JP2018126834A - 回転装置、並びに該回転装置を備える両面研磨装置及び片面研磨装置 - Google Patents
回転装置、並びに該回転装置を備える両面研磨装置及び片面研磨装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
(1)駆動機構が連結されて前記駆動機構と共に回転する板状の駆動プレート本体及び前記駆動プレート本体の回転軸である駆動軸と中心軸を共通にする円筒体を有する駆動プレートと、
前記駆動プレートの前記円筒体側の面に、かつ前記円筒体の外側に配置される前記円筒体と同心円状のリングであって、前記リングの径方向に貫通する複数の収容孔が前記リングの周方向に間隔を置いて形成された、ケーシングと、
前記収容孔のそれぞれに収容される複数の駆動ボールと、
前記駆動プレートに連結されて前記駆動プレートと共に回転する板状体であって、前記円筒体が収まる貫通孔及び前記駆動ボールのうち前記収容孔から突出する部分を前記板状体の径方向に隙間をもって収容する凹所が周方向に間隔を置いて形成された溝であって、前記ケーシングが前記ケーシングの底面と前記溝の底面との間に、前記ケーシングの径方向外側面と前記溝の外周面との間に、及び前記ケーシングの径方向内側面と前記溝の内周面との間にそれぞれ隙間をもって収容される溝を有する従動プレートと、
前記駆動プレートの円筒体の側面と前記従動プレートの貫通孔の内周面との間に介在する、径方向外側に凸となる一定曲率の凸曲面及び前記凸曲面を受ける凹曲面を有し、かつ前記収容孔に収容された前記駆動ボールの全ての中心点からなる平面上に軸長中心並びに前記凹曲面及び前記凸曲面の各曲率中心を有する、軸受と、
を備えることを特徴とする回転装置。
前記上定盤と前記回転装置が備える前記従動プレートとが連結されていることを特徴とする両面研磨装置。
前記研磨ヘッドと前記回転装置が備える前記従動プレートとが連結されていることを特徴とする片面研磨装置。
図1〜3を参照して、本発明の一実施形態による回転装置100を説明する。図2を参照して、回転装置100は、駆動プレート6、ケーシング8、第1のボルト12、駆動ボール14、従動プレート16、軸受内輪部26、第1の軸受外輪部28A、第2の軸受外輪部28B、第1のリング部材30、第2のボルト32、第2のリング部材34、固定ピン36、及び固定プレート38を有する。
図4を参照して、本発明の一実施形態による両面研磨装置200を説明する。両面研磨装置200は、上定盤50および下定盤52を有する回転定盤54と、回転定盤54の中心部に設けられたサンギア56と、回転定盤54の外周部に設けられたインターナルギア58と、上定盤50と下定盤52との間に設けられ、ウェーハを保持する1つ以上の保持孔(不図示)が設けられたキャリアプレート60と、を備える。ここで、図示しないが、上定盤50および下定盤52のキャリアプレート60側の各面に研磨布が貼布されている。
図5を参照して、本発明の一実施形態による片面研磨装置300を説明する。片面研磨装置300は、ウェーハの他方の面を保持する研磨ヘッド80と、ウェーハWの一方の面を研磨する研磨布が貼付された定盤82と、を備える。
2 駆動プレート本体
4 円筒体
6 駆動プレート
8 ケーシング
8A ケーシングの径方向外側面
8B ケーシングの径方向内側面
10 収容孔
12 第1のボルト
14 駆動ボール
16 従動プレート
18 従動プレートの貫通孔
20 溝
20A 溝の外周面
20B 溝の内周面
22 凹所
22A 第1の凹所内壁
22B 第2の凹所内壁
26 軸受内輪部
26R 凸曲面
28A 第1の軸受外輪部
28B 第2の軸受外輪部
28R 凹曲面
30 第1のリング部材
32 第2のボルト
34 第2のリング部材
36 固定ピン
38 固定プレート
200 両面研磨装置
50 上定盤
52 下定盤
54 回転定盤
56 サンギア
58 インターナルギア
60 キャリアプレート
300 片面研磨装置
80 研磨ヘッド
82 定盤
X 駆動軸
Y 従動軸
Z 駆動ボールの中心と軸受の軸長中心とが存在する平面
W ウェーハ
h ケーシングの底面と溝の底面との間の隙間の高さ
