JP2018009905A - 形状測定装置の制御方法 - Google Patents
形状測定装置の制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018009905A JP2018009905A JP2016139816A JP2016139816A JP2018009905A JP 2018009905 A JP2018009905 A JP 2018009905A JP 2016139816 A JP2016139816 A JP 2016139816A JP 2016139816 A JP2016139816 A JP 2016139816A JP 2018009905 A JP2018009905 A JP 2018009905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vector
- probe
- path
- workpiece
- trajectory correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/401—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/041—Function-oriented details
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37043—Touch probe, store position of touch point on surface
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37374—Deflection
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37411—Measure contact from force and velocity detection
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】倣い測定におけるプローブの移動指令を次の合成速度ベクトルVに従って生成する。
V=Gf・Vf+Ge・Ve+sg(p)・Gc・Vc2
Vfは、倣い経路に沿ってプローブを移動させるベクトルである。Veは、プローブのワークへの押込み量を基準押込み量に保つためのベクトルである。Vc2は(Vc1・q)qで表わされる。Vc1は、測定子が倣い軌道に向かうようにプローブ位置を修正する方向のベクトルである。qは、ワーク表面の法線とVfとの外積で与えられるベクトルである。ワークの設計データに基づくワークの法線方向をNwとする。pはVc2とNwとの内積であり、sg(p)はpの値に応じて+1または−1を返す関数である。
【選択図】図15
Description
プローブが合成ベクトルVに基づく移動を行うと、プローブ(測定子)は予め設定された倣い経路に沿うように移動しつつ、押込み量を一定としたワーク表面倣い測定、つまり、「アクティブ設計値倣い測定」が実現される。以後、「予め設定された倣い経路」を「設計値倣い経路」と称することにする。
図1において、ワークの設計データから所定量(測定子半径r―押込み量Ep)オフセットしたところに設計値倣い経路がある。また、図1においては、実際のワークが設計データから少しずれている場合を仮定している。
経路速度ベクトルVfは、設計値倣い経路上の補間点(i)から次の補間点(i+1)に向かう方向をもつ。
なお、経路速度ベクトルVfの大きさは、例えば、補間点(i)における設計値倣い経路の曲率に基づいて決定される(例えば特許文献3)。
軌道修正ベクトルは、プローブ位置から設計値倣い経路に下ろした垂線に平行である。
Gf、Ge、Gcはそれぞれ倣い駆動ゲイン、押込み修正ゲイン、軌道修正ゲインである。
しかし、振動的挙動を抑えるべくGeあるいはGcを小さくしてしまうと、当然のことながら、合成ベクトルVが小さくなってしまう。すると、今度は軌道修正能力や押込み修正能力が小さくなってしまうという別の問題が発生する。
したがって、軌道修正能力と制御の安定性とを両立させることはできなかった。
先端に測定子を有するプローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、を備え、前記測定子とワーク表面との接触を検知して前記ワークの形状を測定する形状測定装置の制御方法であって、
前記ワークの設計データに基づいて前記測定子を移動させる倣い経路を求め、前記プローブの前記ワークへの押込み量を基準押込み量に保つように制御しながら前記測定子を前記倣い経路に沿って移動させるにあたって、
プローブの移動指令を次の式で表される合成速度ベクトルVに従って生成する
ことを特徴とする。
合成速度ベクトルV=Gf・Vf+Ge・Ve+sg(p)・Gc・Vc2
ここで、
経路速度ベクトルVfは、前記倣い経路に沿って前記プローブを移動させるためのベクトルである。
押込み修正ベクトルVeは、前記プローブの前記ワークへの押込み量を基準押込み量に保つためのベクトルである。
第2軌道修正ベクトルVc2は(Vc1・q)qで表わされる。
第1軌道修正ベクトルVc1は、測定子が倣い軌道に向かうようにプローブ位置を修正する方向のベクトルである。
軌道修正方向ベクトルqは、ワーク表面の法線と経路速度ベクトルVfとの外積で与えられるベクトルである。
前記ワークの設計データに基づいて算出される測定対象面の法線方向を設計値法線方向ベクトルNwとするとき、pは第2軌道修正ベクトルVc2と設計値法線方向ベクトルNwとの内積であり、符号決定関数sg(p)はpの値に応じて+1または−1を返す関数である。
