JP7060943B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、マウントフランジの端面を修正する端面修正ユニットを備える切削装置に関する。

一般に、ウエーハ等の被加工物を切削する切削装置は、切削ブレードをマウントフランジによってスピンドルの先端に固定している。マウントフランジは、切削ブレードの一側面に環状の端面を接触させた状態で固定ナットにより切削ブレードを挟持する。この種のマウントフランジでは、端面に付着物や傷が生じることで、端面に凹凸が発生すると切削ブレードの挟持が部分的になる。また、スピンドルの回転軸と直交する面に対して端面が斜めに設定されていたりする場合がある。すると、切削ブレードの挟持が部分的になり、切削時に回転軸に対して切削ブレードが振れ易くなったり、斜めに回転してしまい、被加工物の欠けや切削ブレードの破損の原因となる。そこで、定期的に又はマウントフランジ交換時に、該マウントフランジの端面を研磨砥石で研磨して、端面を平坦で回転軸と垂直な面にする端面修正という作業が実施されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。

特開平０８－３３９９７７号公報 特開２０１７－０１９０４３号公報

ところで、上記した端面修正の作業は、被加工物の加工（生産）を停止して実施される。具体的には、研磨砥石を固定した専用治具をチャックテーブルに固定し、回転するマウントフランジの端面に対して研磨砥石を接触させて該端面を研磨する。このため、端面修正の作業では、チャックテーブルを専用チャックテーブルに交換し、専用治具を用意し、研磨砥石と端面とを所定の位置に位置付ける調整をし、研磨後に元のチャックテーブルへ交換し、交換したチャックテーブルの表面に切削ブレードを接触させて切り込み送り方向の基準位置を再度設定することを要し、端面修正の作業に非常に工数がかかり煩雑になるという問題があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、端面修正を実施するための工数を低減し、端面修正を容易に実施することができる切削装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの外周に取り付けられる円筒状のボス部とボス部の外周面から径方向外向きに延出したフランジ部とを備えてスピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ユニットを該スピンドルの軸心方向に平行な割り出し送り方向に移動させる割り出し送りユニットと、該割り出し送り方向と直交する加工送り方向に該チャックテーブルを移動させる加工送りユニットと、該マウントフランジの該フランジ部の外縁に設けられかつ該フランジ部よりも該切削ブレード側に突出して該切削ブレードに接触して支持する端面を修正する端面修正ユニットと、を備える切削装置であって、該加工送りユニットは、該チャックテーブルを支持する移動基台と、該移動基台を移動させる駆動部と、を備え、該端面修正ユニットは、該移動基台に固定され、かつ、該端面を研磨する研磨砥石を固定する固定部と、該固定部を該マウントフランジの該端面に該研磨砥石を接触させる作用位置と、該マウントフランジから退避する退避位置とに位置付ける位置付けユニットと、を備えるものである。

この構成によれば、マウントフランジの端面を修正する端面修正ユニットを、チャックテーブルを加工送り方向に移動させる加工送りユニットの移動テーブルに設けたため、専用チャックテーブルへの交換や専用治具を別途準備する必要が無く、端面修正を実施するための工数の低減を図り、端面修正を容易に実施することができる。

この構成によれば、位置付けユニットは、被加工物の加工時に、研磨砥石を固定する固定部をマウントフランジから退避する退避位置に位置付けるため、研磨砥石及び固定部が切削ユニットの加工動作を阻害することを防止する。また、位置付けユニットは、被加工物の加工停止時に、固定部に固定された研磨砥石をマウントフランジの端面に接触させる作用位置に位置付けるため、端面修正の作業を容易に実施することができる。
該研磨砥石の該端面に接触して該端面を修正する修正面の高さが該端面の幅よりも大きくてもよい。
該研磨砥石の該修正面の幅が該端面の幅よりも大きくてもよい。

本発明によれば、マウントフランジの端面を修正する端面修正ユニットを、チャックテーブルを加工送り方向に移動させる加工送りユニットの移動基台に設けたため、専用チャックテーブルへの交換や専用治具を別途準備する必要が無く、端面修正を実施するための工数の低減を図り、端面修正を容易に実施することができる。

