JP2017063420A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画素部と、メモリーと、第1回路と、第2回路と、を有する半導体装置である。画素部は撮像データを取得する機能を有する。第1回路は、撮像データに離散コサイン変換を施し、第1データを生成する機能を有する。第1データはアナログデータであり、メモリーは第1データを記憶する機能を有する。第2回路は、第1データに離散コサイン変換を施し、第2データを生成する機能を有する。メモリーはチャネル形成領域に酸化物半導体を有する第1トランジスタと、Siウェハにチャネル形成領域が設けられている第2トランジスタを有する。
【選択図】図1
Description
〈半導体装置の構成例〉
図1に本発明の一態様である半導体装置10の構成例を示す。
図5(A)は、画素PIX[i、j]の一例を示す回路図である。画素PIX[i、j]は、トランジスタM1乃至トランジスタM5と、容量素子C1と、容量素子C2と、フォトダイオードPDを有する。また、画素PIX[i、j]は、配線WP[i]、配線SEL[i]、配線BP[j]、配線TX、配線PR及び配線FRに電気的に接続されている。
図6は、画素部13及びアナログ処理回路14の回路構成例である。画素部13は、マトリクス状に配置された複数の画素PIXと、複数の参照用画素PREFを有する。図6は、そのうち画素PIX[i、j]と参照用画素PREF[i]を示している。一部省略されているが、画素PIX[i、j]及び参照用画素PREF[i]の回路構成は、図5(A)と同一である。
次に、アナログ処理回路14の動作方法について、図6及び図7を用いて説明を行う。以降では、トランジスタM11乃至M13及びM15はpチャネル型トランジスタ、トランジスタM14はnチャネル型トランジスタとして説明を行う。
このとき、トランジスタM4に流れる電流IP[i、j]は、以下の式(10)で表される。
図8は、メモリセルアレイ18の構成例を表す回路図である。メモリセルアレイ18は、マトリクス状に配置された複数のメモリセルMEMと、複数の参照用メモリセルMREFを有する。図8は、そのうちメモリセルMEM[k、j]と、メモリセルMEM[k、j+1]と、メモリセルMEM[k+1、j]と、メモリセルMEM[k+1、j+1]と、参照用メモリセルMREF[j]と、参照用メモリセルMREF[j+1]を示している。なお、以下の説明はメモリセルMEM[k、j]及び参照用メモリセルMREFについてのみ行うが、他のメモリセルについても同様である。
図9は、メモリセルアレイ18とアナログ処理回路16の回路構成を示している。メモリセルアレイ18の構成要素のうち、図9はメモリセルMEM[k、j]と参照用メモリセルMREF[j]のみを示している。
次にアナログ処理回路16の動作方法について、図9及び図10を用いて説明を行う。
本実施の形態では、実施の形態1で説明した半導体装置10に適用可能なデバイスの構成例について、図15乃至図22を用いて説明を行う。
図15に示す断面図は、半導体装置10の構成例を示している。図15に示す半導体装置10は、トランジスタM21、トランジスタM22を有している。図15の左側は、半導体装置10を、トランジスタM21、M22のチャネル長方向に切断した場合の断面図を示し、図15の右側は、半導体装置10を、トランジスタM21、M22のチャネル幅方向に切断した場合の断面図を示している。
図16(A)は、図15に示す断面図の層F1の部分を抜き出したものである。また、図16(B)は、トランジスタM22の上面図を表している。図16(B)の上面図は、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。図16(A)の左側は、図16(B)に示す一点鎖線X1−X2に対応する断面図を表し、図16(A)の右側は、図16(B)に示す一点鎖線Y1−Y2に対応する断面図を表している。なお、一点鎖線X1−X2をトランジスタM22のチャネル長方向、一点鎖線Y1−Y2をトランジスタM22のチャネル幅方向と呼ぶ場合がある。
図18(A)は、図15に示す断面図の層F3の部分を抜き出したものである。また、図18(B)は、トランジスタM21の上面図を表している。図18(B)の上面図は、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。図18(A)の左側は、図18(B)に示す一点鎖線X1−X2に対応する断面図を表し、図18(A)の右側は、図18(B)に示す一点鎖線Y1−Y2に対応する断面図を表している。なお、一点鎖線X1−X2をトランジスタM21のチャネル長方向、一点鎖線Y1−Y2をトランジスタM21のチャネル幅方向と呼ぶ場合がある。
まず、酸化物半導体181乃至183に適用可能な酸化物半導体について説明を行う。
導電体187、189、190として、銅(Cu)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、金(Au)、アルミニウム(Al)、マンガン(Mn)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、鉛(Pb)、錫(Sn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ルテニウム(Ru)、白金(Pt)、イリジウム(Ir)、ストロンチウム(Sr)の低抵抗材料からなる単体、合金、またはこれらを主成分とする化合物を含む導電体の単層または積層とすることが好ましい。特に、耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましい。また、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。さらに、Cu−Mn合金を用いると、酸素を含む絶縁体との界面に酸化マンガンを形成し、酸化マンガンがCuの拡散を抑制する機能を持つので好ましい。
絶縁体188は、比誘電率の高い絶縁体を有することが好ましい。例えば、絶縁体188は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、またはシリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物などを有することが好ましい。
絶縁体191は、比誘電率の低い絶縁体を有することが好ましい。例えば、絶縁体191は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコンまたは樹脂などを有することが好ましい。または、絶縁体191は、酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンと、樹脂と、の積層構造を有することが好ましい。酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため、樹脂と組み合わせることで、熱的に安定かつ比誘電率の低い積層構造とすることができる。樹脂としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド(ナイロン、アラミドなど)、ポリイミド、ポリカーボネートまたはアクリルなどがある。
次に、フォトダイオードを設けた場合のデバイスの構成例について、図20及び図22を用いて説明を行う。
本実施の形態では、イメージセンサチップを収めたパッケージおよびカメラモジュールの一例について説明する。当該イメージセンサチップには、実施の形態1に示した半導体装置10の構成を用いることができる。
