JP2018151192A - 圧力センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】取付時用シール面が変形することを抑制する。【解決手段】一端部側の先端面10aから圧力導入孔12が形成されると共に、他端部にダイヤフラム14が構成されたステム10と、ダイヤフラム14上に搭載されたセンサチップ20と、を有する圧力センサにおいて、ステム10の先端面10aを含む部分に取付時用シール面16を形成すると共に、圧力導入孔12の内部に検査時用シール面13を形成する。そして、検査時用シール面13に圧力導入器具90を密着させつつ、圧力導入器具90から圧力導入孔12内に圧力を導入して特性検査を行う。【選択図】図1
Description
本発明は、圧力導入孔が形成されたステムを有する圧力センサおよびその製造方法に関するものである。
従来より、この種の圧力センサとして、例えば、次のような圧力センサが提案されている(例えば、特許文献1参照)。すなわち、この圧力センサでは、一端部側の先端面に開口部が形成されていると共に、当該開口部から他端部側に向かって延びる圧力導入孔が形成された有底筒状のステムを備えている。ステムには、他端部側に、圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラムが形成されている。そして、ダイヤフラム上には、ガラス等の接合部材を介してダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップが搭載されている。
また、ステムには、一端部側に、特性検査の際に圧力導入孔に圧力を導入する圧力印加プラグが密着されて当該圧力印加プラグとの間を封止する検査時用シール面が形成されている。また、ステムには、一端部側に、圧力センサを被取付部材に取り付ける際に被取付部材に密着して当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面が形成されている。具体的には、検査時用シール面は、ステムの開口部に形成され、取付時用シール面は、ステムの先端面を含んで構成されている。
上記圧力センサは、次のように製造される。すなわち、上記形状のステムを用意し、ダイヤフラム上にセンサチップ等を搭載する。その後、圧力印加プラグを検査時用シール面と密着させ、圧力印加プラグから圧力導入孔内に圧力を導入して特性検査を行うことにより、製造される。
しかしながら、上記圧力センサでは、検査時用シール面がステムの開口部に形成され、取付時用シール面がステムの先端面を含んで構成されている。つまり、検査時用シール面と取付時用シール面とが近接して形成されている。このため、特性検査の際、圧力印加プラグを検査時用シール面に密着させることで当該検査時用シール面に発生する応力等により、取付時用シール面が変形してしまう可能性がある。したがって、このような圧力センサでは、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなる可能性がある。
本発明は上記点に鑑み、取付時用シール面が変形することを抑制できる圧力センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための請求項1では、圧力導入孔(12)が形成されたステム(10)を有する圧力センサであって、一端部側の先端面(10a)に開口部(11)が形成されると共に、当該開口部から一端部と反対側の他端部に向かって延びる圧力導入孔が形成された有底筒状であり、他端部に圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(14)が構成されたステムと、ダイヤフラムのうちの圧力導入孔側と反対側に搭載され、ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(20)と、を有し、ステムは、先端面を含む部分に被取付部材と密着されて当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面(16)が形成され、圧力導入孔の内部に圧力導入器具(90)と密着されて圧力導入器具との間を封止する検査時用シール面(13)が形成されている。
これによれば、検査時用シール面は、圧力導入孔の内部に形成されている。このため、検査時用シール面が開口部に形成されている場合と比較して、検査時用シール面と取付時用シール面との間隔が長くなり、特性検査の際に検査時用シール面に発生する応力が取付時用シール面に伝搬されるまでに減衰され易くなる。したがって、当該応力によって取付時用シール面が変形することを抑制でき、圧力センサが被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
また、請求項3は、開口部(11)側の第1導入孔(12a)と、ダイヤフラム(14)側であって、対向する壁面の間隔が第1導入孔より狭くされた第2導入孔(12b)とが連通して圧力導入孔(12)が構成され、第1導入孔と第2導入孔とが連結される部分にて検査時用シール面(13)が形成されたステム(10)を用意することと、ダイヤフラムにセンサチップ(20)を搭載することと、圧力導入器具を検査時用シール面(13)に密着させ、圧力導入器具から圧力導入孔に圧力を導入して特性検査を行うことと、を行うようにしている。
これによれば、検査時用シール面が開口部に形成されている場合と比較して、検査時用シール面と取付時用シール面との間隔が長くなり、特性検査の際に検査時用シール面に発生する応力が取付時用シール面に伝搬されるまでに減衰され易くなる。このため、当該応力によって取付時用シール面が変形することを抑制できる。したがって、被取付部材に取り付け難くなることを抑制した圧力センサを製造できる。
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
(第1実施形態)
第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両の燃料噴射系における燃料パイプ等に取り付けられ、燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両の燃料噴射系における燃料パイプ等に取り付けられ、燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
図1に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ステム10にコネクタケース40が一体化されて構成されている。
まず、本実施形態のステム10の構成について説明する。ステム10は、一端部側の先端面10aに開口部11が形成されていると共に、当該開口部11から他端部側に向かって延びる圧力導入孔12が形成された有底円筒状とされている。
なお、ステム10の一端部側とは、ステム10における図1中の紙面下側のことであり、ステム10の他端部側とは、ステム10における図1中の紙面上側のことである。また、本実施形態では、ステム10は、SUS304、SUS430、SUS630のようなステンレス鋼等で構成されている。そして、圧力導入孔12は、中心軸とステム10の中心軸とが一致するように形成され、壁面が円環状とされている。
圧力導入孔12の内部には、特性検査の際、後述する圧力印加プラグ90と密着して当該圧力印加プラグ90との間を封止する検査時用シール面13が形成されている。具体的には、圧力導入孔12は、開口部11側の第1導入孔12aと、ダイヤフラム14側の第2導入孔12bとが連通して構成されている。なお、本実施形態では、第1導入孔12aおよび第2導入孔12bは、それぞれ中心軸がステム10の中心軸と一致するように形成されている。
第1導入孔12aは、対向する壁面の間隔が第2導入孔12bにおける対向する壁面の間隔よりも広くされている。つまり、第1導入孔12aおよび第2導入孔12bは壁面が円環状とされているため、第1導入孔12aは、第2導入孔12bよりも径が大きくされている。そして、検査時用シール面13は、第1導入孔12aの壁面と第2導入孔12bの壁面とを連結する部分にて構成されている。言い換えると、検査時用シール面13は、第1導入孔12aの壁面と第2導入孔12bの壁面とを連結する段差部分にて構成されている。なお、第1導入孔12aおよび第2導入孔12bは、それぞれ中心軸がステム10の中心軸と一致するように形成されているため、検査時用シール面13は、壁面の周方向に沿って一周するように形成される。
検査時用シール面13は、本実施形態では、圧力導入孔12の中心軸(以下では、単に中心軸ともいう)に対して傾斜したテーパ状とされている。より詳しくは、第1導入孔12aから第2導入孔12b側に向かって先細り形状となるテーパ状とされている。特に限定されるものではないが、例えば、第1導入孔12aの径が第2導入孔12bの径より1mm程度長くされ、検査時用シール面13における中心軸に沿った方向の長さが0.5mm程度とされ、検査時用シール面13のテーパ角度が45°程度とされる。なお、テーパ角度とは、言い換えると、中心軸を法線方向とする仮想面と、検査時用シール面13との成す角度のことである。
また、ステム10は、他端部側に、圧力に応じて変形可能な薄肉のダイヤフラム14が構成されている。つまり、ステム10には、他端部側にダイヤフラム14が構成されるように圧力導入孔12が形成されている。
さらに、ステム10は、開口部11側の外周側面10bに、燃料パイプ等の被取付部材にネジ結合可能なネジ部15が形成されている。また、ステム10は、ネジ部15よりも一端部側の部分に、圧力センサが被取付部材に取り付けられた際、被取付部材と密着して当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面16が形成されている。本実施形態では、取付時用シール面16は、先端面10aのうちの開口部11となる部分を除く第1シール面16aと、先端面10aと外周側面10bとを連結し、中心軸に対してテーパ状とされた第2シール面16bとを有している。そして、圧力センサが被取付部材に取り付けられた際、第1シール面16aおよび第2シール面16bがそれぞれ被取付部材と密着して当該被取付部材との間を封止する。