Gf、GeおよびGcは任意の係数である。
前記符号決定関数sg(p)の値は、
前記第2軌道修正ベクトルVc2と前記設計値法線方向ベクトルNwとの内積pが0以上のときに+1であり、
前記第2軌道修正ベクトルVc2と前記設計値法線方向ベクトルNwとの内積pが0未満のときに−1である
ことが好ましい。
前記ワークの設計データに基づいて前記測定子を移動させる倣い経路の算出にあたって、
前記倣い経路を複数の区間に分割し、
区間ごとに測定対象面の平均の法線方向ベクトルNwを算出する
ことが好ましい。
前記形状測定装置の制御方法をコンピュータに実行させる
ことを特徴とする。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態を説明する。
アクティブ設計値倣い測定の基本的な動作手順はすでに他の文献(例えば特許文献1の図3等)にも開示されているので以下の説明では本明発の主たる特徴である速度合成ベクトルVの生成について説明することとする。
図2は、形状測定システム100の全体構成を示す図である。
形状測定システム100は、三次元測定機200と、三次元測定機200の駆動を制御するモーションコントローラ300と、モーションコントローラ300を制御すると共に必要なデータ処理を実行するホストコンピュータ500と、を備える。
モーションコントローラ300からの駆動制御信号によって各駆動モータが駆動制御される。エンコーダは、Yスライダ221、Xスライダ222およびZスピンドル224それぞれの移動量を検出し、検出値をモーションコントローラ300に出力する。
Zスピンドル224の下端にプローブ230が取り付けられている。
図3は、ホストコンピュータ500およびモーションコントローラ300の機能ブロック図である。
ホストコンピュータ500は、CPU511(CentralProcessingUnit)やメモリ等を備えて構成され、モーションコントローラ300を介して三次元測定機200を制御する。ホストコンピュータ500には、必要に応じて、出力装置(ディスプレイやプリンタ)および入力装置(キーボードやマウス)が接続されている。
記憶部520は、測定対象物(ワーク)Wの形状に関する設計データ(CADデータや、NURBSデータ等)、測定で得られた測定データ、および、測定動作全体を制御する測定制御プログラムを格納する。
また、形状解析部530は、設計データ(CADデータや、NURBSデータ等)を利用して「設計値倣い経路」を算出する演算処理も担うのであるが、本実施形態の特徴の1つとして、「設計値倣い経路」に改良を加えている。
形状解析部530は、外部のCADシステム等から経路情報を含んだCADデータ(例えばNURBS(Non−UniformRationalB−Spline:非一様有理Bスプライン)データ)を受け取り、このCADデータを点の集まりのデータに変換する。
各点のデータは、座標値(x、y、z)と法線方向(P、Q、R)とを組み合わせたデータである(つまり、(x、y、z、P、Q、R)である。)。
本明細書では、以後の説明のため、(x、y、z、P、Q、R)の情報をもつ点の集まりのデータを輪郭点データと称することにする。
ちなみに、オフセット済み輪郭点データの段階では、もちろん、法線方向(P、Q、R)の情報も含まれている。
輪郭点データ上の座標値(x、y、z)をオフセットした座標を座標値(x'、y'、z')で表わすことにすると、オフセット済み輪郭点データは、(x'、y'、z'、P、Q、R)の情報をもつ点の集まりのデータである。
ここでは、多項式として三次関数を用い、PCC曲線群(ParametricCubicCurves)とする。
オフセット済み輪郭点データは(x'、y'、z'、P、Q、R)の情報をもつ点の集まりのデータであったが、PCC曲線の算出には各点での法線の情報は必要なく、座標値(x'、y'、z')だけを用いてPCC曲線は算出される。
さらに、形状解析部530は、PCC曲線を適宜分割し、分割PCC曲線群とする。PCC曲線をどこで分割するかについて本実施形態では特段限定しないが、例えば一定長さごとにPCC曲線を分割してもよいし、曲率がある閾値を超えて変化するような場合に変曲点の付近で分割するようにしてもよい。
この分割PCC曲線群というのは、曲線の集まりであり、これだけであれば従来の設計値倣い経路と同じである。
形状解析部530は、分割されたPCC曲線のセグメント(区間)ごとに平均の法線方向を算出する。
オフセット済み輪郭点データには法線の情報も含まれているのであるから、各座標の法線ベクトルを合成してから割り算すればセグメント(区間)ごとの平均の法線ベクトルNwが求められる。
分割されたPCC曲線のセグメント(区間)ごとに算出された平均の法線方向を「設計値法線方向」と名付けることにする。
下段面F1を倣い測定する経路であるPCC曲線(ここでは直線である)を第1区間経路L1とし、下斜面を倣い測定する経路であるPCC曲線(ここでは直線)を第2区間経路L2とし、以下同様に付番する。
第1区間経路L1の法線方向というのは、すなわち、下段面F1の法線方向Nw1のことである。同様に、第2区間経路L2の法線方向というのは、すなわち、下斜面F2の法線方向Nw2のことである。
PCC曲線(経路)自体に「法線」というものは存在しないのであるが、設計値法線方向は、PCC曲線(経路)が測定対象とする面の法線のことである。
図5のように、表面が波打つように設計された測定対象物があって、表面を倣い測定する経路(PCC曲線)を考えるとする。
