JP2011152632A - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 トーションバー上に電気配線を設けることなく、可動部を適正に動作させることができ、電気配線の劣化による動作不良などを確実に防止することのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２およびこの固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４を電気的に遮断された領域に分割する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６を設け、可動部４の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成され駆動コイル８の端部に接続された可動部側駆動用電極９と、固定部２の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極１０とは、トーションバー３を介して電気的に接続されている。
【選択図】 図１

Description

本発明はプレーナ型アクチュエータに係り、特に、枠状の固定部に平板状の可動部をトーションバーを介して揺動可能に支持し、このトーションバーに電気配線を形成することなく可動部の揺動動作させることを可能としたプレーナ型アクチュエータに関するものである。

従来から、枠状の固定部に平板状の可動部を揺動可能に軸支する構造のアクチュエータとして、例えば半導体製造技術を利用し、シリコン基板を異方性エッチングし、枠状の固定部と平板状の可動部と固定部に可動部を軸支するトーションバーとを一体に形成し、可動部に駆動コイルを設け、可動部の駆動コイルに静磁界を付与する例えば永久磁石のような静磁界発生手段を設け、通電により駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用により発生するローレンツ力を利用して可動部を揺動させる電磁駆動タイプのプレーナ型アクチュエータがある（例えば、特許文献１参照）。
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。

特許第２７２２３１４号公報

しかしながら、前記従来の技術においては、可動部を揺動動作させる際に、トーションバーには繰り返しねじれ応力が加わることになるため、トーションバー上に形成された電気配線が疲労で劣化してしまうという問題を有している。そのため、アクチュエータの特性が変化したり、動作不良などの不都合が生じてしまうおそれがあるという問題を有している。また、トーションバーに電気配線が形成されていると、トーションバーの動作のねじれ動作の妨げとなるおそれがあるという問題をも有している。

本発明は前記した点に鑑みてなされたものであり、トーションバー上に電気配線を設けることなく、可動部を適正に動作させることができ、電気配線の劣化による動作不良などを確実に防止することのできるプレーナ型アクチュエータを提供することを目的とするものである。

本発明は前記目的を達成するために、請求項１の発明に係るプレーナ型アクチュエータは、シリコン基板に設置された枠状の固定部と、
前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
前記固定部を２以上の電気的に遮断された領域に分割する固定部側絶縁部と、
前記可動部を２以上の電気的に遮断された領域に分割する可動部側絶縁部と、
前記可動部を揺動駆動するために前記可動部に形成された駆動コイルと、
前記可動部の前記可動部側絶縁部により分割された領域に形成され前記駆動コイルの端部に接続された可動部側駆動用電極と、
前記固定部の前記固定部側絶縁部により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極と、を備え、
前記可動部側駆動用電極と前記固定部側駆動用電極とは、前記トーションバーを介して電気的に接続されていることを特徴とする。

請求項２に係る発明は、請求項１において、前記可動部に形成された検出用コイルと、
前記可動部の前記可動部側絶縁部により分割された領域に形成され前記検出用コイルの端部に接続された可動部側検出用電極と、
前記固定部の前記固定部側絶縁部により分割された領域に形成され検出用取り出し電極に接続された固定部側検出用電極と、
前記トーションバーを幅方向に電気的に遮断された複数の領域に分割する絶縁用スリットと、をさらに備え、
前記可動部側駆動用電極と前記固定部側駆動用電極とは、前記トーションバーの一方の領域を介して電気的に接続されるとともに、前記可動部側検出用電極と前記固定部側検出用電極とは、前記トーションバーの他方の領域を介して電気的に接続されていることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２において、前記固定部と前記可動部との間に第２トーションバーを介して揺動自在に設けられた第２可動部と、
前記第２可動部を２以上の電気的に遮断された領域に分割する第２可動部側絶縁部と、
前記第２可動部に形成された第２可動部駆動コイルと、
前記第２可動部の前記第２可動部側絶縁部により分割された領域に形成され前記第２可動部駆動コイルの端部に接続された第２可動部側第２可動部駆動用電極と、
前記固定部の前記固定部側絶縁部により分割された領域に形成され第２駆動用取り出し電極に接続された固定部側第２駆動用電極と、をさらに備え、
前記第２可動部側第２可動部駆動用電極と前記固定部側第２駆動用電極とは、前記第２トーションバーを介して電気的に接続されていることを特徴とする。

