JP2017223573A - 半導体素子検査装置 - Google Patents

Abstract

【解決手段】 ＬＥＤ素子検査装置２（半導体素子検査装置）は、回転テーブル１４の外周に設けられてＬＥＤ素子１（半導体素子）が載置される保持部１５と、当該保持部１５に穿設された吸着孔１６に負圧を供給する負圧発生手段と、ＬＥＤ素子１の下面に接触する検査プローブ１１を移動させるプローブ移動手段２２とを備えている。さらに、上記保持部１５がその上面を摺動するように設けられた固定テーブル１３と、当該固定テーブル１３の内部に形成されるとともに上記保持部１５の吸着孔１６と連通する内部空間２１とを備え、上記負圧発生手段は上記内部空間２１を介して上記吸着孔１６に負圧を供給し、上記プローブ移動手段２２は上記内部空間２１内を移動可能に設けられ、さらに上記内部空間２１とプローブ移動手段２２との間にシール手段２３を備えている。【効果】 より簡易な構成で確実に半導体素子を保持することができる。【選択図】 図２

Description

本発明は半導体素子検査装置に関し、詳しくは検査プローブを半導体素子の下面に接触させて検査を行う半導体素子検査装置に関する。

従来、ＬＥＤ素子などの半導体素子の性能を検査するため、当該半導体素子に設けられた端子に検査プローブを接触させて半導体素子に通電させてから検査を行う半導体素子検査装置が知られ、特に下面に上記端子が形成された半導体素子を検査する以下の半導体検査装置が知られている。
上記半導体素子検査装置は、回転可能に設けられた回転テーブルと、当該回転テーブルの外周に設けられてその上面に半導体素子が載置される保持部と、当該保持部に穿設された吸着孔と、上記吸着孔に負圧を供給して上記保持部の上面に上記半導体素子を吸着保持させる負圧発生手段と、半導体素子の下面に接触する検査プローブと、上記検査プローブを上記吸着孔を通過するように移動させて上記半導体素子に接触させるプローブ移動手段とを備えている（特許文献１）。
この特許文献１の半導体素子検査装置において、上記半導体素子は上記吸着孔に供給された負圧により保持部に吸着保持され、その状態で上記プローブ移動手段が上記吸着孔に検査プローブを通過させて、半導体素子の下面に検査プローブを接触させるようになっている。

実用新案登録第３１６１９４３号公報

しかしながら上記特許文献１の半導体素子検査装置の場合、上記吸着孔は上記検査プローブの通過する挿通孔を兼用しているため、検査プローブが挿入された状態では負圧の供給が制限されて吸引力が十分に得られないこととなる。
また特許文献１において、上記検査プローブが挿入されていない状態における吸着孔の下端部は大気解放されており、上記吸着孔で半導体素子を吸着保持した状態を維持するには上記負圧供給手段によって大きな負圧を供給し続ける必要がある。
このように、特許文献１の構成では上記保持部に半導体素子を保持するために大きな負圧を供給する負圧供給手段が必要となるため、高コストの高い設備を要するという問題があった。
このような問題に鑑み、本発明はより簡易な構成で確実に半導体素子を保持部に保持することが可能な半導体素子検査装置を提供するものである。

すなわち請求項１の発明にかかる半導体素子検査装置は、回転可能に設けられた回転テーブルと、当該回転テーブルの外周に設けられてその上面に半導体素子が載置される保持部と、当該保持部に穿設された吸着孔と、上記吸着孔に負圧を供給して上記保持部の上面に上記半導体素子を吸着保持させる負圧発生手段と、半導体素子の下面に接触する検査プローブと、上記検査プローブを上記吸着孔を通過するように移動させて上記半導体素子に接触させるプローブ移動手段とを備えた半導体素子検査装置において、
上記保持部がその上面を摺動するように設けられた固定テーブルと、当該固定テーブルの内部に形成されるとともに上記保持部の吸着孔と連通する内部空間とを備え、
上記負圧発生手段は上記内部空間を介して上記吸着孔に負圧を供給し、
上記プローブ移動手段は上記内部空間内を移動可能に設けられ、
さらに上記内部空間とプローブ移動手段との間に、上記内部空間を外部空間から区画するシール手段を設けたことを特徴としている。