左から適宜PCC曲線を分割して、第1区間経路L1、第2区間経路L2、・・・とする。
例えば第1区間経路L1を考えてみると、第1区間経路L1が測定対象とする面は曲がっているので経路上の点ごとに面の法線の向きは異なるが、この区間で法線の平均の向きを算出することはできる。
このように算出された平均の法線ベクトルNwが区間経路ごとの設計値法線方向ベクトルNwiである。そして、分割PCC曲線群と各セグメントの設計値法線方向ベクトルNwとを対にし、これにより「設計値倣い経路」が得られる。
モーションコントローラ300は、経路データ取得部310と、カウンタ部320と、移動指令生成部330と、駆動制御部340と、を備える。
カウンタ部320は、エンコーダから出力される検出信号をカウントして各スライダの変位量を計測するとともに、各プローブ230センサから出力される検出信号をカウントしてプローブ230(スタイラス231)の変位量を計測する。
計測されたスライダおよびプローブ230の変位から測定子232の座標位置PP(以下、プローブ位置PP)が得られる。
また、カウンタ部320にて計測されたスタイラス231の変位(プローブセンサの検出値(Px,Py,Pz))から、測定子232の押込み量(ベクトルEpの絶対値)が得られる。
移動指令生成部330は、各測定方式(測定モード)に応じた経路を算出する機能部をそれぞれ具備している。
具体的には、パッシブ設計値倣い測定、アクティブ設計値倣い測定、自律倣い測定、ポイント測定、の4つがある。
本実施形態に関係するのは、アクティブ設計値倣い測定である。
手動コントローラ400は、ジョイスティックおよび各種ボタンを有し、ユーザからの手動入力操作を受け付け、ユーザの操作指令をモーションコントローラ300に送る。この場合、モーションコントローラ300(駆動制御部340)は、ユーザの操作指令に応じて各スライダを駆動制御する。
ホストコンピュータ500にて設計値倣い経路データが生成され、生成された設計値倣い経路データはモーションコントローラ300に送られる(ST100)。そして、モーションコントローラ300は、この設計値倣い経路データに沿った経路でワーク表面をアクティブ設計値倣い測定するための移動指令である速度合成ベクトルVを生成していく(ST200)。
さて、速度合成ベクトルVの生成について説明する。
図7は、速度合成ベクトルVを生成する手順を説明するためのフローチャートである。
速度合成ベクトルVは、経路速度ベクトルVf(ST210)と、押込み修正ベクトルVe(ST220)と、第2軌道修正ベクトルVc2(ST230)と、を合成したものである。
ここで、第2軌道修正ベクトルVc2(ST230)は従来技術にはなく,本発明で初めて導入されるものである。
設計値倣い経路上に補間点iと次の補間点(i+1)があるとして、経路速度ベクトルVfの向きは、点iから点(i+1)に向かう方向として与えられる(図8参照)。
また、経路速度ベクトルVfの大きさは、例えば点iにおける設計値倣い経路の曲率に応じて設定される(特許文献:特開2014−21004)
なお、設計値倣い経路上にある点Pについては後述する。
押込み修正ベクトルVeは次の式で表される。
Ep=(xp、yp、zp)
したがって、プローブの押込み量|Ep|は、次のようになる。
なおKは、任意の係数である。
図9は、第2軌道修正ベクトルVc2を生成する手順を説明するためのフローチャートである。
図9のフローチャートに沿って第2軌道修正ベクトルVc2について説明する。
第2軌道修正ベクトルVc2を求めるにあたって、まずは、第1軌道修正ベクトルVc1を算出しておく。この第1軌道修正ベクトルVc1は従来(特開2013−238573)における軌道修正ベクトルVcと同じで、説明のために名称を変更しただけである。
プローブ位置Ppから設計値倣い経路に垂線を下ろす(図8参照)。垂線の足をPとする。プローブ位置Ppから点Pに向かう方向のベクトルが第1軌道修正ベクトルVc1である。
ST232において、プローブ変位方向の単位ベクトルeuを取得する。
プローブ変位方向の単位ベクトルeuについては、押込み修正ベクトルVeの生成にあたって説明済みである。
次にST233において、経路速度ベクトルVfを取得する。
経路変数ベクトルVfもST210で説明済みである。
軌道修正方向ベクトルqとは、プローブ変位方向の単位ベクトルeuと経路速度ベクトルVfとの外積に平行な単位ベクトルである。
図8において、経路速度ベクトルVfとプローブ変位方向の単位ベクトルeuとが紙面上にあるとすると、軌道修正方向ベクトルqは紙面に垂直な方向となる。
図10は各ベクトルの相対的な方向関係を示す一例である。
第2軌道修正ベクトルVc2はプローブ変位方向の単位ベクトルeuおよび経路速度ベクトルVfと直交する方向にあることが理解できるであろう。
ゲインGf、Ge、Gcはそれぞれ予めきめられた関数によって適宜調整される(例えば特開2013−238573)。
例えば、Gfは軌道ずれや押し込みずれが大きいときは、小さくなるように調整される。
この符号決定関数sg(p)が果たす役割については後述の動作例のなかで明らかになる。
従来のごとく第1軌道修正ベクトルVc1を用いた制御は、軌道修正として最も素直であり、計算量も少ないのであるが、プローブ230の挙動が振動的になる場合があり得た。
例えば、図1や図10を見てわかるように、第1軌道修正ベクトルVc1は、押込み修正ベクトルVeや経路速度ベクトルVfに対して逆向きの成分を持つ場合があり得る。
実際の場面では、第1軌道修正ベクトルVc1と押込み修正ベクトルVeとが逆向きになって互いに干渉することが多い。