請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項において、前記固定部側絶縁部、前記可動部側絶縁部または前記第２可動部側絶縁部は、前記固定部、前記可動部または前記第２可動部に形成されたスリットであることを特徴とする。

請求項５に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項において、前記固定部側絶縁部、前記可動部側絶縁部または前記第２可動部側絶縁部は、前記固定部、前記可動部または前記第２可動部に形成されたスリットを絶縁体で埋めることにより形成されるものであることを特徴とする。

請求項６に係る発明は、請求項５において、前記スリットは、シリコンを絶縁化処理して体積膨張を生じさせることにより、埋められるものであることを特徴とする。

請求項７に係る発明は、請求項５において、前記スリットは、絶縁体をＣＶＤまたはスパッタすることにより埋められるものであることを特徴とする。

請求項８に係る発明は、請求項１から請求項７のいずれか一項において、前記固定部側絶縁部、前記可動部側絶縁部または前記第２可動部側絶縁部に対応する位置に、補強部材を設けたことを特徴とする。

請求項９に係る発明は、請求項８において、前記補強部材は、アクチュエータの構成部材の一部により構成されていることを特徴とする。

請求項１０に係る発明は、請求項８において、前記補強部材は、アクチュエータの構成部材と別体の部材により構成されていることを特徴とする。

請求項１に係る発明によれば、可動部側絶縁部により分割された領域に形成された可動部側駆動用電極と、固定部側絶縁部により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極とをトーションバーを介して電気的に接続するようにしているので、トーションバーに電気配線を設けることなく、固定部の駆動用取り出し電極から固定部側駆動用電極、トーションバーおよび可動部側駆動用電極を介して駆動コイルに通電することができる。その結果、トーションバーのねじれ動作により電気配線が劣化してしまうことがなく、アクチュエータの特性が変化したり、動作不良が生じてしまうことを確実に防止することができる。しかも、トーションバーに電気配線を設けていないので、トーションバーの動作の妨げとならず、トーションバーを適正に動作させることができる。

請求項２に係る発明によれば、可動部に形成された可動部側検出用電極と、固定部に形成された固定部側検出用電極とを、トーションバーを介して電気的に接続するようにしているので、トーションバーに電気配線を設けることなく、検出用コイルの電流を取出すことができ、トーションバーのねじれ動作により電気配線が劣化してしまうことがなく、アクチュエータの特性が変化したり、動作不良が生じてしまうことを確実に防止することができる。しかも、トーションバーに電気配線を設けていないので、トーションバーの動作の妨げとならず、トーションバーを適正に動作させることができる。また、トーションバーを幅方向に分割する絶縁用スリットを形成するようにしているので、トーションバーの幅方向において電気的に遮断された領域に分割することができ、トーションバーの電気の流れる領域を複数確保することができる。

請求項３に係る発明によれば、第２可動部に形成され第２可動部側第２可動部駆動用電極と、固定部に形成された固定部側第２駆動用電極とを、第２トーションバーを介して電気的に接続するようにしているので、第２トーションバーに電気配線を設けることなく、第２可動部駆動コイルに通電することができ、第２トーションバーのねじれ動作により電気配線が劣化してしまうことがなく、アクチュエータの特性が変化したり、動作不良が生じてしまうことを確実に防止することができる。しかも、第２トーションバーに電気配線を設けていないので、第２トーションバーの動作の妨げとならず、第２トーションバーを適正に動作させることができる。

