JP2018132492A - 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】出力のドリフトを低減することのできる物理量センサー、この物理量センサーを備えた物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】物理量センサーは、基部と、前記基部に対して揺動軸まわりに揺動可能な可動部と、前記基部に配置された電極と、を有し、前記可動部は、前記揺動軸の一方側に位置する第１可動部と、他方側に位置し、前記揺動軸まわりの回転モーメントが前記第１可動部よりも小さい第２可動部と、を有し、前記電極は、前記第１可動部と対向配置された第１検出電極と、前記第２可動部と対向配置された第２検出電極と、を有し、前記第１検出電極の周囲に、前記基部の表面が露出する第１露出部を有し、前記第１露出部は、前記第１可動部と対向配置され、前記第２検出電極の周囲に、前記基部の表面が露出する第２露出部を有し、前記第２露出部は、前記第２可動部と対向配置されている。【選択図】図２

Description

本発明は、物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体に関するものである。

例えば、特許文献１に記載の物理量センサー（加速度センサー）は、ベース基板と、ベース基板に対してシーソー揺動可能な可動部と、ベース基板に設けられ、可動部に対向配置された電極と、を有している。また、可動部は、揺動軸の一方側に位置する第１可動部と、他方側に位置する第２可動部と、を有している。また、電極は、第１可動部と対向して配置された第１検出電極と、第２可動部と対向して配置された第２検出電極およびダミー電極と、を有している。このような物理量センサーでは、加速度が加わることで可動部がシーソー揺動し、これにより、第１可動部と第１検出電極との間の静電容量および第２可動部と第２検出電極との間に静電容量がそれぞれ変化するため、これら静電容量の変化に基づいて、加わった加速度を検出する。

特表２００３−５１９３８４号公報

しかしながら、このような構成では、ベース基板が帯電することにより生じる第１可動部とベース基板の露出部（第１検出電極から露出する面）との間の静電引力と、第２可動部とベース基板の露出部（第２検出電極およびダミー電極から露出する面）との間の静電引力と、がずれている。そのため、前記静電引力によって、加速度が加わっていないにも関わらず可動部が揺動してしまい、出力のドリフトが生じてしまう。

本発明の目的は、出力のドリフトを低減することのできる物理量センサー、この物理量センサーを備えた物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。

本発明の物理量センサーは、基部と、
前記基部に対して揺動軸まわりに揺動可能な可動部と、
前記基部に配置され、前記可動部と対向配置されている電極と、を有し、
前記可動部は、
前記揺動軸の一方側に位置する第１可動部と、
前記揺動軸の他方側に位置し、前記揺動軸まわりの回転モーメントが前記第１可動部よりも小さい第２可動部と、を有し、
前記電極は、
前記第１可動部と対向配置されている第１検出電極と、
前記第２可動部と対向配置されている第２検出電極と、を有し、
前記第１検出電極の周囲に、前記基部の表面が露出する第１露出部を有し、
前記第１露出部は、前記第１可動部と対向配置されており、
前記第２検出電極の周囲に、前記基部の表面が露出する第２露出部を有し、
前記第２露出部は、前記第２可動部と対向配置されていることを特徴とする。
これにより、第２露出部と第２可動部との間に発生する静電引力（第２静電引力）によって、第１露出部と第１可動部との間に発生する静電引力（第１静電引力）の少なくとも一部を相殺することができる。そのため、静電引力に起因する可動部の揺動を抑制することができ、出力のドリフトを低減することができる。

本発明の物理量センサーでは、前記電極は、
前記可動部と同電位とされる第１ダミー電極を有し、
前記第１可動部は、
前記第１ダミー電極と対向配置されている先端部と、
前記先端部よりも前記揺動軸側に位置し、前記第１検出電極と対向配置されている基端部と、
前記先端部と前記基端部とを連結する連結部と、を有し、
前記第１ダミー電極と前記第１検出電極との間に前記第１露出部が形成され、
前記第１露出部は、前記連結部の少なくとも一部と対向配置されていることが好ましい。
このように、第１ダミー電極を設けることで、基部と第１可動部との間に発生する第１静電引力を小さくすることができ、第１静電引力による可動部の揺動をより効果的に低減することができる。

本発明の物理量センサーでは、前記第２可動部は、
前記第２検出電極と対向配置されている本体部と、
前記本体部から突出し、少なくとも一部が前記第２露出部と対向配置されている突出部と、を有していることが好ましい。
これにより、突出部と第２露出部との間に第２静電引力を発生させることができ、この第２静電引力によって、第１静電引力の少なくとも一部を相殺することができる。これにより、突出部を設けるだけという、比較的簡単な構成で、第１静電引力による可動部の揺動を抑制することができる。

本発明の物理量センサーでは、前記電極は、
前記突出部の一部と対向配置され、前記可動部と同電位とされる第２ダミー電極を有し、
前記第２ダミー電極と前記第２検出電極との間に前記第２露出部が形成され、
前記第２露出部は、前記突出部の一部と対向配置されていることが好ましい。
これにより、第２ダミー電極と第２検出電極との離間距離を調整することで、第２静電引力の大きさを調整することができる。そのため、第２静電引力の大きさの調整が容易となる。

本発明の物理量センサーでは、前記連結部の前記第１露出部と対向する部分と、前記突出部の前記第２露出部と対向する部分とは、前記揺動軸に対して対称的に配置されていることが好ましい。
これにより、第１静電引力により可動部に発生する回転モーメントと、第２静電引力により可動部に発生する回転モーメントとがほぼ等しくなり、第１静電引力による可動部の揺動をより効果的に低減することができる。また、このような対称形状とすることで、物理量センサーの設計が容易となる。

本発明の物理量センサーデバイスは、本発明の物理量センサーと、
前記物理量センサーと電気的に接続されている電子部品と、を有することを特徴とする。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する物理量センサーデバイスが得られる。

本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する電子機器が得られる。

本発明の移動体は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する移動体が得られる。

本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの平面図である。 図１中のＡ−Ａ線断面図である。 駆動電圧を示すグラフである。 図１に示す物理量センサーの作動を説明する断面図である。 図１に示す物理量センサーの作動を説明する断面図である。 図１に示す物理量センサーの作動を説明する断面図である。 図１に示す物理量センサーの部分拡大断面図である。 図１に示す物理量センサーの部分拡大断面図である。 図１に示す物理量センサーの部分拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係る物理量センサーの平面図である。 図１０中のＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の第３実施形態に係る物理量センサーの平面図である。 本発明の第４実施形態に係る物理量センサーデバイスを示す断面図である。 本発明の第５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。 本発明の第６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。 本発明の第７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。 本発明の第８実施形態に係る移動体を示す斜視図である。

以下、本発明の物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーについて説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、駆動電圧を示すグラフである。図４ないし図６は、それぞれ、図１に示す物理量センサーの作動を説明する断面図である。図７ないし図９は、それぞれ、図１に示す物理量センサーの部分拡大断面図である。

なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側および図２中の上側を「上」、図１中の紙面奥側および図２中の下側を「下」とも言う。また、各図には、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、各軸の矢印先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。

図１に示す物理量センサー１は、Ｚ軸方向（鉛直方向）の加速度Ａｚを測定することのできる加速度センサーである。このような物理量センサー１は、基板２と、基板２上に配置された素子部３と、素子部３を覆うように基板２に接合された蓋部４と、を有している。以下、これら各部について、順に詳細に説明する。

（基板）
図１に示すように、基板２は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、基板２は、上面側に開放する凹部２１を有している。また、Ｚ軸方向からの平面視で、凹部２１は、素子部３を内側に内包するように、素子部３よりも大きく形成されている。このような凹部２１は、素子部３と基板２との接触を防止（抑制）するための逃げ部として機能する。

また、図２に示すように、基板２は、凹部２１の底面に設けられた突起状のマウント部２２を有している。そして、このマウント部２２に素子部３が接合されている。これにより、素子部３を、凹部２１の底面と離間させた状態で基板２に固定することができる。

また、図１に示すように、基板２は、上面側に開放する溝部２５、２６、２７を有している。また、溝部２５、２６、２７の一端部は、それぞれ、蓋部４の外側に位置し、他端部は、それぞれ、凹部２１に接続されている。

このような基板２としては、例えば、アルカリ金属イオン（Ｎａ^＋等の可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）で構成されたガラス基板を用いることができる。これにより、例えば、蓋部４の構成材料によっては、基板２と蓋部４とを陽極接合により接合することができ、これらを強固に接合することができる。また、光透過性を有する基板２が得られるため、物理量センサー１の外側から、基板２を介して素子部３の状態（例えば、素子部３が凹部２１の底面に貼り付いてしまう現象である「スティッキング」の有無）を視認することができる。

ただし、基板２としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板やセラミックス基板を用いてもよい。なお、基板２としてシリコン基板を用いる場合は、短絡を防止する観点から、高抵抗のシリコン基板を用いるか、表面に熱酸化等によってシリコン酸化膜（絶縁性酸化物）を形成したシリコン基板を用いることが好ましい。

また、図１および図２に示すように、凹部２１の底面には、電極８として、第１検出電極８１、第２検出電極８２およびダミー電極８３が互いに離間して配置されている。なお、これら第１検出電極８１、第２検出電極８２およびダミー電極８３については、後に詳しく説明する。

また、図１に示すように、溝部２５、２６、２７には配線７１、７２、７３が設けられている。また、配線７１、７２、７３の一端部は、それぞれ、蓋部４の外側に露出しており、外部装置との電気的な接続を行う電極パッドＰとして機能する。また、配線７１の他端部は、凹部２１の底面を通ってマウント部２２まで引き回されており、マウント部２２上で導電性バンプＢを介して素子部３と電気的に接続されている。また、配線７１は、途中で分岐しており、ダミー電極８３と電気的に接続されている。また、配線７２の他端部は、第１検出電極８１と電気的に接続されており、配線７３の他端部は、第２検出電極８２と電気的に接続されている。

第１検出電極８１、第２検出電極８２、ダミー電極８３および各配線７１、７２、７３の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、Ｔｉ（チタン）、タングステン（Ｗ）等の金属材料、これら金属材料を含む合金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ、ＩＧＺＯ等の酸化物系の透明導電性材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば２層以上の積層体として）用いることができる。

なお、これら材料の中でも、少なくとも、第１検出電極８１、第２検出電極８２およびダミー電極８３については、透明導電性材料を用いることが好ましい。これにより、物理量センサー１の外側から、基板２および各電極８１、８２、８３を介して素子部３の状態を視認することができる。

（蓋部）
図１に示すように、蓋部４は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、図２に示すように、蓋部４は、下面側（基板２側）に開放する凹部４１を有している。このような蓋部４は、凹部４１内に素子部３を収納するようにして、基板２の上面に接合されている。そして、蓋部４および基板２によって、その内側に、素子部３を収納する収納空間Ｓが形成されている。

また、図２に示すように、蓋部４は、収納空間Ｓの内外を連通する連通孔４２を有している。この連通孔４２を介して、収納空間Ｓを所望の雰囲気に置換することができる。また、連通孔４２内には封止部材４３が配置され、封止部材４３によって連通孔４２が気密封止されている。

封止部材４３としては、連通孔４２を封止できれば、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）／錫（Ｓｎ）系合金、金（Ａｕ）／ゲルマニウム（Ｇｅ）系合金、金（Ａｕ）／アルミニウム（Ａｌ）系合金等の各種合金、低融点ガラス等のガラス材料等を用いることができる。

収納空間Ｓは、気密空間である。また、収納空間Ｓは、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、使用温度（−４０℃〜８０℃程度）で、ほぼ大気圧となっていることが好ましい。収納空間Ｓを大気圧とすることで、粘性抵抗が増してダンピング効果が発揮され、素子部３の振動を速やかに収束させることができる。そのため、物理量センサー１の加速度の検出精度が向上する。

このような蓋部４としては、例えば、シリコン基板を用いることができる。ただし、蓋部４としては、特に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、基板２と蓋部４との接合方法としては、特に限定されず、基板２や蓋部４の材料によって適宜選択すればよいが、例えば、陽極接合、プラズマ照射によって活性化させた接合面同士を接合させる活性化接合、ガラスフリット等の接合材による接合、基板２の上面および蓋部４の下面に成膜した金属膜同士を接合する拡散接合等が挙げられる。

本実施形態では、図２に示すように、接合材の一例であるガラスフリット４９（低融点ガラス）を介して基板２と蓋部４とが接合されている。基板２と蓋部４とを重ね合わせた状態では、溝部２５、２６、２７を介して収納空間Ｓの内外が連通してしまうが、ガラスフリット４９を用いることで、基板２と蓋部４とを接合すると共に、溝部２５、２６、２７を封止することができる。そのため、より容易に、収納空間Ｓを気密封止することができる。なお、基板２と蓋部４とを陽極接合等（溝部２５、２６、２７を封止できない接合方法）で接合した場合には、例えば、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を用いたＣＶＤ法等で形成されたＳｉＯ_２膜によって溝部２５、２６、２７を塞ぐことができる。

（素子部）
素子部３は、基板２の上方に設けられている。図１に示すように、素子部３は、マウント部２２に接合された接合部３１１を有する固定部３１と、固定部３１に対して変位可能な可動部３２と、固定部３１と可動部３２とを接続する梁部３３と、を有している。そして、可動部３２が、梁部３３を揺動軸Ｊとして、梁部３３を捩り変形させつつ、固定部３１に対してシーソー揺動可能となっている。

このような素子部３は、例えば、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）等の不純物がドープされたシリコン基板をパターニングすることで形成することができる。また、素子部３は、例えば、陽極接合によって、基板２（マウント部２２）に接合されている。ただし、素子部３の材料や、素子部３の基板２への接合方法は、特に限定されない。

可動部３２は、Ｘ方向に延びる長手形状をなし、揺動軸Ｊに対してＸ軸方向プラス側（一方側）の部分が第１可動部３２１となっており、揺動軸Ｊに対してＸ軸方向マイナス側（他方側）の部分が第２可動部３２２となっている。また、第１可動部３２１は、第２可動部３２２よりもＸ軸方向に長く、加速度Ａｚが加わったときの回転モーメント（トルク）が第２可動部３２２よりも大きくなっている。この回転モーメントの差によって、加速度Ａｚが加わると、可動部３２が揺動軸Ｊまわりにシーソー揺動する。

第１可動部３２１は、基端側に位置する基端部３２１ａと、先端側に位置する先端部３２１ｂと、基端部３２１ａおよび先端部３２１ｂの間に位置し、これらを連結する連結部３２１ｃと、を有している。

連結部３２１ｃは、一対設けられており、第１可動部３２１の幅方向（Ｙ軸方向）の両端部に設けられている。また、各連結部３２１ｃは、Ｘ軸方向に延在し、延在方向に沿って幅（Ｙ軸方向の長さ）がほぼ一定となっている。ただし、連結部３２１ｃの構成としては、基端部３２１ａと先端部３２１ｂとを連結することができれば、特に限定されず、例えば、１つ、または、３つ以上の連結部３２１ｃが設けられていてもよい。

第２可動部３２２は、本体部３２２ａと、本体部３２２ａからＸ軸方向マイナス側へ突出する突出部３２２ｃと、を有している。

突出部３２２ｃは、一対設けられており、第２可動部３２２の幅方向（Ｙ軸方向）の両端部に設けられている。また、各突出部３２２ｃは、Ｘ軸方向に延在し、延在方向に沿って幅（Ｙ軸方向の長さ）がほぼ一定となっている。ただし、突出部３２２ｃの構成としては、特に限定されず、例えば、１つ、または、３つ以上の突出部３２２ｃが設けられていてもよい。

このような素子部３において、第１可動部３２１の基端部３２１ａと、第２可動部３２２の本体部３２２ａとは、Ｚ軸方向から見た平面視にて、揺動軸Ｊに対して対称的に設けられている。また、第１可動部３２１の連結部３２１ｃと、第２可動部３２２の突出部３２２ｃとも、Ｚ軸方向から見た平面視にて、揺動軸Ｊに対して対称的に設けられている。

また、可動部３２のシーソー揺動時の抵抗を低減するために、第１可動部３２１および第２可動部３２２にはそれぞれ複数の貫通孔３２０が形成されている。ただし、貫通孔３２０は、必要に応じて形成すればよく、省略してもよい。

