JP2018116841A - Conductive layer with base material, method for producing the same, and sensor - Google Patents

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昂平 平尾
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昂平 平尾
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a base material with a conductive layer having excellent elasticity and a method of producing the same.SOLUTION: A conductive layer with a base material 10 has a base material 1 with an elongation at break of 200% or more, and a conductive layer 2 provided on the base material 1. The conductive layer 2 has a conductive fiber. A method for producing a conductive layer with a base material 10 has the step of disposing a conductive film, which has a support film, a conductive layer provided on the support film, and a resin layer provided on the conductive layer, so that the resin layer turns to the base material side, on the base material; and the peeling step of peeling the support film, where the conductive layer has a conductive fiber.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、導電層付き基材及びその製造方法、並びに、センサに関する。   The present invention relates to a substrate with a conductive layer, a method for producing the same, and a sensor.

パソコン、テレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、OA機器、FA機器等の表示機器などには、液晶表示素子やタッチスクリーンが用いられている。これら液晶表示素子やタッチスクリーンには、導電層付き基材が必要である。導電層付き基材を得る方法として、例えば、導電性繊維を含む感光層を有する感光性導電フィルムを用いた方法が提案されている(例えば、下記特許文献1参照)。この技術を用いれば、フォトリソグラフィー工程で、透明導電パターンを種々の基板上に形成できる。   Liquid crystal display elements and touch screens are used in large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation systems, mobile phones, and electronic dictionaries, and display devices such as OA devices and FA devices. These liquid crystal display elements and touch screens require a substrate with a conductive layer. As a method for obtaining a substrate with a conductive layer, for example, a method using a photosensitive conductive film having a photosensitive layer containing conductive fibers has been proposed (for example, see Patent Document 1 below). If this technique is used, a transparent conductive pattern can be formed on various substrates by a photolithography process.

国際公開第2010/021224号International Publication No. 2010/021224

ところで、現在、消費者の嗜好の拡がりを背景に、伸縮性を付与した電子機器が提案されており、これらに搭載される導電層付き基材にも伸縮性が求められている。しかしながら、既存の電子機器に搭載される導電層付き基材では、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリカーボネート(PC)等が基材として用いられており、これらの基材は、破断伸度が低く、伸縮性が低い課題がある。また、導電層付き基材を構成する透明導電材料としては、ITO(酸化インジウム)、酸化スズ等が用いられる場合があるが、これらも破断伸度が低く、伸縮性が低い課題がある。破断伸度の低い基材を用いた導電層付き基材は、伸縮時(特に伸長時)に破断し、導電性を失うといった課題がある。   By the way, the electronic device which provided the elasticity was proposed against the background of the spread of consumers' preference now, and the elasticity is calculated | required also by the base material with a conductive layer mounted in these. However, in base materials with conductive layers mounted on existing electronic devices, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), etc. are used as base materials, and these base materials have low elongation at break and are elastic. There is a problem with low nature. Moreover, as a transparent conductive material which comprises a base material with a conductive layer, ITO (indium oxide), a tin oxide, etc. may be used, but these also have the subject that a fracture elongation is low and a stretching property is low. The base material with a conductive layer using a base material having a low elongation at break has a problem that it breaks when stretched (particularly when stretched) and loses conductivity.

本発明は、前記事情を鑑みてなされたものであり、優れた伸縮性を有する導電層付き基材及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、前記導電層付き基材を備えるセンサを提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of the said situation, and aims at providing the base material with the conductive layer which has the outstanding elasticity, and its manufacturing method. Moreover, an object of this invention is to provide a sensor provided with the said base material with a conductive layer.

本発明者らは、上記課題を解決するべく鋭意検討を重ねた結果、導電層付き基材の基材として破断伸度が200%以上の基材を用いることで、優れた伸縮性を有する導電層付き基材を形成できることを見出した。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have used a base material having a breaking elongation of 200% or more as the base material of the base material with a conductive layer. It has been found that a substrate with a layer can be formed.

すなわち、本発明の第一の態様は、破断伸度が200%以上の基材と、当該基材上に設けられた導電層と、を備え、前記導電層が導電性繊維を含む、導電層付き基材に関する。   That is, a first aspect of the present invention includes a base material having a breaking elongation of 200% or more and a conductive layer provided on the base material, wherein the conductive layer includes conductive fibers. The present invention relates to a substrate with an adhesive.

前記基材は、ポリウレタン又はシリコーンゴムを含むことが好ましい。この場合、導電層付き基材を200%以上に伸長しても、破断することなく容易に導電性を担保することができる。   The substrate preferably contains polyurethane or silicone rubber. In this case, even if the base material with a conductive layer is stretched to 200% or more, the conductivity can be easily ensured without breaking.

第一の態様に係る導電層付き基材は、前記基材と前記導電層との間に設けられた樹脂層を更に備えることが好ましい。この場合、同一の電気抵抗値を得るために必要な導電性繊維を低減することができ、導電層付き基材の光透過性を向上させることができる。前記樹脂層は、感光性樹脂組成物又はその硬化物を含んでいてもよい。   It is preferable that the base material with a conductive layer according to the first aspect further includes a resin layer provided between the base material and the conductive layer. In this case, the conductive fibers necessary for obtaining the same electric resistance value can be reduced, and the light transmittance of the substrate with the conductive layer can be improved. The resin layer may contain a photosensitive resin composition or a cured product thereof.

前記導電性繊維は、銀繊維を含むことが好ましい。この場合、同一の電気抵抗値を得るために必要な導電性繊維を低減することができ、導電層付き基材の光透過性を向上させることができる。   The conductive fiber preferably contains silver fiber. In this case, the conductive fibers necessary for obtaining the same electric resistance value can be reduced, and the light transmittance of the substrate with the conductive layer can be improved.

前記導電層は、導電パターンであってもよい。   The conductive layer may be a conductive pattern.

本発明の第二の態様は、上述の導電層付き基材の製造方法であって、支持フィルム、当該支持フィルム上に設けられた導電層、及び、当該導電層上に設けられた樹脂層を有する導電フィルムを、前記樹脂層が前記基材側に位置する向きで前記基材上に配置する工程と、前記支持フィルムを剥離する剥離工程と、を備え、前記導電層が導電性繊維を含む、導電層付き基材の製造方法に関する。   The second aspect of the present invention is a method for producing the above-mentioned substrate with a conductive layer, comprising a support film, a conductive layer provided on the support film, and a resin layer provided on the conductive layer. A step of disposing the conductive film on the substrate in a direction in which the resin layer is positioned on the substrate side, and a peeling step of peeling the support film, wherein the conductive layer includes conductive fibers. The present invention relates to a method for producing a substrate with a conductive layer.

第二の態様に係る導電層付き基材の製造方法は、前記樹脂層に活性光線を照射する露光工程を更に備え、前記樹脂層が感光性樹脂組成物を含む態様であってもよい。樹脂層が感光性樹脂組成物を含むことで、樹脂層にパターン形成能を容易に付与することができ、基材上への導電パターン(配線)形成が容易となる。   The manufacturing method of the base material with a conductive layer which concerns on a 2nd aspect may further be equipped with the exposure process which irradiates an active ray to the said resin layer, and the aspect in which the said resin layer contains the photosensitive resin composition may be sufficient. When the resin layer contains the photosensitive resin composition, pattern forming ability can be easily imparted to the resin layer, and formation of a conductive pattern (wiring) on the substrate is facilitated.

第二の態様に係る導電層付き基材の製造方法は、前記剥離工程及び前記露光工程の後において前記樹脂層の未露光部を除去することにより導電パターンを形成する工程を更に備え、前記露光工程において前記樹脂層にパターン状に活性光線を照射する態様であってもよい。   The manufacturing method of the base material with a conductive layer which concerns on a 2nd aspect is further equipped with the process of forming a conductive pattern by removing the unexposed part of the said resin layer after the said peeling process and the said exposure process, The said exposure In the step, the resin layer may be irradiated with an actinic ray in a pattern.

本発明の第三の態様は、上述の導電層付き基材を備えるセンサに関する。   A 3rd aspect of this invention is related with a sensor provided with the above-mentioned base material with a conductive layer.

本発明によれば、優れた伸縮性を有する導電層付き基材及びその製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、前記導電層付き基材を備えるセンサを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the base material with the conductive layer which has the outstanding stretching property, and its manufacturing method can be provided. Moreover, according to this invention, a sensor provided with the said base material with a conductive layer can be provided.

導電層付き基材の一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Embodiment of a base material with a conductive layer. 導電層付き基材の他の一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows other one Embodiment of the base material with a conductive layer. 導電フィルムの一実施形態を示す図である。It is a figure which shows one Embodiment of a conductive film. 導電層付き基材の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for explaining one embodiment of a manufacturing method of a substrate with a conductive layer. 導電層付き基材の製造方法の他の一実施形態を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating other one Embodiment of the manufacturing method of the base material with a conductive layer.

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本明細書における「(メタ)アクリレート」とは、「アクリレート」又はそれに対応する「メタクリレート」を意味する。同様に、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」又はそれに対応する「メタクリル」を意味し、「(メタ)アクリル酸」とは、「アクリル酸」又はそれに対応する「メタクリル酸」を意味し、「(メタ)アクリロイル」とは、「アクリロイル」又はそれに対応する「メタクリロイル」を意味する。また、「(メタ)アクリル酸アルキルエステル」とは、「アクリル酸アルキルエステル」又はそれに対応する「メタクリル酸アルキルエステル」を意味する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. In the present specification, “(meth) acrylate” means “acrylate” or “methacrylate” corresponding thereto. Similarly, “(meth) acrylic” means “acrylic” or “methacrylic” corresponding thereto, and “(meth) acrylic acid” means “acrylic acid” or “methacrylic acid” corresponding thereto. “(Meth) acryloyl” means “acryloyl” or “methacryloyl” corresponding thereto. Further, “(meth) acrylic acid alkyl ester” means “acrylic acid alkyl ester” or “methacrylic acid alkyl ester” corresponding thereto.

