RU2016122531A - Цельная полая микромеханическая деталь с несколькими функциональными уровнями, образованная из материала на основе аллотропа синтетического углерода - Google Patents
Цельная полая микромеханическая деталь с несколькими функциональными уровнями, образованная из материала на основе аллотропа синтетического углерода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2016122531A RU2016122531A RU2016122531A RU2016122531A RU2016122531A RU 2016122531 A RU2016122531 A RU 2016122531A RU 2016122531 A RU2016122531 A RU 2016122531A RU 2016122531 A RU2016122531 A RU 2016122531A RU 2016122531 A RU2016122531 A RU 2016122531A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- micromechanical part
- substrate
- whole
- synthetic carbon
- allotrop
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- B81C99/0075—Manufacture of substrate-free structures
- B81C99/0085—Manufacture of substrate-free structures using moulds and master templates, e.g. for hot-embossing
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B13/00—Gearwork
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B13/00—Gearwork
- G04B13/02—Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B15/00—Escapements
- G04B15/14—Component parts or constructional details, e.g. construction of the lever or the escape wheel
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
- G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
- G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
- G04B17/063—Balance construction
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
- G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
- G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
- G04B17/066—Manufacture of the spiral spring
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B19/00—Indicating the time by visual means
- G04B19/04—Hands; Discs with a single mark or the like
- G04B19/042—Construction and manufacture of the hands; arrangements for increasing reading accuracy
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B19/00—Indicating the time by visual means
- G04B19/06—Dials
- G04B19/12—Selection of materials for dials or graduations markings
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B29/00—Frameworks
- G04B29/02—Plates; Bridges; Cocks
- G04B29/027—Materials and manufacturing
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B37/00—Cases
- G04B37/22—Materials or processes of manufacturing pocket watch or wrist watch cases
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B39/00—Watch crystals; Fastening or sealing of crystals; Clock glasses
- G04B39/004—Watch crystals; Fastening or sealing of crystals; Clock glasses from a material other than glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/03—Microengines and actuators
- B81B2201/035—Microgears
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Micromachines (AREA)
Claims (36)
1. Способ изготовления цельной микромеханической детали (221, 321, 421, 523, 525), выполненной из материала (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода; способ содержит следующие этапы:
a) образование подложки (201, 301, 401), содержащей, по меньшей мере, на трех уровнях (N1, N2, N3, Nx,) негативную полость (203, 303, 403) для цельной микромеханической детали, подлежащей изготовлению;
b) нанесение покрытия на вышеуказанную негативную полость (203, 303, 403) подложки в виде слоя материала на основе аллотропа синтетического углерода, толщина (e1) которого меньше глубины каждого из, по меньшей мере, трех уровней (N1, N2, N3, Nx,) негативной полости;
c) удаление подложки (201, 301, 401) для освобождения цельной микромеханической детали (221, 321, 421, 523, 525), образованной в негативной полости;
отличающийся тем, что этап а) содержит следующие фазы:
i) образование первой пластины (202, 302, 402), содержащей, по меньшей мере, первый рисунок (205, 305, 405), вытравленный насквозь;
ii) образование второй пластины (204, 304, 404), содержащей, по меньшей мере, второй рисунок (207, 307, 311, 407), вытравленный насквозь;
iii) образование третьей пластины (206, 306, 406), которая не содержит сквозного рисунка;
iv) соединение вышеуказанных первой, второй и третьей пластин для образования подложки (201, 301, 401), содержащей негативную полость, по меньшей мере, на трех уровнях.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в фазе ii) формирование второй пластины (304) осуществляется за счет выполнения в этой пластине второго рисунка (307) посредством сквозного травления и третьего рисунка (311), который не выполняется сквозным травлением и связан со вторым рисунком (307).
