JP2017168216A - X線ターゲットおよびそれを備えたx線発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、この発明に係るX線ターゲットは、表面にターゲット材が成膜された照射窓と、前記照射窓に接合され、前記照射窓を支持する第1フレームと、前記照射窓には接合されておらず、前記第1フレームに接合され、前記第1フレーム金属で形成された第2フレームとを備え、前記照射窓と前記第1フレームとの熱膨張率の差が、前記照射窓と前記第2フレームとの熱膨張率の差より小さくなるように構成されるものである。
2 … 真空容器
4 … X線ターゲット
41 … 照射窓
41a … ダイヤモンド板
41b … ターゲット材
42 … 第1フレーム
43 … 第2フレーム
Claims (7)
- 表面にターゲット材が成膜された照射窓と、
前記照射窓に接合され、前記照射窓を支持する第1フレームと、
前記照射窓には接合されておらず、前記第1フレームに接合され、前記第1フレームを支持する、金属で形成された第2フレームと
を備え、
前記照射窓と前記第1フレームとの熱膨張率の差が、前記照射窓と前記第2フレームとの熱膨張率の差より小さくなるように構成される、
X線ターゲット。 - 請求項1に記載のX線ターゲットにおいて、
前記第1フレームは前記照射窓の外周に設けられ、前記第2フレームは前記第1フレームの外周に設けられている、X線ターゲット - 請求項1に記載のX線ターゲットにおいて、
前記第2フレームは前記第1フレームよりも熱伝導率が大きい、X線ターゲット。 - 請求項1に記載のX線ターゲットにおいて、
前記第1フレームが熱膨張率5×10−6/K以下の金属、前記第2フレームが熱伝導率200W/m/K以上の金属で構成される、X線ターゲット。 - 請求項1に記載のX線ターゲットにおいて、
前記第1フレームはタングステンまたはモリブデンによって形成され、前記第2フレームは銅によって形成されている、X線ターゲット。 - 請求項1に記載のX線ターゲットにおいて、
前記照射窓はダイヤモンドである、X線ターゲット。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載のX線ターゲットと、
当該X線ターゲットを収容する容器と
を備えた、X線発生装置。
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