押込み修正ベクトルVeはワーク表面の凹凸に応じて時々刻々と向きが変わるからである。
ここでゲインGf、Ge、Gcをうまく調整して、第1軌道修正ベクトルVc1、押込み修正ベクトルVeおよび経路速度ベクトルVfの相互干渉ができる限り小さくなるようにすることも考えられる。
しかし、互いの干渉が小さくなるようにゲインGf、Ge、Gcのうちのいずれかを小さくしてしまうと、合成速度ベクトルV自体が小さくなってしまうのであるから、必然的に軌道修正能力が小さくなってしまうことになる。
符号決定関数sg(p)の符号の役割については後ほど説明する。
第2軌道修正ベクトルVc2の効果がより明瞭になると思うので、対比例をひとつ紹介しておく。
この対比例は、第1軌道修正ベクトルVc1の改良として一度は検討したが、別の問題が判明したために実施に至らなかったものである。
対比例としては、第1軌道修正ベクトルVc1を準軌道修正ベクトルVc1'としたものである。
準軌道修正ベクトルVc1'は、第1軌道修正ベクトルVc1のうちのプローブ変位方向単位ベクトルeuに直交する成分を抽出したものである。
図11の破線囲み内に各ベクトルの方向の一例を示した。
式として表現すると次のようになる。
例えば図11のように坂を登るような場合が典型的であるが、準軌道修正ベクトルVc1'が経路速度ベクトルVfと反対方向の成分を持ってしまう場合があり得る。
ワークと設計値とのズレがやや大きかったり、坂の傾斜が大きかったりすると、準軌道修正ベクトルVc1'が経路速度ベクトルVfよりも大きくなってしまい、プローブ230が坂を乗り越えられないおそれがある。
例えば、登り坂の傾斜が20°を越えると制御が難しくなる。
上記に説明したように、第2軌道修正ベクトルVc2の採用により倣い測定の制御が安定するようになったのであるが、本発明者らは更に第2軌道修正ベクトルVc2の符号を工夫することでオペレータが意図した通りの測定が実行されるように改良を加えた。
まずは、符号決定関数sg(p)を導入しない場合を考えてみる。
設計データ上では下段面F1は平坦に設計されているとしても、工作機械の加工誤差があるわけであるから実際のワークW(測定対象物)では例えば図12に示すように下段面F1が極僅かに湾曲してしまうことがある。
(三次元測定機200は、このような加工誤差を測定で検出するためにある。)
図12の例では、設計データよりも削り過ぎており、なおかつ、平坦であるべき面F1が僅かに湾曲している。
なお、加工誤差(湾曲)は極めて僅かであり、オペレータにはほぼ見えない。
経路速度ベクトルVfの方向は、第1区間経路L1に沿う方向であり、図12では紙面に垂直方向である。
押込み修正ベクトルVeの方向は、押込み量を修正するのであるから、ワーク(測定対象物)Wの表面F1に対して垂直な方向である。ここでは下段面F1が湾曲しているので、それに伴って押込み修正ベクトルVeの方向は僅かに斜めになっている。
第2軌道修正ベクトルVc2は、第1軌道修正ベクトルVc1のq方向成分のことであるから、図12の例ではワークWの湾曲の傾斜面を昇る方向になる。
第2軌道修正ベクトルVc2の作用による軌道修正で見いだされるラインは、客観的に見れば、設計値倣い経路L1に最も近い測定経路である。つまり、第2軌道修正ベクトルVc2の作用により、ワーク表面において設計値倣い経路Lに最も接近するようにプローブ230は移動することになる。
図12の例では、ワークが設計データよりも小さく削られていたのでプローブ230は傾斜面を昇る向きにずれたが、ワークWが設計データよりも大きかった場合には逆にプローブ230は傾斜面を下る方向にずれて、設計値倣い経路L1に最も近いところで落ち着くだろう。
実際の倣い測定の経路が設計値倣い経路から僅かにずれていても、測定したい面を測定できるので測定の目的は果たしているといえる。
図14(A)のように、薄板や壁の側面や端面を加工したときに設計データよりも削りが浅く、なおかつ、大きな曲率の面F10が残ってしまっているような場合である。
このような端面F10を予め設定された設計値倣い経路Lに沿って倣い測定しようとすると、前述のように、プローブ230は設計値倣い経路Lに最も近付くように移動していく。すると、プローブ230は、端面F10からするすると降りるように移動し、側面に近いところを測定してしまうようなことになる(図14(B)参照)。
なお、右側(PS1)に降りるか左側(PS2)に降りるかは偶発的に決まる。
図15を参照していただくと分かるように、設計値法線方向ベクトルNwに対して90度を超える開き角でプローブ230が斜面を下ろうとするとき、設計値法線方向ベクトルNwと第2軌道修正ベクトルVc2との内積pの値は負の値になる。
このとき、符号決定関数sg(p)の値は「−1」をとり、第2軌道修正ベクトルVc2の方向が反転する。このように、第2軌道修正ベクトルVc2がその向きを反転させることにより、端面F10の稜線に向けてフィードバックがかかり、プローブ230は大きな曲率をもった端面F10の稜線からほぼ外れずにこの端面の形状を倣い測定する。
例えば、図12から図15に例示したような曲面を本実施形態の制御方法で倣い測定すると、プローブ230は斜面を登っていき、測定対象面上で設計値倣い経路Lに近いところにある稜線に落ち着くことになる。すなわち、押込み修正ベクトルVeと設計値法線方向ベクトルNwとが平行になるところに収束する。
このことは、本実施形態の適用により、ユーザが意図したプローブ230の押込み方向(すなわち設計値法線方向ベクトルNwの方向)で測定対象面の形状(たとえば凹凸やうねり)を測定できるようになるということである。
