JP2016537209A - 炭素同素体ベースの合成材料によって形成されたいくつかの機能レベルを有する一体的にされた中空のマイクロメカニカル部品 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)少なくとも3つのレベルにて、製造されるマイクロメカニカル部品に対応する逆形状空欠部が設けられた基材を形成するステップと、
(b)前記基材の前記逆形状空欠部を、前記逆形状空欠部の前記少なくとも3つのレベルそれぞれの深さよりも小さな厚みの前記炭素同素体ベースの合成材料の層で被覆するステップと、及び
(c)前記逆形状空欠部に形成された前記マイクロメカニカル部品を解放するために、前記基材を除去するステップとを有し、
前記形成するステップ(a)は、
(i)エッチングされ貫通される第1のパターンを少なくとも有する第1のウェハーを形成する段階と、
(ii)エッチングされ貫通される第2のパターンを少なくとも有する第2のウェハーを形成する段階と、
(iii)直通パターンなしで第3のウェハーを形成する段階と、
(iv)前記第1、第2及び第3のウェハーを接合して、前記少なくとも3つのレベルにて、前記逆形状空欠部が設けられた前記基材を形成する段階とを有する。
− 前記第2のウェハーを形成する段階(ii)において、前記第2のウェハーは、エッチングされ貫通される第2のパターン及び前記第2のパターンと連通し、エッチングされるが貫通されない第3のパターンを有するように形成される。
− 前記第3のウェハーを形成する段階(iii)において、前記第3のウェハーは、エッチングされるが貫通されないパターンを有するように形成される。
− 第1の代替形態によれば、ステップ(b)は、
(b1)前記基材の1つの部分に犠牲層を形成する段階と、
(b2)核生成サイトを形成することを意図して、前記基材に粒子を堆積させる段階と、
(b3)前記基材の1つの部分には選択的に粒子がないようにするように前記犠牲層を除去する段階と、及び
(b4)前記粒子が存在する箇所においてのみ堆積されるように、炭素同素体ベースの合成材料の層を化学気相成長によって堆積させる段階とを有する。
− 第2の代替形態によれば、ステップ(b)は、
(b5)前記基材の1つの部分に犠牲層を形成する段階と、
(b6)前記基材に炭素同素体ベースの合成材料の層を化学気相成長によって堆積させる段階と、及び
(b7)前記基材の1つの部分には選択的に堆積がないようにするように前記犠牲層を除去する段階とを有する。
− 前記逆形状空欠部の前記少なくとも3つのレベルの少なくとも1つは、歯が設けられた壁を有する。
− 前記炭素同素体ベースの合成材料は、結晶化された形態又はアモルファス形態である。
− 前記被覆するステップ(b)の後に、
(d)前記被覆するステップにおいて堆積された前記層の厚みが前記逆形状空欠部内に閉じ込まれ続けるように、前記被覆するステップにて堆積された前記層よりも大きな厚み分を前記基材から除去するステップを有する。
− 前記除去するステップ(c)の前に、
(e)前記炭素同素体ベースの合成材料で被覆された前記逆形状空欠部を第2の材料で充填するステップを有し、これによって、前記基材を除去するステップ(c)の後に、前記第2の材料によって強化及び/又は装飾された炭素同素体ベースの合成材料によって形成されたマイクロメカニカル部品を得る。
− ステップ(e)において、前記第2の材料で充填するステップにおいて、前記第2の材料は、前記逆形状空欠部から突き出るように形成され、これによって、前記マイクロメカニカル部品の付加的な機能レベルを形成する。
− 前記第2の材料は、金属又は金属合金を含有する。
− 前記一体的にされたマイクロメカニカル部品の外側表面には、少なくとも1つの歯が設けられている。
− 当該一体的にされたマイクロメカニカル部品の中空は、第2の材料で少なくとも部分的に充填され、これによって、前記第2の材料によって強化及び/又は装飾された炭素同素体ベースの合成材料によって形成された一体的にされたマイクロメカニカル部品を得る。
− 前記第2の材料は、外側表面の高さから突き出るように形成され、これによって、当該一体的にされたマイクロメカニカル部品の付加的な機能的要素を形成する。
Claims (19)
- 炭素同素体ベースの合成材料(215、315、415)で作られた一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)を製造する方法であって、
(a)少なくとも3つのレベル(N1、N2、N3、Nx)にて、製造される一体的にされたマイクロメカニカル部品に対応する逆形状空欠部(203、303、403)が設けられた基材(201、301、401)を形成するステップと、
(b)前記基材(201、301、401)の前記逆形状空欠部(203、303、403)を、前記逆形状空欠部の前記少なくとも3つのレベル(N1、N2、N3、Nx)それぞれの深さよりも小さな厚み(e1)の前記炭素同素体ベースの合成材料の層で被覆するステップと、及び
(c)前記逆形状空欠部に形成された前記一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)を解放するために、前記基材(201、301、401)を除去するステップとを有し、
前記形成するステップ(a)は、
(i)エッチングされ貫通される第1のパターン(205、305、405)を少なくとも有する第1のウェハー(202、302、402)を形成する段階と、
(ii)エッチングされ貫通される第2のパターン(207、307、311、407)を少なくとも有する第2のウェハー(204、304、404)を形成する段階と、
(iii)直通パターンなしで第3のウェハー(206、306、406)を形成する段階と、
(iv)前記第1、第2及び第3のウェハーを接合して、前記少なくとも3つのレベルにて、前記逆形状空欠部が設けられた前記基材(201、301、401)を形成する段階とを有することを特徴とする方法。 - 前記第2のウェハーを形成する段階(ii)において、
前記第2のウェハー(304)は、エッチングされ貫通される第2のパターン(307)及び
前記第2のパターン(307)と連通し、エッチングされるが貫通されない第3のパターン(311)を有するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記第3のウェハー(206、306、406)を形成する段階(iii)において、
前記第3のウェハー(406)は、エッチングされるが貫通されないパターン(411)を有するように形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。 - 前記被覆するステップ(b)は、
(b1)前記基材の1つの部分に犠牲層(11)を形成する段階と、
(b2)核生成サイトを形成することを意図して、前記基材(201、301、401)に粒子(13)を堆積させる段階と、
(b3)前記基材(201、301、401)の1つの部分には選択的に粒子(13)がないようにするように前記犠牲層(5、11)を除去する段階と、及び
(b4)前記粒子(13)が存在する箇所においてのみ堆積されるように、炭素同素体ベースの合成材料の層(215、315、415)を化学気相成長によって堆積させる段階とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 - 前記被覆するステップ(b)は、