図１は、本実施形態に係る切削装置の構成を示す外観斜視図である。 図２は、切削装置の加工送りユニットの構成を示す部分断面図である。 図３は、切削装置の切削ユニットの構成を示す分解斜視図である。 図４は、端面修正ユニットによりマウントフランジの端面修正を行っている状態を示す側面図である。 図５は、図４に相当する上面図である。 図６は、図４に相当する要部拡大図である。

本発明の実施形態に係る切削装置について説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

図１は、本実施形態に係る切削装置の構成を示す外観斜視図である。図２は、切削装置の加工送りユニットの構成を示す部分断面図である。図３は、切削装置の切削ユニットの構成を示す分解斜視図である。切削装置１は、被加工物２００を切削加工して、被加工物２００を個々のチップに分割する装置である。本実施形態では、被加工物２００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板形状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。これらのウエーハは、表面に格子状に形成された分割予定ラインを有し、この分割予定ラインで区画された各領域にデバイスが形成されている。切削装置１は、分割予定ラインに沿って切削してウエーハをデバイスチップに分割する。被加工物２００は、裏面側にダイシングテープ２０１が貼着され、このダイシングテープ２０１に環状フレーム２０２が貼着される。これにより、被加工物２００は、ダイシングテープ２０１を介して環状フレーム２０２に支持される。また、被加工物２００には、円板状のウエーハだけでなく、矩形板状に形成されたパッケージ基板、セラミクス基板、ガラス基板などが含まれる。

切削装置１は、図１に示すように、環状フレーム２０２に支持された被加工物２００を保持面１１で吸引保持する回転可能なチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に切削水を供給しながら該被加工物２００を切削ブレード２１で切削（加工）する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させる加工送りユニット３０と、切削ユニット２０をＸ軸方向と直交するＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動させる割り出し送りユニット４０と、切削ユニット２０をＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ直交するＺ軸方向（鉛直方向）に移動させる切り込み送りユニット５０と、制御ユニット６０とを備える。切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた構成であるが、切削ユニット２０を１つ備えた構成であってもよい。

チャックテーブル１０は、直方体状の装置本体２の上面に配置されており、被加工物２００が載置されて吸引される保持面１１と、この保持面１１の外周側に複数配置されて被加工物２００に貼着された環状フレーム２０２を固定するクランプ部１２とを有している。チャックテーブル１０は、保持面１１を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、真空吸引経路（不図示）を介して真空吸引源（不図示）と接続され、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引することで保持する。また、チャックテーブル１０は、加工送りユニット３０により装置本体２の上面をＸ軸方向（加工送り方向）に移動自在であるとともに、回転駆動源（不図示）によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転される。

加工送りユニット３０は、チャックテーブル１０を保持面１１と平行なＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。加工送りユニット３０は、図２に示すように、Ｘ軸方向に延びる一対のガイドレール３１と、これらガイドレール３１と平行に配設されたボールねじ３２と、このボールねじ３２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール３１に沿って移動する移動基台３３とを備える。この移動基台３３には支持基台３４が立設され、該支持基台３４にチャックテーブル１０が支持される。また、ボールねじ３２の一端には、該ボールねじ３２を回転させるパルスモータ（不図示）が連結され、ボールねじ３２の回転によって、移動基台３３（チャックテーブル１０）は、ガイドレール３１に沿ってＸ軸方向に移動する。本構成では、ガイドレール３１、ボールねじ３２及びパルスモータが移動基台３３を移動させる駆動部として機能する。

切削装置１は、図１に示すように、切削時に供給された切削水が加工送りユニット３０に浸入することを防止する防水カバー３５と、この防水カバー３５に連結される一対の蛇腹部３６とを備える。防水カバー３５は、図２に示すように、移動基台３３に立設される複数の支柱３７により支持されて該移動基台３３を覆う。防水カバー３５は、中央部に支持基台３４が貫通する開口部３５Ａ１を有する上面部３５Ａと、この上面部３５Ａの側縁から下方に延びる側面部３５Ｂとを備え、樹脂材料を用いて一体に形成される。防水カバー３５の開口部３５Ａ１と支持基台３４との間にはシール材（不図示）が設けられている。蛇腹部３６（図１）は、それぞれ防水カバー３５の側面部３５Ｂに連結され、ボールねじ３２の上方を覆って、Ｘ軸方向（加工送り方向）に延在する。