図２に示すように、以上のような素子部３と対向して、前述した電極８（第１検出電極８１、第２検出電極８２およびダミー電極８３）が設けられている。第１検出電極８１は、第１可動部３２１の基端部３２１ａと対向して配置されており、これにより、第１検出電極８１と基端部３２１ａとの間に静電容量Ｃ１が形成される。また、第２検出電極８２は、第２可動部３２２の本体部３２２ａと対向して配置されており、これにより、第２検出電極８２と本体部３２２ａとの間に静電容量Ｃ２が形成される。なお、これら第１、第２検出電極８１、８２は、Ｚ軸方向から見た平面視にて、揺動軸Ｊに対して対称的に設けられており、加速度Ａｚが加わらない状態での静電容量Ｃ１、Ｃ２が互いにほぼ等しいことが好ましい。

また、ダミー電極８３は、第１検出電極８１のＸ軸方向プラス側に配置された第１ダミー電極８３１と、第２検出電極８２のＸ軸方向マイナス側に配置された第２ダミー電極８３２と、を有している。第１ダミー電極８３１は、第１可動部３２１の先端部３２１ｂと対向して配置されている。また、第２ダミー電極８３２は、第２可動部３２２の突出部３２２ｃと対向して配置されている。前述したように、ダミー電極８３は、配線７１を介して可動部３２と電気的に接続されており、可動部３２と同電位である。そのため、第１可動部３２１と第１ダミー電極８３１との間、および、第２可動部３２２と第２ダミー電極８３２との間には、それぞれ、静電容量が実質的に形成されない。

このようなダミー電極８３は、例えば、次のような機能を有している。例えば、基板２中の可動イオン（Ｎａ^＋）の移動によって凹部２１の底面２１１が帯電し、底面２１１の表面電位が変化すると、底面２１１と可動部３２との間に静電引力が生じる。そして、この静電引力によって第１可動部３２１が基板２へ引き付けられてしまい、加速度Ａｚが加わっていないにも関わらず可動部３２が揺動（傾斜）する。その結果、出力のドリフトが生じる。また、静電引力によって基板２へ引き付けられた可動部３２が底面２１１へ貼り付いてしまう「スティッキング」が生じ、センサーとして機能しなくなる場合もある。そこで、底面２１１に可動部３２と同電位のダミー電極８３を配置することで底面２１１の帯電の影響を低減し、上述のような問題を生じ難くしている。

次に、物理量センサー１の作動について説明する。物理量センサー１の作動時には、例えば、可動部３２には図３中の電圧Ｖ１が印加され、第１検出電極８１および第２検出電極８２には、それぞれ、図３中の電圧Ｖ２が印加される。そして、図４に示すように、物理量センサー１に加速度Ａｚが加わっていない場合、可動部３２は、基板２と平行な状態を維持し、静電容量Ｃ１、Ｃ２が共に変化しない。これに対して、図５に示すように、物理量センサー１にＺ軸方向マイナス側への加速度−Ａｚが加わると、第１、第２可動部３２１、３２２の回転モーメントの異なりから、可動部３２が揺動軸Ｊを中心にして反時計回りにシーソー揺動する。反対に、図６に示すように、物理量センサー１にＺ軸方向プラス側への加速度＋Ａｚが加わると、可動部３２が揺動軸Ｊを中心にして時計回りにシーソー揺動する。このような可動部３２のシーソー揺動によって、第１可動部３２１と第１検出電極８１のギャップおよび第２可動部３２２と第２検出電極８２のギャップが変化し、これに応じて静電容量Ｃ１、Ｃ２が変化する。そのため、これら静電容量Ｃ１、Ｃ２の変化量（静電容量Ｃ１、Ｃ２の差動信号）に基づいて加速度Ａｚを検出することができる。

ここで、前述した第１ダミー電極８３１は、第１検出電極８１と絶縁するために、第１検出電極８１に対して物理的に離間して配置しなければならない。そのため、これらの間に、図７に示すように、底面２１１が露出する第１露出部２１１ａが形成される。第１露出部２１１ａは、第１可動部３２１の連結部３２１ｃと対向するため、底面２１１が帯電すれば、第１露出部２１１ａと連結部３２１ｃとの間に第１静電引力Ｆ１が発生する。そして、この第１静電引力Ｆ１によって、第１可動部３２１が基板２へ引き付けられ、図８に示すように、加速度Ａｚが加わっていないにも関わらず、可動部３２が揺動（傾斜）し、その結果、出力のドリフトが生じる。

そこで、本実施形態では、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動を低減（好ましくは防止）するために、逆向きの回転モーメントを発生させるための第２静電引力Ｆ２を発生させている。これにより、第２静電引力Ｆ２によって、第１静電引力Ｆ１の少なくとも一部が相殺されて、前述したような可動部３２の揺動を低減（好ましくは防止）することができる。以下、このことについて説明する。

第２ダミー電極８３２は、第２検出電極８２と絶縁するために、第２検出電極８２に対して物理的に離間して配置されている。そのため、図９に示すように、第２ダミー電極８３２と第２検出電極８２との間に、底面２１１が露出する第２露出部２１１ｂが形成される。また、この第２露出部２１１ｂは、突出部３２２ｃと対向しており、底面２１１が帯電すれば、第２露出部２１１ｂと突出部３２２ｃとの間に第２静電引力Ｆ２が発生する。この第２静電引力Ｆ２によって、第１静電引力Ｆ１の少なくとも一部を相殺することができ、加速度Ａｚが加わっていない状態での可動部３２の揺動を低減することができる。その結果、出力のドリフトを低減することができる。