上記発明によれば、上記内部空間を上記シール手段によって外部空間から区画するため、検査プローブが半導体素子に接触した状態であっても離脱した場合であっても、安定して負圧を供給することができ、半導体素子を吸着保持した状態を維持することができる。
また特許文献１のように大きな負圧を発生させる負圧供給手段も不要となることから、より低コストに半導体素子検査装置を得ることが可能となる。

本実施例にかかるＬＥＤ素子検査装置の平面図 ＬＥＤ素子検査装置の断面図 吸着孔を示す平面図

以下、図示実施例について説明すると、図１、図２は半導体素子としてのＬＥＤ素子１の性能を検査する半導体素子検査装置としてのＬＥＤ素子検査装置２を示し、図１は平面図を、図２は断面図をそれぞれ示している。
本実施例のＬＥＤ素子検査装置２は、ＬＥＤ素子１を複数収容したウエハリング３からＬＥＤ素子１を一つずつ供給する供給ロボット４と、検査結果に応じて上記ＬＥＤ素子１を分類する分類装置５へとＬＥＤ素子１を一つずつ排出する排出ロボット６との間に設けられ、これらは図示しない制御手段によって制御されるようになっている。
本実施例で検査するＬＥＤ素子１は略直方体形状を有しており、その上面とこれを囲繞する４つの側面が発光面を構成し、下面の所定の位置には図示しないが４つの端子が形成され、当該端子に検査プローブ１１を接触させて通電させることにより、上記発光面から発光させることが可能となっている。
本実施例のＬＥＤ素子検査装置２では、下記検査ステーションＳ７に設けた積分球１２を用いてＬＥＤ素子１の明度や輝度などの光学品質を検査するようになっており、その際当該検査ステーションＳ７に停止したＬＥＤ素子１の下方から上記検査プローブ１１を接触させるようになっている。
その際、上記５つの発光面から光を照射させることで当該ＬＥＤ素子１の光学品質を検査する必要があるため、上記発光面が覆われた状態で検査を行えないことから、ＬＥＤ素子１の下面を保持した状態で検査を行う必要がある。

上記ウエハリング３にはＬＥＤ素子１が縦横に整列した状態で載置され、上記供給ロボット４はこのウエハリング３のＬＥＤ素子１を一つずつ吸着保持して、これを上記ＬＥＤ素子検査装置２に設定された下記供給ステーションＳ１に載置するようになっている。
上記ＬＥＤ素子検査装置２の検査ステーションＳ７で積分球１２を用いたＬＥＤ素子１の光学品質を検査したら、ＬＥＤ素子１はその後排出ステーションＳ１０まで移動し、上記排出ロボット６がこのＬＥＤ素子１を一つずつ吸着保持してこれを上記分類装置５に移載する。
上記分類装置５は、図示しないが同じ性能を有するＬＥＤ素子１を収容する複数のトレイと、ＬＥＤ素子検査装置２による検査結果に応じてＬＥＤ素子１を対応するトレイに収容する分類手段とを備えている。
なお、上記供給ロボット４や排出ロボット６、分類装置５自体は従来公知であるため、これ以上の説明については省略する。また上記ウエハリング３に代えて、パーツフィーダによってＬＥＤ素子１を供給ロボット４に供給したり、上記分類装置５として異なる態様のものを使用することも可能である。

