JP2017111150A - 欠陥検査用撮像装置、欠陥検査システム、フィルム製造装置、欠陥検査用撮像方法、欠陥検査方法、及び、フィルムの製造方法 - Google Patents
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[第8の実施形態]
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[第9の実施形態]
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[第10の実施形態]
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[第12の実施形態]
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Claims (37)
- 偏光特性を有するフィルムの欠陥検査のための撮像装置であって、
前記フィルムの撮像領域に光を照射する光照射手段と、
前記フィルムの前記撮像領域を2次元画像として撮像する撮像手段と、
前記フィルムとクロスニコル状態又は第1のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記フィルムの前記撮像領域との間、又は、前記フィルムの前記撮像領域と前記撮像手段との間に配置される第1の偏光フィルタと、
前記光照射手段、前記撮像手段及び前記第1の偏光フィルタに対して前記フィルムを搬送方向に相対的に搬送する搬送手段と、
を備え、
前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第1の撮像領域及び第2の撮像領域を含み、
前記第1の偏光フィルタは、前記光照射手段と前記第1の撮像領域との間、又は、前記第1の撮像領域と前記撮像手段との間に配置される、
欠陥検査用撮像装置。 - 前記第1の偏光フィルタは、前記フィルムとクロスニコル状態を形成する、請求項1に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方に照射される、又は、前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方を透過若しくは前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方で反射した光の輝度値を調整する輝度調整手段を更に備える、請求項2に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記輝度調整手段は、前記第2の撮像領域に照射される、又は、前記第2の撮像領域を透過若しくは前記第2の撮像領域で反射した光の輝度値を調整する、請求項3に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記輝度調整手段は、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、又は前記第2の撮像領域と前記撮像手段との間に配置される減衰フィルタである、請求項4に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記輝度調整手段は、前記光照射手段に配置され、前記第1の撮像領域に照射する光の輝度値と前記第2の撮像領域に照射する光の輝度値とを個別に調整する、請求項3又は4に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記第1の偏光フィルタは、前記光照射手段と前記第1の撮像領域との間に配置される、請求項1に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方に照射される、又は、前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方を透過若しくは前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方で反射した光の輝度値を調整する輝度調整手段を更に備える、請求項1に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記第1の偏光フィルタは、前記フィルムの前記第1の撮像領域とクロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、又は、前記第2の撮像領域と前記撮像手段との間に前記フィルムの前記第2の撮像領域と第1のハーフクロスニコル状態を形成するように配置される第1の輝度調整用偏光フィルタを含む、請求項8に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記第1の偏光フィルタは、前記フィルムの前記第1の撮像領域と第1のハーフクロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、又は、前記第2の撮像領域と前記撮像手段の間に配置される減衰フィルタである、
請求項8に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記第1の偏光フィルタは、前記フィルムの前記第1の撮像領域と第1のハーフクロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、前記光照射手段に配置され、前記第1の撮像領域に照射する光の輝度値と前記第2の撮像領域に照射する光の輝度値とを個別に調整する、
請求項8に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第3の撮像領域を含み、
前記輝度調整手段は、前記光照射手段と前記第3の撮像領域との間、又は、前記第3の撮像領域と前記撮像手段の間に、前記フィルムの前記第3の撮像領域と第2のハーフクロスニコル状態を形成するように配置される第2の輝度調整用偏光フィルタを含み、前記第3の撮像領域に照射される光の輝度値を調整する、
請求項9に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第3の撮像領域を含み、
前記光照射手段と前記第3の撮像領域との間、又は、前記第3の撮像領域と前記撮像手段との間に配置され、前記フィルムの前記第3の撮像領域と第2のハーフクロスニコル状態を形成する第2の偏光フィルタを更に備える、
請求項10又は11に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記第1の偏光フィルタは、前記フィルムの前記第1の撮像領域と第1のハーフクロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、又は、前記第2の撮像領域と前記撮像手段の間に、前記フィルムの前記第2の撮像領域と第2のハーフクロスニコル状態を形成するように配置される第1の輝度調整用偏光フィルタを含む、
請求項8に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 偏光特性を有さないフィルムの欠陥検査のための撮像装置であって、
前記フィルムの撮像領域に光を照射する光照射手段と、
前記フィルムの前記撮像領域を2次元画像として撮像する撮像手段と、
クロスニコル状態又は第1のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記フィルムの前記撮像領域との間、及び、前記フィルムの前記撮像領域と前記撮像手段との間にそれぞれ配置される一対の第1の偏光フィルタと、
前記光照射手段、前記撮像手段及び前記一対の第1の偏光フィルタに対して前記フィルムを搬送方向に相対的に搬送する搬送手段と、
を備え、
前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第1の撮像領域及び第2の撮像領域を含み、
前記一対の第1の偏光フィルタは、前記光照射手段と前記第1の撮像領域との間、及び、前記第1の撮像領域と前記撮像手段との間にそれぞれ配置される、