w1 ケーシングの径方向外側面と溝の外周面との間の隙間の径方向幅
w2 ケーシングの径方向内側面と溝の内周面との間の隙間の径方向幅
O1 駆動ボールの回転中心
O2 軸受の軸長中心
O3 凹曲面の曲率中心
O4 凸曲面の曲率中心
Claims (5)
- 駆動機構が連結されて前記駆動機構と共に回転する板状の駆動プレート本体及び前記駆動プレート本体の回転軸である駆動軸と中心軸を共通にする円筒体を有する駆動プレートと、
前記駆動プレートの前記円筒体側の面に、かつ前記円筒体の外側に配置される前記円筒体と同心円状のリングであって、前記リングの径方向に貫通する複数の収容孔が前記リングの周方向に間隔を置いて形成された、ケーシングと、
前記収容孔のそれぞれに収容される複数の駆動ボールと、
前記駆動プレートに連結されて前記駆動プレートと共に回転する板状体であって、前記円筒体が収まる貫通孔及び前記駆動ボールのうち前記収容孔から突出する部分を前記板状体の径方向に隙間をもって収容する凹所が周方向に間隔を置いて形成された溝であって、前記ケーシングが、前記ケーシングの底面と前記溝の底面との間に、前記ケーシングの径方向外側面と前記溝の外周面との間に、及び前記ケーシングの径方向内側面と前記溝の内周面との間にそれぞれ隙間をもって収容される溝を有する従動プレートと、
前記駆動プレートの円筒体の側面と前記従動プレートの貫通孔の内周面との間に介在する、径方向外側に凸となる一定曲率の凸曲面及び前記凸曲面を受ける凹曲面を有し、かつ前記収容孔に収容された前記駆動ボールの全ての中心点からなる平面上に軸長中心並びに前記凹曲面及び前記凸曲面の各曲率中心を有する、軸受と、
を備えることを特徴とする回転装置。 - 前記凹所は、前記板状体の径方向外側の第1の凹所内壁と前記板状体の径方向内側の第2の凹所内壁とをそれぞれ有しており、前記ケーシングの底面と前記溝の底面とが平行である場合において、前記第1の凹所内壁と前記第2の凹所内壁との、前記板状体の径方向に沿った距離が、前記駆動ボールの直径よりも40μm以上105μm以下だけ大きい、請求項1に記載の回転装置。
- 前記ケーシングの底面と前記溝の底面とが平行である場合において、前記ケーシングの底面と前記溝の底面との間の隙間の高さが1.50mm以上1.63mm以下であり、前記ケーシングの径方向外側面と前記溝の外周面との間の隙間の径方向幅が1.0mm以上2.0mm以下であり、前記ケーシングの径方向内側面と前記溝の内周面との間の隙間の径方向幅が1.0mm以上2.0mm以下である、請求項1または2に記載の回転装置。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の回転装置と、上定盤および下定盤を有する回転定盤と、前記回転定盤の中心部に設けられたサンギアと、前記回転定盤の外周部に設けられたインターナルギアと、前記上定盤と前記下定盤との間に設けられ、ウェーハを保持する1つ以上の保持孔が設けられたキャリアプレートと、を備え、前記上定盤および前記下定盤のキャリアプレート側の各面に研磨布が貼布された、ウェーハの両面研磨装置であって、
前記上定盤と前記回転装置が備える従動プレートとが連結されていることを特徴とする両面研磨装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の回転装置と、ウェーハの他方の面を保持する研磨ヘッドと、前記ウェーハの一方の面を研磨する研磨布が貼付された定盤と、を備える、ウェーハの片面研磨装置であって、
前記研磨ヘッドと前記回転装置が備える従動プレートとが連結されていることを特徴とする片面研磨装置。
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JP2017022507A JP6772876B2 (ja) | 2017-02-09 | 2017-02-09 | 回転装置、並びに該回転装置を備える両面研磨装置及び片面研磨装置 |
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2017
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