上記ＬＥＤ素子検査装置２において、上記ＬＥＤ素子１は、上面が平坦に形成された略円形の固定テーブル１３と、当該固定テーブル１３の上面を回転可能に設けられた回転テーブル１４と、当該回転テーブル１４の外周に設けられてその上面にＬＥＤ素子１が載置される保持部１５とによって搬送されるようになっている。
最初に、ＬＥＤ素子検査装置２に設定される１２の作業ステーションＳ１〜Ｓ１２について説明すると、上記回転テーブル１４は図示しない駆動手段によって図１の時計回りに回転するようになっており、回転テーブル１４の外周に等間隔に設けられた１２の保持部１５は間欠的に各作業ステーションＳ１〜Ｓ１２に停止するようになっている。
上記供給ロボット４に隣接した位置に設けられた作業ステーションＳ１は上記ＬＥＤ素子１が供給される供給ステーションＳ１となっており、この供給ステーションＳ１に対して回転テーブル１４の回転方向下流側に隣接する５つの作業ステーションＳ２〜Ｓ６は作業が行われない待機ステーションＳ２〜Ｓ６となる。
そして上記待機ステーションＳ６の下流側には、ＬＥＤ素子１を検査する検査ステーションＳ７が設定され、さらにこの検査ステーションＳ７に対して下流側には２つの待機ステーションＳ８，Ｓ９を挟んで上記分類装置５にＬＥＤ素子１を排出するための排出ステーションＳ１０が設定されている。
そして上記排出ステーションＳ１０と供給ステーションＳ１との間には２つのアイドルステーションＳ１１、Ｓ１２が設定され、これらのアイドルステーションＳ１１、Ｓ１２では上記保持部１５でＬＥＤ素子１を保持しないようになっている。
なお上記各作業ステーションＳ１〜Ｓ１２の設定は一例であり、上記待機ステーションにおいて外観検査やマーキング等のその他の作業を行うようにしてもよい。

上記固定テーブル１３は上記回転テーブル１４の保持部１５がその上面を摺動するように設けられており、具体的には上記固定テーブル１３の上面および回転テーブル１４の下面が平坦に形成され、これにより回転テーブル１４は固定テーブル１３の上面に密着した状態で回転するようになっている。
上記回転テーブル１４に設けられた１２個の保持部１５には、それぞれ上記回転テーブル１４を上下に貫通する吸着孔１６が穿設されており、ＬＥＤ素子１は当該吸着孔１６の形成された位置で吸着保持されるようになっている。
上記吸着孔１６は、回転テーブル１４の上面側に開口して上記ＬＥＤ素子１の底面よりも狭く形成された吸着部１６ａと、回転テーブル１４の下面側に開口して上記吸着部１６ａよりも広く形成された連通部１６ｂとから構成されている。
図３は上記吸着部１６ａの形状を示す図であり、破線で示すＬＥＤ素子１の略中央部の位置に合わせて形成された略正方形の孔の４隅には、上記検査プローブ１１をＬＥＤ素子１の端子に接触させる際に用いる逃がし部１６ｃが形成されている。
後述するように、上記検査プローブ１１はＬＥＤ素子１の下面に対して斜めに設けられており、これにより当該検査プローブ１１が上下動すると検査プローブ１１の一部が回転テーブル１４に干渉する恐れがある。
そこで、上記吸着部１６ａに逃がし部１６ｃを設けて検査プローブ１１の一部が逃がし部１６ｃ内を通過するようにし、回転テーブル１４への干渉を防止するようになっている。

図１に示すように、上記固定テーブル１３の上面には、上記保持部１５の吸着孔１６が通過する位置に合わせて第１、第２吸気溝１３ａ、１３ｂが形成され、このうち第１吸気溝１３ａには第１負圧発生手段１７が、第２吸気溝１３ｂには第２負圧発生手段１８がそれぞれ接続されている。
上記第１吸気溝１３ａは上記供給ステーションＳ１から検査ステーションＳ７を通過して上記待機ステーションＳ９と排出ステーションＳ１０との間となる位置にかけて形成され、また第２吸気溝１３ｂは上記待機ステーションＳ９と排出ステーションＳ１０との間となる位置から排出ステーションＳ１０にかけて形成されている。
上記第１吸気溝１３ａおよび第２吸気溝１３ｂはそれぞれ固定テーブル１３の中心に対して異なる半径を有した円弧状を有しており、これにより第１吸気溝１３ａの回転方向下流側端部と第２吸気溝１３ｂの回転方向上流側端部とは、上記待機ステーションＳ９と排出ステーションＳ１０との間となる位置で並行して形成されるようになっている。
そして、上記保持部１５に形成された吸着孔１６の連通部１６ｂは、上記並行して形成された第１、第２吸気溝１３ａ、１３ｂをまたぐ大きさを有しており、第１吸気溝１３ａおよび第２吸気溝１３ｂからそれぞれ負圧が供給されるようになっている。

