JP2018041102A - アクチュエータ装置 - Google Patents
アクチュエータ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018041102A JP2018041102A JP2017229050A JP2017229050A JP2018041102A JP 2018041102 A JP2018041102 A JP 2018041102A JP 2017229050 A JP2017229050 A JP 2017229050A JP 2017229050 A JP2017229050 A JP 2017229050A JP 2018041102 A JP2018041102 A JP 2018041102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- torsion bar
- wiring
- straight
- movable
- portions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
Description
Claims (13)
- 支持部と、
導体が配置された可動部と、
前記導体に接続される配線が配置され、前記可動部を前記支持部に揺動可能に連結する第一トーションバー部と、を備え、
前記第一トーションバー部は、前記第一トーションバー部の揺動軸に沿う第一方向に延び、前記第一方向と交差する第二方向に併置される複数の直状部分と、対応する前記直状部分の端を連結する折り返し部分と、を有する蛇行形状を呈しており、
前記配線は、前記第一トーションバー部に形成された溝内に埋め込まれるように配置されている配線部分を含んでいる、アクチュエータ装置。 - 前記配線部分は、前記折り返し部分に設けられている、請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 前記配線部分は、前記複数の直状部分のうち前記第二方向で最も外側に位置する直状部分に設けられている、請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記配線部分は、前記複数の直状部分のうち前記第二方向で最も外側に位置する直状部分と隣り合っている直状部分に設けられている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第一トーションバー部は、
前記複数の直状部分のうち前記第二方向で最も外側に位置する一方の直状部分と前記支持部とを接続する第一接続部分と、
前記複数の直状部分のうち前記第二方向で最も外側に位置する他方の直状部分と前記可動部とを接続する第二接続部分と、を有しており、
前記配線部分は、前記第一接続部分と前記第二接続部分とに設けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第一接続部分と前記第二接続部分とは、前記折り返し部分と対向する位置で湾曲している、請求項5に記載のアクチュエータ装置。
- 第二トーションバー部を更に備え、
前記可動部は、
前記第一トーションバー部が連結されており、前記第一トーションバー部を介して前記支持部に揺動可能に支持されている第一可動部分と、
前記第二トーションバー部が連結されており、前記第二トーションバー部を介して前記第一可動部分に揺動可能に支持されている第二可動部分と、を有している、請求項1〜6のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第二トーションバー部と前記第二可動部分とは、曲線状に接続されている、請求項7に記載のアクチュエータ装置。
- 前記可動部は、ミラー配置部分を更に有しており、
前記ミラー配置部分は、前記第二トーションバー部の揺動軸と直交する方向に位置する箇所で前記第二可動部分と接続されている、請求項7又は8に記載のアクチュエータ装置。 - 前記導体は、前記第一可動部分に配置されている、請求項7〜9のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第一トーションバー部は、一対設けられており、
一対の前記第一トーションバー部は、前記可動部を挟んで互いに対向するように配置され、
一方の前記第一トーションバー部に配置される前記配線は、前記導体の一端と電気的に接続され、
他方の前記第一トーションバー部に配置される前記配線は、前記導体の他端と電気的に接続されている、請求項1〜10のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記導体と、前記導体と前記配線とを接続する導体とは、立体的に交差している、請求項1〜11のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記支持部には、前記第一トーションバー部が配置される凹部が設けられている、請求項1〜12のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017229050A JP6426818B2 (ja) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | アクチュエータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017229050A JP6426818B2 (ja) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | アクチュエータ装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013160425A Division JP6253915B2 (ja) | 2013-08-01 | 2013-08-01 | アクチュエータ装置及びミラー駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018041102A true JP2018041102A (ja) | 2018-03-15 |
JP6426818B2 JP6426818B2 (ja) | 2018-11-21 |
Family
ID=61626142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017229050A Active JP6426818B2 (ja) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | アクチュエータ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6426818B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001051224A (ja) * | 1999-08-06 | 2001-02-23 | Olympus Optical Co Ltd | アクチュエータ |
JP2005245135A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Miyota Kk | プレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法 |
JP2012088487A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Jvc Kenwood Corp | 光偏向器 |
-
2017
- 2017-11-29 JP JP2017229050A patent/JP6426818B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001051224A (ja) * | 1999-08-06 | 2001-02-23 | Olympus Optical Co Ltd | アクチュエータ |
JP2005245135A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Miyota Kk | プレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法 |
JP2012088487A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Jvc Kenwood Corp | 光偏向器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6426818B2 (ja) | 2018-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6253915B2 (ja) | アクチュエータ装置及びミラー駆動装置 | |
WO2017126289A1 (ja) | アクチュエータ装置 | |
WO2017126290A1 (ja) | アクチュエータ装置 | |
JP4544972B2 (ja) | 光偏向器 | |
WO2015015665A1 (ja) | ミラー駆動装置 | |
JP2008122955A (ja) | 電磁気マイクロアクチュエータ | |
CN110799890B (zh) | 致动器装置 | |
JP3896548B2 (ja) | 電磁継電器 | |
JP6175305B2 (ja) | ミラー駆動装置 | |
JP2018041102A (ja) | アクチュエータ装置 | |
JP2011152632A (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP7292469B2 (ja) | アクチュエータ装置 | |
WO2013076844A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP2001170900A (ja) | アクチュエータおよびマニピュレータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180306 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181025 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6426818 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |