JP2010032239A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置して圧力センサを被取り付け部材７０に取り付けた際に、ハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ハウジング１０に、ネジ部１５が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔１２の底面との間の部分にハウジング１０の外周壁面から溝１６を形成する。このような圧力センサによれば、溝１６が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面にシール部材７１からの反発力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧力導入孔が備えられていると共に金属ステム固定用ネジ孔が備えられているハウジングに対してダイヤフラムを有する金属ステムをネジ結合して構成される圧力センサに関する。

従来より、中空部を有する中空筒形状のハウジングに、中空部を有する中空筒形状の金属ステムが組みつけられて構成されている圧力センサが開示されている（例えば、特許文献１参照）。

具体的には、このような圧力センサでは、ハウジングに備えられる中空部は圧力導入孔と金属ステム固定用ネジ孔とを有して構成されており、ハウジングの一端部にはネジ部が形成されている。また、金属ステムは、一端部にダイヤフラムが備えられていると共に他端部に測定媒体をダイヤフラムへ導入するための開口部が備えられており、外周壁面にネジ部が形成されている。そして、金属ステムは、金属ステム固定用ネジ孔とネジ結合されることにより、開口部が圧力導入孔と連通するようにしてハウジングに固定されている。このとき、金属ステムのネジ部と金属ステム固定用ネジ孔とのネジ結合の軸力により、金属ステムに対して金属ステムの挿入方向に圧力が印加される。そして、この圧力によって金属ステムのうち開口部側の先端面と金属ステム固定用ネジ孔の底面との間でメタルタッチシールが行われ、ハウジングと金属ステムとの間が気密封止されている。

このような圧力センサを被取り付け部材に取り付ける際には、被取り付け部材に形成されているネジ孔とハウジングのネジ部とのネジ結合により圧力センサが被取り付け部材に固定される。このとき、ハウジングと金属ステムとのメタルタッチシールと同様に、ハウジングのうちネジ部の先端面と被取り付け部材におけるネジ孔の底面との間でメタルタッチシールが行われることでハウジングと被取り付け部材との間が気密封止される。
特開２００１−２７２２９７号公報

しかしながら、ハウジングにおけるネジ部の先端面と被取り付け部材におけるネジ孔の底面との間でメタルタッチシールを行う場合には、被取り付け部材におけるネジ孔の底面の面粗度をハウジングにおけるネジ部の先端面とメタルタッチシールを行うことができるように向上させなければならないため製造工程が増大すると共に複雑になるという問題がある。

そこで、本発明者らは、次のように圧力センサを被取り付け部材に取り付けることを考えた。図４は、本発明らが考えた圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図である。図４に示されるように、本発明者らは、ハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間にガスケットやＯリング等のシール部材Ｊ２を配置し、シール部材Ｊ２によりハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止することを考えた。具体的には、ハウジングＪ１のうちネジ部Ｊ３の根元部分を囲うようにシール部材Ｊ２を配置する。そして、ハウジングＪ１のネジ部Ｊ３と被取り付け部材Ｊ１０のネジ孔Ｊ１１とのネジ結合の軸力にてシール部材Ｊ２を押し潰すことにより、ハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止している。

このように、圧力センサを被取り付け部材Ｊ１０に取り付ける際に、シール部材Ｊ２を配置してシール部材Ｊ２によりハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止することにより、被取り付け部材Ｊ１０におけるネジ孔Ｊ１１の底面の面粗度を向上させる製造工程を行う必要がなくなる。

しかしながら、このようにシール部材Ｊ２を配置してハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止する場合には次の問題がある。まず、ハウジングＪ１を被取り付け部材Ｊ１０に取り付けるときには、ハウジングＪ１のネジ部Ｊ３と被取り付け部材Ｊ１０のネジ孔Ｊ１１とのネジ結合の軸力により、図４中矢印Ａで示すように、ハウジングＪ１のネジ部Ｊ３に対してハウジングＪ１の挿入方向に圧力が印加され、ネジ部Ｊ３の先端面が被取り付け部材Ｊ１０におけるネジ孔Ｊ１１の底面に向かって挿入される。このとき、ハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間にシール部材Ｊ２を配置した場合には、ハウジングＪ１のうちシール部材Ｊ２と接触する部分に、図４中矢印Ｂで示すように、シール部材Ｊ２からの反発力によりハウジングＪ１の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。そして、これらの圧力はハウジングＪ１内を伝達されて金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面に印加される。

