで支持した状態で吸着保持するようにしている。これによって、有機ＥＬパネルＰの縁部をより平坦な状態で支持することができるので、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭとその周囲の部分が水平で平坦な状態に安定して保持され、アライメントマークＰＭの位置認識精度を一層向上させることができる。

さらに、有機ＥＬパネルＰにおける電子部品Ｗが実装される縁部を支持部４２ｂの支持面４２ｆに設けた複数の吸着孔４２ｇによって下側から吸着するようにしている。そのため、有機ＥＬパネルＰを構成する樹脂が吸湿等によって有機ＥＬパネルＰの縁部に反り上がった状態となっているような場合であっても、有機ＥＬパネルＰを支持部４２ｂの支持面４２ｆ上に密着させることが可能となる。これによって、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭとその周囲の部分を平坦な状態に安定して保持することができ、アライメントマークＰＭの位置認識精度の向上を図ることができる。

有機ＥＬパネルＰをステージ４２に供給載置する第１の搬送部８０の保持体８１を、電極面吸着ブロック８１ａの平坦な吸着面８１ｃと表示エリア吸着部８１ｂの平坦な吸着面とで、有機ＥＬパネルＰを保持する面が平坦面となるように形成している。これによって、反りや撓みが生じやすい可撓性を有する有機ＥＬパネルＰであっても、この平坦な保持面に吸着保持することにより、保持体８１に平坦な状態で保持させることが可能となる。これによって、有機ＥＬパネルＰを平坦な状態でステージ４２に載置して保持させることができ、これによりステージ４２に保持された状態で行なわれるアライメントマークＰＭの位置認識精度を向上させる効果を安定して得ることが可能となる。

さらに、保持体８１によってステージ４２上に有機ＥＬパネルＰを載置する際に、保持体８１の保持面によって有機ＥＬパネルＰをステージ４２の支持部４２ｂの支持面４２ｆおよび載置部４２ａの載置面４２ｄとの間で挟持するようにしている。このことによって、有機ＥＬパネルＰを平坦な状態を維持したままでステージ４２に受け渡すことができる。このことによっても、有機ＥＬパネルＰを平坦な状態でステージ４２に保持させることができ、ステージ４２に保持された状態で行なわれるアライメントマークＰＭの位置認識精度を向上させる効果をさらに安定して得ることが可能となる。

また、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと電子部品ＷのアライメントマークＷＭの相対位置データを検出するための位置認識ユニット４３の第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂは、カメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動装置４３ｃを備えており、Ｘ軸方向の直線移動によってカメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂを撮像位置と退避位置との間で移動させるように構成されている。そして、この移動は同期して行なわれる。つまり、左右のカメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂは、互いに反対方向に同時に移動し、同時に停止する。すなわち、第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂは同一の構成であるから、カメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂの重量は同じであり、同じ重量の部材が反対方向に同時に移動し同時に停止することになるから、互いの移動、停止によって生じる振動が打ち消され、両者の移動あるいは停止によって生じる振動が低減されることが期待できる。このため、有機ＥＬパネルＰと電子部品ＷのアライメントマークＰＭ、ＷＭの撮像を、極力振動が抑制された状態で行なうことができ、アライメントマークＰＭ、ＷＭの相対位置データの検出を精度良く行なうことが可能となる。

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、表示用パネルとして有機ＥＬパネルを例に説明したが、これに限られるものではない。例えば、可撓性を有する電子ペーパの構成部材を表示用パネルとして用いることも可能である。

また、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗの接続に異方性導電テープＦを用いたが、これに限られるものではない。他の接合部材、例えば導電性粒子を含有した接着剤等を用いても良い。接着剤を用いる場合、熱硬化性や光硬化性の接着剤を用いることが可能である。

