JP2017003571A - マイクロポジションギャップセンサ組立体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】構造的ハウジング102と、固着されて流体の浸入に対する障壁を形成する可撓性ダイヤフラムとを、備えるマイクロポジションギャップセンサ組立体100であって、可撓性ダイヤフラムに直交して取り付けられたシャフト106と、スタンドオフが少なくとも1つある第1保持器108と、第2保持器110と、平行プレートギャップセンサ113とが構造的ハウジング102に含まれる。平行プレートギャップセンサ113には、第1保持器108の一部に付勢されて非接触センサプレート112の平面を規定し、第1保持器108に抵抗する付勢力を第2保持器110から受ける非接触センサプレート112と、導電性常磁性材料で構成されたターゲットプレート114とが含まれる。
【選択図】図1
Description
Claims (20)
- 構造的ハウジングと、
前記構造的ハウジングの第1端部に固着され、前記構造的ハウジングに浸入する流体に対する障壁を形成する可撓性ダイヤフラムと、
前記可撓性ダイヤフラムに直交して取り付けられたシャフトと、
第1保持器と、
第2保持器と、
プレートギャップセンサとを具備するマイクロポジションギャップセンサ組立体であって、前記プレートギャップセンサは、
第1面が前記第1保持器の一部に付勢され、第2保持器から前記第1保持器に対抗する付勢力を受ける非接触センサプレートと、
前記非接触センサプレートに近接して隙間で分離されたターゲットプレートと、を含み、
前記ターゲットプレートと前記非接触センサプレートのうち一方を前記シャフトに接続して前記シャフトと共に動くように前記プレートギャップセンサを構成し、前記シャフトの移動によって該一方の前記ターゲットプレート又は前記非接触センサプレートが変位することで前記ターゲットプレートと前記非接触センサプレートとの間隔を変え、前記付勢力が他方の前記ターゲットプレート又は前記非接触センサを付勢することによって前記変位中に前記隙間を保持することを特徴とするマイクロポジションギャップセンサ組立体。 - 前記非接触センサプレートに接続され、前記非接触センサプレートと前記ターゲットプレートとの間隔を示す信号を出力するプリント回路基板を更に具備する、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 導電性常磁性材料と、前記シャフトから前記導電性常磁性材料を電気的に分離するセラミックスリーブとで前記ターゲットプレートを構成することを特徴とする、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 流量制御弁を更に接続し、前記シャフトの変位によって該流量制御弁の弁位置を変えることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記構造的ハウジング内で前記第1保持器の位置合わせをする調整シムが更に少なくとも1つある、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記第1保持器は、前記非接触センサプレートに付勢して前記非接触センサプレートの平面を規定するスタンドオフが少なくとも1つスタンドオフ座金であることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記第2保持器は、3つ以上の波ピークを含んで前記非接触センサプレートに付勢する構成の波形座金であることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記第2保持器に付勢する波圧縮ばねリングを更に具備する、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記シャフトに固着され、前記導電性ターゲットプレートに付勢する構成のジャム保持器を更に具備する、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記スタンドオフ座金が、前記構造的ハウジングの内壁内のスロットにぴったり合い、該スタンドオフ座金に加えられる回転トルクに抵抗するように構成したキータブを備えることを特徴とする、請求項5に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記第2保持器は、前記第1保持器に対抗する前記付勢力を生成する構成のアクチュエータ戻しばねであることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 構造的ハウジングと、
前記構造的ハウジングの第1端部に固着され、前記構造的ハウジングに浸入する流体に対する障壁を形成する可撓性ダイヤフラムと、
可撓性ダイヤフラムに直交して取り付けられたシャフトと、
スタンドオフが少なくとも1つある第1保持器と、
第2保持器と、
前記第1保持器と前記第2保持器との間にある平行プレートギャップセンサとを具備するマイクロポジションギャップセンサ組立体であって、前記平行プレートギャップセンサは
前記第1保持器の少なくとも1つのスタンドオフに付勢されて平面を規定し、前記第2保持器に付勢される非接触センサプレートと、
導電性常磁性材料で構成され、前記シャフトに固定され、前記ターゲットプレートの平面が前記非接触センサプレートの該平面と平行になるように配向されたターゲットプレートと、
前記非接触センサプレートに接続され、前記非接触センサプレートと前記ターゲットプレートとの間隔を示す信号を出力する構成のプリント回路基板とを含むことを特徴とするマイクロポジションギャップセンサ組立体。 - 前記ターゲットプレートを更に、前記シャフトから前記導電性常磁性材料を電気的に分離するセラミックスリーブで構成することを特徴とする、請求項12に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 流量制御弁を更に接続し、前記シャフトの変位によって該流量制御弁の弁位置を変えることを特徴とする、請求項12に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記構造的ハウジング内で前記第1保持器の位置合わせをする調整シムが更に少なくとも1つある、請求項12に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 前記第1保持器は、前記非接触センサプレートを付勢して前記非接触センサプレートの該平面を規定するスタンドオフが3つ以上あるスタンドオフ座金であり、
前記第1保持器には、前記構造的ハウジングの内壁上のスロットにぴったり合い、該第1保持器に加わる回転トルクに抵抗するキータブがあることを特徴とする、請求項12に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。 - 前記第2保持器は、波ピークを3つ以上含んで前記非接触センサプレートを付勢する構成の波形座金である
ことを特徴とする、請求項12に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。 - 前記第2保持器を付勢する構成の圧縮ばねリングを更に具備し、
前記波圧縮ばねリングが、前記構造的ハウジングの内壁上のスロットにピッタリ合い、該波圧縮ばねリングに加わる回転トルクに抵抗するように構成したキータブを備えることを特徴とする、請求項12に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。 - 前記シャフトが前記ターゲットプレートと前記非接触センサとの間隔を変える構成であることを特徴とする、請求項12に記載のマイクロポジションギャップセンサ組立体。
- 構造的ハウジングと、
前記構造的ハウジングの第1端部で固着され、前記構造的ハウジングに浸入する流体に対する障壁を形成する可撓性ダイヤフラムと、
前記可撓性ダイヤフラムに直交して取り付けられ、棚がある構成のシャフトと、
第1保持器と、
アクチュエータ戻しばねと、
前記シャフトに接続され、前記アクチュエータ戻しばねと前記第1保持器に圧縮力を加えるアクチュエータ戻しばね圧縮部材と、
該マイクロポジションギャップセンサ組立体に接続され、前記シャフトの変位によって弁位置が変わる流量制御弁と、
前記第1保持器と前記シャフトの前記棚によって第1面が支持され、前記構造的ハウジングによって第2面が支持され、非接触センサプレートと、導電性常磁性材料で構成されたターゲットプレートと、前記非接触センサプレートに接続され、前記非接触センサプレートと前記ターゲットプレートとの間隔を示す信号を出力するプリント回路基板とを含む平行プレートギャップセンサとを具備するマイクロポジションギャップセンサ組立体であって
前記非接触センサプレートの平面と前記ターゲットプレートの平面が平行になり、前記非接触センサプレートと前記ターゲットプレートとの間にギャップが形成されるように前記平行プレートギャップセンサを第1面で前記第1保持器に付勢し、
前記構造的ハウジング内での前記シャフトの位置変化によって前記ターゲットプレートと前記非接触センサプレートとのギャップの間隔が変わるように前記平行プレートギャップセンサを構成することを特徴とするマイクロポジションギャップセンサ組立体。
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