請求項４に係る発明によれば、固定部側絶縁部、可動部側絶縁部または第２可動部側絶縁部を、固定部、可動部または第２可動部に形成されたスリットにより構成するようにしているので、スリットにより、固定部、可動部または第２可動部を２以上の電気的に遮断された領域に適正に分割することができる。

請求項５に係る発明によれば、固定部側絶縁部、可動部側絶縁部または第２可動部側絶縁部を、固定部、可動部または第２可動部に形成されたスリットを絶縁体で埋めることにより形成するようにしているので、絶縁体で埋められたスリットにより、固定部、可動部または第２可動部を２以上の電気的に遮断された領域に適正に分割することができる。

請求項６に係る発明によれば、スリットを、シリコンを絶縁化処理して体積膨張を生じさせることにより、埋めるようにしているので、スリットを絶縁体で埋設して固定部、可動部または第２可動部を２以上の電気的に遮断された領域に適正に分割することができる。

請求項７に係る発明によれば、スリットを、絶縁体をＣＶＤまたはスパッタすることにより埋めるようにしているので、スリットを絶縁体で埋設して固定部、可動部または第２可動部を２以上の電気的に遮断された領域に適正に分割することができる。

請求項８に係る発明によれば、固定部側絶縁部、可動部側絶縁部または第２可動部側絶縁部に対応する位置に、補強部材を設けるようにしているので、補強部材により、固定部、可動部または第２可動部の強度が低下してしまうことを防止することができる。

請求項９に係る発明によれば、補強部材を、アクチュエータの構成部材の一部により構成するようにしているので、アクチュエータの構成部材の一部からなる補強部材により、固定部、可動部または第２可動部の強度の低下を防止することができる。

請求項１０に係る発明によれば、補強部材を、アクチュエータの構成部材と別体の部材により構成するようにしているので、アクチュエータの構成部材と別体の部材からなる補強部材により、固定部、可動部または第２可動部の強度の低下を防止することができる。

本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第１実施形態を示す概略構成図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第１実施形態を示す図１のＡ−Ａ線における断面図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの製造方法を示す説明図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの製造方法を示すスリットを形成した状態を示す説明図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの製造方法を示すスリットを絶縁体で埋めた状態を示す説明図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの製造方法を示す電極用コンタクトホールを形成した状態を示す説明図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの製造方法を示す配線パターンを形成した状態を示す説明図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第２実施形態を示す概略構成図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第３実施形態を示す概略構成図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

図１は本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第１実施形態を示す概略構成図である。

図１に示すように、本実施形態のプレーナ型アクチュエータ１は、図示しないデバイス基板上に設置された枠状の固定部２を備えている。固定部２の内側には、一対のトーションバー３を介して可動部４が揺動自在に支持されている。なお、これら固定部２、可動部４、トーションバー３は、一体的に形成されている。

また、本実施形態においては、図１および図２に示すように、固定部２には、トーションバー３の延在方向に対して直交する方向に延在する固定部側絶縁部５）が形成されており、この固定部側絶縁部５の両側に位置する固定部２を電気的に分離するようになっている。また、可動部４には、トーションバー３の延在方向に対して直交する方向に延在する可動部側絶縁部６が形成されており、この可動部側絶縁部６の両側に位置する可動部４を電気的に分離するようになっている。また、これら固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６は、固定部２および可動部４にスリット７を形成し、このスリット７の内部を絶縁材料で埋設することにより形成されるものである。

また、可動部４の一面側には、可動部４を駆動するための渦巻き状に形成された駆動コイル８が設置されており、この駆動コイル８の両端部は、可動部側絶縁部６により仕切られた異なる領域に設置された可動部側駆動用電極９に接続されている。可動部側駆動用電極９は、固定部２、トーションバー３および可動部４の形成材料であるシリコンからなる基材に電気的に接続されるように構成されている。

