JP2017211311A - 圧力センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一端部から他端部に向かって凹部11が形成されていると共に、凹部11の底面と対向する一面10aを有する有底筒状のステム10を用意し、ステム10の一面10aに窪み部12を形成することでダイヤフラム13を形成する。そして、窪み部12に、一面10aと平坦な面を構成するように接合部材20を配置し、当該接合部材20上にセンサチップ30を配置する。これにより、ダイヤフラム13に対してセンサチップ30が傾くことを抑制でき、検出精度が低下することを抑制できる。
【選択図】図2
Description
第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動車の燃料やブレーキ油の圧力を検出するのに適用されると好適であり、特に20〜300MPa程度の高圧を検出する高圧センサとして用いられると好適である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 一面
11 凹部
12 窪み部
13 ダイヤフラム
20 接合部材
30 センサチップ
Claims (5)
- 圧力を検出する圧力センサにおいて、
一端部から他端部に向かって凹部(11)が形成されていると共に、前記凹部の底面と対向する一面(10a)を有する有底筒状のステム(10)と、
前記ステムの一面に形成された窪み部(12)の底面と前記凹部の底面との間の部分にて構成され、圧力に応じて変形可能とされたダイヤフラム(13)と、
前記窪み部に配置された配置された接合部材(20)と、
前記接合部材を介して前記ダイヤフラム上に配置され、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(30)と、を備え、
前記接合部材は、前記一面と共に平坦な面を構成する状態で前記窪み部に配置されている圧力センサ。 - 前記凹部の底面、前記窪み部の底面、および前記ステムの一面は、互いに平行とされている請求項1に記載の圧力センサ。
- 圧力を検出する圧力センサの製造方法において、
一端部から他端部に向かって凹部(11)が形成されている有底筒状のステム(10)を用意することと、
前記ステムの他端部における前記凹部と対向する一面(10a)に窪み部(12)を形成することにより、前記窪み部の底面と前記凹部の底面との間の部分に前記圧力に応じて変形可能となるダイヤフラム(13)を形成することと、
前記窪み部に接合部材(20)を配置することと、
前記接合部材を介して前記ダイヤフラム上に、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(30)を搭載することと、を行い、
前記窪み部に接合部材を配置することでは、前記窪み部を充填すると共に当該窪み部からはみ出すように前記接合部材を配置することと、前記接合部材のうちの前記窪み部から露出する部分と前記一面とが平坦な面となるように、前記窪み部からはみ出した前記接合部材を除去することとを行う圧力センサの製造方法。 - 前記ステムを用意することでは、前記凹部が形成された前記ステムを用意することと、前記凹部の底面を基準面とし、前記ステムにおける前記凹部の底面と反対側の部分を除去することにより、前記凹部の底面と平行となる前記一面を形成することと、を行い、
前記ダイヤフラムを形成することでは、前記凹部の底面を基準面として前記一面に前記窪み部を形成することにより、底面が前記凹部の底面と平行となる前記窪み部を形成する請求項3に記載の圧力センサの製造方法。 - 前記センサチップを搭載することでは、前記センサチップを前記一面上に搭載することと、前記センサチップを前記一面に沿って移動させることにより、前記接合部材を介して前記ダイヤフラム上に前記センサチップを搭載することと、を行う請求項4に記載の圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016105508A JP6728980B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | 圧力センサの製造方法 |
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