JP2017156087A - 内面検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
<1−1.内面検査装置の構成>
図1は、本発明の第1実施形態に係る内面検査装置1の斜視図である。図1に示すように、内面検査装置1は、支持部20、ミラー部材30、光源40、撮像部50、操作部60および制御部10を有する。
次に、内面検査装置1を用いた検査工程について説明する。
以上、本発明の例示的な実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。
8 被検査物
9 中心軸
10 制御部
22 ステージ
23 ステージ駆動部
30,30A ミラー部材
31,31A,31B 第1反射面
32 第2反射面
33,33A 中央境界線
40,40B 光源
41B 追加反射部材
50 撮像部
60 操作部
80,80A 被照射部
81 被検査孔
Claims (13)
- 軸方向に延びる被検査孔を有する被検査物の内面の状態を検査する内面検査装置であって、
前記被検査物を載置する載置部と、
前記載置部に載置された前記被検査物の前記被検査孔の内部に配置され、第1反射面および第2反射面を有するミラー部材と、
前記被検査物と前記ミラー部材とを軸方向に相対移動させる移動機構と、
前記被検査孔の軸方向一方側に配置され、指向性を有する照射光を照射する光照射部と、
前記被検査孔の軸方向一方側に配置される撮像部と、
を有し、
前記第1反射面と前記第2反射面とは、V字の溝状に配置され、かつ、前記第1反射面と前記第2反射面とのなす角は鈍角であり、
前記光照射部は、前記第1反射面に向かって軸方向一方側から軸方向他方側へと前記照射光を照射し、
前記第1反射面は、前記照射光を軸方向に対して垂直な方向へ反射し、
前記第2反射面は、前記照射光が照射された被検査孔の内面の映像を、軸方向に対して垂直な方向から軸方向一方側へと反射し、
前記撮像部は、前記第2反射面により反射された前記映像を撮像する、内面検査装置。 - 請求項1に記載の内面検査装置であって、
前記第1反射面および前記第2反射面はそれぞれ、平面状である、内面検査装置。 - 請求項1または請求項2に記載の内面検査装置であって、
前記ミラー部材は、軸方向に延びる柱状であり、
前記第1反射面および前記第2反射面は、前記ミラー部材の軸方向一方側端部に配置される、内面検査装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の内面検査装置であって、
前記ミラー部材の軸方向一方側端面は、
軸方向に対して傾斜する中央境界線と、
前記中央境界線から幅方向一方側へ平面状に拡がる前記第1反射面と、
前記中央境界線から幅方向他方側へ平面状に拡がる前記第2反射面と、
を含む、内面検査装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の内面検査装置であって、
前記第1反射面と前記第2反射面とは、軸方向に延びる面に関して面対称である、内面検査装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の内面検査装置であって、
前記第1反射面と、前記第2反射面とのなす角の角度は、160°以上かつ178°以下である、内面検査装置。 - 請求項6に記載の内面検査装置であって、
前記第1反射面と、前記第2反射面とのなす角の角度は、172°である、内面検査装置。 - 請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の内面検査装置であって、
前記光照射部は、スリット光を照射するスリット光照射部である、内面検査装置。 - 請求項4に記載の内面検査装置であって、
前記光照射部は、スリット光を照射するスリット光照射部であり、
前記スリット光の前記第1反射面における照射範囲の長手方向は、前記中央境界線と平行である、内面検査装置。 - 請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の内面検査装置であって、
前記第1反射面に入射される前記照射光の進む方向の軸方向に対する角度は、15°以下である、内面検査装置。 - 請求項10に記載の内面検査装置であって、
前記第1反射面に入射される前記照射光の進む方向は、軸方向に平行である、内面検査装置。 - 請求項1ないし請求項11のいずれかに記載の内面検査装置であって、
軸方向に延びる回転軸を中心として、前記被検査物を回転させる回転機構
をさらに有する、内面検査装置。 - 請求項1ないし請求項12のいずれかに記載の内面検査装置であって、
前記移動機構は、前記ミラー部材と、前記光照射部と、前記撮像部との相対位置を同一に保ったまま、前記被検査物と、前記ミラー部材、前記光照射部および前記撮像部とを軸方向に相対移動させる、内面検査装置。
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