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в фазе iii) формирование третьей пластины (406) осуществляется за счет выполнения в этой пластине рисунка (411), который не выполняется сквозным травлением.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что этап b) содержит следующие фазы:
b1) образование временного слоя (11) на одном участке подложки;
b2) осаждение частиц (13) на подложке (201, 301, 401), предназначенных для создания точек проращивания;
b3) удаление временного слоя (5, 11) с подложки для выборочного полного освобождения одной из частей подложки (201, 301, 401) от всех частиц (13);
b4) химическое парофазное осаждение слоя (215, 315, 415) материала на основе аллотропа синтетического углерода таким образом, чтобы он осаждался только там, где остались частицы (13).
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что этап b) содержит следующие фазы:
b5) образование временного слоя (11) на одном участке подложки (201, 301, 401);
b6) химическое парофазное осаждение слоя (215, 315, 415) материала на основе аллотропа синтетического углерода на подложке;
b7) удаление временного слоя (11) для полного выборочного освобождения одной из частей подложки (201, 301, 401) от слоя (215, 315, 415).
6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один из, по меньшей мере, трех уровней (N1, N2, N3, Nx) негативной полости (203, 303, 403) включает в себя стенку, образующую зубцы.
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что материал (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода имеет кристаллическую форму.
8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что материал (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода имеет аморфную форму.
9. Способ по п. 1, отличающийся тем, что после этапа b) способ содержит следующий этап:
d) удаление с подложки (201, 301, 401) материала толщиной больше толщины слоя, осажденного на этапе b), так чтобы толщина слоя, осажденного на этапе b), оставалась только внутри негативной полости.
10. Способ по п. 1, отличающийся тем, что перед этапом с) способ содержит следующий этап:
e): заполнение негативной полости (203, 303, 403), покрытой материалом (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода, вторым материалом для получения после этапа с) цельной микромеханической детали (221, 321, 421, 523, 525), выполненной из материала (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода, который усилен и/или декорирован вторым материалом.
11. Способ по п. 10, отличающийся тем, что на этапе е) второй материал образован таким образом, что он выступает от негативной полости для образования дополнительного функционального уровня (F1, F2, F3, Fx) цельной микромеханической детали (221, 321, 421, 523, 525).
12. Способ по п. 10 или 11, отличающийся тем, что второй материал содержит металл или металлический сплав.
13. Цельная микромеханическая деталь (221, 321, 421, 523, 525), полученная по способу по п. 1, отличающаяся тем, что микромеханическая деталь (221, 321, 421, 523, 525) является полой и содержит несколько функциональных уровней (F1, F2, F3, Fx), выполненных как одно целое из материала (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода в слое толщиной (e1) 0,2-20 мкм, при этом цельная микромеханическая деталь (221, 321, 421, 523, 525) имеет высоту (е3) больше толщины (e1) слоя материала (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода.
14. Цельная микромеханическая деталь (221, 321, 421, 523, 525) по п. 13, отличающаяся тем, что наружная поверхность цельной микромеханической детали (221, 321, 421, 523, 525) содержит, по меньшей мере, один зубчатый венец.
15. Цельная микромеханическая деталь (221, 321, 421, 523, 525) по п. 13, отличающаяся тем, что полость цельной микромеханической детали 221, 321, 421, 523, 525), по меньшей мере, частично заполнена вторым материалом для получения цельной микромеханической детали (221, 321, 421, 523, 525), образованной из материала (215, 315, 415) на основе аллотропа синтетического углерода, усиленного и/или декорированного вторым материалом
16. Цельная микромеханическая деталь (221, 321, 421, 523, 525) по п. 15, отличающаяся тем, что второй материал образован, таким образом, что он выступает от высоты наружной поверхности для образования дополнительного функционального элемента (F1, F2, F3, Fx) цельной микромеханической детали (221, 321, 421, 523, 525).
17. Цельная микромеханическая деталь (21, 51, 81, 221, 321, 421, 523, 525) по п. 15, отличающаяся тем, что второй материал содержит металл или металлический сплав.
18. Часы, отличающиеся тем, что часы содержат цельную микромеханическую деталь (221, 321, 421, 523, 525) по любому из п.п. 13-17.