また、本実施形態においては、固定部２のトーションバー３の基部に対応する位置には、固定部側駆動用電極１０が形成されており、この固定部側駆動用電極１０は、固定部２、トーションバー３および可動部４の形成材料であるシリコンからなる基材に電気的に接続されるように構成されている。固定部２の角部には、駆動用取り出し電極１１が形成されており、固定部側駆動用電極１０と駆動用取り出し電極１１とは、電気配線１２を介して電気的に接続されている。

なお、固定部２の周囲には、可動部４を挟んで互いに反対磁極を対向させて配置される二対の静磁界発生部材（図示せず）が配置されている。

次に、本実施形態のプレーナ型アクチュエータ１の製造方法について説明する。

まず、図３に示すように、単結晶シリコンからなる活性層１３の裏面側に、ＢＯＸ（酸化膜）１４を介して支持層１５を一体に形成し、活性層１３の表面側に、熱酸化膜１６を形成する。熱酸化膜１６としては、例えば、酸化炉などを用いてシリコンを酸化させてなるシリコン酸化膜などが適用される。

その後、図４に示すように、活性層１３に、熱酸化膜１６および活性層１３を貫通するスリット７を形成し、図５に示すように、このスリット７を絶縁材料により埋設して、固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６を形成するようになっている。具体的には、スリット７をＣＶＤにより絶縁材料で埋設する方法や、活性層１３のシリコンを酸化・窒化などの絶縁化処理することにより体積膨張を生じさせて、スリット７を埋設する方法などが考えられる。

続いて、図６に示すように、固定部２および可動部４の可動部側駆動用電極９および固定部側駆動用電極１０に対応する位置に熱酸化膜１６を貫通する電極用コンタクトホール１７を形成する。その後、図７に示すように、活性層１３の表面側の全面に配線材料をスパッタリングした後、パターニングして不要な部分をウェットエッチングし、所望の配線パターン８，９，１０を形成する。これにより、電極用コンタクトホール１７の内部は、配線材料が埋設されることになる。

そして、図７に示す状態から、支持層１５の裏面をパターニングして、支持層１５をエッチングして、固定部２以外の部分を除去することにより、図１および図２に示すようなプレーナ型アクチュエータ１が形成される。

なお、固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６の形成箇所は強度が低下するおそれがあることから、例えば、支持層１５の裏面をパターニングする際に、可動部４の裏面に対応する位置あるいは固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６の形成位置における支持層１５を残すようにエッチングし、この残留した支持層１５を補強部材として利用するようにしてもよい。さらに、可動部４の裏面に対応する位置あるいは固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６の形成位置に、別部材からなる補強部材を貼り付けて強度を確保するようにしてもよい。このように補強部材を設けるようにした場合には、スリット７の内部を絶縁材料で埋設せず、空隙のままにしておいてもよい。

次に、本実施形態の作用について説明する。

このプレーナ型アクチュエータ１の駆動原理は、例えば、特許第２７２２３１４号公報等で詳述されているので、以下簡潔に説明する。

可動部４の駆動コイル８に電流を流すと磁界が発生し、この磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用によりローレンツ力が発生し、トーションバー３の軸方向と平行な可動部４の対辺部分に互いに逆方向の回転力が発生し、この回転力とトーションバー３の復元力とが釣合う位置まで可動部４が回動される。

そして、駆動コイル８に直流電流を流すことにより、駆動電流量に応じた揺動位置で可動部４を停止させることができるものである。一方、駆動コイル８に交流電流を流すことにより、可動部４を揺動させることができるものである。可動部４を揺動させるための回転力は、駆動コイル８に流す駆動電流値に比例するので、駆動コイル８に供給する駆動電流値を制御することで、可動部４の振れ角を制御することが可能となる。

このとき、本実施形態においては、取り出し電極に通電すると、電気配線１２および固定部側駆動用電極１０を介して電流がトーションバー３の内部を流れ、可動部側駆動用電極９に通電されるものである。そのため、トーションバー３に電気配線１２を形成することなく、駆動コイル８への通電を行うことが可能となる。