「EO」はエチレンオキサイドを示し、「EO変性」された化合物とは、エチレンオキサイド基を有する化合物を意味する。同様に、「PO」はプロピレンオキサイドを示し、「PO変性」された化合物とは、プロピレンオキサイド基を有する化合物を意味する。   “EO” represents ethylene oxide, and “EO-modified” means a compound having an ethylene oxide group. Similarly, “PO” represents propylene oxide, and “PO-modified” means a compound having a propylene oxide group.

本実施形態に係る導電層付き基材は、破断伸度が200%以上の基材と、当該基材上に設けられた導電層と、を備え、導電層が導電性繊維を含む。本実施形態に係るセンサは、本実施形態に係る導電層付き基材を備える。本実施形態に係る導電層付き基材によれば、良好な伸縮性を備えるセンサを形成することができる。導電層付き基材としては、導電層付き基板(導電基板)等が挙げられる。導電層付き基材は、例えば、基材等の構成部材が透明である透明導電基板である。導電層は、導電パターン(配線)であってもよい。   The base material with a conductive layer according to the present embodiment includes a base material having a breaking elongation of 200% or more and a conductive layer provided on the base material, and the conductive layer includes conductive fibers. The sensor according to the present embodiment includes the base material with a conductive layer according to the present embodiment. According to the base material with a conductive layer according to this embodiment, a sensor having good stretchability can be formed. Examples of the substrate with a conductive layer include a substrate with a conductive layer (conductive substrate). The base material with a conductive layer is, for example, a transparent conductive substrate in which a constituent member such as a base material is transparent. The conductive layer may be a conductive pattern (wiring).

基材の破断伸度は、導電層付き基材の伸縮性を更に向上させる観点から、300%以上が好ましく、400%以上がより好ましく、500%以上が更に好ましく、700%以上が特に好ましい。基材の破断伸度の上限は、例えば900%である。   From the viewpoint of further improving the stretchability of the substrate with a conductive layer, the breaking elongation of the substrate is preferably 300% or more, more preferably 400% or more, still more preferably 500% or more, and particularly preferably 700% or more. The upper limit of the breaking elongation of the substrate is, for example, 900%.

基材の破断伸度は、例えば、下記方法により測定することができる。具体的には、精密万能試験機等の引っ張りモードで、各フィルム15mm幅、チャック間40mm、引張スピード200mm/minなどの条件で測定することができる。   The breaking elongation of the substrate can be measured, for example, by the following method. Specifically, it can be measured in a tensile mode such as a precision universal testing machine under conditions such as a width of 15 mm for each film, a gap between chucks of 40 mm, and a tensile speed of 200 mm / min.

本実施形態に係る導電層付き基材は、基材と導電層との間に設けられた樹脂層を更に備えていてもよい。樹脂層は、感光性樹脂組成物又はその硬化物を含んでいてもよい。   The base material with a conductive layer according to the present embodiment may further include a resin layer provided between the base material and the conductive layer. The resin layer may contain a photosensitive resin composition or a cured product thereof.

図1は、導電層付き基材の一実施形態を示す模式断面図である。図1に示す導電層付き基材10は、破断伸度が200%以上の基材1と、基材1上に設けられた導電層2と、を備える。導電層2は、導電性繊維を含み、導電性繊維からなる層であってもよい。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a substrate with a conductive layer. The base material 10 with a conductive layer shown in FIG. 1 includes a base material 1 having a breaking elongation of 200% or more and a conductive layer 2 provided on the base material 1. The conductive layer 2 may be a layer containing conductive fibers and made of conductive fibers.

図2は、導電層付き基材の他の一実施形態を示す模式断面図である。図2に示す導電層付き基材20は、破断伸度が200%以上の基材1と、基材1上に設けられた樹脂層3と、樹脂層3上に設けられた導電層4と、を備える。導電層4は、導電性繊維を含み、導電性繊維からなる層であってもよい。樹脂層3は、例えば、導電性繊維を含んでいない層である。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of the substrate with a conductive layer. The base material 20 with a conductive layer shown in FIG. 2 includes a base material 1 having a breaking elongation of 200% or more, a resin layer 3 provided on the base material 1, and a conductive layer 4 provided on the resin layer 3. . The conductive layer 4 may be a layer containing conductive fibers and made of conductive fibers. The resin layer 3 is a layer that does not contain conductive fibers, for example.

基材1としては、破断伸度が200%以上の基材であれば特に制限無く用いることができる。このような基材を選択することで、導電層付き基材に伸縮性を付与することができる。基材1は、例えば透明である。   As the base material 1, any base material having a breaking elongation of 200% or more can be used without particular limitation. By selecting such a substrate, stretchability can be imparted to the substrate with a conductive layer. The base material 1 is transparent, for example.

基材1としては、ポリウレタン又はシリコーンゴムを含む基材等が挙げられ、具体的には、ポリウレタンフィルム、シリコーンゴムシート等が挙げられる。ポリウレタンフィルムは、構成される分子構造中に芳香環を含まないことが好ましい。芳香環が含まれないことで、基材の伸縮性が更に向上し、好適な導電層付き基材を得ることができる。   Examples of the substrate 1 include a substrate containing polyurethane or silicone rubber, and specific examples include a polyurethane film and a silicone rubber sheet. The polyurethane film preferably does not contain an aromatic ring in the molecular structure. By not containing an aromatic ring, the stretchability of the base material is further improved, and a suitable base material with a conductive layer can be obtained.

基材1の厚さは、20〜200μmであることが好ましく、30〜150μmであることがより好ましく、50〜100μmであることが更に好ましい。基材1の厚さが20μm以上であると、ハンドリングしやすくなることに加え、基材の破れ等を抑制しやすくなる。基材1の厚さが200μm以下であると、剛性が増すことによって基材の屈曲性が低下することが抑制されやすい。   The thickness of the substrate 1 is preferably 20 to 200 μm, more preferably 30 to 150 μm, and still more preferably 50 to 100 μm. When the thickness of the substrate 1 is 20 μm or more, handling becomes easy, and it becomes easy to suppress tearing of the substrate. When the thickness of the substrate 1 is 200 μm or less, it is easy to suppress a decrease in the flexibility of the substrate due to an increase in rigidity.

導電層2,4に含有される導電性繊維としては、金、銀、銅、白金等の金属繊維;カーボンナノチューブ等の炭素繊維などが挙げられ、銀繊維(銀ナノワイヤ等)を含む導電性繊維を用いることが好ましい。   Examples of the conductive fibers contained in the conductive layers 2 and 4 include metal fibers such as gold, silver, copper, and platinum; carbon fibers such as carbon nanotubes, and the like, and conductive fibers including silver fibers (silver nanowires). Is preferably used.

銀繊維(銀ナノワイヤ等)を含む導電性繊維は、例えば、銀イオンをNaBH等の還元剤で還元する方法、又は、ポリオール法により作製することができる。 Conductive fibers containing silver fibers (silver nanowires and the like) can be produced by, for example, a method of reducing silver ions with a reducing agent such as NaBH 4 or a polyol method.

導電性繊維の繊維径は、1〜50nmであることが好ましく、2〜20nmであることがより好ましく、3〜10nmであることが更に好ましい。導電性繊維の繊維長は、1〜100μmであることが好ましく、2〜50μmであることがより好ましく、3〜10μmであることが更に好ましい。繊維径及び繊維長は、走査型電子顕微鏡により測定することができる。   The fiber diameter of the conductive fiber is preferably 1 to 50 nm, more preferably 2 to 20 nm, and still more preferably 3 to 10 nm. The fiber length of the conductive fiber is preferably 1 to 100 μm, more preferably 2 to 50 μm, and still more preferably 3 to 10 μm. The fiber diameter and fiber length can be measured with a scanning electron microscope.

導電層2,4は、導電性繊維と合わせて有機導電体を含むことができる。有機導電体としては、特に制限無く用いることができるが、チオフェン誘導体、アニリン誘導体等の導電性ポリマーを用いることが好ましい。具体的には、ポリエチレンジオキシチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリアニリン等を用いることができる。有機導電体を用いることで、伸縮前後での抵抗値の変化率を縮小することができる。   The conductive layers 2 and 4 can contain an organic conductor together with conductive fibers. The organic conductor can be used without any particular limitation, but a conductive polymer such as a thiophene derivative or an aniline derivative is preferably used. Specifically, polyethylenedioxythiophene, polyhexylthiophene, polyaniline, or the like can be used. By using an organic conductor, the rate of change in resistance value before and after expansion and contraction can be reduced.

導電層2,4の厚さは、形成される導電層付き基材の用途や、求められる導電性によっても異なるが、1μm以下であることが好ましく、1nm〜0.5μmであることがより好ましく、5nm〜0.1μmであることが更に好ましい。導電層2,4の厚さが1μm以下であると、450〜650nmの波長域での光透過率が高く、パターン形成性にも優れ、特に、導電層付き基材の作製に好適である。なお、導電層2,4の厚さは、走査型電子顕微鏡写真によって測定される値を指す。   The thickness of the conductive layers 2 and 4 varies depending on the use of the substrate with the conductive layer to be formed and the required conductivity, but is preferably 1 μm or less, more preferably 1 nm to 0.5 μm. More preferably, it is 5 nm-0.1 micrometer. When the thickness of the conductive layers 2 and 4 is 1 μm or less, the light transmittance in the wavelength region of 450 to 650 nm is high, the pattern forming property is excellent, and particularly suitable for the production of a substrate with a conductive layer. In addition, the thickness of the conductive layers 2 and 4 points out the value measured by a scanning electron micrograph.

樹脂層3は、任意の樹脂組成物又はその硬化物によって構成することができる。樹脂組成物としては、具体的には、熱硬化性樹脂組成物、感光性樹脂組成物等が挙げられる。このうち、導電層付き基材の生産性に優れる観点から、感光性樹脂組成物が好ましい。樹脂層3が感光性樹脂組成物を含む場合、樹脂層3は感光性樹脂層である。   The resin layer 3 can be comprised with arbitrary resin compositions or its hardened | cured material. Specific examples of the resin composition include a thermosetting resin composition and a photosensitive resin composition. Among these, the photosensitive resin composition is preferable from the viewpoint of excellent productivity of the substrate with a conductive layer. When the resin layer 3 contains a photosensitive resin composition, the resin layer 3 is a photosensitive resin layer.