装置本体２の上面には、Ｙ軸方向に沿って延在するとともに、チャックテーブル１０を跨いで配置される門型の支持構造３が設けられる。割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０は、上記支持構造３に設けられている。割り出し送りユニット４０は、切削ユニット２０を保持面１１と平行でかつＸ軸方向と直交する割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。割り出し送りユニット４０は、図１に示すように、支持構造３に配置されてＹ軸方向に延びる一対のガイドレール４１と、これらガイドレール４１と平行に配設されたボールねじ４２と、このボールねじ４２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール４１に沿って移動するブレード移動基台４３とを備える。ボールねじ４２の一端には、該ボールねじ４２を回転させるパルスモータ４４が連結され、ボールねじ４２の回転によって、ブレード移動基台４３は、ガイドレール４１に沿ってＹ軸方向に移動する。

切り込み送りユニット５０は、切削ユニット２０を保持面１１と直交する切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。切り込み送りユニット５０は、図１に示すように、ブレード移動基台４３に配置されてＺ軸方向に延びる一対のガイドレール５１と、これらガイドレール５１と平行に配設されたボールねじ５２と、このボールねじ５２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール５１に沿って移動する切り込み移動基台５３とを備える。この切り込み移動基台５３には、上記した切削ユニット２０が支持されている。また、ボールねじ５２の一端には、該ボールねじ５２を回転させるパルスモータ５４が連結され、ボールねじ５２の回転によって、切り込み移動基台５３は、ガイドレール５１に沿ってＺ軸方向に移動する。

切削ユニット２０は、割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。切削ユニット２０は、図３に示すように、ハウジング２３と、スピンドル２２と、マウントフランジ２４と、切削ブレード２１と、固定ナット２５とを備える。また、切削ユニット２０は、図示は省略するが、切削加工時に、切削ブレード２１の刃先、及び、加工点に向けてそれぞれ切削水を供給するノズルを備えている。

切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、金属（例えばアルミニウム）で形成された円盤状の基台２１Ａの外周に固定されて、被加工物２００を切削する円環状の切り刃２１Ｂを備える。切り刃２１Ｂは、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、切削ブレードとして、切り刃のみで構成されたワッシャーブレードを用いてもよい。

スピンドル２２は、切削ブレード２１を回転させることで被加工物２００を切削する。スピンドル２２は、ハウジング２３内に収容され、このハウジング２３は、切り込み送りユニット５０の切り込み移動基台５３に支持されている。切削ユニット２０のスピンドル２２及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。また、スピンドル２２の一端側は、ハウジング２３の一端部から外部に突出し、スピンドル２２の他端側には、該スピンドル２２を回転させるためのモータ（不図示）が連結されている。また、スピンドル２２の一端部の外周に、マウントフランジ２４が装着される。

マウントフランジ２４は、切削ブレード２１を支持する。マウントフランジ２４は、金属製であり、スピンドル２２の一端部の外周に取り付けられる円筒状のボス部２４Ａと、ボス部２４Ａの外周面から径方向外向きに延出したフランジ部２４Ｂとを備える。マウントフランジ２４は、ボス部２４Ａ内にスピンドル２２の一端部が嵌め込まれ、ボルト２６がスピンドル２２の一端部にねじ込まれることにより、スピンドル２２に固定される。また、切削ブレード２１は、ボス部２４Ａの外周部に嵌め込まれて、このボス部２４Ａの外周に固定ナット２５が螺合される。これにより、切削ブレード２１の基台２１Ａを固定ナット２５とマウントフランジ２４とで挟持して固定する。マウントフランジ２４のフランジ部２４Ｂには、切削ブレード２１の基台２１Ａと当接して切削ブレード２１を支持する端面２４Ｃが形成されている。また、切削ユニット２０は、図１に示すように、被加工物２００の上面を撮像する撮像部２９が一体的に移動するように固定されている。撮像部２９は、チャックテーブル１０に保持された加工前の被加工物２００の分割すべき領域を撮像するＣＣＤカメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮像して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを行うための画像を取得し、取得した画像を制御ユニット６０に出力する。