本発明の一態様に係る半導体装置を用いることができる電子機器として、表示機器、パーソナルコンピュータ、記録媒体を備えた画像記憶装置または画像再生装置、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯データ端末、電子書籍端末、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等のカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプレイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機、現金自動預け入れ払い機(ATM)、自動販売機などが挙げられる。これら電子機器の具体例を図25に示す。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明したOSトランジスタに適用可能な酸化物半導体の結晶構造について説明を行う。
AC1_R 回路
AC2 回路
AC2_R 回路
C1 容量素子
C2 容量素子
C11 容量素子
C21 容量素子
C31 容量素子
F1 層
F2 層
F3 層
F11 層
F12 層
F13 層
F21 層
F22 層
F23 層
L1 配線
L2 配線
L3 配線
L4 配線
L31 配線
L32 配線
L33 配線
L34 配線
M1 トランジスタ
M2 トランジスタ
M3 トランジスタ
M4 トランジスタ
M5 トランジスタ
M11 トランジスタ
M12 トランジスタ
M13 トランジスタ
M14 トランジスタ
M15 トランジスタ
M21 トランジスタ
M22 トランジスタ
M31 トランジスタ
M34 トランジスタ
M35 トランジスタ
P1 時刻
P2 時刻
P3 時刻
P4 時刻
P6 時刻
P7 時刻
P8 時刻
P9 時刻
P10 時刻
P11 時刻
P12 時刻
P13 時刻
P14 時刻
R1 抵抗素子
R2 抵抗素子
R31 抵抗素子
R32 抵抗素子
S1 スイッチ
S2 スイッチ
S3 スイッチ
S4 スイッチ
S5 スイッチ
S6 スイッチ
S7 スイッチ
S31 スイッチ
S33 スイッチ
S35 スイッチ
S36 スイッチ
S37 スイッチ
T1 時刻
T2 時刻
T3 時刻
T4 時刻
T5 時刻
T6 時刻
T7 時刻
T8 時刻
T9 時刻
T10 時刻
T11 時刻
T12 時刻
T13 時刻
T14 時刻
T15 時刻
T16 時刻
T17 時刻
T18 時刻
T19 時刻
T20 時刻
10 半導体装置
11 デコーダ
12 A/Dコンバータ
13 画素部
14 アナログ処理回路
15 デコーダ
16 アナログ処理回路
17 デコーダ
18 メモリセルアレイ
20 オペアンプ
30 オペアンプ
41 データ
42 データ
43 データ
44 データ
45 データ
46 データ
47 データ
48 データ
111 基板
112 素子分離層
113 プラグ
114 プラグ
115 プラグ
121 配線
122 配線
123 配線
124 プラグ
125 プラグ
126 プラグ
127 プラグ
128 絶縁体
131 配線
132 配線
133 プラグ
134 プラグ
135 プラグ
136 絶縁体
137 配線
138 配線
140 シリコン基板
141 n型シリコン層
142 p型シリコン層
143 導電層
144 絶縁体
151 隔壁
152 保護絶縁体
153 電極
154 光電変換層
155 電極
156 配線
157 配線
161 半導体層
162 半導体層
163 半導体層
170 チャネル形成領域
171 ウェル
172 不純物領域
173 不純物領域
174 ゲート絶縁体
175 導電性領域
176 導電性領域
177 ゲート電極
178 絶縁体
180 酸化物半導体
181 酸化物半導体
182 酸化物半導体
183 酸化物半導体
184 絶縁体
185 絶縁体
186 絶縁体
187 導電体
188 絶縁体
189 導電体
190 導電体
191 絶縁体
192 領域
193 領域
201 ウェル
202 チャネル形成領域
203 高濃度不純物領域
204 高濃度不純物領域
205 導電性領域
206 導電性領域
207 ゲート電極
208 ゲート絶縁体
209 側壁絶縁層
210 側壁絶縁層
211 低濃度不純物領域
212 低濃度不純物領域
810 パッケージ基板
811 パッケージ基板
820 カバーガラス
821 レンズカバー
830 接着剤
835 レンズ
840 バンプ
841 ランド
850 イメージセンサチップ
851 イメージセンサチップ
860 電極パッド
861 電極パッド
870 ワイヤ
871 ワイヤ
880 スルーホール
885 ランド
890 ICチップ
901 筐体
902 筐体
903 表示部
904 表示部
905 マイク
906 スピーカー
907 操作キー
908 スタイラス
909 カメラ
911 筐体
912 表示部
919 カメラ
931 筐体
932 表示部
933 リストバンド
935 ボタン
936 竜頭
939 カメラ
951 筐体
952 レンズ
953 支持部
961 筐体
962 シャッターボタン
963 マイク
965 レンズ
967 発光部
971 筐体
972 筐体
973 表示部
974 操作キー
975 レンズ
976 接続部
Claims (7)
- 画素部と、
メモリーと、
第1回路と、
第2回路と、を有し、
前記画素部は撮像データを取得する機能を有し、
前記第1回路は、前記撮像データに離散コサイン変換を施し、第1データを生成する機能を有し、
前記第1データはアナログデータであり、
前記メモリーは前記第1データを記憶する機能を有し、
前記第2回路は、前記第1データに離散コサイン変換を施し、第2データを生成する機能を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記画素部は、
フォトダイオードと、
トランジスタと、を有し、
前記トランジスタはチャネル形成領域に酸化物半導体を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記メモリーは、第1トランジスタと、第2トランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第1トランジスタはチャネル形成領域に酸化物半導体を有し、
前記第2トランジスタはSiウェハにチャネル形成領域が設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 画素部と、
メモリーと、
第1回路と、
第2回路と、を有し、
前記画素部は第1乃至第3撮像データを取得する機能を有し、
前記第3撮像データは、前記第1撮像データと前記第2撮像データの差分であり、
前記第1回路は、前記第3撮像データに離散コサイン変換を施し、第1データを生成する機能を有し、
前記第1データはアナログデータであり、
前記メモリーは前記第1データを記憶する機能を有し、
前記第2回路は、前記第1データに離散コサイン変換を施し、第2データを生成する機能を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項4において、
前記画素部は、
フォトダイオードと、
トランジスタと、を有し、
前記トランジスタはチャネル形成領域に酸化物半導体を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項4において、
前記メモリーは、
第1トランジスタと、
第2トランジスタと、
容量素子と、を有し、
前記第1トランジスタはチャネル形成領域に酸化物半導体を有し、
