JP6695945B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
基板をφ300mmあるいはφ450mmの半導体ウェーハとし、パージガスを不活性ガスあるいはドライエアとし、
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を複数設けるとともに、この吹出口を、容器本体の複数の支持片に水平に支持された半導体ウェーハと同じ高さに設けて半導体ウェーハの表面と周縁部後方の端面とが形成する角部に対向させ、
パージユニットの吹出口から吹き出たパージガスを、半導体ウェーハの周縁部後方に衝突させて上下に分流し、この上下に分流したパージガスを半導体ウェーハの表裏両面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにしたことを特徴としている。
導通部材の導出部をユニット本体に設け、ユニット本体を容器本体の背面壁の内面寄りに立て設けてユニット本体の正面を容器本体正面に向け、このユニット本体の正面に、パージガス用の複数の吹出口を設けるとともに、この吹き出し口を、容器本体の複数の支持片に水平に支持された半導体ウェーハと同じ高さに設けて半導体ウェーハの表面と周縁部後方の端面とが形成する角部付近に対向させ、ユニット本体の内部正面に、濾過用のメンブレンフィルタを貼着することが可能である。
このような容器本体1は、蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、開口した正面に蓋体11が圧入して嵌合された状態でパージされたり、EFEM(Equipment Front End Module)に併設された蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、この蓋体開閉装置により正面からシール状態の蓋体11が取り外された後、正面が開口した状態でパージされたりする。
表面プレート13は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート13の両側部には、施錠機構20用の操作孔がそれぞれ穿孔される。
2 底板
4 支持片
6 背面壁
7 取付孔
11 蓋体
20 施錠機構
30 給気バルブ(給気部材)
50 パージユニット
51 導通管
52 導出部
53 ユニット本体
54 正面壁(正面)
55 吹出口
56 メンブレンフィルタ
57 パージボックス
58 パージプレート(正面)
59 パージ空間
60 導通路
61 導出路
62 分岐路
63 吹出口
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (3)
- 複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面を嵌合閉鎖する着脱自在の蓋体と、容器本体の外部から内部後方にパージガスを供給可能な給気部材と、この給気部材からのパージガスを容器本体の内部後方から正面方向に供給可能なパージユニットとを備え、EFEMに併せ設けられた蓋体開閉装置に容器本体を搭載して蓋体を取り外し、EFEM天井から床方向にクリーンエアをダウンフローするとともに、正面が開口した容器本体の外部から内部後方にパージガスを供給する基板収納容器であって、
基板をφ300mmあるいはφ450mmの半導体ウェーハとし、パージガスを不活性ガスあるいはドライエアとし、
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を複数設けるとともに、この吹出口を、容器本体の複数の支持片に水平に支持された半導体ウェーハと同じ高さに設けて半導体ウェーハの表面と周縁部後方の端面とが形成する角部に対向させ、
パージユニットの吹出口から吹き出たパージガスを、半導体ウェーハの周縁部後方に衝突させて上下に分流し、この上下に分流したパージガスを半導体ウェーハの表裏両面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の複数の支持片の配列数に応じ、パージユニットの正面高さ方向に複数の吹出口を並べ設けた請求項1記載の基板収納容器。
- パージユニットは、容器本体の底部後方の給気部材に連通されるパージガス用の導通部材と、この導通部材の導出部から導出したパージガスを容器本体の正面方向に吹き出す中空のユニット本体とを含み、導通部材の導出部をユニット本体に設け、ユニット本体を容器本体の背面壁の内面寄りに立て設けてユニット本体の正面を容器本体の正面方向に向け、このユニット本体の正面に、パージガス用の複数の吹出口を設けるとともに、吹出口を、容器本体の複数の支持片に水平に支持された半導体ウェーハと同じ高さに設けて半導体ウェーハの表面と周縁部後方の端面とが形成する角部に対向させ、ユニット本体の内部正面に、濾過用のメンブレンフィルタを貼着した請求項1又は2記載の基板収納容器。
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JP2018165585A JP6695945B2 (ja) | 2018-09-05 | 2018-09-05 | 基板収納容器 |
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