以上述べたように、本実施形態においては、トーションバー３に電気配線１２を設けることなく、固定部２の駆動用取り出し電極１１から固定部側駆動用電極１０、トーションバー３および可動部側駆動用電極９を介して駆動コイル８に通電することができるので、トーションバー３のねじれ動作により電気配線１２が劣化してしまうことがなく、アクチュエータの特性が変化したり、動作不良が生じてしまうことを確実に防止することができる。しかも、トーションバー３に電気配線１２を設けていないので、トーションバー３の動作の妨げとならず、トーションバー３を適正に動作させることができる。

次に、本発明の第２実施形態ついて説明する。

に
図８は本発明の第２実施形態を示したものであり、本実施形態においては、可動部４に検出用コイル１８（図中波線で示す）を形成した場合の例を示している。本実施形態においては、固定部２および可動部４には、トーションバー３の延在方向と同一の方向に延在する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６がさらに形成されており、互いに直交する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により、固定部２および可動部４が４つの領域に電気的に分割されている。

また、本実施形態においては、可動部４の各領域には、２つの可動部側駆動用電極９および２つの可動部側検出用電極１９がそれぞれ形成されており、固定部２のトーションバー３の基部に対応する位置には、固定部側駆動用電極１０および固定部側検出用電極２０がそれぞれ形成されている。さらに、可動部４の角部には、各固定部側駆動用電極１０および固定部側検出用電極２０にそれぞれ電気配線１２を介して接続される駆動用取り出し電極１１および検出用取り出し電極２１が形成されている。

なお、本実施形態においては、トーションバー３には、固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６を形成することなく、トーションバー３を幅方向に２つの領域に電気的に分割するために、トーションバー３の長手方向に延在する絶縁用スリット２４が形成されている。

次に、本実施形態の作用について説明する。

本実施形態においては、駆動コイル８に通電する場合は、駆動用取り出し電極１１、電気配線１２、固定側駆動用電極、トーションバー３および可動部側駆動用電極９をそれぞれ介して通電するようになっており、これにより、可動部４を動作させることができる。また、検出用コイル１８に発生した電流は、可動部側検出用電極１９、トーションバー３、固定側検出用電極２０、電気配線１２および検出用取り出し電極２１をそれぞれ介して外部に取出すことが可能となる。

以上述べたように、本実施形態においては、トーションバー３に電気配線１２を設けることなく、駆動コイル８に通電することができるとともに、検出用コイル１８の電流を取出すことができるので、トーションバー３のねじれ動作により電気配線１２が劣化してしまうことがなく、アクチュエータの特性が変化したり、動作不良が生じてしまうことを確実に防止することができる。しかも、トーションバー３に電気配線１２を設けていないので、トーションバー３の動作の妨げとならず、トーションバー３を適正に動作させることができる。

次に、本発明の第３実施形態について説明する。

図９は本発明の第３実施形態を示したものであり、本実施形態においては、固定部２の内側には、第２トーションバー２３を介して枠状の第２可動部２４が揺動自在に設けられており、この第２可動部２４の内側には、トーションバー３を介して可動部４が揺動自在に設けられている。すなわち、本実施形態においては、可動部４および第２可動部２４が互いに直交する方向に揺動動作することができる二次元アクチュエータの例を示している。

また、本実施形態においては、固定部２、第２可動部２４および可動部４には、互いに直交する方向に延在する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６が形成されるとともに、さらに、電気的に分割する領域を増やすために、第２可動部２４および固定部２には、それぞれ複数の第２可動部側絶縁部３１および固定部側絶縁部５が形成されるようになっている。

可動部４に形成された駆動コイル８の可動部側駆動用電極９との通電を行うため、第２可動部２４のトーションバー３および第２トーションバー２３の基部には、第２可動部２４に沿って形成された電気配線１２で接続された第２可動部側駆動用電極２５がそれぞれ形成されている。また、可動部４に形成された検出用コイル１８の可動部側検出用電極１９との通電を行うため、第２可動部２４のトーションバー３および第２トーションバー２３の基部には、第２可動部２４に沿って形成された電気配線１２で接続された第２可動部側検出用電極２６がそれぞれ形成されている。