このため、ハウジングＪ１に形成されている金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面の中心部分には、図４中矢印Ａ´で示すように、ハウジングＪ１の挿入方向に圧力が印加されることになる。また、ハウジングＪ１に形成されている金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面のうち中心部分の外側の部分には、図４中矢印Ｂ´で示すように、ハウジングＪ１の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。つまり、シール部材Ｊ２を配置したことにより金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面における中心部分と中心部分の外側の部分とで反対方向の圧力が印加されることになり、金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４と金属ステムＪ５との間の気密封止性が損なわれるという問題がある。

本発明は上記点に鑑みて、ハウジングと被取り付け部材との間にシール部材を配置して圧力センサを被取り付け部材に取り付けた際に、ハウジングと金属ステムとの間の気密封止性が低下することを抑制することができる圧力センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、外部から測定媒体を導入する圧力導入孔（１１）と金属ステム固定用ネジ孔（１２）とを有して構成される中空部（１３）を備えた中空筒形状とされ、金属ステム固定用ネジ孔（１２）が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部（１５）が形成されているハウジング（１０）と、中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に測定媒体をダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、開口部（２２）が圧力導入孔（１１）と連通した状態でハウジング（１０）における金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、ダイヤフラム（２１）に備えられ、測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し、ハウジング（１０）には、ネジ部（１５）が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面との間の部分にハウジング（１０）の外周壁面から溝（１６）が形成されていることを特徴としている。

このような圧力センサは、ハウジング（１０）と被取り付け部材（７０）との間にシール部材（７１）を配置し、シール部材（７１）によりハウジング（１０）と被取り付け部材（７０）との間を気密封止して被取り付け部材（７０）に取り付けられる。このとき、このような圧力センサによれば、ハウジング（１０）にネジ部（１５）が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面との間の部分に外周壁面から溝（１６）が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にシール部材（７１）からの反発力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

この場合、例えば、請求項２の記載の発明のように、溝（１６）をハウジング（１０）の外周壁面を一周するように形成することができる。このような圧力センサによれば、さらに、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にシール部材（７１）からの反発力が伝達されることを抑制することができ、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

また、請求項３に記載の発明のように、ハウジング（１０）に、ネジ部（１５）が形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔（１２）側の部分に圧力導入孔（１１）の壁面から溝（１６）を形成してもよい。

このような圧力センサによれば、ネジ部（１５）は形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔（１２）側の部分に圧力導入孔（１１）の壁面から溝（１６）が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にハウジング（１０）のネジ部（１５）に印加される圧力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

この場合、例えば、請求項４に記載の発明のように、溝（１６）をハウジング（１０）における圧力導入孔（１１）の壁面を一周するように形成してもよい。このような圧力センサによれば、さらに、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にネジ部（１５）に印加される圧力が伝達されることを抑制することができ、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

また、請求項５または請求項６に記載の発明のように、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面を圧力導入孔（１１）から金属ステム固定用ネジ孔（１２）の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とし、金属ステム（２０）の外周壁面のうち開口部（２２）側の部分に金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面と対応する一面を形成する。そして、金属ステム固定用ネジ孔（１２）と金属ステム（２０）との間を、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面と金属ステム（２０）の一面とを接触させることにより気密封止してもよい。

このような圧力センサによれば、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面に接触する金属ステム（２０）の面積を従来の圧力センサより大きくすることができ、ハウジング（１０）と被取り付け部材（７０）との間にシール部材（７１）を配置しても従来の圧力センサよりハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は本実施形態にかかる圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動者の燃料噴射系における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。

図１に示されるように、ハウジング１０は、例えば、ＳＵＳ等の金属材料よりなるものであり、切削や冷間鍛造等により加工され、測定媒体を導入する圧力導入孔１１と金属ステム固定用ネジ孔１２とを有して構成される中空部１３を備えた中空筒形状とされている。そして、金属ステム固定用ネジ孔１２の側壁には雄ネジ部１４が形成されており、金属ステム固定用ネジ孔１２には金属ステム２０が収容されている。

