JP2017165607A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、上述した知見に基づいてなされたものであり、一方の主面内の任意の二箇所を選択し、一方の箇所における任意方向の熱収縮率と、他方の箇所における前記任意方向と直交する方向の熱収縮率との差の絶対値が2ppm以下であり、歪点が630℃以上である無アルカリガラス基板を提供する。なお、前記熱収縮率は、ガラス基板を常温から600℃まで100℃/時で昇温し、600℃で80分保持し、600℃から常温まで100℃/時で降温する熱処理の前後でのガラス基板の測定方向の変形量を測定して算出される。
また、本発明は、ガラス溶解炉でガラス原料を溶解して溶融ガラスを得る溶解工程と、成形炉で前記溶融ガラスをガラスリボンに成形する成形工程と、徐冷炉で前記ガラスリボンを徐冷して板ガラスを得る徐冷工程とを有し、前記徐冷工程は、前記ガラスリボンの粘度(dPa・s)の対数が12.5〜14.0における前記ガラスリボンの冷却速度が板幅方向中央部より端部が大きく、前記ガラスリボンの板幅方向中央部と端部との板引き方向の冷却速度差が100℃/分以下で、前記ガラスリボンの板幅方向中央部と端部との温度差が15℃以下であり、前記ガラスリボンの温度が板幅方向中央部より端部が大きい場合、前記温度差が10℃以下では前記冷却速度差が70℃/分以下で、前記温度差が10℃超では前記冷却速度差が40℃/分以下であり、前記ガラスリボンの温度が板幅方向中央部より端部が小さい場合、または等しい場合、前記冷却速度差が100℃/分以下であることを特徴とする無アルカリガラス基板の製造方法を提供する。
また、本発明は、ガラス溶解炉でガラス原料を溶解して溶融ガラスを得る溶解工程と、成形炉で前記溶融ガラスをガラスリボンに成形する成形工程と、徐冷炉で前記ガラスリボンを徐冷して板ガラスを得る徐冷工程とを有し、前記徐冷工程は、前記ガラスリボンの粘度(dPa・s)の対数が12.5〜14.0における前記ガラスリボンの冷却速度が板幅方向中央部より端部が大きく、前記ガラスリボンの板幅方向中央部と端部との板引き方向の冷却速度差が100℃/分以下で、前記ガラスリボンの板幅方向中央部と端部との温度差が15℃以下であり、前記ガラスリボンの温度が板幅方向中央部より端部が大きい場合、前記温度差が10℃以下では前記冷却速度差が70℃/分以下で、前記温度差が10℃超では前記冷却速度差が40℃/分以下であり、前記ガラスリボンの温度が板幅方向中央部より端部が小さい場合、または等しい場合、前記冷却速度差が100℃/分以下であることを特徴とする無アルカリガラス基板の製造方法を提供する。
Claims (16)
- 一方の主面内の任意の二箇所を選択し、一方の箇所における任意方向の熱収縮率と、他方の箇所における前記任意方向と直交する方向の熱収縮率との差の絶対値が2ppm以下であり、歪点が630℃以上である無アルカリガラス基板。
なお、前記熱収縮率は、ガラス基板を常温から600℃まで100℃/時で昇温し、600℃で80分保持し、600℃から常温まで100℃/時で降温する熱処理の前後でのガラス基板の測定方向の変形量を測定して算出される。 - 前記一方の箇所における任意方向の熱収縮率の絶対値、および前記他方の箇所における前記任意方向と直交する方向の熱収縮率の絶対値が100ppm以下である、請求項1に記載の無アルカリガラス基板。
- 前記一方の箇所における任意方向の熱収縮率の絶対値、および前記他方の箇所における前記任意方向と直交する方向の熱収縮率の絶対値が70ppm以下である、請求項2に記載の無アルカリガラス基板。
- 前記一方の箇所における任意方向の熱収縮率の絶対値、および前記他方の箇所における前記任意方向と直交する方向の熱収縮率の絶対値が50ppm以下である、請求項3に記載の無アルカリガラス基板。
- 歪点が680℃以上である、請求項1〜4のいずれかに記載の無アルカリガラス基板。
- 歪点が700℃以上である、請求項5に記載の無アルカリガラス基板。
- 基板サイズが1450mm×1450mm以上である、請求項1〜6のいずれかに記載の無アルカリガラス基板。
- 基板サイズが3000mm×2800mm以上である、請求項7に記載の無アルカリガラス基板。
- 板厚が0.5mm以下である、請求項1〜8のいずれかに記載の無アルカリガラス基板。
- 酸化物基準の質量%表示で、
SiO2:54〜66%
Al2O3:10〜23%
B2O3 :0〜12%
MgO:0〜12%
CaO:0〜15%
SrO:0〜16%
BaO:0〜15%
MgO+CaO+SrO+BaO:8〜26%
を含有する無アルカリガラスで構成される、請求項1〜9のいずれかに記載の無アルカリガラス基板。 - 酸化物基準の質量%表示で、B2O3 が5%以下である、請求項10に記載の無アルカリガラス基板。
- 板厚偏差が20μm以下である、請求項1〜11のいずれかに記載の無アルカリガラス基板。
- ガラス溶解炉でガラス原料を溶解して溶融ガラスを得る溶解工程と、成形炉で前記溶融ガラスをガラスリボンに成形する成形工程と、徐冷炉で前記ガラスリボンを徐冷して板ガラスを得る徐冷工程とを有し、
前記徐冷工程は、
前記ガラスリボンの粘度(dPa・s)の対数が12.5〜14.0における前記ガラスリボンの冷却速度が板幅方向中央部より端部が大きく、前記ガラスリボンの板幅方向中央部と端部との板引き方向の冷却速度差が100℃/分以下で、前記ガラスリボンの板幅方向中央部と端部との温度差が15℃以下であり、
前記ガラスリボンの温度が板幅方向中央部より端部が大きい場合、前記温度差が10℃以下では前記冷却速度差が70℃/分以下で、前記温度差が10℃超では前記冷却速度差が40℃/分以下であり、
前記ガラスリボンの温度が板幅方向中央部より端部が小さい場合、または等しい場合、前記冷却速度差が100℃/分以下であることを特徴とする無アルカリガラス基板の製造方法。 - 前記ガラスリボンの板引き方向の冷却速度が30〜200℃/分である、請求項13に記載の無アルカリガラス基板の製造方法。
- 前記板ガラスの板幅方向の長さが5m以上である、請求項13または14に記載の無アルカリガラス基板の製造方法。
- フロート法で前記溶融ガラスを前記ガラスリボンに成形する、請求項13〜15のいずれかに記載の無アルカリガラス基板の製造方法。
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