JP6300136B2 - プローバ - Google Patents
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Description
まず、第1の実施形態について説明する。
次に、第2の実施形態について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
次に、第3の実施形態について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
11 基部
12 側板
13 ヘッドステージ
14、14A、14B、14C 測定部
15 測定部群
15A、15B、15C 測定部群
16、16A、16B ウエハチャック
16Aa 連通孔
17 チャックガイド保持部
18 プローブカード
20 テスタ
22、22A、22B、22C テストヘッド
24 コンタクトリング
26 装着孔
28 プローブ
30 保持部
32 通過孔
40 リング状シール部材
42 吸引口
43 吸引路
44 真空ポンプ
46 吸引制御部
48 シャッタ手段
48a シャッタ本体
50 アライメント装置
52 Z軸移動回転部
54 プローブ位置検出カメラ
56 カメラ移動機構
58 X軸移動台
60 Y軸移動台
62 ベース
64 支柱
66 アライメントカメラ
68 ガイドレール
70 ボールネジ
72 ガイドレール
74 ボールネジ
100 移動装置
101 ガイドレール
102 搬送パレット
106 昇降機構
108 駆動ユニット
110 タイミングベルト
112 駆動モータ
114 駆動プーリ
116 アイドルプーリ
118 駆動モータ
120 ボールネジ
130、130A、130B、130C 位置決めピン
134、134A、134B、134C チャック部材
200 チャックガイド機構
202 軸受部
204 チャックガイド
206 固定部
208 チャックガイドシールゴム
210 クリアランス保持部材
Q、S 内部空間
W ウエハ
Claims (8)
- ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、
前記ウエハチャックを着脱自在に支持して前記ウエハチャックを昇降自在に移動可能であり、前記プローブと前記電極パッドとが接触した状態となるまで前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる機械的昇降手段と、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させたときに前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成される内部空間を減圧する減圧手段と、
前記内部空間の減圧により前記ウエハチャックが前記プローブカードに向かって引き寄せられるように移動する際に前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向の移動を規制しつつ前記ウエハチャックの移動を案内するガイド手段と、
を備えるプローバ。 - 前記ガイド手段は、前記ウエハチャックに設けられた軸受部と、プローブカード支持部材に着脱自在に固定され前記軸受部に軸支されるガイド軸部とを有する、
請求項1に記載のプローバ。 - 前記ガイド手段は、前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向における互いに異なる位置に少なくとも3つ設けられる、
請求項1又は2に記載のプローバ。 - 前記シール部材とは別に設けられ、前記内部空間と外部空間との間を連通状態と非連通状態とに切替可能なシャッタ手段を備え、
前記シャッタ手段は、前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させるときには前記連通状態となり、前記減圧手段により前記内部空間を減圧するときには前記非連通状態となる、
請求項1から3のいずれか1項に記載のプローバ。 - 前記シャッタ手段は前記ウエハチャックに設けられる、
請求項4に記載のプローバ。 - 前記機械的昇降手段は、前記プローブと前記電極パッドとがオーバードライブをかけて接触した状態となるまで前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる、
請求項1から5のいずれか1項に記載のプローバ。 - 前記機械的昇降手段は、前記内部空間の減圧が開始された後に前記ウエハチャックの固定を解除する、
請求項1から6のいずれか1項に記載のプローバ。 - 前記プローブはカンチレバータイプである、
請求項1から7のいずれか1項に記載のプローバ。
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