JP2010032239A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】ハウジング10と被取り付け部材70との間にシール部材71を配置して圧力センサを被取り付け部材70に取り付けた際に、ハウジング10と金属ステム20との間の気密封止性が低下することを抑制することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ハウジング10に、ネジ部15が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔12の底面との間の部分にハウジング10の外周壁面から溝16を形成する。このような圧力センサによれば、溝16が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔12の底面にシール部材71からの反発力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング10と金属ステム20との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
【選択図】図1
【解決手段】ハウジング10に、ネジ部15が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔12の底面との間の部分にハウジング10の外周壁面から溝16を形成する。このような圧力センサによれば、溝16が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔12の底面にシール部材71からの反発力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング10と金属ステム20との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧力導入孔が備えられていると共に金属ステム固定用ネジ孔が備えられているハウジングに対してダイヤフラムを有する金属ステムをネジ結合して構成される圧力センサに関する。
従来より、中空部を有する中空筒形状のハウジングに、中空部を有する中空筒形状の金属ステムが組みつけられて構成されている圧力センサが開示されている(例えば、特許文献1参照)。
具体的には、このような圧力センサでは、ハウジングに備えられる中空部は圧力導入孔と金属ステム固定用ネジ孔とを有して構成されており、ハウジングの一端部にはネジ部が形成されている。また、金属ステムは、一端部にダイヤフラムが備えられていると共に他端部に測定媒体をダイヤフラムへ導入するための開口部が備えられており、外周壁面にネジ部が形成されている。そして、金属ステムは、金属ステム固定用ネジ孔とネジ結合されることにより、開口部が圧力導入孔と連通するようにしてハウジングに固定されている。このとき、金属ステムのネジ部と金属ステム固定用ネジ孔とのネジ結合の軸力により、金属ステムに対して金属ステムの挿入方向に圧力が印加される。そして、この圧力によって金属ステムのうち開口部側の先端面と金属ステム固定用ネジ孔の底面との間でメタルタッチシールが行われ、ハウジングと金属ステムとの間が気密封止されている。
このような圧力センサを被取り付け部材に取り付ける際には、被取り付け部材に形成されているネジ孔とハウジングのネジ部とのネジ結合により圧力センサが被取り付け部材に固定される。このとき、ハウジングと金属ステムとのメタルタッチシールと同様に、ハウジングのうちネジ部の先端面と被取り付け部材におけるネジ孔の底面との間でメタルタッチシールが行われることでハウジングと被取り付け部材との間が気密封止される。
特開2001−272297号公報
しかしながら、ハウジングにおけるネジ部の先端面と被取り付け部材におけるネジ孔の底面との間でメタルタッチシールを行う場合には、被取り付け部材におけるネジ孔の底面の面粗度をハウジングにおけるネジ部の先端面とメタルタッチシールを行うことができるように向上させなければならないため製造工程が増大すると共に複雑になるという問題がある。
そこで、本発明者らは、次のように圧力センサを被取り付け部材に取り付けることを考えた。図4は、本発明らが考えた圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図である。図4に示されるように、本発明者らは、ハウジングJ1と被取り付け部材J10との間にガスケットやOリング等のシール部材J2を配置し、シール部材J2によりハウジングJ1と被取り付け部材J10との間を気密封止することを考えた。具体的には、ハウジングJ1のうちネジ部J3の根元部分を囲うようにシール部材J2を配置する。そして、ハウジングJ1のネジ部J3と被取り付け部材J10のネジ孔J11とのネジ結合の軸力にてシール部材J2を押し潰すことにより、ハウジングJ1と被取り付け部材J10との間を気密封止している。
このように、圧力センサを被取り付け部材J10に取り付ける際に、シール部材J2を配置してシール部材J2によりハウジングJ1と被取り付け部材J10との間を気密封止することにより、被取り付け部材J10におけるネジ孔J11の底面の面粗度を向上させる製造工程を行う必要がなくなる。
しかしながら、このようにシール部材J2を配置してハウジングJ1と被取り付け部材J10との間を気密封止する場合には次の問題がある。まず、ハウジングJ1を被取り付け部材J10に取り付けるときには、ハウジングJ1のネジ部J3と被取り付け部材J10のネジ孔J11とのネジ結合の軸力により、図4中矢印Aで示すように、ハウジングJ1のネジ部J3に対してハウジングJ1の挿入方向に圧力が印加され、ネジ部J3の先端面が被取り付け部材J10におけるネジ孔J11の底面に向かって挿入される。このとき、ハウジングJ1と被取り付け部材J10との間にシール部材J2を配置した場合には、ハウジングJ1のうちシール部材J2と接触する部分に、図4中矢印Bで示すように、シール部材J2からの反発力によりハウジングJ1の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。そして、これらの圧力はハウジングJ1内を伝達されて金属ステム固定用ネジ孔J4の底面に印加される。