同様のことは、例えば、図16のように細溝を加工するときに、設計データよりも削り過ぎ、かつ、底面に大きな曲率の面F11ができてしまうような場合も起こり得る。
ただし、この場合は、符号決定関数sg(p)の符号を逆にし、設計値法線方向ベクトルNwと第2軌道修正ベクトルVc2との内積pの値が正の値のときに、符号決定関数sg(p)の値を「−1」にして第2軌道修正ベクトルVc2の方向を反転させることになる。すると、溝の底面に向けてフィードバックがかかり、プローブ230は曲率をもった溝の底面F11からほぼ外れずにこの底面F11の形状を倣い測定する。
200…三次元測定機、210…定盤、
220…移動機構、221…Yスライダ、222…Xスライダ、223…Z軸コラム、224…Zスピンドル、
230…プローブ、231…スタイラス、232…測定子、233…支持部、
300…モーションコントローラ、310…PCC取得部、320…カウンタ部、330…移動指令生成部、340…駆動制御部、
400…手動コントローラ、
500…ホストコンピュータ、520…記憶部、530…形状解析部。
Claims (4)
- 先端に測定子を有するプローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、を備え、前記測定子とワーク表面との接触を検知して前記ワークの形状を測定する形状測定装置の制御方法であって、
前記ワークの設計データに基づいて前記測定子を移動させる倣い経路を求め、前記プローブの前記ワークへの押込み量を基準押込み量に保つように制御しながら前記測定子を前記倣い経路に沿って移動させるにあたって、
プローブの移動指令を次の式で表される合成速度ベクトルVに従って生成する
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。
合成速度ベクトルV=Gf・Vf+Ge・Ve+sg(p)・Gc・Vc2
ここで、
経路速度ベクトルVfは、前記倣い経路に沿って前記プローブを移動させるためのベクトルである。
押込み修正ベクトルVeは、前記プローブの前記ワークへの押込み量を基準押込み量に保つためのベクトルである。
第2軌道修正ベクトルVc2は(Vc1・q)qで表わされる。
第1軌道修正ベクトルVc1は、測定子が倣い軌道に向かうようにプローブ位置を修正する方向のベクトルである。
軌道修正方向ベクトルqは、ワーク表面の法線と経路速度ベクトルVfとの外積で与えられるベクトルである。
前記ワークの設計データに基づいて算出される測定対象面の法線方向を設計値法線方向ベクトルNwとするとき、pは第2軌道修正ベクトルVc2と設計値法線方向ベクトルNwとの内積であり、符号決定関数sg(p)はpの値に応じて+1または−1を返す関数である。
Gf、GeおよびGcは任意の係数である。 - 請求項1に記載の形状測定装置の制御方法において、
前記符号決定関数sg(p)の値は、
前記第2軌道修正ベクトルVc2と前記設計値法線方向ベクトルNwとの内積pが0以上のときに+1であり、
前記第2軌道修正ベクトルVc2と前記設計値法線方向ベクトルNwとの内積pが0未満のときに−1である
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。 - 請求項1に記載の形状測定装置の制御方法において、
前記ワークの設計データに基づいて前記測定子を移動させる倣い経路の算出にあたって、
前記倣い経路を複数の区間に分割し、
区間ごとに測定対象面の平均の法線方向ベクトルNwを算出する
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の形状測定装置の制御方法をコンピュータに実行させる形状測定装置の制御プログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016139816A JP6774240B2 (ja) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | 形状測定装置の制御方法 |
US15/638,932 US10365630B2 (en) | 2016-07-14 | 2017-06-30 | Control method of profile measuring apparatus |
DE102017212147.5A DE102017212147A1 (de) | 2016-07-14 | 2017-07-14 | Regelverfahren eines Konturmessgeräts |
CN201710576085.1A CN107621248B (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-14 | 形状测量设备的控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016139816A JP6774240B2 (ja) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | 形状測定装置の制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018009905A true JP2018009905A (ja) | 2018-01-18 |
JP6774240B2 JP6774240B2 (ja) | 2020-10-21 |
Family
