JP2016516657A5

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Publication number: JP2016516657A5
Application number: JP2016501874A
Authority: JP
Filing date: 2014-03-13
Publication date: 2017-03-16
Anticipated expiration: 2034-03-13

Description

（１）初期の室温結合を促進するために中程度の、および非高温ＦＰＤプロセス、例えば、真空加工、ＳＲＤ加工および／または超音波加工に耐えるために十分な接着エネルギーを作成するため（例えば、表面が結合される前に、表面あたり４０ｍＪ／ｍ^２超の表面エネルギーを有すること）、ファンデルワールス（および／または水素）結合を制御することによって実行可能な、初期の室温結合を制御することによる、キャリアおよび／または薄シート結合表面の変性。

図５は、ＯｘｆｏｒｄＩＣＰ３８０エッチツール（ＯｘｆｏｒｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，ＯｘｆｏｒｄｓｈｉｒｅＵＫから入手可能）によって、ＣＦ４−Ｃ４Ｆ８混合物から析出したプラズマ重合フルオロポリマー（ＰＰＦＰ）膜の全（線５０２）表面エネルギー（極性（線５０４）および分散（線５０６）成分を含む）を示す。膜は、ＥａｇｌｅＸＧ（登録商標）ガラスのシート上に析出され、分光器偏光解析法によって、厚さ１〜１０ｎｍの膜が示された。図５から参照されるように、４０％未満のＣ４Ｆ８を含有するプラズマ重合フルオロポリマー膜で処理されたガラスキャリアは、４０ｍＪ／ｍ^２超の表面エネルギーを示し、ファンデルワールスまたは水素結合による室温でのガラスとキャリアとの間の制御された結合を生じる。キャリアと薄ガラスとを室温で最初に結合した時に、促進された結合が観察される。すなわち、薄シートをキャリア上に配置し、それらを一点で一緒にプレスした時、波面はキャリア全体で移動するが、表面変性層を有さないＳＣ１処理表面に関して観察されるものよりも低速である。制御された結合は、真空、湿潤、超音波および６００℃までの熱処理を含む全ての標準ＦＰＤプロセスに耐えるために十分であり、すなわち、この制御された結合は、キャリアからの薄ガラスの移動または剥離が生じることなく、６００℃加工試験に合格する。剥離は、上記のとおり、かみそりの刃および／またはＫａｐｔｏｎ（商標）テープを用いて剥離することによって達成された。２つの異なるＰＰＦＰ膜（上記のとおり析出された）のプロセス適合性は、表３に示される。実施例３ａのＰＰＦＰ１は、Ｃ４Ｆ８／（Ｃ４Ｆ８＋ＣＦ４）＝０で形成され、すなわち、Ｃ４Ｆ８を含まずにＣＦ４／Ｈ２によって形成され、そして実施例３ｂのＰＰＦＰ２は、Ｃ４Ｆ８／（Ｃ４Ｆ８＋ＣＦ４）＝０．３８で析出された。両種類のＰＰＦＰ膜は、真空、ＳＲＤ、４００℃および６００℃加工試験に耐えた。しかしながら、ＰＰＦＰ２の２０分間の超音波洗浄後、層間剥離が観察され、そのような加工に耐えるには十分な接着力が示される。それにもかかわらず、超音波加工が必要とされないいくつかの用途に関しては、ＰＰＦＰ２の表面変性層は有用となり得る。