位置認識ユニット４３の第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂのカメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂをＸ軸方向への移動によって撮像位置と退避位置に位置付けるものとしたが、他の方向、例えばＹ軸方向への移動によって撮像位置と退避位置とに位置付けるようにしても良い。要は、カメラ４３ａおよび鏡筒部４３ｂを加圧ツール４１ａの昇降動等の移動の妨げにならない位置に退避させることができれば良い。また、撮像部をカメラ４３ａとし、カメラ４３ａとは別体の鏡筒部４３ｂに導光用光学部材としてのプリズム４３ｅを設けたものとして説明したが、撮像部と導光用光学部材は別部材に設けるものに限らず、一体で設けても良く、例えばカメラに導光用光学部材が内蔵されていても良い。

第１ないし第３の搬送部８０、９０、１００の構成は、上述したものに限られるものではなく、他の構成であっても良い。例えば、多孔質シートを用いる代わりに、発泡ウレタンゴムやシリコンゴム等の軟質なゴムや樹脂材料に複数の吸着用の開口を設けたものを用いるようにしても良い。

仮圧着装置４０のステージ４２から本圧着装置５０のステージ５１に第２の搬送部９０を用いて有機ＥＬパネルＰを搬送するものとして説明したが、これに限られるものではない。例えば、本圧着装置５０のステージ５１を仮圧着装置４０のステージ４２に近接する位置まで移動できるように構成し、仮圧着装置４０のステージ４２の近接位置に移動した本圧着装置５０のステージ５１に対して、第１の搬送部８０を用いて有機ＥＬパネルＰを搬送するようにしても良い。つまり、第１の搬送部８０で第２の搬送部９０を兼ねるようにしても良い。

仮圧着装置４０と本圧着装置５０とで、有機ＥＬパネルＰを１枚ずつ熱圧着するものとして説明したが、これに限られるものではない。例えば、一般的に本圧着は仮圧着に比べて、数倍長い時間を必要とする。そこで、１台の仮圧着装置４０に対して、本圧着装置５０を複数台、例えば２台配置し、仮圧着装置４０の待ち時間を縮小して生産性を向上させることも可能である。このとき、複数台の本圧着装置５０を設ける代わりに、１台の本圧着装置５０に有機ＥＬパネルＰを複数枚並列に載置可能なステージ５１を設けると共に、複数並列に載置された有機ＥＬパネルＰ上の電子部品Ｗを一括、または個別に本圧着することのできる本圧着ヘッド５２を設けるようにしても良い。ここで、一括して本圧着する場合、並列に載置された複数の有機ＥＬパネルＰの全域をカバーできる長さの加圧ツール５２ａを本圧着ヘッド５２に装備する。また、個別に本圧着する場合、１つの有機ＥＬパネルＰに実装する電子部品Ｗをカバーできる長さの加圧ツール５２ａを、有機ＥＬパネルＰの載置間隔に合わせて本圧着ヘッド５２に装備する。各加圧ツール５２ａは、個別に加圧力を設定できるように構成しておくことが好ましい。

第１の搬送部８０の保持体８１によって、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲが形成された縁部を吸着保持するものとしたが、これに限られるものではない。例えば、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲに異方性導電テープＦが貼着されている場合等、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲに他の部材を接触させられない、あるいは、接触させたくない事情がある場合には、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲが形成された縁部を吸着保持せずに、当該縁部を保持体８１からはみ出させた状態で保持するようにしても良い。このように、有機ＥＬパネルＰの電極列ＥＲが形成された縁部をはみ出させて吸着保持した場合でも、厚みが２０μｍ以上５００μｍ以下で曲げ弾性率が２．５ＧＰａ以上４．０ＧＰａ以下の柔軟な有機ＥＬパネル（表示状パネル）であれば、電極列ＥＲの近傍を保持体８１の平坦な吸着面８１ｃで吸着保持することで、仮に電極列ＥＲの形成された縁部に及ぶ反りやうねりが生じていたとしても、ステージ４２の支持部４２ｂの平坦な支持面４２ｆに、複数の吸着孔４２ｇの吸着力によって縁部を倣わせて吸着保持させることができる。