特に、本実施形態では、図１に示すように、連結部３２１ｃの第１露出部２１１ａと対向する部分３２１ｃ’と、突出部３２２ｃの第２露出部２１１ｂと対向する部分３２２ｃ’とは、Ｚ軸方向から見た平面視で、揺動軸Ｊに対して対称的に配置されている。これにより、揺動軸Ｊから第１静電引力Ｆ１が加わる位置までの距離Ｌ１（図７参照）と、揺動軸Ｊから第２静電引力Ｆ２が加わる位置までの距離Ｌ２（図９参照）とがほぼ等しくなると共に、第１静電引力Ｆ１と第２静電引力Ｆ２とがほぼ等しくなる。そのため、第１静電引力Ｆ１により可動部３２に発生する回転モーメントと、第２静電引力Ｆ２により可動部３２に発生する回転モーメントとがほぼ等しくなり、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動をより効果的に低減することができる。また、このような対称形状とすることで、物理量センサー１の設計が容易となるという利点もある。

なお、第２静電引力Ｆ２により可動部３２に発生する回転モーメントＮ２は、第１静電引力Ｆ１により可動部３２に発生する回転モーメントＮ１との差が小さいほど好ましい。具体的には、（Ｎ２／Ｎ１）が０．８以上、１．２以下であることが好ましく、０．９以上、１．１以下であることがより好ましく、０．９５以上、１．０５以下であることがさらに好ましく、１であることが最も好ましい。これにより、より効果的に、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動を低減することができる。

なお、連結部３２１ｃの第１露出部２１１ａと対向している部分３２１ｃ’の面積をＳ１とし、連結部３２１ｃおよび第１露出部２１１ａの離間距離をｄ１とし、連結部３２１ｃおよび第１露出部２１１ａの間に印加される電圧（電位差）をＶ１としたとき、第１静電引力Ｆ１は、下記式（１）となる。また、第１静電引力Ｆ１により可動部３２に発生する回転モーメントＮ１は、揺動軸Ｊから第１静電引力Ｆ１が加わる位置までの距離をＬ１としたとき、下記式（２）となる。

また、突出部３２２ｃの第２露出部２１１ｂと対向している部分３２２ｃ’の面積をＳ２とし、突出部３２２ｃおよび第２露出部２１１ｂの離間距離をｄ２とし、突出部３２２ｃおよび第２露出部２１１ｂの間に印加される電圧（電位差）をＶ２としたとき、第２静電引力Ｆ２は、下記式（３）となる。また、第２静電引力Ｆ２により可動部３２に発生する回転モーメントＮ２は、揺動軸Ｊから第２静電引力Ｆ２が加わる位置までの距離をＬ２としたとき、下記式（４）となる。

物理量センサー１では、離間距離ｄ１、ｄ２および電圧Ｖ１、Ｖ２が等しく設計されているため、本実施形態のように、面積Ｓ１、Ｓ２を等しくすると共に、距離Ｌ１、Ｌ２を等しくすることで、（Ｎ２／Ｎ１）を簡単に１にする（１に近づける）ことができる。

以上、物理量センサー１について説明した。このような物理量センサー１は、前述したように、基部としての基板２と、基板２に対して揺動軸Ｊまわりに揺動可能な可動部３２と、基板２に配置され、可動部３２と対向配置されている電極８と、を有している。また、可動部３２は、揺動軸Ｊの一方側に位置する第１可動部３２１と、揺動軸Ｊの他方側に位置し、揺動軸Ｊまわりの回転モーメントが第１可動部３２１よりも小さい第２可動部３２２と、を有している。また、電極８は、第１可動部３２１と対向配置されている第１検出電極８１と、第２可動部３２２と対向配置されている第２検出電極８２と、を有している。また、第１検出電極８１の周囲に、基板２の表面（底面２１１）が露出する第１露出部２１１ａを有し、第１露出部２１１ａは、第１可動部３２１と対向配置されており、第２検出電極８２の周囲に、基板２の表面（底面２１１）が露出する第２露出部２１１ｂを有し、第２露出部２１１ｂは、第２可動部３２２と対向配置されている。これにより、第２露出部２１１ｂと第２可動部３２２との間に発生する第２静電引力Ｆ２によって、第１露出部２１１ａと第１可動部３２１との間に発生する第１静電引力Ｆ１の少なくとも一部を相殺することができる。そのため、加速度Ａｚ以外の力（すなわち、検出対象の力以外の力）に起因する可動部３２の揺動を抑制することができ、出力のドリフトを低減することができる。

また、前述したように、電極８は、可動部３２と同電位とされる第１ダミー電極８３１を有している。また、第１可動部３２１は、第１ダミー電極８３１と対向配置されている先端部３２１ｂと、先端部３２１ｂよりも揺動軸Ｊ側に位置し、第１検出電極８１と対向配置されている基端部３２１ａと、先端部３２１ｂと基端部３２１ａとを連結する連結部３２１ｃと、を有している。そして、第１ダミー電極８３１と第１検出電極８１との間に第１露出部２１１ａが形成され、第１露出部２１１ａは、連結部３２１ｃの少なくとも一部と対向配置されている。このように、第１ダミー電極８３１を設けることで、基板２と第１可動部３２１との間に発生する第１静電引力Ｆ１を小さくすることができ、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動をより効果的に低減することができる。

なお、第１ダミー電極８３１は、省略してもよい。この場合には、本実施形態と比較して第１静電引力Ｆ１による回転モーメントが大きくなってしまうが、その分、第２静電引力Ｆ２による回転モーメントが大きくなるように設計すればよい。

また、前述したように、第２可動部３２２は、第２検出電極８２と対向配置されている本体部３２２ａと、本体部３２２ａから突出し、少なくとも一部が第２露出部２１１ｂと対向配置されている突出部３２２ｃと、を有している。これにより、突出部３２２ｃと第２露出部２１１ｂとの間に第２静電引力Ｆ２を発生させることができ、この第２静電引力Ｆ２によって、第１静電引力Ｆ１の少なくとも一部を相殺することができる。これにより、突出部３２２ｃを設けるだけという、比較的簡単な構成で、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動を抑制することができる。