(b5)前記基材(201、301、401)の1つの部分に犠牲層(11)を形成する段階と、
(b6)前記基材に炭素同素体ベースの合成材料の層(215、315、415)を化学気相成長によって堆積させる段階と、及び
(b7)前記基材(201、301、401)の1つの部分には選択的に前記層(215、315、415)がないようにするように前記犠牲層(11)を除去する段階とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 - 前記逆形状空欠部(203、303、403)の前記少なくとも3つのレベル(N1、N2、N3、Nx)の少なくとも1つは、歯が設けられた壁を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 前記炭素同素体ベースの合成材料(215、315、415)は、結晶化された形態であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記炭素同素体ベースの合成材料(215、315、415)は、アモルファス形態であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記被覆するステップ(b)の後に、
(d)前記被覆するステップ(b)において堆積された前記層を前記逆形状空欠部にのみ残すように、前記被覆するステップ(b)にて堆積された前記層よりも大きな厚み分を前記基材(201、301、401)から除去するステップを有することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の方法。 - 前記除去するステップ(c)の前に、(e)前記炭素同素体ベースの合成材料(215、315、415)で被覆された前記逆形状空欠部(203、303、403)を第2の材料で充填するステップを有し、これによって、前記基材を除去するステップ(c)の後に、前記第2の材料によって強化及び/又は装飾された炭素同素体ベースの合成材料(215、315、415)によって形成された一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)を得ることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の方法。
- 前記第2の材料で充填するステップ(e)において、前記第2の材料は、前記逆形状空欠部から突き出るように形成され、これによって、前記一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)の付加的な機能レベル(F1、F2、F3、Fx)を形成することを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記第2の材料は、金属又は金属合金を含有することを特徴とする請求項10又は11に記載の方法。
- 請求項1〜12のいずれかに記載の方法によって製造された一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)であって、
当該マイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)は、中空であって、いくつかの機能レベル(F1、F2、F3、Fx)を有し、
厚み(e1)が0.2μm〜20μmの層で炭素同素体ベースの合成材料(215、315、415)の一体的にされた形態で形成され、
当該一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)は、前記炭素同素体ベースの合成材料の層(215、315、415)の厚み(e1)よりも大きな高さ(e3)を有することを特徴とする一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)。 - 前記一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)の外側表面には、少なくとも1つの歯が設けられていることを特徴とする請求項13に記載の一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)。
- 当該一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)の中空は、第2の材料で少なくとも部分的に充填され、これによって、前記第2の材料によって強化及び/又は装飾された炭素同素体ベースの合成材料(215、315、415)によって形成された一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)を得ることを特徴とする請求項13又は14に記載の一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)。
- 前記第2の材料は、外側表面の高さから突き出るように形成され、これによって、当該一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)の付加的な機能的要素(F1、F2、F3、Fx)を形成することを特徴とする請求項15に記載の一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)。
- 前記第2の材料は、金属又は金属合金を含有することを特徴とする請求項15又は16に記載の一体的にされたマイクロメカニカル部品(21、51、81、221、321、421、523、525)。
- 請求項13〜17のいずれかに記載の一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)を有することを特徴とする計時器。
- 前記一体的にされたマイクロメカニカル部品(221、321、421、523、525)は、風防、ケース、押し部品、竜頭、腕輪、腕時計バンド、表盤、表示メンバー、バランスばね、バランス車、パレット、ブリッジ、メインプレート、車セット及びエスケープ車のすべて又は一部を形成することを特徴とする請求項18に記載の計時器。
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3266738B1 (fr) * | 2016-07-06 | 2019-03-06 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Procédé de fabrication d'une pièce d'horlogerie dotée d'un élément d'habillage multi-niveaux |
US20170285573A1 (en) * | 2016-11-30 | 2017-10-05 | Firehouse Horology, Inc. | Crystalline Compounds for Use in Mechanical Watches and Methods of Manufacture Thereof |
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EP3764169B1 (fr) * | 2019-07-10 | 2023-03-15 | Patek Philippe SA Genève | Procede pour depolir par endroits un composant horloger en silicium |