さらに、ステージ４２の支持部４２ｂの支持面４２ｆに照明装置を内蔵させても良い。具体的には、支持面４２ｆにおける、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭと対向位置する部分に照明装置を内蔵させ、第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３ＢによってアライメントマークＰＭを撮像する際に、アライメントマークＰＭの下側から光を照射するようにする。このようにすることで、反射光によってアライメントマークＰＭを撮像する場合と比べて、アライメントマークＰＭの画像と背景画像との間に大きな明暗差を得ることができ、アライメントマークＰＭの画像をより鮮明に得ることができ、認識精度の向上を図ることができる。また、支持部４２ｂに照明装置を内蔵する代わりに、透光窓を設けたり、支持部４２ｂを透光性の部材、例えば透明なガラス材で形成したりして、これらを介して光を照射するようにしても良い。

上述した実施形態では異方性導電テープＦを電子部品Ｗに貼着する構成について説明したが、これに限られるものではない。異方性導電テープＦは有機ＥＬパネルＰ、すなわち表示用パネルに貼着するようにしても良い。この場合、間欠回転搬送装置２０の貼着位置Ｃに異方性導電テープ貼着装置３０を設ける代わりに、有機ＥＬパネルＰの供給部の上流側に、有機ＥＬパネルＰに異方性導電テープＦを貼着する異方性導電テープ貼着装置を設けるようにすると良い。例えば、図１１に示すような実装装置２０１を適用してもよい。図１１は他の実施形態の実装装置２０１の構成を示している。

［他の実施形態による実装装置］
図１１に示す実装装置２０１は、異方性導電テープ貼着装置２３０、仮圧着装置２４０、本圧着装置２５０をＸ方向に並べて配置し、仮圧着装置２４０のＹ方向後方に打ち抜き装置２１０を配置し、さらに仮圧着装置２４０と打ち抜き装置２１０との間に、電子部品Ｗを搬送する搬送装置２６０を配置した構成を有している。各処理装置２３０、２４０、２５０の間には、有機ＥＬパネルＰの第１〜第４の搬送部２７１、２７２、２７３、２７４が配置されている。この実装装置２０１は、有機ＥＬパネルＰを４つずつ供給して各処理装置２３０、２４０、２５０での処理を行なうものである。打ち抜き装置２１０は、キャリアテープＴから電子部品Ｗを打ち抜くものであり、上述の実施形態で説明した打ち抜き装置１０と同様の構成を有する。

異方性導電テープ貼着装置２３０においては、有機ＥＬパネルＰに異方性導電テープＦが貼着される。異方性導電テープ貼着装置２３０は、有機ＥＬパネルＰを二枚ずつＸ方向に並べて保持する２つの載置部２３１、２３２がＸ方向に並べて配置されている。これらの載置部２３１、２３２は、それぞれＸＹＺθ方向に移動可能に設けられている。また、２つの載置部２３１、２３２に対応して異方性導電テープＦの貼着ユニット２３３、２３４が配置される。各載置部２３１、２３２は、それぞれ対応する貼付ユニット２３３、２３４による貼着位置に載置部２３１、２３２上の有機ＥＬパネルＰを順次位置付ける。各貼着ユニット２３３、２３４は、貼着位置に位置付けられた有機ＥＬパネルＰに異方性導電テープＦを貼着する。