このため、ハウジングJ1に形成されている金属ステム固定用ネジ孔J4の底面の中心部分には、図4中矢印A´で示すように、ハウジングJ1の挿入方向に圧力が印加されることになる。また、ハウジングJ1に形成されている金属ステム固定用ネジ孔J4の底面のうち中心部分の外側の部分には、図4中矢印B´で示すように、ハウジングJ1の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。つまり、シール部材J2を配置したことにより金属ステム固定用ネジ孔J4の底面における中心部分と中心部分の外側の部分とで反対方向の圧力が印加されることになり、金属ステム固定用ネジ孔J4と金属ステムJ5との間の気密封止性が損なわれるという問題がある。
本発明は上記点に鑑みて、ハウジングと被取り付け部材との間にシール部材を配置して圧力センサを被取り付け部材に取り付けた際に、ハウジングと金属ステムとの間の気密封止性が低下することを抑制することができる圧力センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、外部から測定媒体を導入する圧力導入孔(11)と金属ステム固定用ネジ孔(12)とを有して構成される中空部(13)を備えた中空筒形状とされ、金属ステム固定用ネジ孔(12)が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部(15)が形成されているハウジング(10)と、中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム(21)を備えると共に他端部に測定媒体をダイヤフラム(21)に導入するための開口部(22)を有し、外周壁面にネジ部(23)が形成され、開口部(22)が圧力導入孔(11)と連通した状態でハウジング(10)における金属ステム固定用ネジ孔(12)にネジ結合により取り付けられ、金属ステム固定用ネジ孔(12)との間を気密封止する金属ステム(20)と、ダイヤフラム(21)に備えられ、測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ(30)と、を有し、ハウジング(10)には、ネジ部(15)が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面との間の部分にハウジング(10)の外周壁面から溝(16)が形成されていることを特徴としている。
このような圧力センサは、ハウジング(10)と被取り付け部材(70)との間にシール部材(71)を配置し、シール部材(71)によりハウジング(10)と被取り付け部材(70)との間を気密封止して被取り付け部材(70)に取り付けられる。このとき、このような圧力センサによれば、ハウジング(10)にネジ部(15)が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面との間の部分に外周壁面から溝(16)が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面にシール部材(71)からの反発力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング(10)と金属ステム(20)との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
この場合、例えば、請求項2の記載の発明のように、溝(16)をハウジング(10)の外周壁面を一周するように形成することができる。このような圧力センサによれば、さらに、金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面にシール部材(71)からの反発力が伝達されることを抑制することができ、ハウジング(10)と金属ステム(20)との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
また、請求項3に記載の発明のように、ハウジング(10)に、ネジ部(15)が形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔(12)側の部分に圧力導入孔(11)の壁面から溝(16)を形成してもよい。
このような圧力センサによれば、ネジ部(15)は形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔(12)側の部分に圧力導入孔(11)の壁面から溝(16)が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面にハウジング(10)のネジ部(15)に印加される圧力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング(10)と金属ステム(20)との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
この場合、例えば、請求項4に記載の発明のように、溝(16)をハウジング(10)における圧力導入孔(11)の壁面を一周するように形成してもよい。このような圧力センサによれば、さらに、金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面にネジ部(15)に印加される圧力が伝達されることを抑制することができ、ハウジング(10)と金属ステム(20)との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