また、第２可動部２４には、第２可動部駆動コイル２７（図中一点鎖線で示す）が形成されており、第２可動部駆動コイル２７の両端部には、第２トーションバー２３の基部に位置する第２可動部側第２可動部駆動用電極２８が形成されている。固定部２の第２可動部側駆動用電極２５に対応する領域には、固定部側駆動用電極１０が形成されており、固定部２の第２可動部側第２可動部駆動用電極２８に対応する領域には、固定部側第２可動部駆動用電極２９が形成されている。さらに、固定部２の第２可動部側検出用電極２６に対応する領域には、固定部側検出用電極２０が形成されており、固定部２の固定部側駆動用電極１０、固定部側第２可動部駆動用電極２９および固定部側検出用電極２０に対応する領域には、電気配線１２で接続された駆動用取り出し電極１１、第２可動部駆動用取り出し電極３０および検出用取り出し電極２１がそれぞれ形成されている。このように本実施形態においては、固定部側絶縁部５、可動部側絶縁部６および第２可動部側絶縁部３１により分割された各領域に、それぞれ電極を形成するようになっている。

次に、本実施形態の作用について説明する。

本実施形態においては、駆動コイル８に通電する場合は、駆動用取り出し電極１１、電気配線１２、固定側駆動用電極、第２トーションバー２３、第２可動部側駆動用電極２５、トーションバー３および可動部側駆動用電極９をそれぞれ介して通電するようになっており、これにより、可動部４を動作させることができる。第２可動部駆動コイル２７に通電する場合は、第２駆動用取り出し電極３２、電気配線１２、固定側駆動用第２電極、第２トーションバー２３および第２可動部側第２可動部駆動用電極２８をそれぞれ介して通電するようになっており、これにより、第２可動部２４を動作させることができる。さらに、検出用コイル１８に発生した電流は、可動部側検出用電極１９、トーションバー３、第２可動部側検出用電極２６、第２トーションバー２３、固定部側検出用電極２０、電気配線１２および検出用取り出し電極２１をそれぞれ介して外部に取出すことが可能となる。

以上述べたように、本実施形態においても前記各実施形態と同様に、トーションバー３および第２トーションバー２３に電気配線１２を設けることなく、駆動コイル８および第２可動部駆動コイル２７に通電することができるとともに、検出用コイル１８の電流を取出すことができるので、トーションバー３および第２トーションバー２３のねじれ動作により電気配線１２が劣化してしまうことがなく、アクチュエータの特性が変化したり、動作不良が生じてしまうことを確実に防止することができる。しかも、トーションバー３および第２トーションバー２３に電気配線１２を設けていないので、トーションバー３および第２トーションバー２３の動作の妨げとならず、トーションバー３および第２トーションバー２３を適正に動作させることができる。

なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、固定部側絶縁部５、可動部側絶縁部６および第２可動部側絶縁部３１の形成位置は、各電極が電気的に分離することができるものであれば、いずれの位置に形成するようにしてもよい。また、例えば、駆動用取り出し電極１１と固定部側駆動用電極１０とを電気配線１２で接続するようにしているが、電気配線１２を省略して固定部２を介して駆動用取り出し電極１１と固定部側駆動用電極１０とを通電させるようにしてもよい。

また、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能である。

１ プレーナ型アクチュエータ
２ 固定部
３ トーションバー
４ 可動部
５ 固定部側絶縁部
６ 可動部側絶縁部
７ スリット
８ 駆動コイル
９ 可動部側駆動用電極
１０ 固定部側駆動用電極
１１ 駆動用取り出し電極
１２ 電気配線
１３ 活性層
１４ ＢＯＸ
１５ 支持層
１６ 熱酸化膜
１７ 電極用コンタクトホール
１８ 検出用コイル
１９ 可動部側検出用電極
２０ 固定部側検出用電極
２１ 検出用取り出し電極
２２ 絶縁用スリット
２３ 第２トーションバー
２４ 第２可動部
２５ 第２可動部側第１可動部駆動用電極
２６ 第２可動部側検出用電極
２７ 第２可動部駆動コイル
２８ 第２可動部側第２可動部駆動用電極
２９ 固定部側第２可動部駆動用電極
３０ 第２可動部駆動用取り出し電極
３１ 第２可動部側絶縁部

