JP2017069517A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 導電性の基板に対して処理を行うために基板を載置する載置台と、
   前記載置台に正常に載置されている基板の下方側に位置するように設けられ、当該載置台に載置された基板に渦電流を発生させ、渦電流の強度に基づいて基板までの距離を測定する渦電流センサーと、
   前記渦電流センサーによる距離の測定結果に基づいて、前記載置台上の基板の載置状態を検出する検出部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
2. 前記検出部により基板の載置状態が異常であることを検出したときにアラームを出力するアラーム出力部を備えていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
3. 前記検出部による基板の載置状態の検出は、異物により基板が乗り上げているか否か、基板が反っているか否か、のうちの少なくとも一方を検出するものであることを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置。
4. 前記載置台には、基板の周縁部を支持するための複数の突起部が載置台の周方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
5. 前記載置台は、基板を加熱または温度調整するための板部材を含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
6. 前記渦電流センサーは複数設けられ、
   前記検出部は、前記複数の渦電流センサーにより測定された基板までの各測定距離同士の差分に基づいて、前記載置台上の基板の載置状態を検出するものであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
   
7. 前記検出部は、渦電流センサーにより測定された基板までの測定距離としきい値との差分に基づいて、前記載置台上の基板の載置状態を検出するものであり、
   前記基板の裏面に形成されている膜の種別と前記しきい値とを対応付けたデータを記憶する記憶部と、前記膜の種別に対応するしきい値を選択する選択部と、を備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
8. 前記載置台に正常に載置されている基板の周縁部の下方側に基板の周方向に沿って配置され、基板の横方向の位置ずれを検出するための複数の渦電流センサーを備えたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載の基板処理装置。
9. 基板に対して処理を行うために基板を載置台に載置する工程と、
   次いで、前記載置台に正常に載置されている基板の下方側に位置するように設けられた渦電流センサーにより、前記基板までの距離を測定する工程と、
   前記渦電流センサーによる距離の測定結果に基づいて、前記載置台上の基板の載置状態を検出する工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。
10. 前記渦電流センサーは複数設けられ、
    前記基板の載置状態を検出する工程は、前記複数の渦電流センサーにより測定された基板までの各測定距離同士の差分に基づいて行われることを特徴とする請求項９に記載の基板処理方法。
11. 基板を載置台に載置して当該基板に対して処理を行う装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
    前記コンピュータプログラムは、請求項９または１０に記載の基板処理方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。