また、請求項5または請求項6に記載の発明のように、金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面を圧力導入孔(11)から金属ステム固定用ネジ孔(12)の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とし、金属ステム(20)の外周壁面のうち開口部(22)側の部分に金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面と対応する一面を形成する。そして、金属ステム固定用ネジ孔(12)と金属ステム(20)との間を、金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面と金属ステム(20)の一面とを接触させることにより気密封止してもよい。
このような圧力センサによれば、金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面に接触する金属ステム(20)の面積を従来の圧力センサより大きくすることができ、ハウジング(10)と被取り付け部材(70)との間にシール部材(71)を配置しても従来の圧力センサよりハウジング(10)と金属ステム(20)との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について説明する。図1は本実施形態にかかる圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動者の燃料噴射系における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
本発明の第1実施形態について説明する。図1は本実施形態にかかる圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動者の燃料噴射系における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
図1に示されるように、ハウジング10は、例えば、SUS等の金属材料よりなるものであり、切削や冷間鍛造等により加工され、測定媒体を導入する圧力導入孔11と金属ステム固定用ネジ孔12とを有して構成される中空部13を備えた中空筒形状とされている。そして、金属ステム固定用ネジ孔12の側壁には雄ネジ部14が形成されており、金属ステム固定用ネジ孔12には金属ステム20が収容されている。
また、ハウジング10の一端部には、例えば、燃料パイプ等の被取り付け部材70にネジ結合可能な雄ネジ部15が形成されている。さらに、ハウジング10には、ネジ部15が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔12の底面との間の部分にハウジング10の外周壁面を一周する溝16が形成されている。本実施形態では、この溝16は、ハウジング10のうち、金属ステム固定用ネジ孔12の底面と、後述する圧力センサを取り付けるときに用いられるシール部材71と接触する部分との間を結ぶ線を遮るように形成されている。
金属ステム20は、プレス、切削および冷間鍛造等により加工されて中空部を有する中空筒形状とされており、一端部にはハウジング10に導入された測定媒体の圧力によって変形可能な薄肉形状のダイヤフラム21が備えられ、他端部には圧力導入孔11と連通する開口部22が備えられている。
また、この金属ステム20のうちダイヤフラム21上には、シリコンなどからなる圧力検出用のセンサチップ30が図示しない低融点ガラスにより接合固定されている。このセンサチップ30には、ブリッジ回路が形成されており、金属ステム20の開口部から金属ステム20の内部に導入された測定媒体の圧力によってダイヤフラム21が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する検出部として機能するものである。
さらに、金属ステム20の外周壁面には、金属ステム20を挿入方向へ押圧するようにハウジング10に備えられている金属ステム固定用ネジ孔12とネジ結合を行うための雄ネジ部23が切削加工等により形成されている。この雄ネジ部23はハウジング10における金属ステム固定用ネジ孔12に形成された雌ネジ部14に対応した形状とされており、金属ステム20のうちこの雄ネジ部23よりもダイヤフラム21側の部分にはナット部24が形成されている。
そして、金属ステム20の雄ネジ部23と金属ステム固定用ネジ孔12の雌ネジ部14とのネジ結合により、金属ステム20の開口部22がハウジング10の圧力導入孔11と連通するように金属ステム20がハウジング10に固定されている。また、これら金属ステム固定用ネジ孔12の雌ネジ部14と金属ステム20の雄ネジ部23とのネジ結合の軸力により、金属ステム20に対して金属ステム20の挿入方向へ圧力が印加されることになる。したがて、この圧力によって金属ステム20の開口部22側の先端面とハウジング10のうち金属ステム固定用ネジ孔12の底面との間でメタルタッチシールが行われ、ハウジング10と金属ステム20との間が気密封止されている。
なお、金属ステム20は、高強度であること、およびSi等を有して構成されるセンサチップ30をガラスにより接合するため低熱線膨張係数であること、が求められ、Fe、Ni、CoまたはFe、Niを主体とし、析出強化材料としてTi、Nb、Alまたは、Ti、Nbが加えられた材料等で構成されている。
また、ハウジング10には、金属ステム20の外周を囲むようにスペーサ40が備えられている。そして、スペーサ40にはセラミック基板41が備えられており、セラミック基板41は金属ステム20に備えられたセンサチップ30とボンディングワイヤ42により電気的に接続されている。
