JP2017226227A - 液体噴射装置及び圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。
前記基板の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記基板の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記ドライバICと前記複数の第1バンプによって囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。
16 ノズル
20 流路ユニット
20a 隔壁部
21 圧電アクチュエータ
24 圧力室
30 振動板
40 圧電体
41 圧電素子
42 駆動電極
43 共通電極
43b 第1接続部
43c 第2接続部
45 駆動用端子
46 ドライバIC
47 入力端子
50 接続端子
51a 駆動バンプ
51b 第1共通電極バンプ
51c 入力バンプ
51d 第1共通電極バンプ
51e ダミーバンプ
52 封止材
Claims (11)
- 第1基板と、
前記第1基板の一表面に配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動する信号を供給する第2基板と、を備え、
前記第1基板の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記第2基板は、前記第1基板の前記一表面側に配置され、
複数のバンプによって、前記第2基板と前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続され、
前記圧電素子は、
圧電層と、
前記圧電層と前記第1基板の間にある個別電極と、
前記圧電層を挟んで前記個別電極とは反対側にある共通電極と、
を有することを特徴とする液体噴射装置。 - 前記圧電層がない前記第1基板上で前記個別電極が前記複数のバンプによって前記第2基板と接続されることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射装置。
- 前記圧電層がない前記第1基板上で前記共通電極が前記複数のバンプによって前記第2基板と接続されることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射装置。
- 前記共通電極は、前記圧電層の縁をまたがって前記第1基板上に延びており、前記第1基板で前記第2基板と接続されることを特徴とする請求項3に記載の液体噴射装置。
- 前記共通電極は、前記複数のバンプによって前記第2基板と接続されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液体噴射装置。
- 前記複数の圧電素子は、第1方向に配列され、
前記複数の圧電素子列は、前記第1方向に直交する第2方向に複数並ぶことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液体噴射装置。 - 前記圧電素子列の間に、前記共通電極と接続されるバンプが設けられることを特徴とする請求項6に記載の液体噴射装置。
- 前記複数の圧電素子列の前記第2方向外側に、前記個別電極と接続されるバンプが設けられることを特徴とする請求項6又は7に記載の液体噴射装置。
- 前記共通電極は、前記複数の圧電素子列にまたがって延びることを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の液体噴射装置。
- 前記第1基板は、複数の圧力室が形成された流路構造体であり、
前記第2基板は、前記複数の圧電素子を駆動するドライバであることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の液体噴射装置。 - 第1基板と、
前記第1基板の一表面に配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動する信号を供給する第2基板と、を備え、
前記第1基板の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記第2基板は、前記第1基板の前記一表面側に配置され、
複数のバンプによって、前記第2基板と前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続され、
前記圧電素子は、
圧電層と、
前記圧電層と前記第1基板の間にある個別電極と、
前記圧電層を挟んで前記個別電極とは反対側にある共通電極と、を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
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JP2017181035A JP6465185B2 (ja) | 2017-09-21 | 2017-09-21 | 液体噴射装置及び圧電アクチュエータ |
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2001171105A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-26 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
JP2003341060A (ja) * | 1995-07-26 | 2003-12-03 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JP2010069750A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置 |
US20120167823A1 (en) * | 2010-12-29 | 2012-07-05 | Gardner Deane A | Electrode configurations for piezoelectric actuators |
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2017
- 2017-09-21 JP JP2017181035A patent/JP6465185B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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