Claims (10)

1. シリコン基板に設置された枠状の固定部と、
   前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
   前記固定部を２以上の電気的に遮断された領域に分割する固定部側絶縁部と、
   前記可動部を２以上の電気的に遮断された領域に分割する可動部側絶縁部と、
   前記可動部を揺動駆動するために前記可動部に形成された駆動コイルと、
   前記可動部の前記可動部側絶縁部により分割された領域に形成され前記駆動コイルの端部に接続された可動部側駆動用電極と、
   前記固定部の前記固定部側絶縁部により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極と、を備え、
   前記可動部側駆動用電極と前記固定部側駆動用電極とは、前記トーションバーを介して電気的に接続されていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。
2. 前記可動部に形成された検出用コイルと、
   前記可動部の前記可動部側絶縁部により分割された領域に形成され前記検出用コイルの端部に接続された可動部側検出用電極と、
   前記固定部の前記固定部側絶縁部により分割された領域に形成され検出用取り出し電極に接続された固定部側検出用電極と、
   前記トーションバーを幅方向に電気的に遮断された複数の領域に分割する絶縁用スリットと、をさらに備え、
   前記可動部側駆動用電極と前記固定部側駆動用電極とは、前記トーションバーの一方の領域を介して電気的に接続されるとともに、前記可動部側検出用電極と前記固定部側検出用電極とは、前記トーションバーの他方の領域を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のプレーナ型アクチュエータ。
3. 前記固定部と前記可動部との間に第２トーションバーを介して揺動自在に設けられた第２可動部と、
   前記第２可動部を２以上の電気的に遮断された領域に分割する第２可動部側絶縁部と、
   前記第２可動部に形成された第２可動部駆動コイルと、
   前記第２可動部の前記第２可動部側絶縁部により分割された領域に形成され前記第２可動部駆動コイルの端部に接続された第２可動部側第２可動部駆動用電極と、
   前記固定部の前記固定部側絶縁部により分割された領域に形成され第２駆動用取り出し電極に接続された固定部側第２可動部駆動用電極と、をさらに備え、
   前記第２可動部側第２可動部駆動用電極と前記固定部側第２可動部駆動用電極とは、前記第２トーションバーを介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプレーナ型アクチュエータ。
4. 前記固定部側絶縁部、前記可動部側絶縁部または前記第２可動部側絶縁部は、前記固定部、前記可動部または前記第２可動部に形成されたスリットであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
5. 前記固定部側絶縁部、前記可動部側絶縁部または前記第２可動部側絶縁部は、前記固定部、前記可動部または前記第２可動部に形成されたスリットを絶縁体で埋めることにより形成されるものであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
6. 前記スリットは、シリコンを絶縁化処理して体積膨張を生じさせることにより、埋められるものであることを特徴とする請求項５に記載のプレーナ型アクチュエータ。
7. 前記スリットは、絶縁体をＣＶＤまたはスパッタすることにより埋められるものであることを特徴とする請求項５に記載のプレーナ型アクチュエータ。
8. 前記固定部側絶縁部、前記可動部側絶縁部または前記第２可動部側絶縁部に対応する位置に、補強部材を設けたことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
9. 前記補強部材は、アクチュエータの構成部材の一部により構成されていることを特徴とする請求項８に記載のプレーナ型アクチュエータ。
10. 前記補強部材は、アクチュエータの構成部材と別体の部材により構成されていることを特徴とする請求項８に記載のプレーナ型アクチュエータ。

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