また、ハウジング１０の一端部には、例えば、燃料パイプ等の被取り付け部材７０にネジ結合可能な雄ネジ部１５が形成されている。さらに、ハウジング１０には、ネジ部１５が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔１２の底面との間の部分にハウジング１０の外周壁面を一周する溝１６が形成されている。本実施形態では、この溝１６は、ハウジング１０のうち、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と、後述する圧力センサを取り付けるときに用いられるシール部材７１と接触する部分との間を結ぶ線を遮るように形成されている。

金属ステム２０は、プレス、切削および冷間鍛造等により加工されて中空部を有する中空筒形状とされており、一端部にはハウジング１０に導入された測定媒体の圧力によって変形可能な薄肉形状のダイヤフラム２１が備えられ、他端部には圧力導入孔１１と連通する開口部２２が備えられている。

また、この金属ステム２０のうちダイヤフラム２１上には、シリコンなどからなる圧力検出用のセンサチップ３０が図示しない低融点ガラスにより接合固定されている。このセンサチップ３０には、ブリッジ回路が形成されており、金属ステム２０の開口部から金属ステム２０の内部に導入された測定媒体の圧力によってダイヤフラム２１が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する検出部として機能するものである。

さらに、金属ステム２０の外周壁面には、金属ステム２０を挿入方向へ押圧するようにハウジング１０に備えられている金属ステム固定用ネジ孔１２とネジ結合を行うための雄ネジ部２３が切削加工等により形成されている。この雄ネジ部２３はハウジング１０における金属ステム固定用ネジ孔１２に形成された雌ネジ部１４に対応した形状とされており、金属ステム２０のうちこの雄ネジ部２３よりもダイヤフラム２１側の部分にはナット部２４が形成されている。

そして、金属ステム２０の雄ネジ部２３と金属ステム固定用ネジ孔１２の雌ネジ部１４とのネジ結合により、金属ステム２０の開口部２２がハウジング１０の圧力導入孔１１と連通するように金属ステム２０がハウジング１０に固定されている。また、これら金属ステム固定用ネジ孔１２の雌ネジ部１４と金属ステム２０の雄ネジ部２３とのネジ結合の軸力により、金属ステム２０に対して金属ステム２０の挿入方向へ圧力が印加されることになる。したがて、この圧力によって金属ステム２０の開口部２２側の先端面とハウジング１０のうち金属ステム固定用ネジ孔１２の底面との間でメタルタッチシールが行われ、ハウジング１０と金属ステム２０との間が気密封止されている。

なお、金属ステム２０は、高強度であること、およびＳｉ等を有して構成されるセンサチップ３０をガラスにより接合するため低熱線膨張係数であること、が求められ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＣｏまたはＦｅ、Ｎｉを主体とし、析出強化材料としてＴｉ、Ｎｂ、Ａｌまたは、Ｔｉ、Ｎｂが加えられた材料等で構成されている。

また、ハウジング１０には、金属ステム２０の外周を囲むようにスペーサ４０が備えられている。そして、スペーサ４０にはセラミック基板４１が備えられており、セラミック基板４１は金属ステム２０に備えられたセンサチップ３０とボンディングワイヤ４２により電気的に接続されている。

また、セラミック基板４１のうちセンサチップ３０とワイヤボンディングされる面にはピン４３が銀ろう等により電気的に接続されており、ピン４３を介してセラミック基板４１とコネクタターミナル５０に備えられているターミナル５１とが電気的に接続されている。そして、セラミック基板４１のうちセンサチップ３０とワイヤボンディングされる面と反対側の面には、センサチップの出力を増幅すると共に、特性調整を行うＩＣチップ４４が備えられている。そして、ＩＣチップ４４はセラミック基板４１に形成されているスルーホール等を介してピン４３と電気的に接続されている。