また、前述したように、電極８は、突出部３２２ｃの一部と対向配置され、可動部３２と同電位とされる第２ダミー電極８３２を有し、第２ダミー電極８３２と第２検出電極８２との間に第２露出部２１１ｂが形成されている。そして、第２露出部２１１ｂは、突出部３２２ｃの一部と対向配置されている。このような構成によれば、例えば、第２ダミー電極８３２と第２検出電極８２との離間距離を調整することで、第２静電引力Ｆ２の大きさを調整することができる。そのため、第２静電引力Ｆ２の大きさの調整が容易となる。なお、第２ダミー電極８３２は、省略してもよい。この場合には、突出部３２２ｃの形状（平面視形状）を調整することで、第２静電引力の大きさを調整することができる。

また、前述したように、連結部３２１ｃの第１露出部２１１ａと対向する部分３２１ｃ’と、突出部３２２ｃの第２露出部２１１ｂと対向する部分３２２ｃ’とは、Ｚ軸方向から見た平面視で、揺動軸Ｊに対して対称的に配置されている。これにより、第１静電引力Ｆ１により可動部３２に発生する回転モーメントと、第２静電引力Ｆ２により可動部３２に発生する回転モーメントとがほぼ等しくなり、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動をより効果的に低減することができる。また、このような対称形状とすることで、物理量センサー１の設計が容易となるという利点もある。

なお、連結部３２１ｃの第１露出部２１１ａと対向する部分３２１ｃ’と、突出部３２２ｃの第２露出部２１１ｂと対向する部分３２２ｃ’とは、揺動軸Ｊに対して対称的に配置されていなくてもよい。例えば、部分３２２ｃ’が部分３２１ｃ’よりも揺動軸Ｊに近い場合には、例えば、部分３２２ｃ’の面積Ｓ２を、部分３２１ｃ’の面積Ｓ１よりも大きくして第２静電引力Ｆ２を第１静電引力Ｆ１も大きくすることで、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動を効果的に低減することができる。反対に、部分３２２ｃ’が部分３２１ｃ’よりも揺動軸Ｊから遠い場合には、例えば、部分３２２ｃ’の面積Ｓ２を、部分３２１ｃ’の面積Ｓ１よりも小さくして第２静電引力Ｆ２を第１静電引力Ｆ１も小さくすることで、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動を効果的に低減することができる。すなわち、Ｓ１・Ｌ１とＳ２・Ｌ２とが等しくなるように設計すればよい。

また、本実施形態では、図７に示すように、第１検出電極８１と第１ダミー電極８３１との離間距離Ｄ１（すなわち、第１露出部２１１ａの長さ）は、連結部３２１ｃの長さＬ’（Ｘ軸方向の長さ）よりも短く、第１露出部２１１ａは、連結部３２１ｃの両端部を除く中央部と対向している。同様に、図９に示すように、第２検出電極８２と第２ダミー電極８３２との離間距離Ｄ２（すなわち、第２露出部２１１ｂの長さ）は、突出部３２２ｃの長さＬ”（Ｘ軸方向の長さ）よりも短く、第２露出部２１１ｂは、突出部３２２ｃの両端部を除く中央部と対向している。これにより、例えば、製造誤差等によって素子部３が基板２に対してＸ軸方向にずれて配置されても、第１、第２静電引力Ｆ１、Ｆ２の設計値からのずれを抑制することができる。なお、特に限定されないが、離間距離Ｄ１、Ｄ２としては、例えば、３μｍ以上、５μｍ以下程度とすることができ、長さＬ’、Ｌ”としては、例えば、２０μｍ以上、３０μｍ以下程度とすることができる。これにより、生じ得る製造誤差を十分に許容することができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーについて説明する。

図１０は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーの平面図である。図１１は、図１０中のＢ−Ｂ線断面図である。

本実施形態にかかる物理量センサーでは、主に、基板の形状が異なっていること以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサーと同様である。

なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサーに関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１０および図１１では前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図１０に示すように、本実施形態では、前述した第１実施形態と比較して、連結部３２１ｃおよび突出部３２２ｃが長く設計されている。また、第１可動部３２１において、一対の連結部３２１ｃの間に、先端部３２１ｂが突出している。

また、図１１に示すように、基板２の底面２１１は、第１底面２１１’と、第１底面２１１’から突出した第２底面２１１”とを有している。すなわち、底面２１１は、第１底面２１１’と、第１底面２１１’よりも可動部３２との離間距離が小さい第２底面２１１”とを有している。なお、第２底面２１１”は、Ｚ軸方向から見た平面視で、揺動軸Ｊに対して対称的に設けられている。

また、第１、第２検出電極８１、８２は、主に、第２底面２１１”上に配置されている。これにより、第１検出電極８１と第１可動部３２１（基端部３２１ａ）とのギャップおよび第２検出電極８２と第２可動部３２２（本体部３２２ａ）とのギャップをそれぞれ小さくすることができるため、第１検出電極８１と第１可動部３２１との間に形成される静電容量Ｃ１および第２検出電極８２と第２可動部３２２との間に形成される静電容量Ｃ２をそれぞれ大きくすることができる。そのため、加速度Ａｚをより精度よく検出することができる。

