JP2016528487A - 電気被検体の電気検査のための検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (25)
- 電気被検体(2)の電気的接触コンタクトのための少なくとも一つの検査コンタクト部(5)を支持している検査ヘッド(4)を備えた、前記被検体(2)、とりわけウエハを電気検査するための検査装置(1)において、ガス、とりわけ保護ガスをコンタクト領域(14)に吐出するための少なくとも一つの排気口(13)が、前記検査ヘッド(4)の壁(15)に設けられていることを特徴とする検査装置。
- 前記検査装置(1)が、端子コンタクト面(8)を有するコンタクト機構(3)を備えており、前記端子コンタクト面が、前記検査コンタクト部(5)の前記被検体(2)に面していない側(7)と電気的に結合可能であるか又は電気的に結合していることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記コンタクト機構(3)及び前記検査ヘッド(4)が、検査カード、とりわけバーチカル型検査カードの一部であることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記壁(15)が、前記検査ヘッド(4)のガイドプレート(16)の一部であり、前記ガイドプレートには少なくとも一つのガイド孔(17)が設けられており、前記ガイド孔内では前記検査コンタクト部(5)が支持されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気口(13)を形成している排気流路(13')が前記ガイドプレート(16)を貫いていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記検査ヘッド(4)内に、前記排気口(13)と流体連通しているチャンバ(20)が設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記チャンバ(20)が前記少なくとも一つの検査コンタクト部(5)によって貫かれていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記チャンバ(20)が少なくとも部分的に、前記ガイドプレート(16)によって画定されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気口(13)が、前記チャンバ(20)を介して保護ガス供給管(21、22)と流体連通していることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記端子コンタクト面(8)が、前記コンタクト機構(3)のコンタクト部間隔変換器(10)に割り当てられていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記保護ガス供給管(21、22)が、前記コンタクト機構(3)を通って、とりわけ前記コンタクト部間隔変換器(10)を通って延びていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記保護ガス供給管(21、22)が、前記検査ヘッド(4)の側壁(19)を通って、又は前記コンタクト機構(3)に面した保持プレート(18)を通って、前記チャンバ(20)に通じていることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気流路(13')が、前記ガイドプレート(16)に垂直に立っているか又は前記ガイドプレートに対して角度をつけた縦方向中心軸(25)を有することを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気流路(13')が、その縦方向中心軸(25)に沿って一定の貫流断面積を有することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気流路(13')が、その縦方向中心軸(25)に沿って大きく又は小さくなる貫流断面積を有することを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気口(13)及び/又は前記排気流路(13')が、断面で見ると矩形、円形、又はオーバル形であることを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記ガイド孔(17)が検査領域(27)に割り当てられており、前記検査領域では、前記検査ヘッド(4)の前記被検体(2)に面した側で前記検査コンタクト部(5)が前記ガイド孔(17)から突き出ていることを特徴とする請求項1から16のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記検査領域(27)に複数のガイド孔(17)が割り当てられていることを特徴とする請求項1から17のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記複数のガイド孔(17)が閉じた線に沿って配置されていることを特徴とする請求項1から18のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記検査ヘッド(4)に複数の検査領域(27)が設けられていることを特徴とする請求項1から19のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記検査領域が少なくとも部分的には一つ以上の前記排気口(13)によって囲まれていることを特徴とする請求項1から20のいずれか一項に記載の検査装置。
- 一つ以上の前記排気口(13)を通って吐出された前記ガスが、外気に対して前記コンタクト領域(14)を少なくとも部分的に画定し、とりわけ包囲するガスカーテンを形成するように、一つ以上の前記排気口(13)が配置されていることを特徴とする請求項1から21のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気口(13)が複数のガイド孔(17)の間に配置されており、とりわけ前記ガイド孔によって少なくとも部分的に囲まれていることを特徴とする請求項1から22のいずれか一項に記載の検査装置。
- 複数の検査領域(27)、とりわけすべての検査領域(27)に、それぞれ一つの中心部に配置された排気口(13)が割り当てられており、かつ前記検査領域(27)の少なくとも一部、とりわけすべての検査領域(27)が一緒に複数の排気口(13)によって囲まれていることを特徴とする請求項1から23のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記排気口(13)の上流での前記保護ガスの加熱又は冷却のための温度調節機構を特徴とする請求項1から24のいずれか一項に記載の検査装置。
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