EP3779608A1 (fr) * | 2019-08-16 | 2021-02-17 | Nivarox-FAR S.A. | Organe de maintien élastique d'un composant d'horlogerie sur un élément de support |
EP4290314A1 (fr) * | 2022-06-08 | 2023-12-13 | Nivarox-FAR S.A. | Roue pour un système d'échappement a inertie réduite |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010216014A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nivarox-Far Sa | 電鋳用の型および電鋳用の型を製造する方法 |
JP2011056645A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Taiyo Kogyo Kk | 金属微細構造体の製造方法 |
JP2012161910A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Nivarox-Far Sa | 複雑な穴開き微細機械部品 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5242711A (en) | 1991-08-16 | 1993-09-07 | Rockwell International Corp. | Nucleation control of diamond films by microlithographic patterning |
US5660680A (en) * | 1994-03-07 | 1997-08-26 | The Regents Of The University Of California | Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures |
FI114755B (fi) * | 2001-10-01 | 2004-12-15 | Valtion Teknillinen | Menetelmä ontelorakenteen muodostamiseksi SOI-kiekolle sekä SOI-kiekon ontelorakenne |
CH714952B1 (fr) | 2007-05-08 | 2019-10-31 | Patek Philippe Sa Geneve | Composant horloger, son procédé de fabrication et application de ce procédé. |
CH705433B1 (fr) * | 2007-11-16 | 2013-03-15 | Nivarox Sa | Pièce de micromécanique composite silicium-métal et son procédé de fabrication. |
CH704955B1 (fr) * | 2007-12-31 | 2012-11-30 | Nivarox Sa | Procédé de fabrication d'une microstructure métallique et microstructure obtenue selon ce prodédé. |
EP2104008A1 (fr) * | 2008-03-20 | 2009-09-23 | Nivarox-FAR S.A. | Organe régulateur monobloc et son procédé de fabrication |
EP2145856B1 (fr) * | 2008-07-10 | 2014-03-12 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Procédé de fabrication d'une pièce micromécanique |
EP2263971A1 (fr) * | 2009-06-09 | 2010-12-22 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micromécanique composite et son procédé de fabrication |
EP2395125A1 (fr) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Procédé de fabrication d'une pièce en métal amorphe revêtue |
EP2400351B1 (fr) * | 2010-06-22 | 2013-09-25 | Omega SA | Mobile monobloc pour une pièce d'horlogerie |
EP2405300A1 (fr) * | 2010-07-09 | 2012-01-11 | Mimotec S.A. | Méthode de fabrication de pièces métalliques multi niveaux par un procédé du type LIGA et pièces obtenues par la méthode |
WO2012014792A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | アルプス電気株式会社 | 物理量センサ及びその製造方法 |
EP2484628A1 (fr) | 2011-02-03 | 2012-08-08 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micromécanique à faible ruguosité de surface |
EP2511229B1 (de) * | 2011-04-12 | 2017-03-08 | GFD Gesellschaft für Diamantprodukte mbH | Flankenverstärktes mikromechanisches Bauteil |
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2013
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JP2011056645A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Taiyo Kogyo Kk | 金属微細構造体の製造方法 |
JP2012161910A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Nivarox-Far Sa | 複雑な穴開き微細機械部品 |
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