感光性樹脂組成物は、(a)バインダーポリマーと、(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、(c)光重合開始剤と、を含有することができる。感光性樹脂組成物がこれらの成分を含有することにより、露光・現像のフォトリソグラフィーによってパターンを形成することができる。   The photosensitive resin composition can contain (a) a binder polymer, (b) a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and (c) a photopolymerization initiator. When the photosensitive resin composition contains these components, a pattern can be formed by exposure / development photolithography.

(a)バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、及び、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物との反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂が挙げられる。バインダーポリマーは、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   (A) As a binder polymer, for example, reaction of acrylic resin, styrene resin, epoxy resin, amide resin, amide epoxy resin, alkyd resin, phenol resin, ester resin, urethane resin, epoxy resin and (meth) acrylic acid. Examples thereof include epoxy acrylate resins obtained and acid-modified epoxy acrylate resins obtained by reaction of epoxy acrylate resins and acid anhydrides. A binder polymer can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

上記の中でも、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる観点から、アクリル樹脂を用いることが好ましい。「アクリル樹脂」とは、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体に由来する構造単位を主に有する重合体のことを意味する。アクリル樹脂は、例えば、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体をラジカル重合して製造することができる。アクリル樹脂は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Among these, it is preferable to use an acrylic resin from the viewpoint of excellent alkali developability and film formability. The “acrylic resin” means a polymer mainly having a structural unit derived from a polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group. The acrylic resin can be produced, for example, by radical polymerization of a polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group. An acrylic resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体としては、例えば、アクリルアミド(ジアセトンアクリルアミド等)、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、及び、β−スチリル(メタ)アクリル酸が挙げられる。   Examples of the polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group include acrylamide (such as diacetone acrylamide), (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, and (meth) acrylic acid dimethylamino. Ethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, α-chloro (meth) acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid, and β-styryl (meth) acrylic acid.

(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸プロピルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸ペンチルエステル、(メタ)アクリル酸ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヘプチルエステル、(メタ)アクリル酸オクチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ノニルエステル、(メタ)アクリル酸デシルエステル、(メタ)アクリル酸ウンデシルエステル、及び、(メタ)アクリル酸ドデシルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステルは、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of (meth) acrylic acid alkyl esters include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid propyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid pentyl ester. Ester, (meth) acrylic acid hexyl ester, (meth) acrylic acid heptyl ester, (meth) acrylic acid octyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, (meth) acrylic acid nonyl ester, (meth) acrylic acid decyl ester Examples include esters, (meth) acrylic acid undecyl esters, and (meth) acrylic acid dodecyl esters. The (meth) acrylic acid alkyl ester can be used alone or in combination of two or more.

アクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸に由来する構造単位、及び、(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位を有することが好ましい。また、アクリル樹脂は、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体と、他の重合性単量体との共重合体であってもよく、他の重合性単量体としては、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の、α−位又は芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体;アクリロニトリル;ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類;マレイン酸;マレイン酸無水物;マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル;フマール酸;ケイ皮酸;α−シアノケイ皮酸;イタコン酸;クロトン酸などが挙げられる。他の重合性単量体は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   The acrylic resin preferably has a structural unit derived from (meth) acrylic acid and a structural unit derived from (meth) acrylic acid alkyl ester. The acrylic resin may be a copolymer of a polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group and another polymerizable monomer. Examples of the other polymerizable monomer include styrene, Polymerizable styrene derivatives substituted in the α-position or aromatic ring, such as vinyltoluene, α-methylstyrene; acrylonitrile; esters of vinyl alcohol such as vinyl-n-butyl ether; maleic acid; maleic anhydride Maleic acid monoesters such as monomethyl maleate, monoethyl maleate and monoisopropyl maleate; fumaric acid; cinnamic acid; α-cyanocinnamic acid; itaconic acid; crotonic acid and the like. Other polymerizable monomers can be used singly or in combination of two or more.

(a)バインダーポリマーは、アルカリ現像性を更に良好にする観点から、カルボキシル基を有することが好ましい。このようなバインダーポリマーを得るための、カルボキシル基を有する重合性単量体としては、上述したような(メタ)アクリル酸が挙げられる。   (A) The binder polymer preferably has a carboxyl group from the viewpoint of further improving alkali developability. Examples of the polymerizable monomer having a carboxyl group for obtaining such a binder polymer include (meth) acrylic acid as described above.

(a)バインダーポリマーが有するカルボキシル基の比率は、バインダーポリマーを得るために使用する重合性単量体の全量に対する、カルボキシル基を有する重合性単量体の割合として、10〜50質量%であることが好ましく、12〜40質量%であることがより好ましく、15〜30質量%であることが更に好ましく、15〜25質量%であることが特に好ましい。前記比率は、アルカリ現像性に優れる観点から、10質量%以上であることが好ましく、非現像部のアルカリ耐性に優れる観点から、50質量%以下であることが好ましい。   (A) The ratio of the carboxyl group which a binder polymer has is 10-50 mass% as a ratio of the polymerizable monomer which has a carboxyl group with respect to the whole quantity of the polymerizable monomer used in order to obtain a binder polymer. It is preferably 12 to 40% by mass, more preferably 15 to 30% by mass, and particularly preferably 15 to 25% by mass. The ratio is preferably 10% by mass or more from the viewpoint of excellent alkali developability, and is preferably 50% by mass or less from the viewpoint of excellent alkali resistance of the non-developed portion.

(a)バインダーポリマーの酸価は、現像工程において公知の各種現像液に対する現像性を向上させる観点から、50〜150mgKOH/gであることが好ましい。   (A) It is preferable that the acid value of a binder polymer is 50-150 mgKOH / g from a viewpoint of improving the developability with respect to various well-known developing solutions in a image development process.

(a)バインダーポリマーの酸価は、次のようにして測定することができる。まず、酸価を測定すべきバインダーポリマー1gを精秤する。続いて、上記バインダーポリマーにアセトン30gを加え、これを均一に溶解して樹脂溶液を得る。次いで、指示薬であるフェノールフタレインを上記溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を滴定することで酸価を測定できる。なお、酸価は次式により算出できる。
酸価=10×Vf×56.1/(Wp×I)
[式中、Vfは、KOH水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは、測定した樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは、測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。]
(A) The acid value of the binder polymer can be measured as follows. First, 1 g of binder polymer whose acid value is to be measured is precisely weighed. Subsequently, 30 g of acetone is added to the binder polymer, and this is uniformly dissolved to obtain a resin solution. Next, an acid value can be measured by adding an appropriate amount of an indicator, phenolphthalein, to the above solution and titrating a 0.1N KOH aqueous solution. The acid value can be calculated by the following formula.
Acid value = 10 × Vf × 56.1 / (Wp × I)
[In the formula, Vf represents the titration amount (mL) of the KOH aqueous solution, Wp represents the mass (g) of the measured resin solution, and I represents the ratio (mass%) of the non-volatile content in the measured resin solution. Indicates. ]

なお、バインダーポリマーに合成溶媒や希釈溶媒が含まれる場合は、精秤前に予め、上記溶媒の沸点よりも10℃程度高い温度で1〜4時間加熱し、揮発分を除去しておくことができる。この際、低分子量の重合性化合物等の揮発性成分が除去されることもある。   When the binder polymer contains a synthetic solvent or a diluting solvent, the volatile matter may be removed in advance by heating at a temperature about 10 ° C. higher than the boiling point of the solvent for 1 to 4 hours before precise weighing. it can. At this time, volatile components such as a low molecular weight polymerizable compound may be removed.

(a)バインダーポリマーの重量平均分子量は、機械強度及びアルカリ現像性のバランスを図る観点から、5000〜300000であることが好ましく、20000〜150000であることがより好ましく、30000〜100000であることが更に好ましい。重量平均分子量は、非現像部の耐現像液性に優れる観点から、5000以上であることが好ましい。重量平均分子量は、現像時間が短縮される観点から、300000以下であることが好ましい。なお、重量平均分子量の測定条件は、実施例に記載の条件と同一の測定条件を用いることができる。   (A) The weight average molecular weight of the binder polymer is preferably 5,000 to 300,000, more preferably 20,000 to 150,000, and more preferably 30,000 to 100,000 from the viewpoint of balancing the mechanical strength and alkali developability. Further preferred. The weight average molecular weight is preferably 5000 or more from the viewpoint of excellent developer resistance of the non-developed portion. The weight average molecular weight is preferably 300000 or less from the viewpoint of shortening the development time. In addition, the measurement conditions same as the conditions as described in an Example can be used for the measurement conditions of a weight average molecular weight.

(a)バインダーポリマーは、上述した樹脂を1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。2種類以上の樹脂を組み合わせて使用する場合、例えば、異なる共重合成分からなる2種類以上の樹脂が含まれる混合物からなるバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の2種類以上の樹脂が含まれる混合物からなるバインダーポリマー、異なる分散度の2種類以上の樹脂が含まれる混合物からなるバインダーポリマー等が挙げられる。   (A) A binder polymer can use the resin mentioned above individually by 1 type or in combination of 2 or more types. When two or more kinds of resins are used in combination, for example, a binder polymer made of a mixture containing two or more kinds of resins composed of different copolymerization components, or a mixture containing two or more kinds of resins having different weight average molecular weights. Examples thereof include a binder polymer and a binder polymer composed of a mixture containing two or more kinds of resins having different degrees of dispersion.

(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては、公知の化合物を用いることができる。例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー;γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート等のフタル酸系化合物;(メタ)アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   (B) A known compound can be used as the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. For example, a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid; a compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α, β-unsaturated carboxylic acid; having a urethane bond (meth) Urethane monomers such as acrylate compounds; γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyethyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β -Phthalic acid compounds such as hydroxypropyl-β '-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate; (meth) acrylic acid alkyl esters. (B) The polymeric compound which has an ethylenically unsaturated bond can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

上記多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、公知の化合物を用いることが可能であり、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物(2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等)、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14であり、プロピレン基の数が2〜14であるポリエチレンポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。   As the compound obtained by reacting the polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid, a known compound can be used, and a bisphenol A-based (meth) acrylate compound (2,2-bis (4 -((Meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypoly) Ethoxypolypropoxy) phenyl) propane), polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups, polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene groups, number of ethylene groups Is 2 to 14 and the number of propylene groups is 2 to 14 in polyethylene polypropylene glycol di (medium T) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, trimethylolpropane ethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane diethoxytri (meth) Acrylate, trimethylolpropane triethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropanetetraethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane pentaethoxytri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) ) Acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene groups, dipentaerythritol pen (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate.