仮圧着装置２４０は、異方性導電テープＦが貼着された有機ＥＬパネルＰに電子部品Ｗを仮圧着する。仮圧着装置２４０は、有機ＥＬパネルＰを四枚ずつＸ方向に並べて保持する載置部２４１、載置部２４１に保持された有機ＥＬパネルＰに電子部品Ｗを仮圧着する仮圧着ヘッド２４２、仮圧着ヘッド２４２によって有機ＥＬパネルＰに電子部品Ｗを仮圧着するときに、有機ＥＬパネルＰを下側から支持する不図示のバックアップツールを備える。載置部２４１は、ＸＹＺθ方向に移動可能に設けられ、載置部２４１上の四枚の有機ＥＬパネルＰを仮圧着ヘッド２４２による仮圧着位置に順次位置付ける。仮圧着ヘッド２４２は、仮圧着位置に位置付けられた有機ＥＬパネルＰに電子部品Ｗを順次仮圧着する。なお、仮圧着装置２４０は、上述の実施形態で説明した仮圧着装置４０と同様の位置認識装置を備えることは言うまでもない。

ここで、仮圧着ヘッド２４２には、搬送装置２６０により、打ち抜き装置２１０によって打ち抜かれた電子部品Ｗが順次供給される。すなわち、搬送装置２６０は、ＸＹＺθ駆動部２６１によってＸＹＺθ方向に移動可能とされ、電子部品Ｗを下側から吸着保持する受け部２６２を備え、打ち抜きユニット２１０から電子部品Ｗを受取り、仮圧着ヘッド２４２に受け渡す。

本圧着装置２５０は、有機ＥＬパネルＰに仮圧着された電子部品Ｗを本圧着する。本圧着装置２５０は、有機ＥＬパネルＰを一枚ずつ個別に保持する４つの載置部２５１、２５２、２５３、２５４をＸ方向に並設する。また、４つの載置部２５１、２５２、２５３、２５４に対応して４つの本圧着ヘッド２５５、２５６、２５７、２５８が設けられる。本圧着ヘッド２５５、２５６、２５７、２５８は、加圧力を個別に調整可能に設けられると共に、一括して昇降動可能に設けられる。個々の載置部２５１、２５２、２５３、２５４は、ＸＹＺθ方向に移動可能とされ、対応する本圧着ヘッド２５５、２５６、２５７、２５８に対して有機ＥＬパネルＰを位置決め可能となっている。４つの本圧着ヘッド２５５、２５６、２５７、２５８は、４つの載置部２５１、２５２、２５３、２５４によって位置付けられた４つの有機ＥＬパネルＰに対して一括して本圧着を行なう。

第１ないし第４の搬送部２７１、２７２、２７３、２７４は、各処理装置２３０、２４０、２５０との間で有機ＥＬパネルＰを４つ同時に受け渡す。すなわち、第１ないし第４の搬送部２７１、２７２、２７３、２７４はそれぞれ、有機ＥＬパネルＰを上側から吸着保持する４つの保持部をＸ方向に並設してなる。そして、第１の搬送部２７１は、不図示の供給部から異方性導電テープ貼着装置２３０に有機ＥＬパネルＰを４つ同時に受け渡す。第２の搬送部２７２は、異方性導電テープ貼着装置２３０から仮圧着装置２４０に有機ＥＬパネルＰを４つ同時に受け渡す。第３の搬送部２７３は、仮圧着装置２４０から本圧着装置２５０に有機ＥＬパネルＰを４つ同時に受け渡す。第４の搬送部２７４は、本圧着装置２５０から不図示の搬出部に有機ＥＬパネルＰを４つ同時に搬出する。このような構成の実装装置２０１に対しても、本発明は適用可能である。

次に、本発明の実施例とその評価結果について述べる。

（実施例１）
上述した実施形態の実装装置１を用いて、以下の条件で実装精度を確認する実験を行なった。ここでは、有機ＥＬパネルＰとして、５インチの表示面（１２０ｍｍ×６５ｍｍ）を有するものを用意した。有機ＥＬパネルＰの厚みは２１０μｍ、曲げ弾性率は３．０ＧＰａである。電子部品Ｗとしては、幅３６ｍｍ、長さが２５ｍｍのＣＯＦを用意した。目標精度は、スマートフォン用ディスプレイパネルに用いられる有機ＥＬパネルにおいて求められる一般的な精度である、±３μｍとした。