上記第１吸気溝１３ａには上記第１負圧発生手段１７から負圧が常時供給されるようになっており、これにより上記供給ステーションＳ１においてＬＥＤ素子１が保持部１５に載置されると、第１負圧発生手段１７の負圧が吸着孔１６に供給されて、ＬＥＤ素子１が保持部１５に吸着保持されることとなる。
そして保持部１５が待機ステーションＳ９と排出ステーションＳ１０との間を通過する際、当該区間では第１吸気溝１３ａと第２吸気溝１３ｂとが並行して形成されているため、上記第１、第２吸気溝１３ａ、１３ｂからの負圧によってＬＥＤ素子１の吸着が維持されるようになっている。
上記第２吸気溝１３ｂには上記制御手段の制御により第２負圧発生手段１８から間欠的に負圧が供給され、保持部１５が排出ステーションＳ１０に位置して吸着孔１６に上記第２吸気溝１３ｂだけが連通すると、制御手段が第２負圧発生手段１８による負圧の供給を停止させて、排出ロボット６によるＬＥＤ素子１の取り出しが可能となる。

図２は上記検査ステーションＳ７についての断面図となっており、当該検査ステーションＳ７に停止する保持部１５の上方にはドーム型の積分球１２が設けられている。
上記積分球１２は図示しない受光素子を備え、検査ステーションＳ７に位置したＬＥＤ素子１の５つ発光面から光が照射されると、積分球１２の内部に照射された光を受光素子が受光し、その結果に基づいて制御手段が各ＬＥＤ素子１の明度、輝度、色味、発光不良といった光学品質を判定するようになっている。
なお、このような積分球１２等を用いたＬＥＤ素子１の検査方法は従来公知であるため、これ以上の説明は省略する。

そして上記検査ステーションＳ７には、上記積分球１２を用いてＬＥＤ素子１の検査を行うために、ＬＥＤ素子１に通電させる必要がある。そこで当該検査ステーションには、固定テーブル１３の内部に形成されて上記回転テーブル１４の保持部１５に形成された吸着孔１６と連通する内部空間２１と、上記検査プローブ１１を移動させて上記ＬＥＤ素子１に接離させるプローブ移動手段２２と、上記内部空間２１とプローブ移動手段２２との間に位置するシール手段２３とが設けられている。
上記内部空間２１は上下方向を向いた略円筒状を有するシリンダー状の空間となっており、その上部には上記回転テーブル１４の保持部１５に形成された吸着孔１６と連通する開口部２１ａが形成されている。
上記開口部２１ａは上記固定テーブル１３に形成された上記第１吸気溝１３ａに連続して形成されており、このため保持部１５が検査ステーションＳ７に位置した際には当該第１吸気溝１３ａとして機能し、上記吸着孔１６に負圧を供給させるようになっている。

上記検査プローブ１１は金属製の線材となっており、ＬＥＤ素子１の下面に接触する先端部分は、上記プローブ移動手段２２によって保持される大径部１１ａに対して小径に形成されている。
本実施例のＬＥＤ素子１は２つの端子を備え、各端子にそれぞれ２本の検査プローブ１１を接触させて通電させることから、本実施例ではこれに対応して４本の検査プローブ１１が設けられている。
また検査プローブ１１は、図２に示すようにＬＥＤ素子１の底面に垂直な方向に対して斜めに設けられており、これにより検査プローブ１１がＬＥＤ素子１に下方から当接した際に、検査プローブ１１を撓ませた状態で端子に接触させることができ、適切な押圧力で上記端子に検査プローブ１１を接触させることが可能となる。
さらに検査プローブ１１は、図３に示すようにその先端部がＬＥＤ素子１に向けて集まるよう放射状に設けられており、かつ検査プローブ１１の先端部は先端に向けて細くなるように加工が施されている。