上記ウレタンモノマーとしては、β位にヒドロキシル基を有する(メタ)アクリルモノマーと、イソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物;トリス[(メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート]ヘキサメチレンイソシアヌレート;EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート;EO・PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。   Examples of the urethane monomer include a (meth) acrylic monomer having a hydroxyl group at the β-position and a diisocyanate compound such as isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, and 1,6-hexamethylene diisocyanate. Addition reaction product; tris [(meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate] hexamethylene isocyanurate; EO-modified urethane di (meth) acrylate; EO / PO-modified urethane di (meth) acrylate.

上記EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、「UA−11」(新中村化学工業株式会社製、商品名)が挙げられる。EO・PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、「UA−13」(新中村化学工業株式会社製、商品名)が挙げられる。   Examples of the EO-modified urethane di (meth) acrylate include “UA-11” (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name). Examples of the EO / PO-modified urethane di (meth) acrylate include “UA-13” (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).

(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の含有割合は、(a)バインダーポリマー及び(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の総量100質量部に対して、30〜80質量部であることが好ましく、35〜70質量部であることがより好ましい。前記含有割合は、光硬化性、及び、形成された導電層上への塗工性に優れる観点から、30質量部以上であることが好ましく、フィルムとして巻き取った場合の保管安定性に優れる観点から、80質量部以下であることが好ましい。   (B) The content ratio of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is 30 to 80 masses per 100 parts by mass of the total amount of the polymerizable compound having (a) the binder polymer and (b) ethylenically unsaturated bonds. Part, preferably 35 to 70 parts by mass. The content ratio is preferably 30 parts by mass or more from the viewpoint of excellent photocurability and coatability on the formed conductive layer, and is excellent in storage stability when wound as a film. Therefore, the amount is preferably 80 parts by mass or less.

(c)光重合開始剤としては、活性光線の照射によって感光性樹脂組成物を硬化させることができるものであれば、特に制限されない。(c)光重合開始剤としては、光硬化性に優れる観点から、ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。(c)光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、N,N,N’,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(別名:ミヒラーケトン)、N,N,N’,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等の芳香族ケトン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等のホスフィン化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、オキサゾール系化合物などが挙げられる。(c)光重合開始剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また、2つの2,4,5−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は、同一で対象な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸との組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせてもよい。   (C) As a photoinitiator, if a photosensitive resin composition can be hardened by irradiation of actinic light, it will not restrict | limit in particular. (C) As the photopolymerization initiator, a radical polymerization initiator is preferably used from the viewpoint of excellent photocurability. (C) As a photopolymerization initiator, benzophenone, N, N, N ′, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (also known as Michler ketone), N, N, N ′, N′-tetraethyl- 4,4′-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4′-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone, 2-methyl-1- [4- Aromatic ketones such as (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether; benzoin compounds such as benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin; 2-Octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl Oxime ester compounds such as 2- (O-benzoyloxime), 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone 1- (O-acetyloxime); 2 Phosphine compounds such as 1,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide; benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer 2,4 such as 2-mer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer 5-triarylimidazole dimers; acridine derivatives such as 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane; N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives, coumarin compounds, oxazole compounds Compound etc. are mentioned. (C) A photoinitiator can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. Further, the substituents of the aryl groups of two 2,4,5-triarylimidazoles may give the same target compound or differently give asymmetric compounds. Moreover, you may combine a thioxanthone type compound and a tertiary amine compound like the combination of diethyl thioxanthone and dimethylaminobenzoic acid.

これらの中でも、透明性、及び、感光性樹脂層の厚さ10μm以下でのパターン形成能に優れる観点から、芳香族ケトン、オキシムエステル化合物及びホスフィン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種が好ましく、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、及び、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドからなる群より選ばれる少なくとも一種が好ましい。これらは、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Among these, at least one selected from the group consisting of an aromatic ketone, an oxime ester compound and a phosphine compound is preferable from the viewpoint of transparency and excellent pattern forming ability when the thickness of the photosensitive resin layer is 10 μm or less. -Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone, 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), and At least one selected from the group consisting of 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide is preferable. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

(c)光重合開始剤の含有割合は、(a)バインダーポリマー及び(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の総量100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましく、1〜15質量部であることがより好ましく、1〜10質量部であることが特に好ましい。前記含有割合は、光感度に優れる観点から、0.1質量部以上であることが好ましく、感光性樹脂層の内部の光硬化性に優れる観点から、20質量部以下であることが好ましい。   (C) The content rate of a photoinitiator is 0.1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of the polymerizable compound which has (a) binder polymer and (b) ethylenically unsaturated bond. Is more preferable, 1 to 15 parts by mass is more preferable, and 1 to 10 parts by mass is particularly preferable. The content is preferably 0.1 parts by mass or more from the viewpoint of excellent photosensitivity, and is preferably 20 parts by mass or less from the viewpoint of excellent photocurability inside the photosensitive resin layer.

感光性樹脂組成物は、必要に応じて、各種添加剤を含有することができる。添加剤としては、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤、防錆剤等を1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの添加剤の含有割合は、(a)バインダーポリマー及び(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の総量100質量部に対して各々0.01〜20質量部であることが好ましい。   The photosensitive resin composition can contain various additives as needed. Additives include plasticizers such as p-toluenesulfonamide, fillers, antifoaming agents, flame retardants, stabilizers, adhesion promoters, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, imaging agents, heat A crosslinking agent, an antirust agent, etc. can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. The content of these additives is preferably 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of (a) the binder polymer and (b) the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond.

感光性樹脂層は、例えば、支持フィルム上に形成された導電層上に感光性樹脂組成物の溶液を塗工した後に乾燥することにより形成できる。感光性樹脂組成物の溶液は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に感光性樹脂組成物を溶解して得ることができる。感光性樹脂組成物の溶液の固形分は、例えば、10〜60質量%程度である。乾燥後の感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止するため、2質量%以下であることが好ましい。   The photosensitive resin layer can be formed, for example, by applying a solution of the photosensitive resin composition on a conductive layer formed on a support film and then drying. The solution of the photosensitive resin composition may be added to a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether, or a mixed solvent thereof as necessary. It can be obtained by dissolving the photosensitive resin composition. The solid content of the solution of the photosensitive resin composition is, for example, about 10 to 60% by mass. The amount of the remaining organic solvent in the photosensitive resin layer after drying is preferably 2% by mass or less in order to prevent diffusion of the organic solvent in the subsequent step.

感光性樹脂層を得るための塗工は、公知の方法で行うことができる。塗工方法としては、例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、及び、スプレーコート法が挙げられる。塗工後、有機溶剤等を除去するための乾燥は、70〜150℃で5〜30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。   The coating for obtaining the photosensitive resin layer can be performed by a known method. Examples of the coating method include a roll coating method, a comma coating method, a gravure coating method, an air knife coating method, a die coating method, a bar coating method, and a spray coating method. After coating, drying for removing the organic solvent and the like can be performed at 70 to 150 ° C. for about 5 to 30 minutes with a hot air convection dryer or the like.

樹脂層3a(感光性樹脂層等)の厚さ(乾燥後の厚さ)は、用途により異なるが、1〜200μmであることが好ましく、1〜50μmであることがより好ましく、1〜30μmであることが更に好ましく、1〜10μmであることが特に好ましい。この厚さが1μm以上であると、塗工による層形成が容易となる傾向にあり、200μm以下であると、光透過性が良好であり、充分な感度を得ることができ、樹脂層の光硬化性に優れる。樹脂層の厚さは、走査型電子顕微鏡により測定することができる。   Although the thickness (thickness after drying) of the resin layer 3a (photosensitive resin layer or the like) varies depending on the application, it is preferably 1 to 200 μm, more preferably 1 to 50 μm, and more preferably 1 to 30 μm. More preferably, it is 1 to 10 μm. If this thickness is 1 μm or more, layer formation by coating tends to be easy, and if it is 200 μm or less, light transmittance is good and sufficient sensitivity can be obtained. Excellent curability. The thickness of the resin layer can be measured with a scanning electron microscope.

本実施形態に係る導電層付き基材は、導電フィルムを用いて得ることができる。図3は、導電フィルムの一実施形態を示す図である。図3(a)は、導電フィルムの一実施形態を示す模式断面図であり、図3(b)は、導電フィルムの一実施形態を示す一部切欠き斜視図である。図3に示す導電フィルム30は、支持フィルム5と、支持フィルム5上に設けられた導電層4と、導電層4上に設けられた樹脂層3aと、を有する。樹脂層3aを硬化することにより図2の樹脂層3を得ることができる。   The base material with a conductive layer according to this embodiment can be obtained using a conductive film. FIG. 3 is a diagram illustrating an embodiment of a conductive film. Fig.3 (a) is a schematic cross section which shows one Embodiment of a conductive film, FIG.3 (b) is a partially notched perspective view which shows one Embodiment of a conductive film. A conductive film 30 shown in FIG. 3 includes a support film 5, a conductive layer 4 provided on the support film 5, and a resin layer 3 a provided on the conductive layer 4. The resin layer 3 in FIG. 2 can be obtained by curing the resin layer 3a.

支持フィルム5としては、耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。支持フィルム5としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、及び、ポリエチレンフィルムが挙げられる。   As the support film 5, a polymer film having heat resistance and solvent resistance can be used. Examples of the support film 5 include a polyethylene terephthalate film, a polypropylene film, and a polyethylene film.

支持フィルム5の厚さは、機械的強度に優れる観点から、5μm以上であることが好ましく、10μm以上であることがより好ましく、15μm以上であることが更に好ましい。支持フィルム5の厚さを上記数値以上とすることによって、例えば、導電層4を形成するために導電体分散液又は導電体溶液を塗工する工程や、樹脂層を形成するために樹脂組成物を塗工する工程で、支持フィルム5が破れることを防止できる。また、支持フィルム5を剥離する工程においても同様の効果が期待できる。   From the viewpoint of excellent mechanical strength, the thickness of the support film 5 is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, and further preferably 15 μm or more. By setting the thickness of the support film 5 to the above numerical value or more, for example, a step of applying a conductor dispersion liquid or a conductor solution to form the conductive layer 4 or a resin composition to form a resin layer It is possible to prevent the support film 5 from being broken in the process of coating. The same effect can be expected in the step of peeling the support film 5.