また、第１検出電極８１の連結部３２１ｃと対向する部分は、第１底面２１１’まで延びている。また、第１ダミー電極８３１は、主に、第１底面２１１’上に配置されている。そのため、第１露出部２１１ａは、第１底面２１１’に位置している。すなわち、連結部３２１ｃの第１露出部２１１ａと対向する部分３２１ｃ’は、第１底面２１１’上に位置している。これにより、部分３２１ｃ’および底面２１１の離間距離を大きくすることができる。そのため、第１静電引力Ｆ１を小さくすることができ、第１静電引力Ｆ１による可動部３２の揺動をより効果的に低減することができる。

また、第２検出電極８２の突出部３２２ｃと対向する部分は、第１底面２１１’まで延びている。また、第２ダミー電極８３２は、主に、第１底面２１１’上に配置されている。そのため、第２露出部２１１ｂは、第１底面２１１’に位置している。すなわち、突出部３２２ｃの第２露出部２１１ｂと対向する部分３２２ｃ’は、第１底面２１１’上に位置している。これにより、部分３２２ｃ’および底面２１１の離間距離を、部分３２１ｃ’および底面２１１の離間距離と等しくすることができ、第１静電引力Ｆ１と等しい大きさの第２静電引力Ｆ２を形成し易くなる。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーについて説明する。

図１２は、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーの平面図である。
本実施形態にかかる物理量センサーでは、主に、素子部およびダミー電極の形状が異なっていること以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサーと同様である。

図１２に示すように、連結部３２１ｃは、基端部３２１ａの先端部からＹ軸方向両側に延出して一対設けられている。同様に、突出部３２２ｃは、本体部３２２ａの先端部からＹ軸方向両側に延出して一対設けられている。なお、前述した第１実施形態と同様に、連結部３２１ｃおよび突出部３２２ｃは、揺動軸Ｊに対して対称的に設けられている。

また、ダミー電極８３は、第１ダミー電極８３１で構成されている。すなわち、前述した第１実施形態では存在していた第２ダミー電極８３２が省略されている。また、第１ダミー電極８３１は、第１、第２検出電極８１、８２のＹ軸方向プラス側に位置し、Ｘ軸方向に延在する第１延在部８３１ａと、Ｙ軸方向マイナス側に位置し、Ｘ軸方向に延在する第２延在部８３１ｂとを有している。

また、第１延在部８３１ａは、Ｙ軸方向プラス側に位置する連結部３２１ｃおよび突出部３２２ｃの先端部と対向している。また、第２延在部８３１ｂは、Ｙ軸方向マイナス側に位置する連結部３２１ｃおよび突出部３２２ｃの先端部と対向している。そして、第１、第２延在部８３１ａ、８３１ｂと第１検出電極８１との間に第１露出部２１１ａが形成されており、第１露出部２１１ａが連結部３２１ｃと対向している。同様に、第１、第２延在部８３１ａ、８３１ｂと第２検出電極８２との間に第２露出部２１１ｂが形成されており、第２露出部２１１ｂが突出部３２２ｃと対向している。

このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーデバイスについて説明する。

図１３は、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーデバイスを示す断面図である。
図１３に示すように、物理量センサーデバイス１０００は、ベース基板１０１０と、ベース基板１０１０上に設けられた物理量センサー１と、物理量センサー１上に設けられた回路素子１０２０（電子部品）と、物理量センサー１と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ１と、ベース基板１０１０と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ２と、物理量センサー１および回路素子１０２０をモールドするモールド部１０３０と、を有している。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第３実施形態のいずれかを用いることができる。

ベース基板１０１０は、物理量センサー１を支持する基板であり、例えば、インターポーザー基板である。このようなベース基板１０１０の上面には複数の接続端子１０１１が配置されており、下面には複数の実装端子１０１２が配置されている。また、ベース基板１０１０内には、図示しない内部配線が配置されており、この内部配線を介して、各接続端子１０１１が、対応する実装端子１０１２と電気的に接続されている。このようなベース基板１０１０としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板、ガラスエポキシ基板等を用いることができる。

また、物理量センサー１は、基板２を下側（ベース基板１０１０側）に向けてベース基板１０１０上に配置されている。そして、物理量センサー１は、接合部材を介してベース基板１０１０に接合されている。

また、回路素子１０２０は、物理量センサー１上に配置されている。そして、回路素子１０２０は、接合部材を介して物理量センサー１の蓋部４に接合されている。また、回路素子１０２０は、ボンディングワイヤーＢＷ１を介して物理量センサー１の各電極パッドＰと電気的に接続され、ボンディングワイヤーＢＷ２を介してベース基板１０１０の接続端子１０１１と電気的に接続されている。このような回路素子１０２０には、物理量センサー１を駆動する駆動回路や、物理量センサー１からの出力信号に基づいて加速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が、必要に応じて含まれている。

また、モールド部１０３０は、物理量センサー１および回路素子１０２０をモールドしている。これにより、物理量センサー１や回路素子１０２０を水分、埃、衝撃等から保護することができる。モールド部１０３０としては、特に限定されないが、例えば、熱硬化型のエポキシ樹脂を用いることができ、例えば、トランスファーモールド法によってモールドすることができる。

以上のような物理量センサーデバイス１０００は、物理量センサー１と、物理量センサー１と電気的に接続されている電子部品としての回路素子１０２０と、を有している。そのため、物理量センサー１の効果を享受でき、信頼性の高い物理量センサーデバイス１０００が得られる。

なお、物理量センサーデバイス１０００の構成としては、上記の構成に限定されず、例えば、物理量センサー１がセラミックパッケージに収納された構成となっていてもよい。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る電子機器について説明する。

図１４は、本発明の第５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１４に示すモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第３実施形態のいずれかを用いることができる。