また、セラミック基板41のうちセンサチップ30とワイヤボンディングされる面にはピン43が銀ろう等により電気的に接続されており、ピン43を介してセラミック基板41とコネクタターミナル50に備えられているターミナル51とが電気的に接続されている。そして、セラミック基板41のうちセンサチップ30とワイヤボンディングされる面と反対側の面には、センサチップの出力を増幅すると共に、特性調整を行うICチップ44が備えられている。そして、ICチップ44はセラミック基板41に形成されているスルーホール等を介してピン43と電気的に接続されている。
コネクタターミナル50は、ターミナル51が樹脂52にインサート成形されることにより構成されたアッシーである。また、コネクタターミナル50は、ハウジング10のうち雄ネジ部15が形成される側と反対側の端部17をコネクタケース60にかしめることにより、 コネクタケース60とスペーサ40により固定保持されている。そして、ターミナル51はコネクタケース60に形成されている開口部61内に突出し、自動車のECU等へ配線部材を介して電気的に接続可能となっている。
コネクタケース60はコネクタターミナル50の外形を成すものである。また、コネクタケース60とハウジング10とのかしめ部はシール材18によりシールされている。なお、このコネクタケース60は、例えば、PPS等の樹脂を型成形することにより製造される。
このような圧力センサは、基本的には従来と同様(例えば、特開2001−272297号公報参照)にして製造され、ハウジング10に溝16を形成する工程を追加すればよい。
かかる圧力センサは、図1に示されるように、ハウジング10の雄ネジ部15と被取り付け部材70のネジ孔72に形成された雌ネジ部73とのネジ結合により被取り付け部材70に取り付けられる。また、ハウジング10と被取り付け部材70との間にはガスケットやOリング等のシール部材71が配置されており、シール部材71によりハウジング10と被取り付け部材70との間が気密封止されている。具体的には、ハウジング10のうち雄ネジ部15の根元部分を囲うようにシール部材71が配置されている。
このような圧力センサによれば、ハウジング10の外周壁面を一周する溝16が形成されているので金属ステム固定用ネジ孔12の底面にシール部材71からの反発力が伝達されることを抑制することができる。具体的には、ハウジング10を被取り付け部材70に取り付けるときには、ハウジング10の雄ネジ部15と被取り付け部材70のネジ孔72に形成された雌ネジ部73とのネジ結合の軸力により、図1中矢印Aで示すように、ハウジング10の雄ネジ部15に対してハウジング10の挿入方向に圧力が印加され、雄ネジ部15の先端面が被取り付け部材70におけるネジ孔72の底面に向かって挿入される。このとき、ハウジング10と被取り付け部材70との間にシール部材71を配置した場合には、ハウジング10のうちシール部材71と接触する部分に、図1中矢印Bで示すように、シール部材71からの反発力によりハウジング10の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。そして、これらの圧力はハウジング10内を伝達されて金属ステム固定用ネジ孔12の底面に印加されることになるが、本実施形態では、ハウジング10の外周壁面に溝16が形成されているため、シール部材71からの反発力が金属ステム固定用ネジ孔12の底面に伝達されることを抑制することができる。
つまり、このような圧力センサでは、金属ステム固定用ネジ孔12の底面に印加される圧力を図1中矢印A´のみにすることができる。したがって、圧力センサを被取り付け部材70に取りつける際に、ハウジング10と被取り付け部材70との間にシール部材71を配置してもハウジング10と金属ステム20との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
また、かかる圧力センサでは、被取り付け部材70内の測定媒体が圧力導入孔11から金属ステム20内へ導入される。そして、測定媒体の圧力がダイヤフラム21に印加されると、ダイヤフラム21が変形し、センサチップ30が測定媒体の圧力に応じた電気信号を出力することで測定媒体の圧力の検出が行われる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第1実施形態に対して、溝16を形成する部分を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第1実施形態に対して、溝16を形成する部分を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
図2は本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。図2に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ハウジング10のうち、雄ネジ部15が形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔12側の部分に圧力導入孔11の壁面から内周壁面を一周するように溝16が形成されている。
このような圧力センサによれば、圧力導入孔の内周壁面を一周する溝16が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔12の底面にハウジング10の雄ネジ部15に印加されるハウジング10の挿入方向の圧力が伝達されることを抑制することができる。このため、金属ステム固定用ネジ孔12の底面に印加される圧力を図2中矢印B´のみにすることができる。したがって、圧力センサを被取り付け部材70に取りつける際に、ハウジング10と被取り付け部材70との間にシール部材71を配置してもハウジング10と金属ステム20との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第1実施形態に対して金属ステム固定用ネジ孔12の底面の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第1実施形態に対して金属ステム固定用ネジ孔12の底面の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