コネクタターミナル５０は、ターミナル５１が樹脂５２にインサート成形されることにより構成されたアッシーである。また、コネクタターミナル５０は、ハウジング１０のうち雄ネジ部１５が形成される側と反対側の端部１７をコネクタケース６０にかしめることにより、 コネクタケース６０とスペーサ４０により固定保持されている。そして、ターミナル５１はコネクタケース６０に形成されている開口部６１内に突出し、自動車のＥＣＵ等へ配線部材を介して電気的に接続可能となっている。

コネクタケース６０はコネクタターミナル５０の外形を成すものである。また、コネクタケース６０とハウジング１０とのかしめ部はシール材１８によりシールされている。なお、このコネクタケース６０は、例えば、ＰＰＳ等の樹脂を型成形することにより製造される。

このような圧力センサは、基本的には従来と同様（例えば、特開２００１−２７２２９７号公報参照）にして製造され、ハウジング１０に溝１６を形成する工程を追加すればよい。

かかる圧力センサは、図１に示されるように、ハウジング１０の雄ネジ部１５と被取り付け部材７０のネジ孔７２に形成された雌ネジ部７３とのネジ結合により被取り付け部材７０に取り付けられる。また、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にはガスケットやＯリング等のシール部材７１が配置されており、シール部材７１によりハウジング１０と被取り付け部材７０との間が気密封止されている。具体的には、ハウジング１０のうち雄ネジ部１５の根元部分を囲うようにシール部材７１が配置されている。

このような圧力センサによれば、ハウジング１０の外周壁面を一周する溝１６が形成されているので金属ステム固定用ネジ孔１２の底面にシール部材７１からの反発力が伝達されることを抑制することができる。具体的には、ハウジング１０を被取り付け部材７０に取り付けるときには、ハウジング１０の雄ネジ部１５と被取り付け部材７０のネジ孔７２に形成された雌ネジ部７３とのネジ結合の軸力により、図１中矢印Ａで示すように、ハウジング１０の雄ネジ部１５に対してハウジング１０の挿入方向に圧力が印加され、雄ネジ部１５の先端面が被取り付け部材７０におけるネジ孔７２の底面に向かって挿入される。このとき、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置した場合には、ハウジング１０のうちシール部材７１と接触する部分に、図１中矢印Ｂで示すように、シール部材７１からの反発力によりハウジング１０の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。そして、これらの圧力はハウジング１０内を伝達されて金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に印加されることになるが、本実施形態では、ハウジング１０の外周壁面に溝１６が形成されているため、シール部材７１からの反発力が金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に伝達されることを抑制することができる。

つまり、このような圧力センサでは、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に印加される圧力を図１中矢印Ａ´のみにすることができる。したがって、圧力センサを被取り付け部材７０に取りつける際に、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置してもハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

また、かかる圧力センサでは、被取り付け部材７０内の測定媒体が圧力導入孔１１から金属ステム２０内へ導入される。そして、測定媒体の圧力がダイヤフラム２１に印加されると、ダイヤフラム２１が変形し、センサチップ３０が測定媒体の圧力に応じた電気信号を出力することで測定媒体の圧力の検出が行われる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第１実施形態に対して、溝１６を形成する部分を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。

図２は本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。図２に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ハウジング１０のうち、雄ネジ部１５が形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔１２側の部分に圧力導入孔１１の壁面から内周壁面を一周するように溝１６が形成されている。

このような圧力センサによれば、圧力導入孔の内周壁面を一周する溝１６が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面にハウジング１０の雄ネジ部１５に印加されるハウジング１０の挿入方向の圧力が伝達されることを抑制することができる。このため、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に印加される圧力を図２中矢印Ｂ´のみにすることができる。したがって、圧力センサを被取り付け部材７０に取りつける際に、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置してもハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第１実施形態に対して金属ステム固定用ネジ孔１２の底面の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。

図３は本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。図３に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面が圧力導入孔１１から金属ステム固定用ネジ孔１２の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされている。また、金属ステム２０には外周壁面のうち開口部２２側の部分に金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と対応する一面が形成されている。そして、金属ステム固定用ネジ孔１２と金属ステム２０との間は、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と金属ステム２０の一面とを接触させることにより気密封止されている。