上記プローブ移動手段２２は、上記内部空間２１内を上下に昇降可能に設けられた検査プローブ１１を保持する保持部材２４と、上記保持部材２４を一体的に昇降させる図示しない昇降手段とから構成されている。
上記保持部材２４はシリンダー状に形成された内部空間２１の内径に合わせて形成されたピストン形状を有しており、その先端部は上部に向けて縮径する円錐台状に形成されている。
当該円錐台状部には上記検査プローブ１１を収容可能な図示しない４本の溝が形成され、上記検査プローブ１１はリング状を有した固定部材２５によって保持部材２４との間に挟持されるようになっている。
このような構成により、上記４本の検査プローブ１１を保持部材２４の移動方向に対して斜めに保持することが可能となり、その先端部を上記ＬＥＤ素子１の端子の位置に合わせて保持部材２４の上方で集合させることができる。
また保持部材２４の中央には上記第１負圧発生手段１７に連通する負圧通路２４ａが形成され、当該負圧通路２４ａから供給された負圧は上記内部空間２１および上記開口部２１ａを介して上記第１吸気溝１３ａにも供給される。
なお上記第１負圧発生手段１７については、上記負圧通路２４ａのみに負圧を供給するのではなく、上記第１吸気溝１３ａに沿って複数個所に負圧を供給するようになっていてもよい。

上記昇降手段としてはサーボモータ等の各種モータや、エアシリンダ等のアクチュエータを用いることができ、上記保持部材２４を上下に昇降させるようになっている。
そして上記昇降手段は上記保持部材２４を、上記検査プローブ１１の先端部が保持部１５に保持されたＬＥＤ素子１の下面に接触した通電位置と、検査プローブ１１の先端部を上記固定テーブル１３の上面より下方に退避させた退避位置とに位置させるようになっている。
上記昇降手段が保持部材２４により検査プローブ１１を上記退避位置から上昇させると、上記検査プローブ１１の先端部は上記吸着孔１６を通過するように移動して、上記保持部１５に保持されたＬＥＤ素子１の下面に接触するようになっている。

上記シール手段２３は、上記固定部材２５の外周に固定された樹脂製のリングシールとなっており、当該シール手段２３の外周が上記内部空間２１の内周面に密着することで、内部空間２１が外部空間より区画されるようになっている。
また上記昇降手段により保持部材２４が上記退避位置に下降した際に、上記シール手段２３は上記内部空間２１における同径部分の下端部よりも上方に位置するよう、上記内部空間２１の形状およびシール手段２３の位置が設定されている。
これにより、上記保持部材２４が上記通電位置と退避位置との間を移動する間、上記シール手段２３は上記内部空間２１の内周面に密着した状態を維持することができ、保持部材２４の位置にかかわらず上記内部空間２１の負圧が維持されるようになっている。

以下、上記構成を有するＬＥＤ素子検査装置２の動作について説明すると、まず図示しないＬＥＤ製造装置で製造されたＬＥＤ素子１はウエハリング３に収納された状態で上記供給ロボット４に隣接した位置へと供給される。
すると、供給ロボット４はウエハリング３内のＬＥＤ素子１を一つずつ吸着保持して、これを上記ＬＥＤ素子検査装置２の供給ステーションＳ１に位置した上記回転テーブル１４の上記保持部１５に載置する。
このとき、供給ステーションＳ１の位置には上記固定テーブル１３の上面に形成された第１吸気溝１３ａより負圧が供給されているため、上記保持部１５に形成された吸着孔１６を介してＬＥＤ素子１が吸着保持される。
その後、回転テーブル１４は間欠的に回転し、保持部１５は上記固定テーブル１３の上面を摺接しながら１ピッチずつ移動する。その間も上記第１吸気溝１３ａより吸着孔１６に負圧が供給されるため、上記保持部１５でＬＥＤ素子１を吸着保持した状態を維持することができる。