導電層4は、図3(b)に示すように、導電性繊維同士が接触してなる網目構造を有することが好ましい。このような網目構造を有する導電層4は、樹脂層3aの支持フィルム5側の表面に形成されていてもよいが、支持フィルム5を剥離したときに露出する樹脂層3aの表面においてその面方向に導電性が得られるのであれば、導電層4に樹脂層3aの一部が入り込む形態で形成されていてもよく、樹脂層3aの支持フィルム5側の表層に導電層4が含まれる形態で形成されていてもよい。   As shown in FIG. 3B, the conductive layer 4 preferably has a network structure in which conductive fibers are in contact with each other. The conductive layer 4 having such a network structure may be formed on the surface of the resin layer 3a on the support film 5 side, but in the surface direction of the surface of the resin layer 3a exposed when the support film 5 is peeled off. If the conductivity is obtained, the conductive layer 4 may be formed so that part of the resin layer 3a enters, and the conductive layer 4 is included in the surface layer of the resin layer 3a on the support film 5 side. It may be formed.

導電層4は、例えば、上述した導電性繊維や有機導電体と、水や有機溶剤と、界面活性剤や分散安定剤(ドデシル−ペンタエチレングリコール等)とを含む導電体分散液を支持フィルム5上に塗工した後に乾燥することで形成することができる。乾燥後、支持フィルム5上に形成した導電層4は、必要に応じてラミネートされてもよい。   For example, the conductive layer 4 is made of a conductive dispersion liquid containing the above-described conductive fibers or organic conductors, water or an organic solvent, a surfactant or a dispersion stabilizer (such as dodecyl-pentaethylene glycol), and the support film 5. It can form by drying after coating on top. After drying, the conductive layer 4 formed on the support film 5 may be laminated as necessary.

塗工は、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥(有機溶剤等を除去するための乾燥など)は、30〜150℃で1〜30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことが可能であり、70〜150℃で5〜30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うこともできる。導電層4において、導電性繊維や有機導電体は、界面活性剤や分散安定剤と共存していてもかまわない。   The coating can be performed by a known method such as a roll coating method, a comma coating method, a gravure coating method, an air knife coating method, a die coating method, a bar coating method, or a spray coating method. Moreover, drying (drying etc. for removing an organic solvent etc.) can be performed with a hot air convection dryer etc. for 30 minutes at 30-150 degreeC, and it is 5-30 at 70-150 degreeC. It can also be performed with a hot air convection dryer for about minutes. In the conductive layer 4, the conductive fiber and the organic conductor may coexist with the surfactant and the dispersion stabilizer.

導電フィルム30の感光層(上記導電層4及び上記樹脂層3aの積層体)において、450〜650nmの波長域における最小光透過率は、80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましい。感光層がこのような条件を満たす場合、ディスプレイパネル等での高輝度化が容易となる。また、感光層の厚さを1〜10μmとしたときにおいて450〜650nmの波長域における最小光透過率は、80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましい。感光層がこのような条件を満たす場合、ディスプレイパネル等での高輝度化が容易となる。   In the photosensitive layer of the conductive film 30 (laminated body of the conductive layer 4 and the resin layer 3a), the minimum light transmittance in the wavelength region of 450 to 650 nm is preferably 80% or more, and 85% or more. Is more preferable. When the photosensitive layer satisfies such a condition, it is easy to increase the brightness in a display panel or the like. Further, when the thickness of the photosensitive layer is 1 to 10 μm, the minimum light transmittance in the wavelength region of 450 to 650 nm is preferably 80% or more, and more preferably 85% or more. When the photosensitive layer satisfies such a condition, it is easy to increase the brightness in a display panel or the like.

導電フィルム30は、樹脂層3aの支持フィルム5側とは反対側の面に接するように保護フィルムを更に有していてもよい。   The conductive film 30 may further include a protective film so as to be in contact with the surface of the resin layer 3a opposite to the support film 5 side.

保護フィルムとしては、耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、及び、ポリエチレンフィルムが挙げられる。保護フィルムとして、上述の支持フィルムと同様の重合体フィルムを用いてもよい。   As the protective film, a polymer film having heat resistance and solvent resistance can be used. Examples of the protective film include a polyethylene terephthalate film, a polypropylene film, and a polyethylene film. As the protective film, a polymer film similar to the above support film may be used.

保護フィルムの厚さは、1〜100μmであることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましく、5〜40μmであることが更に好ましく、15〜30μmであることが特に好ましい。保護フィルムの厚さは、機械的強度に優れる観点から、1μm以上であることが好ましく、比較的安価となる観点から、100μm以下であることが好ましい。   The thickness of the protective film is preferably 1 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, still more preferably 5 to 40 μm, and particularly preferably 15 to 30 μm. The thickness of the protective film is preferably 1 μm or more from the viewpoint of excellent mechanical strength, and preferably 100 μm or less from the viewpoint of being relatively inexpensive.

保護フィルムと樹脂層3aとの間の接着力は、保護フィルムを樹脂層3aから剥離しやすくするために、支持フィルム5と導電層4との間の接着力、及び、支持フィルム5と樹脂層3aとの間の接着力よりも小さいことが好ましい。   The adhesive force between the protective film and the resin layer 3a is such that the protective film is easily peeled from the resin layer 3a, and the adhesive force between the support film 5 and the conductive layer 4 and the support film 5 and the resin layer. It is preferable that it is smaller than the adhesive force between 3a.

保護フィルム中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ数は、5個/m以下であることが好ましい。なお、「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、2軸延伸、キャスティング法等によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものである。 The number of fish eyes having a diameter of 80 μm or more contained in the protective film is preferably 5 / m 2 or less. "Fish eye" means that when a material is melted by heat, kneaded, extruded, biaxially stretched, casting method, etc., foreign materials, undissolved materials, oxidized degradation products, etc. It is taken in.

導電フィルム30は、保護フィルム上に、接着層、ガスバリア層等の層を更に有していてもよい。   The conductive film 30 may further have layers such as an adhesive layer and a gas barrier layer on the protective film.

導電フィルム30は、例えば、そのままの平板状の形態で、又は、円筒状等の巻芯に巻きとりロール状の形態で貯蔵することができる。なお、この際、支持フィルム5が最も外側になるように巻き取られることが好ましい。   The conductive film 30 can be stored, for example, in the form of a flat plate as it is or in the form of a roll wound around a cylindrical core. At this time, it is preferable that the support film 5 is wound up so as to be the outermost side.

巻芯の材質としては、従来用いられているものであれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体)等のプラスチックが挙げられる。また、ロール状に巻き取られた導電フィルムの端面には、端面保護の観点から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの観点から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、導電フィルムを梱包する際には、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。   The material of the core is not particularly limited as long as it is conventionally used. For example, polyethylene resin, polypropylene resin, polystyrene resin, polyvinyl chloride resin, ABS resin (acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer), etc. Of plastic. Moreover, it is preferable to install an end surface separator on the end surface of the conductive film wound up in a roll shape from the viewpoint of protecting the end surface, and it is preferable to install a moisture-proof end surface separator from the viewpoint of edge fusion resistance. Moreover, when packing an electroconductive film, it is preferable to wrap and package in a black sheet with small moisture permeability.

導電フィルム30が保護フィルムを有していない場合、導電フィルム30は、そのままの平板状の形態で貯蔵することができる。   When the conductive film 30 does not have a protective film, the conductive film 30 can be stored as it is in the form of a flat plate.

本実施形態に係る導電層付き基材の製造方法(導電層付き基材の形成方法)は、樹脂層を基材上に配置する配置工程と、樹脂層を硬化させる硬化工程と、を備える。樹脂層が感光性樹脂組成物を含む場合、硬化工程(露光工程)では、樹脂層に活性光線を照射することにより樹脂層を硬化させることができる。樹脂層上にフィルム部材(導電フィルムの支持フィルム等)が配置されている場合、硬化工程の前後いずれかにおいて、樹脂層からフィルム部材を剥離する剥離工程を行うことができる。剥離工程は、配置工程の後に行われる。   The manufacturing method of a base material with a conductive layer according to the present embodiment (a method for forming a base material with a conductive layer) includes an arrangement step of arranging a resin layer on the base material and a curing step of curing the resin layer. When the resin layer contains a photosensitive resin composition, in the curing step (exposure step), the resin layer can be cured by irradiating the resin layer with actinic rays. When a film member (such as a support film for a conductive film) is disposed on the resin layer, a peeling step for peeling the film member from the resin layer can be performed either before or after the curing step. The peeling process is performed after the arranging process.

図4は、第1実施形態に係る導電層付き基材の製造方法を説明するための模式断面図である。第1実施形態に係る導電層付き基材の製造方法は、図4に示すように、樹脂層3aが基材1側に位置する向きで導電フィルム30を基材1上に配置するラミネート工程(配置工程。図4(a)及び図4(b))と、支持フィルム5を剥離する剥離工程(図4(c))と、樹脂層3aを硬化させる硬化工程と、を備える。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the base material with a conductive layer according to the first embodiment. As shown in FIG. 4, the manufacturing method of the base material with a conductive layer according to the first embodiment is a laminating step in which the conductive film 30 is arranged on the base material 1 in such a direction that the resin layer 3a is positioned on the base material 1 side ( 4 (a) and 4 (b)), a peeling step (FIG. 4 (c)) for peeling the support film 5, and a curing step for curing the resin layer 3a.