また、切削装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット７０が載置されかつカセット７０をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ７５と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄手段８０と、カセット７０とチャックテーブル１０と洗浄手段８０との間で被加工物２００を搬送する搬送手段（不図示）とを備える。

ところで、上述したように、切削ブレード２１は、切削ブレード２１の基台２１Ａを固定ナット２５とマウントフランジ２４の端面２４Ｃとで挟持して固定している。ここで、例えば、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに基台２１Ａを形成するアルミニウム金属の一部が付着することにより、マウントフランジ２４の端面２４Ｃが平坦でない場合や、端面２４Ｃとスピンドル２２の軸心とのなす角度が直角でない場合には、スピンドル２２の回転時に切削ブレード２１がばたつき、精密に切削できないという問題が生じる可能性がある。このため、切削装置１は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを修正する端面修正ユニット１００を備える。この端面修正ユニット１００は、定期的に、又はマウントフランジ２４の交換時に、このマウントフランジ２４の端面２４Ｃを研磨して、この端面２４Ｃとスピンドル２２の軸心とのなす角度を直角な平面に修正する。

端面修正ユニット１００は、図２に示すように、移動基台３３上に固定されるとともに、防水カバー３５を貫通し、チャックテーブル１０に隣接して配置される。図２には端面修正ユニット１００を１つしか描いていないが、切削装置１は、２つの端面修正ユニット１００を備え、これら端面修正ユニット１００は、図１に示すように、各切削ユニット２０に対応して防水カバー３５の角部にそれぞれ配置されている。

端面修正ユニット１００は、端面２４Ｃを研磨する研磨砥石１０１が固定される砥石固定部（固定部）１０２と、砥石固定部１０２に連結されて研磨砥石１０１の位置をＺ軸に沿って上下方向に移動させる位置付けユニット１０３とを備える。端面修正ユニット１００は、切削加工時に供給される切削水が飛び散る方向と反対側に設けられており、端面修正ユニット１００の位置付けユニット１０３は移動基台３３の上に固定されている。これにより、端面修正ユニット１００の研磨砥石１０１に切削水や切削屑が付着することを防止している。また、端面修正ユニット１００は、例えば、防水カバー３５に取り付けられて、研磨砥石１０１及び砥石固定部１０２を開閉自在に覆う不図示のカバー体を備えても良い。この構成では、端面修正ユニット１００を使用する際に、カバー体を開けて端面２４Ｃの研磨を実行し、端面修正ユニット１００を使用しない場合は、カバー体を閉じておく。この構成によっても、端面修正ユニット１００の研磨砥石１０１に切削水や切削屑が付着することを防止できる。

研磨砥石１０１は、ホワイトアランダム（ＷＡ）やグリーンカーボランダム（ＧＣ）等の砥粒を樹脂材で固めて構成される。研磨砥石１０１は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに接触して端面２４Ｃを修正する修正面１０１Ａを有し、この修正面１０１Ａは、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの径方向の幅Ｗ（図３）よりも僅かに大きい高さＨに形成される。砥石固定部１０２は、防水カバー３５の外側空間に配置され、研磨砥石１０１の修正面１０１ＡがＹ軸方向の装置外側を向くように研磨砥石１０１を固定する。すなわち、研磨砥石１０１の修正面１０１Ａは、Ｘ軸方向とＺ軸方向との双方と平行になる。

位置付けユニット１０３は、例えば、エアシリンダ油圧シリンダを用いて構成され、砥石固定部１０２に固定された研磨砥石１０１をマウントフランジ２４の端面２４Ｃに接触させる作用位置と、マウントフランジ２４から退避する退避位置とに位置付ける。具体的には、切削ユニット２０が切削加工時には、図２に示すように、位置付けユニット１０３を収縮させて、砥石固定部１０２がマウントフランジ２４から退避する退避位置に位置付ける。また、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの加工時には、後述するが、位置付けユニット１０３を伸張させて、研磨砥石１０１が端面２４Ｃに接触させる作用位置に位置付ける。