以上が本実施形態におけるステム10の構成である。そして、ステム10には、ダイヤフラム14のうちの圧力導入孔12側と反対側に、ダイヤフラム14の変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ20が図示しない接合部材を介して配置されている。
センサチップ20は、矩形板状のシリコン基板を用いて構成され、シリコン基板の表面にブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成されたものが用いられる。すなわち、本実施形態のセンサチップ20は、圧力導入孔12に導入された圧力によってダイヤフラム14が変形すると、当該ダイヤフラム14の変形に伴ってゲージ抵抗の抵抗値が変化し、ゲージ抵抗の抵抗値の変化に基づいた電圧をセンサ信号として出力する。
また、ステム10には、他端部側に、ICチップ31を搭載すると共に各種の回路素子が形成された回路基板30も配置されている。この回路基板30は、センサチップ20とボンディングワイヤ32を介して接続されており、センサチップ20から出力されたセンサ信号が入力されると当該センサ信号に対して所定の処理を行う。
コネクタケース40は、PPS(すなわち、ポリフェニレンサルファイド)やPBT(すなわち、ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状とされている。具体的には、このコネクタケース40は、一端部側(すなわち、図1中の紙面下側の端部)に、フランジ部41が形成されていると共に、ステム10に組み付けられた際に当該ステム10との間に空間を構成する凹部42が形成されている。また、他端部側(すなわち、図1中の紙面上側の端部)に開口部43が形成されている。
そして、コネクタケース40は、ステム10における他端部側の開口端17がフランジ部41にOリング50を介してかしめ固定されることにより、ステム10と一体化されている。これにより、センサチップ20や回路基板30等が外部雰囲気から保護されるようになっている。
また、コネクタケース40には、センサチップ20と外部回路とを電気的に接続するための複数のターミナルピン60が備えられている。なお、ターミナルピン60は、図1中では1本のみ図示されている。各ターミナルピン60は、インサートモールド等によってコネクタケース40と一体に成形されることによってコネクタケース40内に保持されている。具体的には、ターミナルピン60は、略L字状の棒状部材とされており、一端部側が凹部42内にて露出すると共に、他端部側が開口部43から突出するようにコネクタケース40内に保持されている。
また、回路基板30とターミナルピン60との間には、これら回路基板30およびターミナルピン60と電気的に接続されるバネターミナル70が配置されている。このバネターミナル70は、矩形板状の金属板の長手方向に位置する両端部が折り曲げられることによってバネ状とされたものである。
そして、バネターミナル70は、金属板の中間部が図示しない導電性接着剤を介して回路基板30に接続されることにより、当該回路基板30と電気的に接続されている。また、バネターミナル70は、金属板の両端部がターミナルピン60と当接することにより、ターミナルピン60と電気的に接続されている。これにより、センサチップ20が回路基板30およびバネターミナル70を介してターミナルピン60と電気的に接続される。
以上が本実施形態における圧力センサの構成である。次に、上記圧力センサの製造方法について図2および図3を参照しつつ説明する。なお、本実施形態では、以下のステム10を形成する工程を冷間鍛造にて行う。
まず、図2(a)に示されるように、ネジ部15および第2シール面16b等が形成されたステム10を用意する。そして、図2(b)に示されるように、先加工器具としての第1ピン81を用意する。本実施形態では、第1ピン81として、第1導入孔12aと同じ径とされた棒状部材であり、先端が略尖った形状とされていると共に先端部にテーパ面81aが形成されたものを用意する。なお、テーパ面81aは、検査時用シール面13と同じテーパ角度とされている。
そして、ステム10の先端面10aから第1ピン81の先端を押し当てることにより、第1導入孔12aおよび検査時用シール面13を形成する。つまり、第1導入孔12aおよび検査時用シール面13を同時に形成する。この際、第1ピン81は、先端が略尖った形状とされているため、第2導入孔12bにおける第1導入孔12a側の中央部も形成される。つまり、第1導入孔12aの底部は、第1ピン81の先端の形状に対応した略尖った形状となる。
続いて、図3(a)に示されるように、後加工器具としての第2ピン82を用意する。本実施形態では、第2ピン82として、第2導入孔12bと同じ径とされた棒状部材を用意する。なお、第2ピン82の先端部は、第2導入孔12bの底部にてダイヤフラム14が構成されるように平坦な面とされている。そして、第1導入孔12aの底部に第2ピン82を押し当てることにより、第2導入孔12bを形成する。これにより、第1導入孔12aと第2導入孔12bとが連通されると共に、内部に検査時用シール面13が形成された圧力導入孔12が形成される。