前記第2トランジスタはSiウェハにチャネル形成領域が設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の半導体装置およびレンズを有するカメラモジュール。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019012370A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置および電子機器 |
WO2019012369A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置、及び電子機器 |
WO2019243951A1 (ja) * | 2018-06-21 | 2019-12-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置及びその動作方法、並びに電子機器 |
JP7414748B2 (ja) | 2021-01-22 | 2024-01-16 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び光検出システム |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9773832B2 (en) | 2014-12-10 | 2017-09-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device |
US10305460B2 (en) | 2016-02-23 | 2019-05-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Data comparison circuit and semiconductor device |
WO2021191719A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置および電子機器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008017405A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 2次元直交変換装置、2次元直交変換方法および撮像システム |
JP2013102134A (ja) * | 2011-09-23 | 2013-05-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法及び半導体装置 |
JP2014197862A (ja) * | 2012-02-29 | 2014-10-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | イメージセンサ |
Family Cites Families (109)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
DE69635107D1 (de) | 1995-08-03 | 2005-09-29 | Koninkl Philips Electronics Nv | Halbleiteranordnung mit einem transparenten schaltungselement |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
US7061014B2 (en) | 2001-11-05 | 2006-06-13 | Japan Science And Technology Agency | Natural-superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
WO2004004359A1 (en) * | 2002-07-01 | 2004-01-08 | E G Technology Inc. | Efficient compression and transport of video over a network |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
EP1737044B1 (en) | 2004-03-12 | 2014-12-10 | Japan Science and Technology Agency | Amorphous oxide and thin film transistor |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
CA2708335A1 (en) | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Amorphous oxide and field effect transistor |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
AU2005302964B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor employing an amorphous oxide |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
EP1810335B1 (en) | 2004-11-10 | 2020-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI569441B (zh) | 2005-01-28 | 2017-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
TWI412138B (zh) | 2005-01-28 | 2013-10-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
WO2006105077A2 (en) | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage thin film transistor with high-k dielectric material |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
EP1998375A3 (en) | 2005-09-29 | 2012-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method |
JP5064747B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-10-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法 |
JP5078246B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-11-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、及び半導体装置の作製方法 |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
KR101112652B1 (ko) | 2005-11-15 | 2012-02-16 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 액티브 매트릭스 디스플레이 장치 및 텔레비전 수신기 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