ID=60783104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016139816A Active JP6774240B2 (ja) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | 形状測定装置の制御方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10365630B2 (ja) |
JP (1) | JP6774240B2 (ja) |
CN (1) | CN107621248B (ja) |
DE (1) | DE102017212147A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110986849A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-10 | 大连瑞谷科技有限公司 | 高精度滚子大球基面测量方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6630535B2 (ja) * | 2015-10-22 | 2020-01-15 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP6923361B2 (ja) * | 2017-05-29 | 2021-08-18 | 株式会社ミツトヨ | 位置計測装置の操作方法 |
JP6738883B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2020-08-12 | 株式会社ミツトヨ | プローブユニット及び測定システム |
JP7236952B2 (ja) * | 2019-07-29 | 2023-03-10 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
EP3901574B1 (de) * | 2020-04-21 | 2023-05-31 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von messpunkten einer angepassten messbahn zur vermessung eines messobjekts durch eine koordinatenmesseinrichtung sowie programm |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2783646B2 (ja) * | 1990-04-18 | 1998-08-06 | キヤノン株式会社 | 情報記録再生装置 |
CN1495408A (zh) * | 2002-03-08 | 2004-05-12 | 奥林巴斯光学工业株式会社 | 三维坐标测定方法 |
GB0215478D0 (en) * | 2002-07-04 | 2002-08-14 | Renishaw Plc | Method of scanning a calibrating system |
JP4909548B2 (ja) * | 2005-09-01 | 2012-04-04 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定装置 |
JP5274782B2 (ja) | 2007-03-27 | 2013-08-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置、表面性状測定方法及び表面性状測定プログラム |
EP1983297B1 (en) * | 2007-04-18 | 2010-04-07 | Hexagon Metrology AB | Scanning probe with constant scanning speed |
JP5089428B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2012-12-05 | 株式会社ミツトヨ | 倣い測定装置 |
CN102245094B (zh) * | 2008-12-08 | 2014-10-29 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于检测和/或定位作用区域中的磁性材料的设备和方法 |
JP5297818B2 (ja) * | 2009-01-06 | 2013-09-25 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
US9335160B2 (en) * | 2010-04-26 | 2016-05-10 | Nikon Corporation | Profile measuring apparatus |
JP6030339B2 (ja) * | 2012-05-17 | 2016-11-24 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
JP6063161B2 (ja) | 2012-07-20 | 2017-01-18 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定装置の制御方法 |
JP6128902B2 (ja) * | 2013-03-08 | 2017-05-17 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