図3は本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。図3に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、金属ステム固定用ネジ孔12の底面が圧力導入孔11から金属ステム固定用ネジ孔12の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされている。また、金属ステム20には外周壁面のうち開口部22側の部分に金属ステム固定用ネジ孔12の底面と対応する一面が形成されている。そして、金属ステム固定用ネジ孔12と金属ステム20との間は、金属ステム固定用ネジ孔12の底面と金属ステム20の一面とを接触させることにより気密封止されている。
このような圧力センサによれば、金属ステム固定用ネジ孔12の底面に接触する金属ステム20の面積を従来の圧力センサより大きくすることができ、ハウジング10と被取り付け部材70との間にシール部材71を配置しても従来の圧力センサよりハウジング10と金属ステム20との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。
(他の実施形態)
上記各実施形態を組み合わせて圧力センサを構成してもよい。例えば、上記第1実施形態と上記第2実施形態とを組み合わせて、ハウジング10の外周壁面および圧力導入孔11に溝16が形成されている圧力センサとしてもよい。さらに、この圧力センサに上記第3実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔12の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム20の外周壁面のうち開口部22側の部分に金属ステム固定用ネジ孔12の底面と対応する一面を形成してもよい。また、上記第1実施形態および上記第2実施形態に上記第3実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔12の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム20の外周壁面のうち開口部22側の部分に金属ステム固定用ネジ孔12の底面と対応する一面を形成してもよい。
上記各実施形態を組み合わせて圧力センサを構成してもよい。例えば、上記第1実施形態と上記第2実施形態とを組み合わせて、ハウジング10の外周壁面および圧力導入孔11に溝16が形成されている圧力センサとしてもよい。さらに、この圧力センサに上記第3実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔12の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム20の外周壁面のうち開口部22側の部分に金属ステム固定用ネジ孔12の底面と対応する一面を形成してもよい。また、上記第1実施形態および上記第2実施形態に上記第3実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔12の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム20の外周壁面のうち開口部22側の部分に金属ステム固定用ネジ孔12の底面と対応する一面を形成してもよい。
また、上記第1実施形態では、溝16は、ハウジング10のうち、金属ステム固定用ネジ孔12の底面と、圧力センサを取り付けるときに用いられるシール部材71と接触する部分との間を結ぶ線を遮るように形成されているが、もちろんこのような溝16に限定されるもではない。溝16は、ハウジング10の外周壁面に形成されていれば、シール部材71からの反発力が金属ステム固定用ネジ孔12の底面に伝達されることを抑制することができる。
10 ハウジング
11 圧力導入孔
12 金属ステム固定用ネジ孔
15 雄ネジ部
16 溝
20 金属ステム
21 ダイヤフラム
22 開口部
50 コネクタターミナル
60 コネクタケース
70 被取り付け部材
71 シール部材
72 ネジ孔
11 圧力導入孔
12 金属ステム固定用ネジ孔
15 雄ネジ部
16 溝
20 金属ステム
21 ダイヤフラム
22 開口部
50 コネクタターミナル
60 コネクタケース
70 被取り付け部材
71 シール部材
72 ネジ孔
Claims (6)
- 外部から測定媒体を導入する圧力導入孔(11)と金属ステム固定用ネジ孔(12)とを有して構成される中空部(13)を備えた中空筒形状とされ、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部(15)が形成されているハウジング(10)と、
中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム(21)を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム(21)に導入するための開口部(22)を有し、外周壁面にネジ部(23)が形成され、前記開口部(22)が前記圧力導入孔(11)と連通した状態で前記ハウジング(10)における前記金属ステム固定用ネジ孔(12)にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)との間を気密封止する金属ステム(20)と、
前記ダイヤフラム(21)に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ(30)と、を有し