欠陥検査用撮像装置。 - 前記一対の第1の偏光フィルタは、クロスニコル状態を形成する、請求項15に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方に照射される、又は、前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方を透過若しくは前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方で反射した光の輝度値を調整する輝度調整手段を更に備える、請求項16に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記輝度調整手段は、前記第2の撮像領域に照射される、又は、前記第2の撮像領域を透過若しくは前記第2の撮像領域で反射した光の輝度値を調整する、請求項17に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記輝度調整手段は、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、又は前記第2の撮像領域と前記撮像手段との間に配置される減衰フィルタである、請求項18に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記輝度調整手段は、前記光照射手段に配置され、前記第1の撮像領域に照射する光の輝度値と前記第2の撮像領域に照射する光の輝度値とを個別に調整する、請求項17又は18に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方に照射される、又は、前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方を透過若しくは前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方で反射した光の輝度値を調整する輝度調整手段を更に備える、請求項15に記載の欠陥検査用撮像装置。
- 前記一対の第1の偏光フィルタは、クロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、第1のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、及び、前記第2の撮像領域と前記撮像手段の間に配置される一対の第1の輝度調整用偏光フィルタを含む、請求項21に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記一対の第1の偏光フィルタは、第1のハーフクロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、又は、前記第2の撮像領域と前記撮像手段の間に配置される減衰フィルタである、
請求項21に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記一対の第1の偏光フィルタは、第1のハーフクロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、前記光照射手段に配置され、前記第1の撮像領域に照射する光の輝度値と前記第2の撮像領域に照射する光の輝度値とを個別に調整する、
請求項21に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第3の撮像領域を含み、
前記輝度調整手段は、第2のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記第3の撮像領域との間、及び、前記第3の撮像領域と前記撮像手段の間に配置される一対の第2の輝度調整用偏光フィルタを含み、前記第3の撮像領域に照射される光の輝度値を調整する、
請求項22に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第3の撮像領域を含み、
第2のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記第3の撮像領域との間、及び、前記第3の撮像領域と前記撮像手段との間にそれぞれ配置される一対の第2の偏光フィルタを更に備える、
請求項23又は24に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 前記一対の第1の偏光フィルタは、第1のハーフクロスニコル状態を形成し、
前記輝度調整手段は、第2のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記第2の撮像領域との間、及び、前記第2の撮像領域と前記撮像手段の間に配置される一対の第1の輝度調整用偏光フィルタを含む、
請求項21に記載の欠陥検査用撮像装置。 - 請求項1〜27の何れか1項に記載の欠陥検査用撮像装置と、
前記欠陥検査用撮像装置によって撮像された前記2次元画像に基づいて、前記フィルムに存在する欠陥を検出する検出部と、
を備える、欠陥検査システム。 - 請求項28に記載の欠陥検査システムを備える、フィルム製造装置。
- 光照射手段と、撮像手段と、第1の偏光フィルタと、搬送手段とを備える欠陥検査用撮像装置を用いて、偏光特性を有するフィルムの欠陥検査のための撮像を行う撮像方法であって、
前記第1の偏光フィルタを、前記フィルムとクロスニコル状態又は第1のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記フィルムの撮像領域との間、又は、前記フィルムの前記撮像領域と前記撮像手段との間に配置する第1の偏光フィルタ配置工程と、
前記搬送手段によって前記光照射手段、前記撮像手段及び前記第1の偏光フィルタに対して前記フィルムを搬送方向に相対的に搬送する搬送工程と、
前記光照射手段によって前記フィルムの前記撮像領域に光を照射する光照射工程と、
前記撮像手段によって前記フィルムの前記撮像領域を2次元画像として撮像する撮像工程と、
を含み、
前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第1の撮像領域及び第2の撮像領域を含み、
前記第1の偏光フィルタ配置工程では、前記第1の偏光フィルタを、前記光照射手段と前記第1の撮像領域との間、又は、前記第1の撮像領域と前記撮像手段との間に配置する、
欠陥検査用撮像方法。 - 前記第1の偏光フィルタは、前記フィルムとクロスニコル状態を形成する、請求項30に記載の欠陥検査用撮像方法。
- 輝度調整手段によって、前記第1の撮像領域及び第2の撮像領域のうちの少なくとも一方に照射される、又は、前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方を透過した若しくは前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方で反射した光の輝度値を調整する輝度調整工程を更に含む、請求項30に記載の欠陥検査用撮像方法。
- 光照射手段と、撮像手段と、一対の第1の偏光フィルタと、搬送手段とを備える欠陥検査用撮像装置を用いて、偏光特性を有さないフィルムの欠陥検査のための撮像を行う撮像方法であって、
前記一対の第1の偏光フィルタを、クロスニコル状態又は第1のハーフクロスニコル状態を形成するように、前記光照射手段と前記フィルムの撮像領域との間、及び、前記フィルムの前記撮像領域と前記撮像手段との間にそれぞれ配置する第1の偏光フィルタ配置工程と、
前記搬送手段によって前記光照射手段、前記撮像手段及び前記一対の第1の偏光フィルタに対して前記フィルムを搬送方向に相対的に搬送する搬送工程と、
前記光照射手段によって前記フィルムの前記撮像領域に光を照射する光照射工程と、
前記撮像手段によって前記フィルムの前記撮像領域を2次元画像として撮像する撮像工程と、
を含み、
前記撮像領域は、前記搬送方向に分割された第1の撮像領域及び第2の撮像領域を含み、
前記第1の偏光フィルタ配置工程では、前記一対の第1の偏光フィルタを、前記光照射手段と前記第1の撮像領域との間、及び、前記第1の撮像領域と前記撮像手段との間にそれぞれ配置する、
欠陥検査用撮像方法。 - 前記一対の第1の偏光フィルタは、クロスニコル状態を形成する、請求項33に記載の欠陥検査用撮像方法。
- 輝度調整手段によって、前記第1の撮像領域及び第2の撮像領域のうちの少なくとも一方に照射される、又は、前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方を透過した若しくは前記第1の撮像領域及び前記第2の撮像領域のうちの少なくとも一方で反射した光の輝度値を調整する輝度調整工程を更に含む、請求項33に記載の欠陥検査用撮像方法。
- 請求項30〜35の何れか1項に記載の欠陥検査用撮像方法を含み、
前記欠陥検査用撮像方法によって撮像した前記2次元画像に基づいて、前記フィルムに存在する欠陥を検出する欠陥検出工程を含む、
欠陥検査方法。 - 請求項36に記載の欠陥検査方法を含む、フィルムの製造方法。
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