19. Часы по п. 18, отличающиеся тем, что цельная микромеханическая деталь (221, 321, 421, 523, 525) образует целиком или частично часовое стекло, корпус, нажимную кнопку, головку подзавода, браслет, ремешок, циферблат, элемент дисплея, пружину баланса, балансир, палету, мост, платину, колесную систему или анкерное колесо.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP13192133 | 2013-11-08 | ||
EP13192133.0 | 2013-11-08 | ||
PCT/EP2014/071301 WO2015067419A1 (fr) | 2013-11-08 | 2014-10-06 | Pièce de micromécanique creuse, à plusieurs niveaux fonctionnels et monobloc en un matériau à base d'un allotrope synthétique du carbone |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2016122531A true RU2016122531A (ru) | 2017-12-14 |
RU2016122531A3 RU2016122531A3 (ru) | 2018-05-15 |
RU2682446C2 RU2682446C2 (ru) | 2019-03-19 |
Family
ID=49546353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2016122531A RU2682446C2 (ru) | 2013-11-08 | 2014-10-06 | Цельная полая микромеханическая деталь с несколькими функциональными уровнями, образованная из материала на основе аллотропа синтетического углерода |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10106400B2 (ru) |
EP (1) | EP3066044B1 (ru) |
JP (1) | JP6170621B2 (ru) |
CN (2) | CN109856948A (ru) |
CH (1) | CH708827A2 (ru) |
HK (1) | HK1225710A1 (ru) |
RU (1) | RU2682446C2 (ru) |
WO (1) | WO2015067419A1 (ru) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3266738B1 (fr) * | 2016-07-06 | 2019-03-06 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Procédé de fabrication d'une pièce d'horlogerie dotée d'un élément d'habillage multi-niveaux |
US20170285573A1 (en) * | 2016-11-30 | 2017-10-05 | Firehouse Horology, Inc. | Crystalline Compounds for Use in Mechanical Watches and Methods of Manufacture Thereof |
EP3495894B1 (fr) | 2017-12-05 | 2023-01-04 | Rolex Sa | Procédé de fabrication d'un composant horloger |
EP3764169B1 (fr) * | 2019-07-10 | 2023-03-15 | Patek Philippe SA Genève | Procede pour depolir par endroits un composant horloger en silicium |
EP3779608A1 (fr) * | 2019-08-16 | 2021-02-17 | Nivarox-FAR S.A. | Organe de maintien élastique d'un composant d'horlogerie sur un élément de support |
EP4290314A1 (fr) * | 2022-06-08 | 2023-12-13 | Nivarox-FAR S.A. | Roue pour un système d'échappement a inertie réduite |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5242711A (en) | 1991-08-16 | 1993-09-07 | Rockwell International Corp. | Nucleation control of diamond films by microlithographic patterning |
US5660680A (en) * | 1994-03-07 | 1997-08-26 | The Regents Of The University Of California | Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures |
FI114755B (fi) * | 2001-10-01 | 2004-12-15 | Valtion Teknillinen | Menetelmä ontelorakenteen muodostamiseksi SOI-kiekolle sekä SOI-kiekon ontelorakenne |
CH714952B1 (fr) | 2007-05-08 | 2019-10-31 | Patek Philippe Sa Geneve | Composant horloger, son procédé de fabrication et application de ce procédé. |
CH705433B1 (fr) * | 2007-11-16 | 2013-03-15 | Nivarox Sa | Pièce de micromécanique composite silicium-métal et son procédé de fabrication. |
CH704955B1 (fr) * | 2007-12-31 | 2012-11-30 | Nivarox Sa | Procédé de fabrication d'une microstructure métallique et microstructure obtenue selon ce prodédé. |
EP2104008A1 (fr) * | 2008-03-20 | 2009-09-23 | Nivarox-FAR S.A. | Organe régulateur monobloc et son procédé de fabrication |
EP2145856B1 (fr) * | 2008-07-10 | 2014-03-12 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Procédé de fabrication d'une pièce micromécanique |
EP2230207A1 (fr) * | 2009-03-13 | 2010-09-22 | Nivarox-FAR S.A. | Moule pour galvanoplastie et son procédé de fabrication |
