JP2018151545A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明に係るワイヤーグリッド偏光素子は、透光性基板と、前記透光性基板の一方面に形成され、アルミニウムまたは銀を主成分とする複数のワイヤー状金属層が並列して延在するワイヤーグリッドと、前記ワイヤー状金属層の前記透光性基板とは反対側に積層された光吸収層と、前記ワイヤー状金属層の側壁、前記光吸収層の側面、および前記光吸収層の前記透光性基板とは反対側を覆う保護層と、を有することを特徴とする。

本発明において、前記透光性基板の前記一方面とは反対側の面である他方面に反射防止層が積層されており、前記保護層は、前記反射防止層の前記透光性基板とは反対側を覆っている態様を採用することができる。

Claims (11)

1. 透光性基板と、
   前記透光性基板の一方面に形成され、アルミニウムまたは銀を主成分とする複数のワイヤー状金属層が並列して延在するワイヤーグリッドと、
   前記ワイヤー状金属層の前記透光性基板とは反対側に積層された光吸収層と、
   前記ワイヤー状金属層の側壁、前記光吸収層の側面、および前記光吸収層の前記透光性基板とは反対側を覆う保護層と、
   を有することを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
2. 請求項１に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記光吸収層は、半導体膜または金属膜からなり、
   前記保護層は、有機シラン化合物からなることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
3. 請求項２に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記保護層は、フッ素含有有機シラン化合物からなることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
4. 請求項３に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記フッ素含有有機シラン化合物は、Ｘ線光電子分光法で結合エネルギーが０ｅＶから１４００ｅＶの間で検出された全ての元素に対するフッ素の元素濃度（ａｔｏｍ％）が４０％以上かつ６０％以下であることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
5. 請求項１から４までの何れか一項に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記保護層は、厚さが５ｎｍ以下であることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
6. 請求項１から５までの何れか一項に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記光吸収層は、シリコンまたはゲルマニウムを主成分とすることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
7. 請求項１から６までの何れか一項に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記保護層は、前記一方面で前記ワイヤーグリッドから露出する部分を覆っていることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
8. 請求項７に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記保護層は、前記透光性基板の前記一方面とは反対側の面である他方面を覆っていることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
9. 請求項１から７までの何れか一項に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
   前記透光性基板の前記一方面とは反対側の面である他方面に反射防止層が積層されており、
   前記保護層は、前記反射防止層の前記透光性基板とは反対側を覆っていることを特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
10. 請求項８または９に記載のワイヤーグリッド偏光素子において、
    前記保護層は、前記透光性基板の前記一方面と前記他方面との間の側面を覆っている特徴とするワイヤーグリッド偏光素子。
11. 請求項１から１０までの何れか一項に記載のワイヤーグリッド偏光素子を備えた投射型表示装置であって、
    液晶パネルと、
    前記液晶パネルに供給される光を出射する光源部と、
    前記液晶パネルによって変調された光を投射する投射光学系と、
    を有し、
    前記光源部から前記液晶パネルを経由して前記投射光学系に到る光路に前記ワイヤーグリッド偏光素子が配置されていることを特徴とする投射型表示装置。