図5は、第2実施形態に係る導電層付き基材の製造方法を説明するための模式断面図である。第2実施形態に係る導電層付き基材の製造方法は、樹脂層3aが感光性樹脂組成物を含む場合、図5に示すように、導電フィルム30を基材1上に配置するラミネート工程(図5(a))と、樹脂層3aにパターン状に活性光線Lを照射することにより樹脂層3aを硬化させる硬化工程(露光工程、図5(b))と、支持フィルム5を剥離する剥離工程と、樹脂層3aを現像して樹脂層3aの未露光部を除去することにより導電パターンを形成する現像工程(図5(c))と、を備える。現像工程は、剥離工程及び硬化工程(露光工程)の後に行われる。   FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining a method for producing a substrate with a conductive layer according to the second embodiment. When the resin layer 3a contains the photosensitive resin composition, the manufacturing method of the base material with a conductive layer according to the second embodiment is a laminating step in which the conductive film 30 is disposed on the base material 1 as shown in FIG. 5 (a)), a curing step (exposure step, FIG. 5 (b)) for curing the resin layer 3a by irradiating the resin layer 3a with an actinic ray L in a pattern, and peeling for peeling the support film 5 And a developing step (FIG. 5C) for developing the resin layer 3a and removing the unexposed portions of the resin layer 3a to form a conductive pattern. The development process is performed after the peeling process and the curing process (exposure process).

ラミネート工程は、例えば、基材1に樹脂層3aが接するように配置することができる。また、ラミネート工程では、例えば、保護フィルムがある場合はそれを除去した後、加熱しながら導電フィルム30の樹脂層3a側を基材1に圧着することで導電フィルム30を積層できる。なお、ラミネート工程は、密着性及び追従性に優れる観点から、減圧下で行われることが好ましい。導電フィルム30の積層は、基材1及び/又は樹脂層3aを40〜60℃に加熱しながら行うことが好ましく、圧着圧力は0.1〜1.0MPa程度(1〜10kgf/cm程度)が好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、樹脂層3aを上記のように40〜60℃に加熱すれば、予め基材1を予熱処理することは必要ではないが、積層性を更に向上させるために基材1の予熱処理を行うこともできる。 In the laminating step, for example, the resin layer 3a can be disposed so as to contact the substrate 1. In the laminating step, for example, if there is a protective film, the conductive film 30 can be laminated by removing the protective film and then pressing the resin layer 3a side of the conductive film 30 to the substrate 1 while heating. In addition, it is preferable that a lamination process is performed under reduced pressure from a viewpoint which is excellent in adhesiveness and followable | trackability. The conductive film 30 is preferably laminated while heating the substrate 1 and / or the resin layer 3a to 40 to 60 ° C., and the pressure bonding pressure is about 0.1 to 1.0 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2 ). However, these conditions are not particularly limited. In addition, if the resin layer 3a is heated to 40 to 60 ° C. as described above, it is not necessary to pre-heat the base material 1 in advance, but the base material 1 is pre-heated in order to further improve the lamination property. You can also.

硬化工程は、露光により感光性樹脂層を硬化させる露光工程であってもよく、加熱により熱硬化性樹脂層を硬化させる加熱工程であってもよい。露光工程での露光方法としては、図5(b)に示されるような、アートワークと呼ばれるネガ型又はポジ型のマスクパターン6を通して活性光線Lを画像状に照射する方法(マスク露光法)が挙げられる。   The curing process may be an exposure process for curing the photosensitive resin layer by exposure, or may be a heating process for curing the thermosetting resin layer by heating. As an exposure method in the exposure process, there is a method (mask exposure method) in which an actinic ray L is irradiated in an image form through a negative or positive mask pattern 6 called an artwork as shown in FIG. Can be mentioned.

露光工程での活性光線の光源としては、公知の光源が挙げられる。例えば、紫外線、可視光等を有効に放射することができる、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等を用いることができる。また、Arイオンレーザ、半導体レーザ等も用いることができる。さらに、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の、可視光を有効に放射する光源も用いることができる。また、レーザ露光法等を用いた直接描画法により活性光線を画像状に照射する方法を用いてもよい。   As a light source of actinic rays in the exposure step, a known light source can be mentioned. For example, a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like that can effectively radiate ultraviolet rays, visible light, or the like can be used. An Ar ion laser, a semiconductor laser, or the like can also be used. Furthermore, a light source that effectively emits visible light, such as a photographic flood bulb or a solar lamp, can also be used. Further, a method of irradiating actinic rays in an image form by a direct drawing method using a laser exposure method or the like may be used.

露光工程における露光量は、使用する装置や感光性樹脂組成物の組成によって異なるが、5〜1000mJ/cmであることが好ましく、10〜200mJ/cmであることがより好ましい。露光量は、光硬化性に優れる観点から、10mJ/cm以上であることが好ましく、解像性に優れる観点から、200mJ/cm以下であることが好ましい。 Exposure dose in the exposure step may vary depending on the composition of the device or a photosensitive resin composition to be used is preferably from 5~1000mJ / cm 2, more preferably 10~200mJ / cm 2. The exposure amount is preferably 10 mJ / cm 2 or more from the viewpoint of excellent photocurability, and is preferably 200 mJ / cm 2 or less from the viewpoint of excellent resolution.

露光工程は、空気中、真空中等で行うことができ、露光の雰囲気は特に制限されない。   The exposure process can be performed in air, vacuum, or the like, and the exposure atmosphere is not particularly limited.

現像工程では、感光層の、露光工程における未露光の領域が除去される。具体的には、ウェット現像によって、樹脂層3における硬化していない部分(未露光部分)を、導電層4とともに除去する。これにより、露光工程により硬化された感光層(樹脂層3及び導電層4)からなる導電パターンを有する導電層付き基材(透明導電基板)が得られる(図5(c))。   In the development process, the unexposed areas in the exposure process of the photosensitive layer are removed. Specifically, the uncured portion (unexposed portion) in the resin layer 3 is removed together with the conductive layer 4 by wet development. Thereby, the base material with a conductive layer (transparent conductive substrate) which has the conductive pattern which consists of the photosensitive layer (resin layer 3 and conductive layer 4) hardened | cured by the exposure process is obtained (FIG.5 (c)).

ウェット現像は、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤系現像液等を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により行うことができる。   The wet development can be performed by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, scraping, etc., using, for example, an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, an organic solvent developer, or the like.

現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好な観点から、アルカリ性水溶液が好ましい。アルカリ性水溶液としては、0.1〜5質量%炭酸ナトリウム水溶液、0.1〜5質量%炭酸カリウム水溶液、0.1〜5質量%水酸化ナトリウム水溶液、0.1〜5質量%四ホウ酸ナトリウム水溶液等が好ましい。また、現像に用いるアルカリ性水溶液のpHは、9〜11であることが好ましく、その温度は、感光性樹脂層の現像性に合わせて調整することができる。また、アルカリ性水溶液は、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を含有してもよい。   The developer is preferably an alkaline aqueous solution from the viewpoint of safety and stability and good operability. As alkaline aqueous solution, 0.1-5 mass% sodium carbonate aqueous solution, 0.1-5 mass% potassium carbonate aqueous solution, 0.1-5 mass% sodium hydroxide aqueous solution, 0.1-5 mass% sodium tetraborate An aqueous solution or the like is preferable. Moreover, it is preferable that pH of the alkaline aqueous solution used for image development is 9-11, and the temperature can be adjusted according to the developability of the photosensitive resin layer. The alkaline aqueous solution may contain a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for promoting development, and the like.

また、水又はアルカリ水溶液と、一種以上の有機溶剤と、からなる水系現像液を用いることができる。ここで、アルカリ水溶液に含まれる塩基としては、上述の塩基以外に、例えば、ホウ砂、メタケイ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール、1,3−ジアミノ−2−プロパノール、及び、モルホリンが挙げられる。   Further, an aqueous developer composed of water or an aqueous alkali solution and one or more organic solvents can be used. Here, as the base contained in the alkaline aqueous solution, in addition to the above-mentioned bases, for example, borax, sodium metasilicate, tetramethylammonium hydroxide, ethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, 2-amino-2-hydroxymethyl-1 , 3-propanediol, 1,3-diamino-2-propanol, and morpholine.

有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、酢酸エチル、炭素数1〜4のアルコキシ基を有するアルコキシエタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、及び、ジエチレングリコールモノブチルエーテルが挙げられる。有機溶剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, acetone, ethyl acetate, alkoxyethanol having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and diethylene glycol monobutyl ether. Is mentioned. An organic solvent can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

水系現像液における有機溶剤の含有割合は、2〜90質量%であることが好ましく、その温度は、現像性に合わせて調整することができる。さらに、水系現像液のpHは、レジストの現像が充分にできる範囲でできるだけ小さくすることが好ましく、pH8〜12がより好ましく、pH9〜10が更に好ましい。また、水系現像液は、界面活性剤、消泡剤等を少量含有することもできる。   The content ratio of the organic solvent in the aqueous developer is preferably 2 to 90% by mass, and the temperature can be adjusted according to the developability. Furthermore, the pH of the aqueous developer is preferably as low as possible within a range where the resist can be sufficiently developed, more preferably pH 8 to 12, and still more preferably pH 9 to 10. The aqueous developer can also contain a small amount of a surfactant, an antifoaming agent and the like.

有機溶剤系現像液の構成成分としては、例えば、1,1,1−トリクロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、及び、γ−ブチロラクトンが挙げられる。有機溶剤系現像液は、引火防止の観点から、1〜20質量%の範囲で水を含有することが好ましい。   Examples of constituents of the organic solvent developer include 1,1,1-trichloroethane, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, and γ-butyrolactone. The organic solvent-based developer preferably contains water in the range of 1 to 20% by mass from the viewpoint of preventing ignition.

上述した現像液は、必要に応じて、2種以上を併用してもよい。   Two or more of the above-described developing solutions may be used in combination as necessary.

現像の方式としては、例えば、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、ブラッシング、及び、スクラッピングが挙げられる。これらのうち、解像度が向上する観点から、スプレー方式が好ましく、高圧スプレー方式がより好ましい。   Examples of the development method include a dip method, a paddle method, a spray method, brushing, and scraping. Among these, from the viewpoint of improving the resolution, the spray method is preferable, and the high-pressure spray method is more preferable.

本実施形態に係る導電層付き基材の製造方法(導電パターンの製造方法)においては、現像後に、必要に応じて、60〜250℃程度の加熱又は0.2〜10J/cm程度の露光を行うことにより導電パターンを更に硬化してもよい。 In the method for producing a substrate with a conductive layer (a method for producing a conductive pattern) according to this embodiment, after development, heating at about 60 to 250 ° C. or exposure at about 0.2 to 10 J / cm 2 as necessary. The conductive pattern may be further cured by performing.