＜実験条件＞
仮圧着ヘッドのヒータ：ＯＦＦ
タクトタイム：１０秒（ただし、仮圧着ツール４１ａおよび載置部４２ａの移動速度は、タクト５秒で実装する場合と同じとした。）
繰り返し時間（回数）：５．４時間（１９４４回）

実験に際しては、まずそれぞれが待機位置にある状態で、有機ＥＬパネルＰを載置部４２ａに載置し、電子部品Ｗを加圧ツール４１ａに保持させる。待機位置は、載置部４２ａについては第１の搬送部８０から有機ＥＬパネルＰを受け取る供給位置であり、加圧ツール４１ａについては第２の受渡し装置７０から電子部品Ｗを受け取る位置である。この状態から、上述した実施形態と同様にして、仮圧着位置に有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗを位置付ける。つまり、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗとの間に、第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂの鏡筒部４３ｂが進入可能な間隔を隔てて、その縁部同士を対向して配置させる。このとき、加圧ヘッド４１ａは、θ＝＋５°の水平方向に回転させた状態で位置付ける。これは、回転ずれの補正精度を確認するためである。

この状態で、第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂを用いて、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗのアライメントマークの位置を認識し、この認識結果に基づいて有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗの位置合わせを行う。この位置合わせは、有機ＥＬパネルＰの縁に対して電子部品Ｗの縁を重ね合わせるのではなく、上述した鏡筒部４３ｂが侵入可能な間隔を隔てた状態のままで、つまり高さ方向の位置を変えないままで、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗのアライメントマークの位置を合わせるようにした。そのため、位置合わせの際に第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂを必ずしも退避させる必要はない。

位置合わせが完了したら、第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂを用いて、有機ＥＬパネルＰのアライメントマークと電子部品Ｗのアライメントマークとを撮像し、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗとの間の相対位置ずれを認識する。そして、この認識結果から求めた相対位置ずれを、実装精度として記録する。

（比較例１）
比較例では、実施形態で説明した第１および第２の撮像装置４３Ａ、４３Ｂに代えて、有機ＥＬパネルＰの左右のアライメントマークＰＭと電子部品Ｗの左右のアライメントマークＷＭとをそれぞれ個別に撮像する４つのカメラを取り付け、実装精度の確認を行ったものである。なお、正確には位置合わせ精度の確認だが、圧着の際に生じるずれは組み付け精度に起因する一定の傾向のあるずれであり、オフセット値を設定することで相殺可能であるから実質的に実装精度と見ることができる。

また、比較例では、後述するように位置合わせ精度を確認する際に有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭを下側から、つまり有機ＥＬパネルＰを通して撮像する必要があることから、有機ＥＬパネルＰのＴＥＧ（Ｔｅｓｔ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｇｒｏｕｐ）を用いた。ＴＥＧとは、テスト用に作製した評価用部材のことである。ここでは、有機ＥＬパネルＰのＴＥＧとして、厚み０．５ｍｍのガラス板を用いて５インチの有機ＥＬパネルＰに相当する大きさのものを作製して用いた。以下、有機ＥＬパネルＰのＴＥＧのことを、単に有機ＥＬパネルＰと称する。

４つのカメラは、そのうち有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭを撮像するための２つのカメラを、仮圧着に先立つ認識位置に位置付けられた状態の有機ＥＬパネルＰのアライメントマークＰＭの直下に１つずつ位置するようにして上向きに取り付けた。電子部品ＷのアライメントマークＷＭを撮像するための２つのカメラを、仮圧着に先立つ認識位置に位置付けられた状態の電子部品ＷのアライメントマークＷＭの直下に１つずつ位置するようにして上向きに取り付けた。また、有機ＥＬパネルＰの縁部を支持する支持部４２ｂには、アライメントマークに対応する位置に上下に貫通した切欠き部を設け、下側からでもアライメントマークを視認可能とした実験用に作製したものを使用した。