EP2263971A1 (fr) * | 2009-06-09 | 2010-12-22 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micromécanique composite et son procédé de fabrication |
JP2011056645A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Taiyo Kogyo Kk | 金属微細構造体の製造方法 |
EP2395125A1 (fr) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Procédé de fabrication d'une pièce en métal amorphe revêtue |
EP2400351B1 (fr) * | 2010-06-22 | 2013-09-25 | Omega SA | Mobile monobloc pour une pièce d'horlogerie |
EP2405300A1 (fr) * | 2010-07-09 | 2012-01-11 | Mimotec S.A. | Méthode de fabrication de pièces métalliques multi niveaux par un procédé du type LIGA et pièces obtenues par la méthode |
WO2012014792A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | アルプス電気株式会社 | 物理量センサ及びその製造方法 |
EP2484629B1 (fr) * | 2011-02-03 | 2013-06-26 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micromécanique complexe ajourée |
EP2484628A1 (fr) | 2011-02-03 | 2012-08-08 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micromécanique à faible ruguosité de surface |
EP2511229B1 (de) * | 2011-04-12 | 2017-03-08 | GFD Gesellschaft für Diamantprodukte mbH | Flankenverstärktes mikromechanisches Bauteil |
-
2013
- 2013-11-08 CH CH01875/13A patent/CH708827A2/fr not_active Application Discontinuation
-
2014
- 2014-10-06 EP EP14780862.0A patent/EP3066044B1/fr active Active
- 2014-10-06 US US15/030,710 patent/US10106400B2/en active Active
- 2014-10-06 WO PCT/EP2014/071301 patent/WO2015067419A1/fr active Application Filing
- 2014-10-06 RU RU2016122531A patent/RU2682446C2/ru active
- 2014-10-06 JP JP2016526215A patent/JP6170621B2/ja active Active
- 2014-10-06 CN CN201910150597.0A patent/CN109856948A/zh active Pending
- 2014-10-06 CN CN201480061374.2A patent/CN105705458A/zh active Pending
-
2016
- 2016-12-13 HK HK16114159A patent/HK1225710A1/zh unknown
-
2018
- 2018-09-27 US US16/144,201 patent/US11673801B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105705458A (zh) | 2016-06-22 |
US20160251215A1 (en) | 2016-09-01 |
CN109856948A (zh) | 2019-06-07 |
JP2016537209A (ja) | 2016-12-01 |
US20190023564A1 (en) | 2019-01-24 |
CH708827A2 (fr) | 2015-05-15 |
EP3066044B1 (fr) | 2020-06-10 |
US10106400B2 (en) | 2018-10-23 |
EP3066044A1 (fr) | 2016-09-14 |
US11673801B2 (en) | 2023-06-13 |
HK1225710A1 (zh) | 2017-09-15 |
JP6170621B2 (ja) | 2017-07-26 |
RU2682446C2 (ru) | 2019-03-19 |
RU2016122531A3 (ru) | 2018-05-15 |
WO2015067419A1 (fr) | 2015-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2016122531A (ru) | Цельная полая микромеханическая деталь с несколькими функциональными уровнями, образованная из материала на основе аллотропа синтетического углерода | |
US8512539B2 (en) | Mould for galvanoplasty and method of fabricating the same | |
US8486279B2 (en) | Silicon-metal composite micromechanical component and method of manufacturing the same | |
US9197183B2 (en) | Method of fabricating a single-piece micromechanical component including at least two distinct functional levels | |
US9731964B2 (en) | Micromechanical component with a reduced contact surface and its fabrication method | |
US9045333B2 (en) | Composite micromechanical component and method of fabricating the same | |
RU2010142923A (ru) | Составной маятник | |
RU2013140528A (ru) | Сложная микромеханическая деталь | |
US8563226B2 (en) | Mould for galvanoplasty and method of fabricating the same | |
JP5451788B2 (ja) | 複雑な穴開き微細機械部品 | |
US20140041477A1 (en) | Freely mounted wheel set made of micro-machinable material and method of fabricating the same | |
JP2024019087A (ja) | 時計部品の製造方法 |