上記実施形態以外の形態として、導電フィルムは、導電性繊維を含まない樹脂層を備えることなく、支持フィルムと、導電性繊維を含む導電層とを備える態様であってもよい。導電層付き基材は、基材と、基材上に設けられた導電層(導電性繊維を含む層)と、導電層上に設けられた樹脂層(導電性繊維を含まない層)と、を備える態様であってもよい。導電層付き基材は、導電フィルムを用いることなく、導電層の構成材料を含む液を基材上に塗布及び乾燥して得ることもできる。   As a form other than the above embodiment, the conductive film may be an aspect including a support film and a conductive layer including conductive fibers without including a resin layer including no conductive fibers. The base material with a conductive layer includes a base material, a conductive layer (a layer including conductive fibers) provided on the base material, a resin layer (a layer not including conductive fibers) provided on the conductive layer, It may be a mode provided with. A base material with a conductive layer can also be obtained by applying and drying a liquid containing a constituent material of a conductive layer on a base material without using a conductive film.

以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated concretely based on an Example, this invention is not limited to this.

<導電体分散液の調製>
(銀繊維分散液)
[ポリオール法による銀繊維の調製]
2000mLの3口フラスコに、エチレングリコール500mLを入れ、窒素雰囲気下、マグネチックスターラーで撹拌しながらオイルバスにより160℃まで加熱した。ここに、別途用意したPtCl2mgを50mLのエチレングリコールに溶解した溶液を滴下した。4〜5分後、AgNO5gをエチレングリコール300mLに溶解した溶液と、重量平均分子量が4万のポリビニルピロリドン(和光純薬株式会社製)5gをエチレングリコール150mLに溶解した溶液とを、それぞれの滴下ロートから1分間で滴下して、反応溶液を調製した。その後、反応溶液を160℃で60分間撹拌した。
<Preparation of conductor dispersion>
(Silver fiber dispersion)
[Preparation of silver fiber by polyol method]
In a 2000 mL three-necked flask, 500 mL of ethylene glycol was added and heated to 160 ° C. with an oil bath while stirring with a magnetic stirrer under a nitrogen atmosphere. A solution prepared by dissolving 2 mg of PtCl 2 separately prepared in 50 mL of ethylene glycol was added dropwise thereto. After 4 to 5 minutes, a solution prepared by dissolving 5 g of AgNO 3 in 300 mL of ethylene glycol and a solution prepared by dissolving 5 g of polyvinylpyrrolidone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) having a weight average molecular weight of 40,000 in 150 mL of ethylene glycol were used. The reaction solution was prepared by dropping from the dropping funnel over 1 minute. Thereafter, the reaction solution was stirred at 160 ° C. for 60 minutes.

上記反応溶液を30℃以下になるまで放置してからアセトンで10倍に希釈し、遠心分離機により2000回転で20分間遠心分離し、上澄み液をデカンテーションした。沈殿物にアセトンを加え撹拌してから、上記と同様の条件で遠心分離し、アセトンをデカンテーションした。その後、蒸留水を用いて同様に2回遠心分離して、銀繊維を得た。得られた銀繊維を走査型電子顕微鏡写真により観察したところ、繊維径(直径)は約5nmであり、繊維長は約5μmであった。   The reaction solution was allowed to stand at 30 ° C. or lower, diluted 10-fold with acetone, centrifuged at 2000 rpm for 20 minutes with a centrifuge, and the supernatant was decanted. Acetone was added to the precipitate and stirred, followed by centrifugation under the same conditions as described above, and acetone was decanted. Then, it centrifuged twice similarly using distilled water, and obtained the silver fiber. When the obtained silver fiber was observed with a scanning electron micrograph, the fiber diameter (diameter) was about 5 nm, and the fiber length was about 5 μm.

[銀繊維分散液の調製]
上記で得られた銀繊維を0.2質量%、及び、ドデシル−ペンタエチレングリコールを0.1質量%の含有割合で純水に分散し、銀繊維分散液を得た。
[Preparation of silver fiber dispersion]
The silver fiber obtained above was dispersed in pure water at a content of 0.2% by mass and dodecyl-pentaethylene glycol at a content of 0.1% by mass to obtain a silver fiber dispersion.

<バインダーポリマー(ポリマーA)の合成>
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下漏斗及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、1−メトキシ−2−プロパノールとトルエンとの混合液(1−メトキシ−2−プロパノール/トルエン=3/2(質量比)、以下、「溶液s」という)90gを加えた。次に、窒素ガスを吹き込みながら撹拌すると共に70℃まで加熱した。次に、単量体として、メタクリル酸12g、メタクリル酸メチル58g及びアクリル酸エチル30gと、アゾビスイソブチロニトリル0.8gとを混合した溶液(以下、「溶液a」という)を用意した。70℃に加熱された溶液sに溶液aを4時間かけて滴下した。滴下後の溶液を70℃で撹拌しながら2時間保温した。さらに、8gの溶液sにアゾビスイソブチロニトリル0.1gを溶解した溶液を、5分かけてフラスコ内に滴下した。そして、滴下後の溶液を撹拌しながら70℃で2時間保温した後、30分間かけて90℃に加熱して、単量体の重合によりポリマーAを生成した。その後、90℃で1時間保温した後、冷却してバインダーポリマー溶液を得た。不揮発成分(固形分)が50質量%に調整されるようにこのバインダーポリマー溶液にアセトンを加えることにより、ポリマーAを含有するバインダーポリマー溶液を得た。得られたポリマーAの重量平均分子量(Mw)は80000であり、酸価は78mgKOH/gであった。
<Synthesis of binder polymer (Polymer A)>
In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, a dropping funnel and a nitrogen gas introduction tube, a mixed solution of 1-methoxy-2-propanol and toluene (1-methoxy-2-propanol / toluene = 3/2). 90% (mass ratio), hereinafter referred to as “solution s”. Next, the mixture was stirred while blowing nitrogen gas and heated to 70 ° C. Next, a solution (hereinafter referred to as “solution a”) prepared by mixing 12 g of methacrylic acid, 58 g of methyl methacrylate and 30 g of ethyl acrylate and 0.8 g of azobisisobutyronitrile was prepared as a monomer. Solution a was added dropwise to solution s heated to 70 ° C. over 4 hours. The solution after dropping was kept warm at 70 ° C. for 2 hours. Further, a solution prepared by dissolving 0.1 g of azobisisobutyronitrile in 8 g of solution s was dropped into the flask over 5 minutes. Then, the solution after dropping was kept at 70 ° C. for 2 hours with stirring, and then heated to 90 ° C. over 30 minutes to produce polymer A by polymerization of the monomer. Then, after heat-retaining at 90 degreeC for 1 hour, it cooled and obtained the binder polymer solution. By adding acetone to the binder polymer solution so that the non-volatile component (solid content) was adjusted to 50% by mass, a binder polymer solution containing the polymer A was obtained. The weight average molecular weight (Mw) of the obtained polymer A was 80000, and the acid value was 78 mgKOH / g.

重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの条件を以下に示す。   The weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography (GPC), and was derived by conversion using a standard polystyrene calibration curve. The GPC conditions are shown below.

[GPC条件]
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製、商品名)
カラム:Gelpack GL−R420、Gelpack GL−R430、Gelpack GL−R440(以上、日立化成株式会社製、商品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製、商品名)
[GPC conditions]
Pump: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)
Column: Gelpack GL-R420, Gelpack GL-R430, Gelpack GL-R440 (above, Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name)
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: 40 ° C
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)

<基材の破断伸度の測定>
導電基板の作製に用いる基材の破断伸度を測定した。具体的には、精密万能試験機の引っ張りモードで、各フィルム15mm幅、チャック間40mm、引張スピード200mm/minの条件で測定することができる。測定結果を表1に示す。
<Measurement of elongation at break of substrate>
The elongation at break of the base material used for the production of the conductive substrate was measured. Specifically, it can be measured in the tensile mode of a precision universal testing machine under the conditions of a width of 15 mm for each film, a gap between chucks of 40 mm, and a tensile speed of 200 mm / min. The measurement results are shown in Table 1.

<実施例1>
(感光性樹脂層用溶液の調製)
バインダーポリマーとしてポリマーAを固形分換算で63質量部、アクリルモノマーとして日本化薬株式会社製の商品名「KAYARAD T−1420(T)」を37質量部、光重合開始剤としてBASFジャパン株式会社製の商品名「Lucirin TPO」(Lucirinは登録商標)を10質量部、レベリング剤として東レ・ダウコーニング株式会社製の商品名「DOW CORNING8032 ADDITIVE」を0.07質量部、溶液の固形分が30質量%となるようにメチルエチルケトンと混合して感光性樹脂層用溶液を得た。
<Example 1>
(Preparation of photosensitive resin layer solution)
63 parts by mass of polymer A as a binder polymer in terms of solid content, 37 parts by mass of “KAYARAD T-1420 (T)” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. as an acrylic monomer, and BASF Japan Ltd. as a photopolymerization initiator 10 parts by mass of “Lucirin TPO” (Lucirin is a registered trademark), 0.07 parts by mass of the product name “DOW CORNING 8032 ADDITIVE” manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd. as a leveling agent, and 30% by mass of the solid content of the solution % And mixed with methyl ethyl ketone to obtain a photosensitive resin layer solution.

(導電フィルムの作製)
上記で得た銀繊維分散液を、50μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、支持体フィルム、帝人株式会社製、商品名「G2−50」)上に25g/mの量で均一に塗布した後、100℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して、銀繊維を含む導電層を得た。導電層の乾燥後の厚さは約0.1μmであった。
(Preparation of conductive film)
The silver fiber dispersion obtained above was uniformly applied in an amount of 25 g / m 2 on a 50 μm-thick polyethylene terephthalate film (PET film, support film, manufactured by Teijin Ltd., trade name “G2-50”). Then, it dried for 3 minutes with a 100 degreeC hot-air convection dryer, and obtained the electrically conductive layer containing silver fiber. The thickness of the conductive layer after drying was about 0.1 μm.