次に、本実施形態に係る端面修正の作業手順を説明する。図４は、端面修正ユニットによりマウントフランジの端面修正を行っている状態を示す側面図である。図５は、図４に相当する上面図である。図６は、図４に相当する要部拡大図である。

端面修正は、定期的に、又は切削ユニット２０のマウントフランジ２４の交換時に行われる。オペレータは、切削装置１の運転を停止し、切削ユニット２０の固定ナット２５及び切削ブレード２１（図２）を取り外す。また、マウントフランジ２４をスピンドル２２から取り外し、新たなマウントフランジ２４をスピンドル２２に取り付けた状態としてもよい。これらの状態では、図４及び図５に示すように、マウントフランジ２４は、端面２４Ｃが露出した状態となっている。この場合、端面修正ユニット１００は、図２に示すように、位置付けユニット１０３を収縮させて、研磨砥石１０１が退避位置に位置付けられている。

次に、オペレータは、制御ユニット６０に端面修正作業を実行させる。制御ユニット６０は、割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０を動作させて、図４及び図５に示すように、切削ユニット２０を予め定められた初期位置に位置付けるとともに、端面修正ユニット１００の位置付けユニット１０３のロッド１０３Ａを伸張させて、砥石固定部１０２が端面２４Ｃと対面する予め定められた作用位置に位置付ける。

次に、制御ユニット６０は、割り出し送りユニット４０を動作させて、マウントフランジ２４の端面２４Ｃと研磨砥石１０１の修正面１０１Ａとが接触する所定位置まで、切削ユニット２０をＹ軸方向に割り出し送りさせる。この場合、マウントフランジ２４と研磨砥石１０１との接触は、例えば、マウントフランジ２４に微弱電流を流しておき、この電流値（抵抗値）の変化により検出することができる。また、カメラ等の撮像画像に基づいて接触を検知してもよい。制御ユニット６０は、マウントフランジ２４と研磨砥石１０１とが接触した瞬間に割り出し送りユニット４０の動作を停止する。

次に、制御ユニット６０は、スピンドル２２を回転させつつ、割り出し送りユニット４０でマウントフランジ２４をＹ軸方向に予め定めた研磨距離だけ送る。さらに制御ユニット６０は、加工送りユニット３０で移動基台３３、すなわち研磨砥石１０１をＸ軸方向に端面２４Ｃ全体に接触できる所定範囲内で往復移動させながら研磨砥石１０１でマウントフランジ２４の端面２４Ｃを研磨する。本構成では、研磨砥石１０１の修正面１０１Ａは、図６に示すように、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの径方向の幅Ｗよりも僅かに大きい高さＨ及び幅Ｌに形成される。このため、研磨砥石１０１を、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを挟んでＸ軸方向に沿って往復移動させることにより、研磨砥石１０１の修正面１０１Ａ全体を端面２４Ｃに接触させることができ、研磨砥石１０１の偏摩耗が防止される。こうして、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを平坦かつスピンドル２２の軸心とのなす角度を直角に修正することができる。制御ユニット６０は、移動基台３３の往復動作を予め定められた所定時間又は所定回数行うと、端面修正作業を終了する。この例では、端面修正作業を制御ユニット６０に実行させた構成を説明したが、オペレータが各ユニットを動作させて端面修正作業を実行してもよいことは勿論である。

以上のように、本実施形態に係る切削装置１は、板状の被加工物２００を保持するチャックテーブル１０と、スピンドル２２の先端に固定されたマウントフランジ２４で切削ブレード２１を固定し該チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ユニット２０と、切削ユニット２０をスピンドル２２の軸心方向に移動させる割り出し送りユニット４０と、割り出し送り方向と直交する加工送り方向にチャックテーブル１０を移動させる加工送りユニット３０と、切削ブレード２１に接触して支持するマウントフランジ２４の端面２４Ｃを修正する端面修正ユニット１００と、を備え、加工送りユニット３０は、チャックテーブル１０を支持する移動基台３３と、移動基台３３を移動させる駆動部としてのガイドレール３１、ボールねじ３２及びパルスモータと、を備え、端面修正ユニット１００は、移動基台３３に固定されている。