このように構成した実装装置を用いて、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗの位置合わせ結果を、実装精度として記録した。具体的には、認識位置に位置付けられた有機ＥＬパネルＰのアライメントマークの位置を有機ＥＬパネルＰ用の２つのカメラを用いて認識し、認識位置に位置付けられた電子部品Ｗのアライメントマークの位置を電子部品Ｗ用の２つのカメラを用いて認識した。このとき、電子部品Ｗは上述の実施例と同様に、θ＝＋５°の水平方向に回転させた状態で位置付けた。そして、これらの認識結果に基づいて、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗの位置合わせを行った。

なお、この位置合わせは、有機ＥＬパネルＰの縁部に対して電子部品Ｗの縁部を重ね合わせるのではなく、有機ＥＬパネルＰの縁部と電子部品Ｗの縁部とが予め設定した僅かな距離を隔てて対向するようにして行った。具体的には、縁部同士が３．３ｍｍの間隔を成すようにして位置合わせを行った。位置合わせ精度の認識は、電子部品Ｗのアライメントマークの撮像用として上向きで設けられた２つのカメラを用いて、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗのアライメントマークを同一視野内に同時に取り込み、相対位置ずれを認識した。すなわち、有機ＥＬパネルＰと電子部品Ｗの右側のアライメントマーク同士を、電子部品Ｗ用の右側のカメラを用いて同一視野内に同時に入れて撮像し、左側のアライメントマーク同士を左側のカメラを用いて同一視野内に同時に入れて撮像した。撮像した各アライメントマークの相対位置から位置合わせ精度を求め、実装精度として記録した。

上述した実施例１の測定結果を表１および図１２に示す。比較例１の測定結果を表２および図１３に示す。測定結果については、上記した動作を５．４時間繰り返し実行した結果から得られた１９４４個のデータのうち、１回目から１０回目のデータの平均値（１）、１０１回目から１１０回目のデータ（２）の平均値、以降同様にして１００回毎に１０回分のデータの平均値（（３）〜（２０））を、それぞれ「相対位置ずれ認識結果」として、表１および表２に示す。表１および表２における「（１）の測定結果との差」は、各１００回毎のデータの平均値（２）〜（２０）から１回目から１０回目のデータの平均値（１）を引いた値である。図１２および図１３は「（１）の測定結果との差」の変動を示している。表１および図１２と表２および図１３との比較から明らかなように、実施例は比較例に比べて実装精度の変動が大幅に抑制されていることが分かる。従って、可撓性を有する表示用パネルに対する可撓性を有する電子部品の実装精度を長期間にわたって維持することが可能であることが分かる。

なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施し得るものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…実装装置、１０（１０Ａ、１０Ｂ）…打ち抜き装置、１２…金型装置、２０…間欠回転搬送装置、２１…アーム部、２４…保持ヘッド、３０…異方性導電テープ貼着装置（接合部材貼着装置）、３２…貼着ヘッド、４０…仮圧着装置、４１…仮圧着ヘッド、４２…ステージ、４２ａ…載置部、４２ｂ…支持部、４２ｃ…ステージ駆動部、４３…位置認識ユニット、４３Ａ…第１の撮像装置、４３Ｂ…第２の撮像装置、４３ａ…カメラ、４３ｂ…鏡筒部、４３ｃ…Ｘ軸移動装置、４３ｄ…画像処理部、４３ｅ…直角プリズム、５０…本圧着装置、５１…ステージ、５２…本圧着ヘッド、５３…バックアップ部、６０…第１の受渡し装置、６１…受け部、７０…第２の受渡し装置、７１…受け部、８０…第１の搬送部、８１…保持体、８１ａ…電極面吸着ブロック、８１ｂ…表示エリア吸着部、９０…第２の搬送部、９１…保持体、１００…第３の搬送部、１０１…保持体、１１０…制御装置、１１１…記憶部、Ｆ…異方性導電テープ、Ｐ…有機ＥＬパネル、Ｗ…電子部品。