次に、上記で得た感光性樹脂層用溶液を導電層上に均一に塗布した後、100℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して感光性樹脂層を形成した。感光性樹脂層をポリエチレンフィルム(タマポリ株式会社製、商品名「NF−13」)で覆い、導電フィルム(感光性導電フィルム)を得た。感光性樹脂層の乾燥後の厚さは約5μmであった。   Next, after apply | coating the solution for photosensitive resin layers obtained above uniformly on a conductive layer, it dried for 10 minutes with a 100 degreeC hot-air convection dryer, and formed the photosensitive resin layer. The photosensitive resin layer was covered with a polyethylene film (trade name “NF-13” manufactured by Tamapoly Co., Ltd.) to obtain a conductive film (photosensitive conductive film). The thickness of the photosensitive resin layer after drying was about 5 μm.

(導電基板の伸縮試験)
得られた導電フィルムのポリエチレンフィルムを剥がしながら、ポリウレタンフィルム(株式会社武田産業製、商品名「タフグレイス」、厚さ:100μm)に感光性樹脂層が接するように、ラミネータ(日立化成株式会社製、商品名「HLM−3000型」)を用いて、ロール温度60℃、基板送り速度0.6m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)0.4MPaの条件で導電フィルムをラミネートして、感光性樹脂層/導電層/支持体フィルム(PETフィルム)の積層体がポリウレタンフィルム上に積層された基板を作製した。
(Extraction / contraction test of conductive substrate)
Laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) so that the photosensitive resin layer is in contact with the polyurethane film (manufactured by Takeda Sangyo Co., Ltd., trade name “Tough Grace”, thickness: 100 μm) while peeling off the polyethylene film of the obtained conductive film. , Product name “HLM-3000 type”), a conductive film is laminated under the conditions of a roll temperature of 60 ° C., a substrate feed rate of 0.6 m / min, and a pressure of pressure (cylinder pressure) of 0.4 MPa. A substrate in which a laminate of layer / conductive layer / support film (PET film) was laminated on a polyurethane film was produced.

次いで、平行光線露光機(オーク製作所株式会社製、EXM1201)を使用して、支持体フィルム側の上方より露光量5×10J/m(i線における測定値)で紫外線を基板上の積層体に対して照射した。その後、支持体フィルムを除去した後、導電層の上方より露光量1×10J/m(i線における測定値)で紫外線を照射した。紫外線照射後、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30℃、40秒の条件で現像し、導電基板を得た。 Next, using a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Seisakusho Co., Ltd.), ultraviolet rays are irradiated on the substrate with an exposure amount of 5 × 10 2 J / m 2 (measured value in i-line) from above the support film side. The laminate was irradiated. Then, after removing a support body film, the ultraviolet-ray was irradiated with the exposure amount 1 * 10 < 4 > J / m < 2 > (measured value in i line | wire) from the upper direction of a conductive layer. After the ultraviolet irradiation, development was performed using a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 40 seconds to obtain a conductive substrate.

次いで、得られた導電基板を20mm×50mmに切り出し、切り出した導電基板のシート抵抗値(R0)を測定した。   Next, the obtained conductive substrate was cut out into 20 mm × 50 mm, and the sheet resistance value (R0) of the cut out conductive substrate was measured.

切り出した前記導電基板(ポリウレタンフィルム/感光性樹脂層/導電層の積層体)をチャック間40mmのチャックに固定し、引っ張りスピード200mm/minの条件で伸度200%まで伸長した後、圧縮スピード200mm/minの条件で伸度0%まで圧縮した。   The cut conductive substrate (polyurethane film / photosensitive resin layer / conductive layer laminate) is fixed to a chuck having a chuck distance of 40 mm, stretched to an elongation of 200% under the condition of a pulling speed of 200 mm / min, and then a compression speed of 200 mm. Compressed to 0% elongation under the conditions of / min.

伸縮後の前記導電基板のシート抵抗値(R1)を測定した。そして、試験前後のシート抵抗値R0及びR1に基づき、導電基板の伸縮性を以下の評点に従って評価した。ここで、R0に対するR1の比(R1/R0)をRrとした。下記のように、抵抗上昇率が20%以下「(R1−R0)/R0≦0.2、すなわち、Rr≦1.2」のときの評価結果を「〇」と評価した。実施例1の伸縮性の評価結果は「〇」であった。
○:Rr≦1.2
△:1.2<Rr≦1.5
×:1.5<Rr
××:基材が破断
The sheet resistance value (R1) of the conductive substrate after expansion and contraction was measured. Based on the sheet resistance values R0 and R1 before and after the test, the stretchability of the conductive substrate was evaluated according to the following ratings. Here, the ratio of R1 to R0 (R1 / R0) was Rr. As described below, the evaluation result when the resistance increase rate was 20% or less “(R1−R0) /R0≦0.2, that is, Rr ≦ 1.2” was evaluated as “◯”. The evaluation result of the stretchability of Example 1 was “◯”.
○: Rr ≦ 1.2
Δ: 1.2 <Rr ≦ 1.5
X: 1.5 <Rr
XX: Base material breaks

<実施例2>
基材としてシリコーンゴムシート(信越ポリマー株式会社製、商品名「シリコーンゴムシートBAグレード」、厚さ:300μm)を用いた以外は、実施例1と同様に導電基板を作製した。そして、実施例1と同様に伸縮性を評価したところ、評価結果は「〇」であった。
<Example 2>
A conductive substrate was produced in the same manner as in Example 1 except that a silicone rubber sheet (manufactured by Shin-Etsu Polymer Co., Ltd., trade name “silicone rubber sheet BA grade”, thickness: 300 μm) was used as the substrate. When the stretchability was evaluated in the same manner as in Example 1, the evaluation result was “◯”.

<比較例1>
基材としてPETフィルム(東洋紡株式会社製、商品名「A4300」、厚さ:125μm)を用いた以外は、実施例1と同様に導電基板を作製した。そして、実施例1と同様に伸縮性を評価したところ、伸長時に基材が破断したため、評価結果は「××」であった。
<Comparative Example 1>
A conductive substrate was produced in the same manner as in Example 1 except that a PET film (trade name “A4300”, manufactured by Toyobo Co., Ltd., thickness: 125 μm) was used as the substrate. Then, when the stretchability was evaluated in the same manner as in Example 1, the evaluation result was “XX” because the base material broke during elongation.

Figure 2018116841
Figure 2018116841

破断伸度が200%以上の基材を用いることで良好な伸縮性が得られた(実施例1〜2)。一方で、伸縮性の低い基材を用いると、伸長時に基材が破断し、伸縮性のある導電基板を得ることができなかった(比較例1)。   Good stretchability was obtained by using a base material having a breaking elongation of 200% or more (Examples 1 and 2). On the other hand, when a base material with low elasticity was used, the base material was broken at the time of extension, and a conductive substrate with elasticity could not be obtained (Comparative Example 1).

1…基材、2,4…導電層、3,3a…樹脂層、5…支持フィルム、6…マスクパターン、10,20…導電層付き基材、30…導電フィルム、L…活性光線。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base material, 2, 4 ... Conductive layer, 3, 3a ... Resin layer, 5 ... Support film, 6 ... Mask pattern, 10, 20 ... Base material with a conductive layer, 30 ... Conductive film, L ... Actinic ray.

Claims (10)

破断伸度が200%以上の基材と、当該基材上に設けられた導電層と、を備え、
前記導電層が導電性繊維を含む、導電層付き基材。
A base material having a breaking elongation of 200% or more, and a conductive layer provided on the base material,
The base material with a conductive layer in which the said conductive layer contains a conductive fiber.
前記基材がポリウレタン又はシリコーンゴムを含む、請求項1に記載の導電層付き基材。   The base material with a conductive layer according to claim 1, wherein the base material includes polyurethane or silicone rubber. 前記基材と前記導電層との間に設けられた樹脂層を更に備える、請求項1又は2に記載の導電層付き基材。   The base material with a conductive layer according to claim 1, further comprising a resin layer provided between the base material and the conductive layer. 前記樹脂層が感光性樹脂組成物又はその硬化物を含む、請求項3に記載の導電層付き基材。   The base material with a conductive layer according to claim 3, wherein the resin layer contains a photosensitive resin composition or a cured product thereof. 前記導電性繊維が銀繊維を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の導電層付き基材。   The base material with a conductive layer according to any one of claims 1 to 4, wherein the conductive fibers include silver fibers. 前記導電層が導電パターンである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の導電層付き基材。   The base material with a conductive layer according to any one of claims 1 to 5, wherein the conductive layer is a conductive pattern. 請求項1〜6のいずれか一項に記載の導電層付き基材の製造方法であって、
支持フィルム、当該支持フィルム上に設けられた導電層、及び、当該導電層上に設けられた樹脂層を有する導電フィルムを、前記樹脂層が前記基材側に位置する向きで前記基材上に配置する工程と、
前記支持フィルムを剥離する剥離工程と、を備え、
前記導電層が導電性繊維を含む、導電層付き基材の製造方法。
It is a manufacturing method of the base material with a conductive layer as described in any one of Claims 1-6,
A support film, a conductive layer provided on the support film, and a conductive film having a resin layer provided on the conductive layer are placed on the base material in a direction in which the resin layer is positioned on the base material side. Arranging, and
A peeling step of peeling the support film,
The manufacturing method of the base material with a conductive layer in which the said conductive layer contains a conductive fiber.
前記樹脂層に活性光線を照射する露光工程を更に備え、
前記樹脂層が感光性樹脂組成物を含む、請求項7に記載の導電層付き基材の製造方法。
Further comprising an exposure step of irradiating the resin layer with actinic rays,
The manufacturing method of the base material with a conductive layer of Claim 7 in which the said resin layer contains the photosensitive resin composition.
前記剥離工程及び前記露光工程の後において前記樹脂層の未露光部を除去することにより導電パターンを形成する工程を更に備え、
前記露光工程において前記樹脂層にパターン状に活性光線を照射する、請求項8に記載の導電層付き基材の製造方法。
A step of forming a conductive pattern by removing an unexposed portion of the resin layer after the peeling step and the exposing step;
The manufacturing method of the base material with a conductive layer of Claim 8 which irradiates actinic light to the said resin layer in the pattern form in the said exposure process.
請求項1〜6のいずれか一項に記載の導電層付き基材を備える、センサ。   A sensor provided with the base material with a conductive layer as described in any one of Claims 1-6.
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