JP6144157B2 (ja) | 2013-08-26 | 2017-06-07 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及びv溝求心測定方法 |
JP6219141B2 (ja) | 2013-11-27 | 2017-10-25 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP6484108B2 (ja) * | 2015-05-22 | 2019-03-13 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP6514041B2 (ja) * | 2015-06-02 | 2019-05-15 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP6570393B2 (ja) * | 2015-09-25 | 2019-09-04 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP6630535B2 (ja) | 2015-10-22 | 2020-01-15 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
-
2016
- 2016-07-14 JP JP2016139816A patent/JP6774240B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-30 US US15/638,932 patent/US10365630B2/en active Active
- 2017-07-14 DE DE102017212147.5A patent/DE102017212147A1/de active Pending
- 2017-07-14 CN CN201710576085.1A patent/CN107621248B/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110986849A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-10 | 大连瑞谷科技有限公司 | 高精度滚子大球基面测量方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10365630B2 (en) | 2019-07-30 |
JP6774240B2 (ja) | 2020-10-21 |
CN107621248A (zh) | 2018-01-23 |
CN107621248B (zh) | 2020-09-04 |
US20180017954A1 (en) | 2018-01-18 |
DE102017212147A1 (de) | 2018-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6774240B2 (ja) | 形状測定装置の制御方法 | |
JP6030339B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP6570393B2 (ja) | 形状測定装置の制御方法 | |
CN105588533B (zh) | 形状测定装置以及形状测定方法 | |
JP5089428B2 (ja) | 倣い測定装置 | |
US7542872B2 (en) | Form measuring instrument, form measuring method and form measuring program | |
CN106168475B (zh) | 形状测量设备的控制方法和控制装置 | |
JP5754971B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
JP6219141B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
JP2012026865A (ja) | 形状測定装置 | |
EP2128562B1 (en) | Profile measuring device, method for profile measuring, and profile measuring program | |
JP6474587B2 (ja) | 測定値補正方法、測定値補正プログラム及び測定装置 | |
CN106225636A (zh) | 形状测量设备的控制方法 | |
JP2021025978A (ja) | 形状測定装置 | |
JP6363436B2 (ja) | 形状測定装置、及び形状測定方法 | |
KR101525677B1 (ko) | 원호 시험용 가상 오차 평가 시뮬레이션 방법 | |
JP6405195B2 (ja) | 測定値補正方法、測定値補正プログラム及び測定装置 | |
JP2021124393A (ja) | 形状測定装置の制御方法 | |
JP2021124392A (ja) | 形状測定装置の制御方法 | |
JP2021124391A (ja) | 形状測定装置の制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190610 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6774240 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |