JP2016520436A - サファイアの表面を研磨する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書で使用される用語は、特定の実施形態のみを記載するためのものであり、限定することを意図するものではない。明細書及び添付の特許請求の範囲において使用されるように、単数形の「a」、「及び」、並びに「the」は、文脈が明確に他を指示しない限り、複数の言及を含む。
qは、散乱ベクトル=4πnsin(θ/2)/λであり、
λは、入射光の波長であり、
Nは、媒質の屈折率であり、そして、
θは、散乱角である。
研磨組成物及び該研磨組成物を含むキットが、本明細書に記載され、ここで、研磨組成物は、酸性水溶液中のコロイド状アルミノケイ酸塩粒子を含む。キットは、サファイア表面を研磨するための研磨パッドをさらに備えてもよい。組成物及びキットは、サファイア表面を摩耗させるために使用され得る。キットは、類似の非アルミニウムドープのコロイダルシリカ溶液を用いて達成されるものよりも大きい又はそれに匹敵する材料除去速度(MRR)を生じさせるために使用することができる。キットは、MRRの損失なしに、研磨組成物のより低い濃度の使用を可能にすることができる。キットはまた、サファイア表面を研磨するための使用説明書をさらに備えてもよい。
サファイア表面を研磨するためのキットは研磨組成物を含む。研磨組成物は、約2.0から約7.0のpHを有する、水溶液中のコロイド状アルミノケイ酸塩粒子を含む。研磨組成物は、任意の追加の成分を有する水(例えば、脱イオン水)中のコロイド状アルミノケイ酸塩粒子の水性スラリーであってもよい。
コロイド状アルミノケイ酸塩粒子は、アルミニウムがドープされたシリカ(SiO2)の中の優れた非晶質、非多孔質及び一般的に球状の粒子であってもよい。コロイド状アルミノケイ酸塩粒子は、粒子全体にアルミニウムがドープされたシリカを含んでもよく、又はアルミノケイ酸塩のシェルで被覆されたシリカのコアを含むことができる。
研磨組成物は、スラリーを生成するために、液相をさらに含む。例えば、液相は脱イオン水であってもよい。液相中のコロイダルシリカのスラリーの調製の前又は後のいずれかにおいて、pHは、約2.0〜約7.0、又は約3.0〜約6.5に調整され得る。例えば、pHは、約2.0、2.1、2.2、2.3、2.4、2.5、2.6、2.7、2.8、2.9、3.0、3.1、3.2、3.3、3.4、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、4.0、4.1、4.2、4.3、4.4、4.5、4.6、4.7、4.8、4.9、5.0、5.1、5.2、5.3、5.4、5.5、5.6、5.7、5.8、5.9、6.0、6.1、6.2、6.3、6.4、6.5、6.6、6.7、6.8、6.9又は7.0に調整され得る。pHは、塩酸、硝酸、リン酸、硫酸、酢酸、クエン酸、シュウ酸等の酸を用いて調整され得る。あるいは、pHは、陽イオン交換樹脂を用いて、例えば、陽イオン交換カラムに組成物を通過させることによって調整され得る。適当なカラムは、例えば、商品名Dowex(登録商標)の下で入手できる。代表的な樹脂は、Dowex(登録商標)650C樹脂である。
実施形態では、研磨組成物は以下の添加剤の1つ以上をさらに含むことができる。
サファイア表面を研磨するためのキットは、研磨組成物を含み、サファイア表面を研磨するための研磨パッド及び/又は使用説明書もさらに含んでもよい。
キットは、サファイア表面を処理するための研磨組成物と併用して使用される研磨パッドをさらに含んでもよい。研磨パッドは、樹脂、又は織布もしくは不織布材料を含むことができる。例えば、研磨パッドは、ポリエステルのフェルト又はスエードなどのポリウレタン含浸繊維系材料を含むことができる。
キットは追加の要素をさらに含むことができる。例えば、キットはまた、研磨組成物及び/又は研磨パッドの使用のための使用説明書を含んでもよい。キットに含まれる使用説明書は、パッケージ材料に固定され得るか、又はパッケージ挿入物として含まれ得る。使用説明書は典型的には資料又は印刷材料であるとしても、それらはこのようなものに制限されない。このような使用説明書を保管でき、かつ、それらをエンドユーザーに伝達できる媒体は、本開示によって企図される。このような媒体としては、電子記憶媒体(例えば、磁気ディスク、テープ、カートリッジ、チップ)、光学媒体(例えば、CD、DVD)、などが挙げられるが、これらに限定されない。本明細書で使用する場合、用語「使用説明書」は、使用説明書を提供するインターネットサイトのアドレスを含むことができる。キットの様々な構成要素は、必要に応じ、例えば、ボトル、ジャー又はバイアルのような適切な容器内に提供される。
記載したような組成物及びキットを使用してサファイア表面を研磨する方法も本明細書に開示される。この方法は、回転研磨パッド及び研磨組成物でサファイア表面を摩耗させる工程を含み、該研磨組成物は、有効量のコロイド状アルミノケイ酸塩を含み、かつ、約1.0から約4.0のpHを有する。
3インチ直径のc面(0001)のラップされた状態のサファイアウエハをRoditi、Inc.から入手した。研磨パッドをMonroe、NCのEminess Technologiesから購入した。全ての研磨実験を、Campbell、CAのCETR製CP−4 CMP試験装置を用いて行った。研磨処理の概略図を図1に示す。
コロイド状アルミノケイ酸塩ゾルの調製
ケイ酸溶液の調製