Claims (11)

1. ２０μｍ以上５００μｍ以下の厚みと、２．５ＧＰａ以上４．０ＧＰａ以下の曲げ弾性率を有し、可撓性を有する表示用パネルの縁部に配列された複数の電極に、可撓性を有する電子部品における、前記複数の電極に対応して配列された複数の端子を、接合部材を介して接続することによって、前記電子部品を前記表示用パネルに実装する電子部品の実装装置であって、
   前記表示用パネルが載置されるステージであって、前記表示用パネルにおける前記電子部品が実装される前記縁部を下側から支持する支持部を備え、前記支持部と共に水平方向に移動可能なステージと、
   前記電子部品を上側から保持し、前記支持部によって支持された前記縁部の上方位置に前記電子部品を位置付けるように、水平方向および垂直方向に移動可能で、前記縁部の上面に前記電子部品を熱圧着する熱圧着ヘッドと、
   前記表示用パネルの前記縁部の上方位置に前記電子部品が位置付けられた状態で、前記表示用パネルと前記電子部品との間に進入可能で、かつ前記縁部に設けられたアライメントマークと前記電子部品に設けられたアライメントマークとを、１つの撮像領域内に同時に取り込んで撮像する撮像装置と、
   前記撮像装置の撮像画像から求めた前記表示用パネルおよび前記電子部品の前記アライメントマークの相対位置情報に基づいて、前記表示用パネルと前記電子部品との位置を合わせるように、前記ステージと前記熱圧着ヘッドの相対位置を調整すると共に、調整された位置関係で前記熱圧着ヘッドにより前記電子部品を前記表示用パネルに熱圧着させるように、前記ステージおよび前記熱圧着ヘッドを制御する制御装置と
   を具備する電子部品の実装装置。
2. 前記ステージの前記支持部は、前記表示用パネルの前記縁部との当接部に、前記縁部を吸着するように設けられた複数の吸着孔を有する、請求項１に記載の電子部品の実装装置。
3. 前記複数の吸着孔は、前記表示用パネルの前記縁部に生じる凹凸の周期より短い間隔で配置されている、請求項２に記載の電子部品の実装装置。
4. さらに、前記ステージに前記表示用パネルを供給する搬送部を具備し、
   前記搬送部は、前記表示用パネルの前記縁部を平坦に吸着保持する電極面吸着ブロックと、前記表示用パネルにおける前記電極面吸着ブロックで吸着される部分以外の部分を吸着保持する表示エリア吸着部とを有する保持体を備えている、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の電子部品の実装装置。
5. 前記表示エリア吸着部は、吸着面が平坦に形成された多孔質シートを有する、請求項４に記載の電子部品の実装装置。
6. 前記表示エリア吸着部は、前記電極面吸着ブロックに吸着保持された前記表示用パネルの前記縁部とは交差する方向に複数個並べて配置され、それぞれが前記電極面吸着ブロックとの間の間隔を調整自在に設けられている、請求項４または請求項５に記載の電子部品の実装装置。
7. 前記撮像装置は、撮像素子を有する撮像部と、前記表示用パネルの画像と前記電子部品の画像とを前記撮像素子に同時に導く導光用光学部材とを備える、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の電子部品の実装装置。
8. 前記導光用光学部材は、底面が直角二等辺三角形である三角柱を成し、長さの等しい二辺に対応する２つの側面を反射面として構成された直角プリズムを有し、前記２つの反射面のうちの一方の反射面で前記表示用パネルの画像を前記撮像素子の第１の領域に導き、他方の反射面で前記電子部品の画像を前記撮像素子の第２の領域に導くように構成されている、請求項７に記載の電子部品の実装装置。
9. キャリアテープから前記電子部品を打ち抜く打ち抜き装置と、
   前記打ち抜き装置によって打ち抜かれた前記電子部品を保持する複数の保持ヘッドを備え、前記保持ヘッドを間欠回転移動させる間欠回転搬送装置と、