CN101663762B (zh) | 2007-04-25 | 2011-09-21 | 佳能株式会社 | 氧氮化物半导体 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
US8202365B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
KR20230130172A (ko) | 2009-10-29 | 2023-09-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
JP5767816B2 (ja) * | 2011-01-20 | 2015-08-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 記録装置に搭載可能な半導体集積回路およびその動作方法 |
US8836626B2 (en) | 2011-07-15 | 2014-09-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for driving the same |
US9773832B2 (en) | 2014-12-10 | 2017-09-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device |
US9716852B2 (en) | 2015-04-03 | 2017-07-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Broadcast system |
KR20170061602A (ko) * | 2015-11-26 | 2017-06-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 전자 기기 |
-
2016
- 2016-09-22 JP JP2016184960A patent/JP2017063420A/ja not_active Withdrawn
- 2016-09-23 US US15/274,312 patent/US9883129B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008017405A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 2次元直交変換装置、2次元直交変換方法および撮像システム |
JP2013102134A (ja) * | 2011-09-23 | 2013-05-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法及び半導体装置 |
JP2014197862A (ja) * | 2012-02-29 | 2014-10-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | イメージセンサ |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
吉田 真 ほか8名: "2次元DCTとAD変換/量子化器を集積した画像圧縮CMOSイメージセンサ", 映像情報メディア学会技術報告, vol. 第21巻、第21号, JPN6020022184, 14 March 1997 (1997-03-14), pages 19 - 24, ISSN: 0004292431 * |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10951850B2 (en) | 2017-07-14 | 2021-03-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device and electronic device |
WO2019012370A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置および電子機器 |
US11848340B2 (en) | 2017-07-14 | 2023-12-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device and electronic device |
CN110832845A (zh) * | 2017-07-14 | 2020-02-21 | 株式会社半导体能源研究所 | 摄像装置及电子设备 |
JPWO2019012370A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2020-07-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置および電子機器 |
JPWO2019012369A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2020-07-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置、及び電子機器 |
WO2019012369A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置、及び電子機器 |
US11302726B2 (en) | 2017-07-14 | 2022-04-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device and electronic device |
CN110832845B (zh) * | 2017-07-14 | 2022-07-05 | 株式会社半导体能源研究所 | 摄像装置及电子设备 |
US11600645B2 (en) | 2018-06-21 | 2023-03-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device, operation method thereof, and electronic device |
JPWO2019243951A1 (ja) * | 2018-06-21 | 2021-07-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置及びその動作方法、並びに電子機器 |
WO2019243951A1 (ja) * | 2018-06-21 | 2019-12-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置及びその動作方法、並びに電子機器 |
US11862649B2 (en) | 2018-06-21 | 2024-01-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device, operation method thereof, and electronic device |
JP7414748B2 (ja) | 2021-01-22 | 2024-01-16 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び光検出システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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