この構成によれば、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを修正する端面修正ユニット１００を、チャックテーブル１０を加工送り方向に移動させる加工送りユニット３０の移動基台３３に設けたため、従来のように、チャックテーブルを専用チャックテーブルに交換したり、研磨砥石を有する専用治具を用意して、研磨砥石とマウントフランジ２４の端面２４Ｃとを所定位置に位置付けるように専用治具の位置を調整したり、研磨後に元のチャックテーブルへ交換する際に、このチャックテーブルの表面に切削ブレード２１を接触させて切り込み送り方向の基準位置を再度設定することが不要となる。このため、端面修正を実施するための工数の低減を図り、移動基台３３に設けた端面修正ユニット１００によって、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの修正を容易に実施することができる。

また、本実施形態によれば、端面修正ユニット１００は、研磨砥石１０１を固定する砥石固定部１０２と、この砥石固定部１０２をマウントフランジ２４の端面２４Ｃに研磨砥石１０１の修正面１０１Ａを接触させる作用位置と、マウントフランジ２４から退避する退避位置とに位置付ける位置付けユニット１０３と、を備えるため、被加工物２００の加工時には、研磨砥石１０１及び砥石固定部１０２が切削ユニット２０の加工動作を阻害することを防止でき、被加工物２００の加工停止時には、研磨砥石１０１の修正面１０１Ａをマウントフランジ２４の端面２４Ｃに容易に接触させることができ、端面２４Ｃの修正作業を容易に実施することができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記した実施形態では、切削装置１は、Ｙ軸方向に対向して配置される２台の切削ユニット２０，２０と、これら切削ユニット２０，２０にそれぞれ対応する位置に２つの端面修正ユニット１００，１００とを備えるため、各切削ユニット２０におけるマウントフランジ２４の端面２４Ｃを同時に修正することができる効果を有する。ただし、この構成に限るものではなく、１台の切削ユニット２０を備える構成では、この切削ユニット２０に対応する位置に１つの端面修正ユニット１００を設けた構成としてもよい。

１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
２４ マウントフランジ
２４Ａ ボス部
２４Ｂ フランジ部
２４Ｃ 端面
３０ 加工送りユニット
３１ ガイドレール
３３ 移動基台
４０ 割り出し送りユニット
５０ 切り込み送りユニット
６０ 制御ユニット
１００ 端面修正ユニット
１０１ 研磨砥石
１０１Ａ 修正面
１０２ 砥石固定部
１０３ 位置付けユニット
１０３Ａ ロッド
２００ 被加工物

Claims (3)

1. 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの外周に取り付けられる円筒状のボス部とボス部の外周面から径方向外向きに延出したフランジ部とを備えてスピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ユニットを該スピンドルの軸心方向に平行な割り出し送り方向に移動させる割り出し送りユニットと、該割り出し送り方向と直交する加工送り方向に該チャックテーブルを移動させる加工送りユニットと、該マウントフランジの該フランジ部の外縁に設けられかつ該フランジ部よりも該切削ブレード側に突出して該切削ブレードに接触して支持する端面を修正する端面修正ユニットと、を備える切削装置であって、
   該加工送りユニットは、
   該チャックテーブルを支持する移動基台と、該移動基台を移動させる駆動部と、を備え、
   該端面修正ユニットは、該移動基台に固定され、かつ、該端面を研磨する研磨砥石を固定する固定部と、該固定部を該マウントフランジの該端面に該研磨砥石を接触させる作用位置と、該マウントフランジから退避する退避位置とに位置付ける位置付けユニットと、を備える切削装置。
2. 該研磨砥石の該端面に接触して該端面を修正する修正面の高さが該端面の幅よりも大きい請求項１に記載の切削装置。
3. 該研磨砥石の該修正面の幅が該端面の幅よりも大きい請求項２に記載の切削装置。

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