このようなパーソナルコンピューター１１００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る電子機器について説明する。

図１５は、本発明の第６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１５に示す携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第３実施形態のいずれかを用いることができる。

このような携帯電話機１２００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。

＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態に係る電子機器について説明する。

図１６は、本発明の第７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１６に示すデジタルスチールカメラ１３００は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、ケース（ボディー）１３０２の背面には表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。そして、撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押すと、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第３実施形態のいずれかを用いることができる。

このようなデジタルスチールカメラ１３００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。

なお、本発明の電子機器は、前述した実施形態のパーソナルコンピューターおよび携帯電話機、本実施形態のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計（スマートウォッチを含む）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等に適用することができる。

＜第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態に係る移動体について説明する。

図１７は、本発明の第８実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
図１７に示す自動車１５００は、本発明の物理量センサーを備える移動体を適用した自動車である。この図において、自動車１５００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されており、物理量センサー１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。物理量センサー１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第３実施形態のいずれかを用いることができる。

このような自動車１５００（移動体）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。

なお、物理量センサー１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。

以上、本発明の物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、素子部が１つの構成について説明したが、素子部が複数設けられていてもよい。この際に、複数の素子部を検出軸が互いに異なるように配置することで、複数の軸方向の加速度を検出することができる。

また、前述した実施形態では、物理量センサーとして加速度を検出する加速度センサーについて説明したが、物理量センサーが検出する物理量としては、加速度に限定されず、例えば、角速度、圧力等であってもよい。

１…物理量センサー、２…基板、２１…凹部、２１１…底面、２１１’…第１底面、２１１”…第２底面、２１１ａ…第１露出部、２１１ｂ…第２露出部、２２…マウント部、２５、２６、２７…溝部、３…素子部、３１…固定部、３１１…接合部、３２…可動部、３２０…貫通孔、３２１…第１可動部、３２１ａ…基端部、３２１ｂ…先端部、３２１ｃ…連結部、３２１ｃ’…部分、３２２…第２可動部、３２２ａ…本体部、３２２ｃ…突出部、３２２ｃ’…部分、３３…梁部、４…蓋部、４１…凹部、４２…連通孔、４３…封止部材、４９…ガラスフリット、７１、７２、７３…配線、８…電極、８１…第１検出電極、８２…第２検出電極、８３…ダミー電極、８３１…第１ダミー電極、８３１ａ…第１延在部、８３１ｂ…第２延在部、８３２…第２ダミー電極、１０００…物理量センサーデバイス、１０１０…ベース基板、１０１１…接続端子、１０１２…実装端子、１０２０…回路素子、１０３０…モールド部、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１５００…自動車、１５０１…車体、１５０２…車体姿勢制御装置、１５０３…車輪、Ａｚ…加速度、Ｂ…導電性バンプ、ＢＷ１、ＢＷ２…ボンディングワイヤー、Ｃ１、Ｃ２…静電容量、Ｄ１、Ｄ２…離間距離、Ｆ１…第１静電引力、Ｆ２…第２静電引力、Ｊ…揺動軸、Ｌ’、Ｌ”…長さ、Ｌ１、Ｌ２…距離、Ｐ…電極パッド、Ｓ…収納空間、Ｖ１、Ｖ２…電圧

Claims (8)

1. 基部と、
   前記基部に対して揺動軸まわりに揺動可能な可動部と、
   前記基部に配置され、前記可動部と対向配置されている電極と、を有し、
   前記可動部は、
   前記揺動軸の一方側に位置する第１可動部と、
   前記揺動軸の他方側に位置し、前記揺動軸まわりの回転モーメントが前記第１可動部よりも小さい第２可動部と、を有し、
   前記電極は、
   前記第１可動部と対向配置されている第１検出電極と、
   前記第２可動部と対向配置されている第２検出電極と、を有し、
   前記第１検出電極の周囲に、前記基部の表面が露出する第１露出部を有し、
   前記第１露出部は、前記第１可動部と対向配置されており、
   前記第２検出電極の周囲に、前記基部の表面が露出する第２露出部を有し、
   前記第２露出部は、前記第２可動部と対向配置されていることを特徴とする物理量センサー。
2. 前記電極は、
   前記可動部と同電位とされる第１ダミー電極を有し、
   前記第１可動部は、
   前記第１ダミー電極と対向配置されている先端部と、
   前記先端部よりも前記揺動軸側に位置し、前記第１検出電極と対向配置されている基端部と、
   前記先端部と前記基端部とを連結する連結部と、を有し、
   前記第１ダミー電極と前記第１検出電極との間に前記第１露出部が形成され、
   前記第１露出部は、前記連結部の少なくとも一部と対向配置されている請求項１に記載の物理量センサー。
3. 前記第２可動部は、
   前記第２検出電極と対向配置されている本体部と、
   前記本体部から突出し、少なくとも一部が前記第２露出部と対向配置されている突出部と、を有している請求項２に記載の物理量センサー。
4. 前記電極は、
   前記突出部の一部と対向配置され、前記可動部と同電位とされる第２ダミー電極を有し、
   前記第２ダミー電極と前記第２検出電極との間に前記第２露出部が形成され、
   前記第２露出部は、前記突出部の一部と対向配置されている請求項３に記載の物理量センサー。
5. 前記連結部の前記第１露出部と対向する部分と、前記突出部の前記第２露出部と対向する部分とは、前記揺動軸に対して対称的に配置されている請求項２ないし４のいずれか１項に記載の物理量センサー。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサーと、
   前記物理量センサーと電気的に接続されている電子部品と、を有することを特徴とする物理量センサーデバイス。
7. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする電子機器。
8. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする移動体。

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