ケイ酸ナトリウムを、固形分6.5〜7.0質量%(%SiO2として表される)の最終溶液を生成するのに必要な比率で脱イオン(DI)水に添加した。次いで、溶液を陽イオン交換樹脂(Dowex650C(H+))を含むカラムに通した。各100gの希釈されたケイ酸ナトリウム溶液に対して約40mLの樹脂を使用してケイ酸溶液を製造した。これはpH2及び固形分6.5質量%のケイ酸溶液をもたらした。
ケイ酸溶液に、アルミニウムクロロハイドレートの50質量%溶液の適当量を添加して、所望の濃度(ppm)のシリカベース(BOS)のアルミニウムを生成した。アルミノケイ酸塩I(TX15661)に関し、ケイ酸溶液に対するアルミニウムクロロハイドレート溶液の重量比は1.9:1000である。アルミノケイ酸塩II(TX15763)に関し、ケイ酸溶液に対するアルミニウムクロロハイドレート溶液の重量比は4.4:1000である。
下記のような同一の処理条件下で、参照組成物A及び組成物1及び2を調製し、唯一の相違は、既存の粒子の周りにシェルを成長させるために使用されるケイ酸の性質である。狭い単峰性粒径分布を有する均一な球状粒子を成長させるために、約80nmの単峰性粒径分布を有する既存のコロイダルシリカゾルを使用し、サイズが約15〜20nmの「アルミノケイ酸塩シェル」を既存の粒子の頂部に成長させた。
反応器中に、80nmのコロイダルシリカゾル(Nalco2329K)及びDI水の溶液をブレンドして、固形分17〜18質量%の濃度をもたらした。これに総反応物量のl質量%において50%の水酸化ナトリウムを添加した。次いで、このブレンドを一定に攪拌しながら260°Fに加熱した。
反応器中に、80nmのコロイダルシリカゾル(Nalco2329K)及びDI水の溶液をブレンドして、固形分17〜18%の濃度をもたらした。これに総反応物量のl%において50%の水酸化ナトリウムを添加した。次いで、このブレンドを一定に攪拌しながら260°Fに加熱した。
陽イオン交換樹脂(Dowex650C(H+))を含むカラムにコロイド状ケイ酸塩又はアルミノケイ酸塩のゾルを通過させることによって、上記組成物のpHを調整した。47%のコロイド状ゾル各200gに対して約40mLの樹脂を使用して酸安定化溶液を製造した。本明細書において「脱イオン化」と記載される、結果として得られる酸安定化ゾルは、初期のpH2からpH3及び45から46%の固形分を有した。
ゼータ電位測定
脱イオン化参照組成物A、脱イオン化組成物1及び脱イオン化組成物2のゼータ電位を、増加するpHの関数として測定した。コロイド状ゾルを0.6%の固形分に調製し、0.1MのNaOHで滴定した。結果を図4にグラフ形式で表わす。
サファイア研磨試験
研磨試験を、二つの異なる研磨パッドを用いて行った。
SUBA(商標)600:4%の圧縮率及び80のアスカーC硬度を有するポリウレタン含浸ポリエステルフェルトパッド。
SUBA(商標)800:4%の圧縮率及び82のアスカーC硬度を有するポリウレタン含浸ポリエステルフェルトパッド。
Claims (18)
- サファイア表面を研磨する方法であって:
サファイア表面を回転研磨パッド及び研磨組成物で摩耗させる工程を備え、
前記研磨組成物が有効量のコロイド状アルミノケイ酸塩を含み、かつ、前記組成物が約2.0〜約7.0のpHを有する、方法。 - 前記組成物が約3.0〜約6.5のpHを有する、請求項1に記載の方法。
- コロイド状アルミノケイ酸塩は、研磨組成物の約1質量%〜約50質量%を構成する、請求項1に記載の方法。
- コロイド状アルミノケイ酸塩は、約50nm〜約150nmの平均粒径を有する、請求項1に記載の方法。
- コロイド状アルミノケイ酸塩は、約75nm〜約125nmの平均粒径を有する、請求項4に記載の方法。
- コロイド状アルミノケイ酸塩の平均粒径(r)に対するコロイド状アルミノケイ酸塩の粒径の標準偏差(σ)の比が、約0.3未満である、請求項1に記載の方法。
- 研磨組成物は、約−20mV未満のゼータ電位を有する、請求項1に記載の方法。
- コロイド状アルミノケイ酸塩は、シリカに基づき約0.01質量%〜約2.0質量%のアルミニウム(Al)を含む、請求項1に記載の方法。
- 研磨組成物は、アルカリ性物質、無機研磨粒子、水溶性アルコール、キレート剤、及び緩衝剤からなる群から選択される追加の成分をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 研磨パッドが、約5psi〜約25psiの下向きの力でサファイア表面に適用される、請求項1に記載の方法。
- 研磨パッドは、約40rpm〜約120rpmの速度で回転させられる、請求項1に記載の方法。
- 研磨パッドは、ポリウレタン含浸ポリエステル材料を含む、請求項1に記載の方法。
- 研磨パッドは、約1%〜約40%の圧縮率を有する、請求項12に記載の方法。
- 研磨パッドは、約50〜約60のショアD硬度を有する、請求項1に記載の方法。
- サファイア表面が、サファイアC面の表面である、請求項1に記載の方法。
- サファイア表面が、サファイアR面の表面である、請求項1に記載の方法。
- サファイア表面を研磨するためのキットであって、有効量のコロイド状アルミノケイ酸塩を含有する研磨組成物を含み、該組成物が約2.0〜約7.0のpHを有する、キット。
- 約5%〜約10%の圧縮率及び約50〜約60のショアD硬度を有する、ポリエステルで含浸させたポリウレタンを含む研磨パッドをさらに備える、請求項17に記載のキット。
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