そして、回転テーブル１４が回転して上記保持部１５が検査ステーションＳ７へと移動する間、上記検査ステーションＳ７では上記検査プローブ１１が上記プローブ移動手段２２によって退避位置に位置している。
上記退避位置に位置した上記検査プローブ１１の先端は、上記固定テーブル１３の上面より上方に突出しないようになっており、これにより検査プローブ１１が回転する回転テーブル１４に干渉しないようになっている。
そして保持部１５が検査ステーションＳ７で停止すると、昇降手段によって保持部材２４が通電位置へと上昇し、これにより検査プローブ１１が上記吸着孔１６を通過して、保持部１５に保持されたＬＥＤ素子１の下面に設けられた端子に接触する。
このとき、上記シール手段２３は上記内部空間２１を外部空間から区画した状態を維持するため、その間上記保持部１５の吸着孔１６に安定して負圧を供給することができ、ＬＥＤ素子１を安定して吸着保持することができる。
さらに、検査プローブ１１は上記保持部材２４によって斜めに保持されているため、当該検査プローブ１１がＬＥＤ素子１の下面に当接すると、当該検査プローブ１１自体が撓み、当該検査プローブ１１の弾性力によってＬＥＤ素子１の端子に適度な押圧力で接触するようになっている。
検査プローブ１１が通電位置へと上昇する際、その一部は上記吸着孔１６に形成された逃がし部１６ｃを通過し、検査プローブ１１が回転テーブル１４に干渉することはない。

このようにして検査プローブ１１が通電位置に位置すると、制御手段の制御によって検査プローブ１１がＬＥＤ素子１に電流を印加して発光させ、制御手段は積分球１２での測定結果に基づいて当該ＬＥＤ素子１の光学品質を検査し、その結果を記憶する。
検査ステーションＳ７での検査が終了すると、制御手段は上記保持部材２４を上記退避位置へと下降させ、その状態で上記回転テーブル１４が回転してＬＥＤ素子１は下流側の待機ステーションＳ８へと移動してゆく。
上記保持部材２４が通電位置から退避位置へと下降する際も、上記シール手段２３によって内部空間２１の負圧が維持され、ＬＥＤ素子１を吸着保持した状態を維持することができる。

その後、回転テーブル１４は回転して保持部１５が排出ステーションＳ１０へと移動するが、その際保持部１５は固定テーブル１３の上面に形成された第１吸気溝１３ａから第２吸気溝１３ｂへと乗り移り、その間は保持部１５においてＬＥＤ素子１を吸着保持した状態を維持することができる。
そして保持部１５が排出ステーションＳ１０に到達すると、制御手段が第２負圧発生手段１８による負圧の供給を停止させて保持部１５におけるＬＥＤ素子１の吸着保持状態を解除し、この状態で排出ロボット６が保持部１５からＬＥＤ素子１を取り出す。
排出ロボット６がＬＥＤ素子１を分類装置５に受け渡すと、分類装置５では制御手段が記憶した検査結果に基づいて当該ＬＥＤ素子１を所要のトレイへと収容する。

上記構成を有するＬＥＤ素子検査装置２によれば、上記検査プローブ１１をＬＥＤ素子１の下面の端子に接触させる検査ステーションＳ７において、固定テーブル１３に設けた内部空間２１にプローブ移動手段２２を設けるとともに、上記シール手段２３によって内部空間２１を外部空間から区画している。
このため、検査プローブ１１がＬＥＤ素子１に接触した通電位置とＬＥＤ素子１から退避した退避位置との間を移動する際に、負圧の変動が生じず、ＬＥＤ素子１を保持部１５に安定して吸着保持することができる。
さらに、検査プローブ１１の先端部を斜めに保持して、上記検査プローブ１１の先端部が上記ＬＥＤ素子１の底面に対して斜めに接触することで、検査プローブ１１の撓みによる弾性力によって、適切な力で検査プローブ１１をＬＥＤ素子１に接触させることが可能となっている。
これに対し、ＬＥＤ素子１の下面に垂直方向を向いた検査プローブ１１を接触させると、検査プローブ１１の撓みによる弾性力が利用できないため、検査プローブ１１をＬＥＤ素子１の下面に接触させる際の高さの調整が困難となる。