以上のようにして、本実施形態のステム10が形成される。次に、特に図示しないが、ダイヤフラム14上にセンサチップ20を搭載する共に、ステム10の他端部側に回路基板30を搭載し、センサチップ20と回路基板30とをボンディングワイヤ32を介して電気的に接続する。そして、コネクタケース40のフランジ部41をステム10における他端部側の開口端17側から挿入し、Oリング50を介してステム10の開口端17をフランジ部41にかしめる。
その後、図3(b)に示されるように、ステム10を図示しない保持用治具にて保持し、圧力導入孔12内に圧力印加プラグ90を挿入する。具体的には、圧力印加プラグ90と検査時用シール面13との間が封止されるように、圧力印加プラグ90を検査時用シール面13と密着させる。そして、圧力印加プラグ90から圧力導入孔12内に圧力を導入する。これにより、圧力に応じてダイヤフラム14が変形するため、センサチップ20から出力されるセンサ信号に基づいて特性検査を行う。
以上説明したように、本実施形態では、検査時用シール面13は、圧力導入孔12の内部に形成されている。このため、検査時用シール面13が開口部11に形成されている場合と比較して、検査時用シール面13と取付時用シール面16との間隔が長くなり、特性検査の際に検査時用シール面13に発生する応力が取付時用シール面16に伝搬されるまでに減衰され易くなる。したがって、当該応力によって取付時用シール面16が変形することを抑制でき、圧力センサが被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
ところで、検査時用シール面13が開口部11に形成されている従来の圧力センサでは、圧力導入孔12の径は一定とされている。つまり、従来の圧力センサでは、本実施形態の第2導入孔12bに相当する圧力導入孔が開口部近傍からダイヤフラム14側まで延設されている。言い換えると、従来の圧力センサでは、本実施形態の第2導入孔12bに相当する圧力導入孔の中心軸に沿った方向の長さは、本実施形態の第2導入孔12bにおける中心軸に沿った方向の長さより長くされている。このため、従来の圧力センサでは、開口部11に検査時用シール面13を形成した後、本実施形態の第2ピン82に相当するピンのみで圧力導入孔の全体を形成することになる。この場合、第2ピン82は、径が短い棒状部材であり、破壊強度が低いため、押し当てる長さが長くなると製造途中で変形したり破壊等されてしまうことがある。
これに対し、本実施形態では、圧力導入孔12は、第1導入孔12aと第2導入孔12bとが連通して構成されており、第1導入孔12aは第2導入孔12bよりも径が長くされている。つまり、第1導入孔12aを形成する際には、第2ピン82よりも径が長い棒状部材であり、破壊強度が高い第1ピン81を用いることができる。そして、第2導入孔12bを形成する際には、従来の圧力センサと比較して、第2ピン82で押し当てる長さを短くできる。このため、第2ピン82が製造途中で変形したり破壊等されることも抑制できる。
さらに、従来の圧力センサにおいて、開口部11の径を長くすることで圧力導入孔12の径も長くし、圧力導入孔12を形成する際にピンが破壊等されることを抑制することも考えられる。しかしながら、この構造では、開口部11の形状が変化することによって第1シール面16aの形状も変わってしまう。このため、第1シール面16aと密着する被取付部材側の形状も変更しなければならないという新たな問題が発生してしまう。
一方、本実施形態の圧力センサでは、開口部11の径は従来の圧力センサと同様とできるため、第1シール面16aの形状が変わることはない。このため、従来の被取付部材に対してそのまま取り付けることができる。つまり、本実施形態では、圧力センサを被取付部材に取り付ける際の取付性が低下することもない。
また、第1ピン81として先端が尖った形状のものを用いているため、第1導入孔12aの底部も第1ピン81の先端の形状に対応した尖った形状となる。このため、第1導入孔12aの底部が検査時用シール面13と平坦な底面で構成されている場合と比較して、第2導入孔12bを形成する際に検査時用シール面13に印加される引張応力が小さくなる。したがって、検査時用シール面13の形状が変化してしまうことを抑制できる。
(第2実施形態)
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第2ピン82の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第2ピン82の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図4に示されるように、第2ピン82は、第2導入孔12bの径と等しくされた主部82aと、主部82aよりも径が長くされ、第1導入孔12aの径と等しくされたガイド部82bとを有する構成とされている。具体的には、ガイド部82bは、第2ピン82にて第2導入孔12bを形成する際、第1導入孔12aの壁面と当接するように主部82a備えられている。なお、本実施形態では、ガイド部82bは、主部82aの周方向に沿って一周するように備えられている。そして、第2導入孔12bを形成する際には、ガイド部82bを第1導入孔12aの壁面に当接させつつ第2導入孔12bを形成する。
