JP2018165670A - 導電性接触子、導電性接触子ユニット、および導電性接触子ユニットを備える半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態では、本発明の一実施形態に係る導電性接触子および導電性接触子ユニットの構成を説明する。
本発明の一実施形態に係る導電性接触子および導電性接触子ユニットのほかの構成を説明する。なお、第1実施形態と同様の構成に関しては説明を省略することがある。
本実施形態では、本発明の一実施形態に係る導電性接触子の先端部の構成を説明する。なお、第1実施形態または第2実施形態と同様の構成に関しては説明を省略することがある。
本実施形態では、本発明の一実施形態に係る半導体検査装置の構成を説明する。なお、第1実施形態乃至第3実施形態と同様の構成に関しては説明を省略することがある。
Claims (14)
- 第1の先端部、第1のフランジ部、および第1のボス部を含む第1の部材と、
第2の先端部、第2のフランジ部、第2のボス部、第1の基端部を含む第2の部材と、
円筒部、第3のボス部、および第3の先端部を含む第3の部材と、
第1のコイルばねと、第2のコイルばねと、
を有する導電性接触子。 - 前記第2の部材は前記第1の部材の内側に配置され、
前記第3の部材の一部は前記第1のコイルばねの内側に配置され、
前記第2のコイルばねは前記第3の部材と前記第1の基端部との間に配置され、
前記第1の基端部は前記円筒部に挿入される、
請求項1に記載の導電性接触子。 - 前記第2の部材と、前記第3の部材とは、それぞれ独立に動く、請求項1に記載の導電性接触子。
- 前記第1のコイルばねの一方の端部は前記第1のボス部と接し、前記第1のコイルばねの他方の端部は前記第3のボス部と接し、
前記第1のコイルばねは前記第1の部材と前記第3の部材とを付勢する、
請求項2に記載の導電性接触子。 - 前記第2のコイルばねの一方の端部は前記第2のボス部と接し、前記第2のコイルばねの他方の端部は前記第3の部材と接し、
前記第2のコイルばねは前記第2の部材と前記第3の部材とを付勢する、
請求項2に記載の導電性接触子。 - 前記第2のコイルばねは、全粗巻である請求項2に記載の導電性接触子。
- 前記第2のコイルばねは、前記第3の部材と接する側は、前記第2のボス部と接する側よりも相対的に密巻である請求項2に記載の導電性接触子。
- 前記第1の先端部はクラウン型であり、前記第2の先端部の断面は円筒型又はすり鉢型である請求項1に記載の導電性接触子。
- 前記第1の先端部の断面は円筒型であり、前記第2の先端部はクラウン型である請求項1に記載の導電性接触子。
- 前記第2の部材の高さは、前記第1の部材の高さよりも高い、請求項1または請求項2に記載の導電性接触子。
- 前記第1の部材の高さは、前記第2の部材の高さよりも高い、請求項1または請求項2に記載の導電性接触子。
- 前記第2のコイルばねのばね定数は、前記第1のコイルばねのばね定数よりも相対的に小さい、請求項1または請求項2に記載の導電性接触子。
- 請求項1または請求項2に記載の導電性接触子を有する導電性接触子ユニット。
- 請求項13に記載の導電性接触子ユニットを有する半導体検査装置。
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