Claims

ガラスシートのアニール化方法において、
各々が２つの主要面を有する複数のガラスシートを積層するステップであって、前記複数のガラスシートにおいて、ガラスシートの隣接するものの間で界面が画定され、該界面の１つに面する前記主要面の少なくとも１つに表面変性層が配置され、該表面変性層が、ＨＭＤＳ、プラズマ重合フルオロポリマーおよび芳香族シランのうちの１つを含むステップと、
各ガラスシートを圧縮するのに十分な時間−温度サイクルに、前記ガラスシートの積層を暴露するステップであって、前記時間−温度サイクルが、４００℃以上であるが前記ガラスシートの歪点より低い温度を含むステップと、
を有してなり、
前記表面変性層が、前記時間−温度サイクルを通して、前記界面の１つを画定する前記積層におけるガラスシートの前記隣接するものの間の結合を制御するのに十分であり、一方が保持されて他方が重力を受ける場合に一方のシートが他方から分離しないが、前記ガラスシートの前記隣接するものの一方が２つ以上の断片に破断することなく該ガラスシートを分離し得るような力となるように結合が制御される、ガラスシートのアニール化方法。
前記時間−温度サイクルが、６００℃以上であるが前記ガラスシートの歪点より低い温度を含む、請求項１記載の方法。
前記表面変性層が、プラズマ重合フルオロポリマーを含み、該プラズマ重合フルオロポリマーが、プラズマ重合ポリテトラフルオロエチレン、および４０％以下のＣ_４Ｆ_８を有するＣＦ_４−Ｃ_４、Ｆ_８混合物から析出されたプラズマ重合フルオロポリマー表面変性層のうちの１つである、請求項１記載の方法。
前記表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルシランである、請求項１記載の方法。
前記表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルトリエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、および４−ペンタフルオロフェニルトリエトキシシランのうちの１つである、請求項１記載の方法。
前記時間−温度サイクルが無酸素環境で実行されることを特徴とする、請求項１〜５いずれか１項記載の方法。
表面変性層が配置された前記主要面の少なくとも１つが、４０ｍＪ／ｍ ^２超の表面エネルギーを有する、請求項１記載の方法。
前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが２４ｍＪ／ｍ ^２超である、請求項１記載の方法。
前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが５０〜１０００ｍＪ／ｍ ^２である、請求項１記載の方法。
ガラスシートのアニール化方法において、
各々が２つの主要面を有する複数のガラスシートを積層するステップであって、前記複数のガラスシートにおいて、ガラスシートの隣接するものの間で界面が画定され、該界面の１つに面する前記主要面の少なくとも１つに表面変性層が配置され、該表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルシランを含むステップと、
各ガラスシートを圧縮するのに十分な時間−温度サイクルに、前記ガラスシートの積層を暴露するステップと、
を有してなり、
前記表面変性層は、前記時間−温度サイクルを通して、前記界面の１つを画定する前記積層におけるガラスシートの前記隣接するものの間の結合を制御するのに十分であり、一方が保持されて他方が重力を受ける場合に一方のシートが他方から分離しないが、前記ガラスシートの前記隣接するものの一方が２つ以上の断片に破断することなく該ガラスシートを分離し得るような力となるように結合が制御される、ガラスシートのアニール化方法。
前記時間−温度サイクルが、４００℃以上であるが前記ガラスの歪点より低い温度を含む、請求項１０記載の方法。
前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが２４ｍＪ／ｍ ^２超である、請求項１０記載の方法。
前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが５０〜１０００ｍＪ／ｍ ^２である、請求項１０記載の方法。
ガラスシートのアニール化方法において、
各々が２つの主要面を有する複数のガラスシートを積層するステップであって、前記複数のガラスシートにおいて、ガラスシートの隣接するものの間で界面が画定され、該界面の１つに面する前記主要面の少なくとも１つに表面変性層が配置され、該表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルトリエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、および４−ペンタフルオロフェニルトリエトキシシランのうちの１つを含むステップと、
各ガラスシートを圧縮するのに十分な時間−温度サイクルに、前記ガラスシートの積層を暴露するステップと、
を有してなり、
前記表面変性層は、前記時間−温度サイクルを通して、前記界面の１つを画定する前記積層におけるガラスシートの前記隣接するものの間の結合を制御するのに十分であり、一方が保持されて他方が重力を受ける場合に一方のシートが他方から分離しないが、前記ガラスシートの前記隣接するものの一方が２つ以上の断片に破断することなく該ガラスシートを分離し得るような力となるように結合が制御される、ガラスシートのアニール化方法。
前記時間−温度サイクルが、４００℃以上であるが前記ガラスの歪点より低い温度を含む、請求項１４記載の方法。
前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが２４ｍＪ／ｍ ^２超である、請求項１４記載の方法。
前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが５０〜１０００ｍＪ／ｍ ^２である、請求項１４記載の方法。