これによれば、第2導入孔12bを形成する際、ガイド部82bを第1導入孔12aの壁面に当接させるため、第2ピン82がぐらつくことを抑制できる。このため、さらに第2ピン82が破壊されることを抑制できると共に、第2導入孔12bの形状がばらつくことを抑制でき、ひいてはダイヤフラム14の形状がばらつくことを抑制できる。
なお、ガイド部82bは、主部82aの周方向に一周するように備えられておらず、周方向に離れて複数備えられていてもよい。但し、ガイド部82bを主部82aの周方向に沿って複数備える場合には、第2ピン82がぐらつき難くなるように、隣接するガイド部82bの周方向に沿った間隔を等しくすることが好ましい。
(第3実施形態)
第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対して第1ピン81および第2ピン82の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対して第1ピン81および第2ピン82の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図5(a)に示されるように、第1ピン81として先端が平坦な面とされたものを用いる。そして、ステム10の先端面10aから第1ピン81の先端を押し当てることにより、第1導入孔12aを形成する。なお、第1ピン81は、先端が平坦な面とされているため、第1導入孔12aの底部は、平坦な面となる。
次に、図5(b)に示されるように、第2ピン82として、ガイド部82bが先端側から反対側に向かって径が広くなるテーパ面を有する形状とされたものを用意する。なお、ガイド部82bのテーパ面は、検査時用シール面13と同じテーパ角度とされている。また、ガイド部82bは、第2導入孔12bを形成する際に検査時用シール面13と一致する部分に備えられている。そして、第1導入孔12aの底部に第2ピン82を押し当てることにより、第2導入孔12bを形成すると共に、ガイド部82bにて検査時用シール面13を形成する。
これによれば、検査時用シール面13は、第2導入孔12bと同時に形成される。このため、検査時用シール面13が形成されている状態で第2導入孔12bを形成する場合と比較して、第2導入孔12bを形成する際に検査時用シール面13の形状がばらつくことを抑制できる。
(第4実施形態)
第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第1導入孔12aと第2導入孔12bとを形成する順番を変更したものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第1導入孔12aと第2導入孔12bとを形成する順番を変更したものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図2(a)の工程を行ってステム10を用意した後、図6(a)に示されるように、ステム10の先端面10aに第2ピン82を押し当てることにより、第2導入孔12bを形成する。なお、この際、開口部11は、第2導入孔12bの径と等しくされている。つまり、第2導入孔12bが先端面10aまで延設された状態となっている。
その後、図6(b)に示されるように、第1ピン81を押し当て、第2導入孔12bと連通する第1導入孔12aを形成すると共に、検査時用シール面13を形成する。
このように、第2導入孔12bを形成した後に第1導入孔12aを形成するようにしても、検査時用シール面13が圧力導入孔12の内部に形成される。このため、特性検査の際、取付時用シール面16が変形してしまうことが抑制される。なお、本実施形態では、第2ピン82が先加工器具に相当し、第1ピン81が後加工器具に相当する。
(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
上記各実施形態では、冷間鍛造によって圧力導入孔12を形成する例について説明したが、例えば、切削によって圧力導入孔12を形成するようにしてもよい。また、第1導入孔12aおよび第2導入孔12bのうちの一方を冷間鍛造によって形成し、第1導入孔12aおよび第2導入孔12bのうちの他方を切削によって形成してもよい。
また、上記第1実施形態において、加工器具として圧力導入孔12の形状と一致するものを用意し、当該加工器具を押し当てることにより、第1導入孔12aおよび第2導入孔12bで形成される圧力導入孔12を同時に形成するようにしてもよい。
さらに、上記各実施形態において、検査時用シール面13は、テーパ状とされておらず、中心軸に対して略直交する面とされていてもよい。また、検査時用シール面13と第1導入孔12aの壁面との境界部分がR形状とされていてもよいし、検査時用シール面13と第2導入孔12bの壁面との境界部分がR形状とされていてもよい。これによれば、境界部分がR形状とされていない場合と比較して、検査時用シール面13に発生する応力自体の低減を図ることができる。
10 ステム
11 開口部
12 圧力導入孔
13 検査時用シール面
16 取付時用シール面
20 センサチップ
90 圧力導入器具
11 開口部
12 圧力導入孔
13 検査時用シール面
16 取付時用シール面
20 センサチップ
90 圧力導入器具
Claims (7)
- 圧力導入孔(12)が形成されたステム(10)を有する圧力センサであって、
一端部側の先端面(10a)に開口部(11)が形成されると共に、当該開口部から前記一端部と反対側の他端部に向かって延びる前記圧力導入孔が形成された有底筒状であり、前記他端部に前記圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(14)が構成された前記ステムと、
前記ダイヤフラムのうちの前記圧力導入孔側と反対側に搭載され、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(20)と、を有し、
前記ステムは、前記先端面を含む部分に被取付部材と密着されて当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面(16)が形成され、前記圧力導入孔の内部に圧力導入器具(90)と密着されて前記圧力導入器具との間を封止する検査時用シール面(13)が形成されている圧力センサ。 - 前記圧力導入孔は、前記開口部側の第1導入孔(12a)と前記ダイヤフラム側の第2導入孔(12b)とが連通して構成され、
前記第1導入孔は、対向する壁面の間隔が前記第2導入孔における対向する壁面の間隔より広くされており、
前記検査時用シール面は、前記第1導入孔と前記第2導入孔とが連結される部分にて構成されている請求項1に記載の圧力センサ。 - 一端部側の先端面(10a)に開口部(11)が形成されると共に、当該開口部から前記一端部と反対側の他端部に向かって延びる圧力導入孔(12)が形成された有底筒状であり、前記他端部に前記圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(14)が構成されたステム(10)と、
前記ダイヤフラムのうちの前記圧力導入孔側と反対側に搭載され、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(20)と、を有し、
前記ステムは、前記先端面を含む部分に被取付部材と密着されて当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面(16)が形成され、前記圧力導入孔の内部に圧力導入器具(90)と密着されて前記圧力導入器具との間を封止する検査時用シール面(13)が形成された圧力センサの製造方法であって、
前記開口部側の第1導入孔(12a)と、前記ダイヤフラム側であって、対向する壁面の間隔が前記第1導入孔より狭くされた第2導入孔(12b)とが連通して前記圧力導入孔が構成され、前記第1導入孔と前記第2導入孔とが連結される部分にて前記検査時用シール面が形成された前記ステムを用意することと、
前記ダイヤフラムに前記センサチップを搭載することと、
前記圧力導入器具を前記検査時用シール面に密着させ、前記圧力導入器具から前記圧力導入孔に圧力を導入して特性検査を行うことと、を行う圧力センサの製造方法。 - 前記ステムを用意することでは、先加工器具(81)を用い、前記先端面から前記第1導入孔を形成することと、前記第1導入孔を形成することの後、後加工器具(82)を用いて前記第1導入孔の底部から前記第2導入孔を形成することと、前記第1導入孔と前記第2導入孔との間に前記検査時用シール面を形成することと、を行って前記ステムを用意する請求項3に記載の圧力センサの製造方法。
- 前記第2導入孔を形成することでは、前記後加工器具として、前記第2導入孔を形成する際に前記第1導入孔の壁面と当接するガイド部(82b)を有する棒状部材を用いる請求項4に記載の圧力センサの製造方法。
- 前記ステムを用意することでは、先加工器具(82)を用い、前記先端面から前記第2導入孔を形成することと、前記第2導入孔を形成することの後、後加工器具(81)を用いて前記第1導入孔を形成することと、前記第1導入孔と前記第2導入孔との間に前記検査時用シール面を形成することと、を行って前記ステムを用意する請求項3に記載の圧力センサの製造方法。
- 前記検査時用シール面を形成することでは、前記後加工器具にて形成される前記導入孔と前記検査時用シール面とを同時に形成する請求項4ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサの製造方法。
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WO2021177014A1 (ja) | 2020-03-05 | 2021-09-10 | Tdk株式会社 | 圧力センサ |
JP7112675B2 (ja) | 2018-11-22 | 2022-08-04 | 東芝ライテック株式会社 | 車両用照明装置、車両用灯具、および車両用照明装置の製造方法 |
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2017
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