   前記間欠回転搬送装置による前記電子部品の搬送経路に配置され、前記電子部品に前記接合部材を貼着する接合部材貼着装置と、
   前記ステージ、前記熱圧着ヘッド、および前記撮像装置を備え、前記接合部材貼着装置によって前記接合部材が貼着された前記電子部品を前記表示用パネルに仮圧着する仮圧着装置と、
   前記仮圧着装置よって前記表示用パネルに仮圧着された前記電子部品を本圧着する本圧着装置と、
   前記打ち抜き装置と前記間欠回転搬送装置との間で前記電子部品の受渡しを行う第１の受渡し装置と、
   前記間欠回転搬送装置と前記仮圧着装置との間で前記電子部品の受渡しを行う第２の受渡し装置と、
   前記仮圧着装置から前記本圧着装置へ前記表示用パネルを搬送する搬送部とを具備し、
   前記仮圧着装置と前記本圧着装置とは隣接して配置され、
   前記間欠回転搬送装置と前記打ち抜き装置は、前記仮圧着装置に対して前記隣接する方向とは直交する方向に、前記間欠回転搬送装置、前記打ち抜き装置の順で配置される、請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の電子部品の実装装置。
10. キャリアテープから前記電子部品を打ち抜く打ち抜き装置と、
    前記表示用パネルにおける、前記打ち抜き装置により打ち抜かれた前記電子部品が実装される前記縁部に、前記接合部材を貼着する接合部材貼着装置と、
    前記ステージ、前記熱圧着ヘッド、および前記撮像装置を備え、前記電子部品を前記表示用パネルに前記接合部材を介して仮圧着する仮圧着装置と、
    前記仮圧着装置によって前記表示用パネルに仮圧着された前記電子部品を本圧着する本圧着装置と、
    前記打ち抜き装置と前記仮圧着装置との間で前記電子部品の受渡しを行う受渡し装置と、
    前記接合部材貼着装置から前記仮圧着装置へ前記表示用パネルを搬送する搬送部と、
    前記仮圧着装置から前記本圧着装置へ前記表示用パネルを搬送する他の搬送部とを具備し、
    前記接合部材貼着装置、前記仮圧着装置、および前記本圧着装置は、この順で配列され、
    前記打ち抜き装置は、前記仮圧着装置に対して前記配列方向とは直交する方向に配置される、請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の電子部品の実装装置。
11. ２０μｍ以上５００μｍ以下の厚みと、２．５ＧＰａ以上４．０ＧＰａ以下の曲げ弾性率を有し、可撓性を有する表示用パネルをステージに保持させると共に、前記表示用パネルの複数の電極を有する縁部を、前記ステージに設けられた支持部によって下側から支持させる支持工程と、
    前記複数の電極に対応して設けられた複数の端子を有し、可撓性を有する電子部品を熱圧着ヘッドに保持させる保持工程と、
    前記支持部によって支持された前記縁部の上方位置に、前記熱圧着ヘッドに保持された前記電子部品を位置付ける工程と、
    前記表示用パネルの前記縁部の上方位置に前記電子部品が位置付けられた状態で、前記表示用パネルと前記電子部品との間に撮像装置を進入させ、前記撮像装置で前記縁部に設けられたアライメントマークと前記電子部品に設けられたアライメントマークとを１つの撮像領域内に同時に取り込んで撮像する撮像工程と、
    前記撮像工程で撮像した前記表示用パネルおよび前記電子部品の前記アライメントマークの画像に基づいて、前記表示用パネルと前記電子部品との相対位置関係を認識する位置認識工程と、
    前記位置認識工程で認識した前記相対位置関係に基づいて前記ステージと前記熱圧着ヘッドとの相対位置を調整し、調整された位置関係で前記熱圧着ヘッドにより前記電子部品を前記表示用パネルに熱圧着する熱圧着工程と
    を具備する表示用部材の製造方法。

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