なお、上記実施例では半導体素子としてＬＥＤ素子１の光学品質を検査しているが、検査する対象はＬＥＤ素子１に限られないことはもちろんであり、また光学品質以外の品質についても検査が可能である。また検査に用いる検査プローブ１１の本数は、検査対象となる半導体素子に応じて増減することが可能である。
また上記実施例において、上記内部空間２１への負圧の供給はプローブ移動手段２２の保持部材２４に設けた負圧通路２４ａを介して行っているが、上記固定テーブル１３に内部空間２１に連通する負圧通路を設けて、当該負圧通路から負圧の供給を行ってもよい。
上記シール手段２３としては、上記リングシールに代えて、上記内部空間２１の内径と保持部材２４の外径との隙間を例えば０．１ｍｍ程度として、隙間嵌めによるシールを採用することも可能である。
上記実施例では、固定テーブル１３の上面に形成した第１吸気溝１３ａは上記内部空間２１の開口部２１ａと連続して設けているが、上記第１吸気溝１３ａを上記開口部２１ａを挟んでそれぞれ上流側および下流側に分けて、これらにそれぞれ負圧を供給するようにしてもよい。
その際、上流側の第１吸気溝１３ａの下流端および下流側の第１吸気溝１３ａの上流端をそれぞれ上記開口部２１ａに接近した位置に設け、上記保持部１５に形成した吸着孔１６の連通部１６ｂが上記第１吸気溝１３ａの端部と上記開口部２１ａの一部とをまたぐようにすれば、上記保持部１５においてＬＥＤ素子１の吸着保持を維持することができる。
さらに、図３に示す上記吸着孔１６には上記検査プローブ１１との干渉を避けるための逃がし部１６ｃを設けているが、上記ＬＥＤ素子１の端子の位置によっては、上記逃がし部１６ｃを上記吸着孔１６よりも離隔した位置に形成することも可能である。

１ ＬＥＤ素子 ２ ＬＥＤ素子検査装置
１１ 検査プローブ １２ 積分球
１３ 固定テーブル １５ 保持部
１６ 吸着孔 １６ｃ 逃がし部
２１ 内部空間 ２２ プローブ移動手段
２３ シール手段 ２４ 保持部材

Claims (5)

1. 回転可能に設けられた回転テーブルと、当該回転テーブルの外周に設けられてその上面に半導体素子が載置される保持部と、当該保持部に穿設された吸着孔と、上記吸着孔に負圧を供給して上記保持部の上面に上記半導体素子を吸着保持させる負圧発生手段と、半導体素子の下面に接触する検査プローブと、上記検査プローブを上記吸着孔を通過するように移動させて上記半導体素子に接触させるプローブ移動手段とを備えた半導体素子検査装置において、
   上記保持部がその上面を摺動するように設けられた固定テーブルと、当該固定テーブルの内部に形成されるとともに上記保持部の吸着孔と連通する内部空間とを備え、
   上記負圧発生手段は上記内部空間を介して上記吸着孔に負圧を供給し、
   上記プローブ移動手段は上記内部空間内を移動可能に設けられ、
   さらに上記内部空間とプローブ移動手段との間に、上記内部空間を外部空間から区画するシール手段を設けたことを特徴とする半導体素子検査装置。
2. 上記内部空間は上下に向けて形成されたシリンダー形状を有し、
   上記プローブ移動手段は、上記内部空間を上下に移動するとともに上記検査プローブを保持するピストン状の保持部材と、当該保持部材を昇降させる昇降手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載の半導体素子検査装置。
3. 上記シール手段は上記保持部材の外周を囲繞するように固定されたリングシールによって構成され、上記内部空間の内周面に摺接することを特徴とする請求項２に記載の半導体素子検査装置。
4. 上記検査プローブの先端部を斜めに保持して、上記検査プローブの先端部が上記半導体素子の下面に対して斜めに接触するようにしたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の半導体素子検査装置。
5. 上記吸着孔の外縁に、上記斜めに保持された検査プローブが上記プローブ移動手段によって移動した際に、当該検査プローブの一部が進入する逃がし部を形成したことを特徴とする請求項４に記載の半導体素子検査装置。

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