このような圧力センサによれば、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に接触する金属ステム２０の面積を従来の圧力センサより大きくすることができ、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置しても従来の圧力センサよりハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。

（他の実施形態）
上記各実施形態を組み合わせて圧力センサを構成してもよい。例えば、上記第１実施形態と上記第２実施形態とを組み合わせて、ハウジング１０の外周壁面および圧力導入孔１１に溝１６が形成されている圧力センサとしてもよい。さらに、この圧力センサに上記第３実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム２０の外周壁面のうち開口部２２側の部分に金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と対応する一面を形成してもよい。また、上記第１実施形態および上記第２実施形態に上記第３実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム２０の外周壁面のうち開口部２２側の部分に金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と対応する一面を形成してもよい。

また、上記第１実施形態では、溝１６は、ハウジング１０のうち、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と、圧力センサを取り付けるときに用いられるシール部材７１と接触する部分との間を結ぶ線を遮るように形成されているが、もちろんこのような溝１６に限定されるもではない。溝１６は、ハウジング１０の外周壁面に形成されていれば、シール部材７１からの反発力が金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に伝達されることを抑制することができる。

本発明の第１実施形態における圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図である。 本発明の第２実施形態における圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図である。 本発明の第３実施形態における圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図である。 従来の圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図である。

符号の説明

１０ ハウジング
１１ 圧力導入孔
１２ 金属ステム固定用ネジ孔
１５ 雄ネジ部
１６ 溝
２０ 金属ステム
２１ ダイヤフラム
２２ 開口部
５０ コネクタターミナル
６０ コネクタケース
７０ 被取り付け部材
７１ シール部材
７２ ネジ孔

Claims (6)

1. 外部から測定媒体を導入する圧力導入孔（１１）と金属ステム固定用ネジ孔（１２）とを有して構成される中空部（１３）を備えた中空筒形状とされ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部（１５）が形成されているハウジング（１０）と、
   中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、前記開口部（２２）が前記圧力導入孔（１１）と連通した状態で前記ハウジング（１０）における前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、
   前記ダイヤフラム（２１）に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し
   前記ハウジング（１０）には、前記ネジ部（１５）が形成される側の部分の先端面と前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面との間の部分に前記ハウジング（１０）の外周壁面から溝（１６）が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記溝（１６）は前記ハウジング（１０）の外周壁面を一周するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 外部から測定媒体を導入する圧力導入孔（１１）と金属ステム固定用ネジ孔（１２）とを有して構成される中空部（１３）を備えた中空筒形状とされ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部（１５）が形成されているハウジング（１０）と、
   中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、前記開口部（２２）が前記圧力導入孔（１１）と連通した状態で前記ハウジング（１０）における前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、
   前記ダイヤフラム（２１）に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し
   前記ハウジング（１０）には、前記ネジ部（１５）が形成されている部分より前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）側の部分に前記圧力導入孔（１１）の壁面から溝（１６）が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
4. 前記溝（１６）は前記ハウジング（１０）における前記圧力導入孔（１１）の壁面を一周するように形成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
5. 前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面は前記圧力導入孔（１１）から前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされ、前記金属ステム（２０）の外周壁面のうち前記開口部（２２）側の部分に前記底面と対応する一面が形成されており、
   前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）と前記金属ステム（２０）との間は、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の前記底面と前記金属ステム（２０）の前記一面とを接触させることにより気密封止されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
6. 外部から測定媒体を導入する圧力導入孔（１１）と金属ステム固定用ネジ孔（１２）とを有して構成される中空部（１３）を備えた中空筒形状とされ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部（１５）が形成されているハウジング（１０）と、
   中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、前記開口部（２２）が前記圧力導入孔（１１）と連通した状態で前記ハウジング（１０）における前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、
   前記ダイヤフラム（２１）に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し
   前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面は前記圧力導入孔（１１）から前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされ、前記金属ステム（２０）の外周壁面のうち前記開口部（２２）側の部分に前記底面と対応する一面が形成されており、
   前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）と前記金属ステム（２０）との間は、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の前記底面と前記金属ステム（２０）の前記一面とを接触させることにより気密封止されていることを特徴とする圧力センサ。