前記ハウジング(10)には、前記ネジ部(15)が形成される側の部分の先端面と前記金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面との間の部分に前記ハウジング(10)の外周壁面から溝(16)が形成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記溝(16)は前記ハウジング(10)の外周壁面を一周するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 外部から測定媒体を導入する圧力導入孔(11)と金属ステム固定用ネジ孔(12)とを有して構成される中空部(13)を備えた中空筒形状とされ、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部(15)が形成されているハウジング(10)と、
中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム(21)を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム(21)に導入するための開口部(22)を有し、外周壁面にネジ部(23)が形成され、前記開口部(22)が前記圧力導入孔(11)と連通した状態で前記ハウジング(10)における前記金属ステム固定用ネジ孔(12)にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)との間を気密封止する金属ステム(20)と、
前記ダイヤフラム(21)に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ(30)と、を有し
前記ハウジング(10)には、前記ネジ部(15)が形成されている部分より前記金属ステム固定用ネジ孔(12)側の部分に前記圧力導入孔(11)の壁面から溝(16)が形成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記溝(16)は前記ハウジング(10)における前記圧力導入孔(11)の壁面を一周するように形成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面は前記圧力導入孔(11)から前記金属ステム固定用ネジ孔(12)の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされ、前記金属ステム(20)の外周壁面のうち前記開口部(22)側の部分に前記底面と対応する一面が形成されており、
前記金属ステム固定用ネジ孔(12)と前記金属ステム(20)との間は、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)の前記底面と前記金属ステム(20)の前記一面とを接触させることにより気密封止されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 外部から測定媒体を導入する圧力導入孔(11)と金属ステム固定用ネジ孔(12)とを有して構成される中空部(13)を備えた中空筒形状とされ、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部(15)が形成されているハウジング(10)と、
中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム(21)を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム(21)に導入するための開口部(22)を有し、外周壁面にネジ部(23)が形成され、前記開口部(22)が前記圧力導入孔(11)と連通した状態で前記ハウジング(10)における前記金属ステム固定用ネジ孔(12)にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)との間を気密封止する金属ステム(20)と、
前記ダイヤフラム(21)に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ(30)と、を有し
前記金属ステム固定用ネジ孔(12)の底面は前記圧力導入孔(11)から前記金属ステム固定用ネジ孔(12)の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされ、前記金属ステム(20)の外周壁面のうち前記開口部(22)側の部分に前記底面と対応する一面が形成されており、
前記金属ステム固定用ネジ孔(12)と前記金属ステム(20)との間は、前記金属ステム固定用ネジ孔(12)の前記底面と前記金属ステム(20)の前記一面とを接触させることにより気密封止されていることを特徴とする圧力センサ。
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CN103511411A (zh) * | 2012-06-29 | 2014-01-15 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于制造密封盘在部件上的压配合的方法 |
US9719873B2 (en) | 2013-02-26 | 2017-08-01 | Denso Corporation | Pressure sensor and method for manufacturing the same |
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2008
- 2008-07-25 JP JP2008191848A patent/JP2010032239A/ja not_active Withdrawn
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