JP7370069B2 - ワーク検査装置 - Google Patents
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Description
3 インデックステーブル
3a ワーク収納孔
3A 基台
3B インデックスカバー
3D インデックスガイド
30 検査部
30A ワーク検査装置
30a 検査位置
31 内側プローブ
31a プローブ本体
31b ネオジウム磁石付補助磁極板
32 外側プローブ
32a プローブ本体
32b ネオジウム磁石付補助磁極板
35 真空路
36 接続ライン
37 真空ポンプ
40 検査部カバー
41 連通口
W ワーク
W0 ワーク本体
W1 電極
W2 電極
Claims (5)
- 基台と、
前記基台上に回転自在に設けられ、ワークを収納する複数のワーク収納孔が外周部に形成されたインデックステーブルと、
前記インデックステーブルの外周に設けられ、検査位置を有する検査部とを備え、
前記検査部は前記基台に設けられ、前記検査位置にある前記ワーク収納孔内のワークに当接してワークに対して電気的検査を行う一対のプローブと、
前記基台内に設けられ、前記検査位置にある前記ワーク収納孔内のワークを吸引して前記一対のプローブに当接させる真空路とを有し、
前記ワークはワーク本体と電極とを有し、前記ワーク本体または前記電極は、磁性体からなり、各プローブはプローブ本体と、このプローブ本体の外面に設けられた磁石付補助磁極板とを有し、
前記一対のプローブは半径方向内方に位置する内側プローブと、半径方向外方に位置する外側プローブとからなり、
前記一対のプローブは前記インデックステーブルの接線方向からみて、前記検査部の前記検査位置に向かって上方へ傾斜して八字状に配置され、
前記真空路は前記八字状に配置された一対のプローブによって下方から上方へ延びるよう形成される、ワーク検査装置。 - 各プローブはその先端部に対応する前記電極に当接する超硬チップを有し、前記超硬チップは前記ワークに向かって40°~110°のテーパ角をもって先細状に形成され、前記ワークに対して相対的に水平方向に移動する各プローブの前記超硬チップにより前記電極が擦られて、酸化被膜を破り導通し易くなる、請求項1記載のワーク検査装置。
- 前記一対のプローブは上下方向に対して固定され、前記検査位置にある前記ワーク収納孔内のワークが前記一対のプローブに対して当接する、請求項1または2記載のワーク検査装置。
- 各プローブは、前記検査部の前記検査位置を通る垂直線に対して5°~10°の角度で傾斜する、請求項1乃至3のいずれか記載のワーク検査装置。
- 前記検査部は前記検査位置にある前記ワーク収納孔内の前記ワークを覆うとともに、前記ワーク収納孔と連通する連通口を含む検査カバーを有する、請求項1乃至4のいずれか記載のワーク検査装置。
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