JP2016516657A5

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Publication number: JP2016516657A5
Application number: JP2016501874A
Authority: JP
Filing date: 2014-03-13
Publication date: 2017-03-16
Anticipated expiration: 2034-03-13

Description

（１）初期の室温結合を促進するために中程度の、および非高温ＦＰＤプロセス、例えば、真空加工、ＳＲＤ加工および／または超音波加工に耐えるために十分な接着エネルギーを作成するため（例えば、表面が結合される前に、表面あたり４０ｍＪ／ｍ^２超の表面エネルギーを有すること）、ファンデルワールス（および／または水素）結合を制御することによって実行可能な、初期の室温結合を制御することによる、キャリアおよび／または薄シート結合表面の変性。
(1) To create sufficient adhesion energy to withstand moderate and non-high temperature FPD processes to promote initial room temperature bonding, eg, vacuum processing, SRD processing and / or ultrasonic processing (eg, Control the initial room temperature bonding that can be done by controlling van der Waals (and / or hydrogen) bonding, having surface energy greater than 40 mJ / m ² per surface before the surface is bonded. Modification of the carrier and / or thin sheet bonded surface by.

図５は、ＯｘｆｏｒｄＩＣＰ３８０エッチツール（ＯｘｆｏｒｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，ＯｘｆｏｒｄｓｈｉｒｅＵＫから入手可能）によって、ＣＦ４−Ｃ４Ｆ８混合物から析出したプラズマ重合フルオロポリマー（ＰＰＦＰ）膜の全（線５０２）表面エネルギー（極性（線５０４）および分散（線５０６）成分を含む）を示す。膜は、ＥａｇｌｅＸＧ（登録商標）ガラスのシート上に析出され、分光器偏光解析法によって、厚さ１〜１０ｎｍの膜が示された。図５から参照されるように、４０％未満のＣ４Ｆ８を含有するプラズマ重合フルオロポリマー膜で処理されたガラスキャリアは、４０ｍＪ／ｍ^２超の表面エネルギーを示し、ファンデルワールスまたは水素結合による室温でのガラスとキャリアとの間の制御された結合を生じる。キャリアと薄ガラスとを室温で最初に結合した時に、促進された結合が観察される。すなわち、薄シートをキャリア上に配置し、それらを一点で一緒にプレスした時、波面はキャリア全体で移動するが、表面変性層を有さないＳＣ１処理表面に関して観察されるものよりも低速である。制御された結合は、真空、湿潤、超音波および６００℃までの熱処理を含む全ての標準ＦＰＤプロセスに耐えるために十分であり、すなわち、この制御された結合は、キャリアからの薄ガラスの移動または剥離が生じることなく、６００℃加工試験に合格する。剥離は、上記のとおり、かみそりの刃および／またはＫａｐｔｏｎ（商標）テープを用いて剥離することによって達成された。２つの異なるＰＰＦＰ膜（上記のとおり析出された）のプロセス適合性は、表３に示される。実施例３ａのＰＰＦＰ１は、Ｃ４Ｆ８／（Ｃ４Ｆ８＋ＣＦ４）＝０で形成され、すなわち、Ｃ４Ｆ８を含まずにＣＦ４／Ｈ２によって形成され、そして実施例３ｂのＰＰＦＰ２は、Ｃ４Ｆ８／（Ｃ４Ｆ８＋ＣＦ４）＝０．３８で析出された。両種類のＰＰＦＰ膜は、真空、ＳＲＤ、４００℃および６００℃加工試験に耐えた。しかしながら、ＰＰＦＰ２の２０分間の超音波洗浄後、層間剥離が観察され、そのような加工に耐えるには十分な接着力が示される。それにもかかわらず、超音波加工が必要とされないいくつかの用途に関しては、ＰＰＦＰ２の表面変性層は有用となり得る。 FIG. 5 shows the total (line 502) surface energy (polar (line 504) and polar (line 504) and plasma polymerized fluoropolymer (PPFP) films deposited from a CF4-C4F8 mixture by an Oxford ICP380 etch tool (available from Oxford Instruments, Oxfordshire UK). Dispersion (line 506) included). The film was deposited on a sheet of Eagle XG® glass and spectroscopic ellipsometry showed a film with a thickness of 1-10 nm. As referenced from Fig. 5, the glass carrier treated with plasma polymerized fluoropolymer film containing C4F8 less than 40%, it shows the surface energy of 40 mJ / m ^2, greater than at room temperature by van der Waals or hydrogen bonds A controlled bond between the glass and the carrier. Accelerated binding is observed when the carrier and thin glass are first bonded at room temperature. That is, when thin sheets are placed on a carrier and they are pressed together at one point, the wavefront moves across the carrier but is slower than that observed for an SC1 treated surface without a surface modified layer. . The controlled bond is sufficient to withstand all standard FPD processes including vacuum, wet, ultrasonic and heat treatment up to 600 ° C., ie, this controlled bond is the transfer of thin glass from the carrier or Passes the 600 ° C. processing test without delamination. Peeling was accomplished by peeling with a razor blade and / or Kapton ™ tape as described above. The process compatibility of two different PPFP membranes (deposited as described above) is shown in Table 3. The PPFP1 of Example 3a is formed with C4F8 / (C4F8 + CF4) = 0, ie formed by CF4 / H2 without C4F8, and the PPFP2 of Example 3b is C4F8 / (C4F8 + CF4) = 0.38. It was deposited. Both types of PPFP films withstood vacuum, SRD, 400 ° C. and 600 ° C. processing tests. However, after 20 minutes ultrasonic cleaning of PPFP2, delamination is observed, indicating sufficient adhesion to withstand such processing. Nevertheless, a surface modified layer of PPFP2 can be useful for some applications where sonication is not required.

Claims

ガラスシートのアニール化方法において、
各々が２つの主要面を有する複数のガラスシートを積層するステップであって、前記複数のガラスシートにおいて、ガラスシートの隣接するものの間で界面が画定され、該界面の１つに面する前記主要面の少なくとも１つに表面変性層が配置され、該表面変性層が、ＨＭＤＳ、プラズマ重合フルオロポリマーおよび芳香族シランのうちの１つを含むステップと、
各ガラスシートを圧縮するのに十分な時間−温度サイクルに、前記ガラスシートの積層を暴露するステップであって、前記時間−温度サイクルが、４００℃以上であるが前記ガラスシートの歪点より低い温度を含むステップと、
を有してなり、
前記表面変性層が、前記時間−温度サイクルを通して、前記界面の１つを画定する前記積層におけるガラスシートの前記隣接するものの間の結合を制御するのに十分であり、一方が保持されて他方が重力を受ける場合に一方のシートが他方から分離しないが、前記ガラスシートの前記隣接するものの一方が２つ以上の断片に破断することなく該ガラスシートを分離し得るような力となるように結合が制御される、ガラスシートのアニール化方法。 In the annealing method of the glass sheet ,
Each comprising: stacking a plurality of glass sheets having two major surfaces, the plurality of glass sheets, the interface is defined between adjacent ones of the glass sheet, the primary facing one of the interface A surface modified layer is disposed on at least one of the surfaces, the surface modified layer comprising one of HMDS, a plasma polymerized fluoropolymer, and an aromatic silane ;
Sufficient time to compress each glass sheet - temperature cycling, comprising the steps of exposing the laminate of said glass sheet, said time - temperature cycles, but lower than the strain point of the glass sheets is 400 ° C. or higher A step including temperature ;
Having
The surface-modified layer is sufficient to control bonding between the adjacent ones of the glass sheets in the laminate that define one of the interfaces throughout the time-temperature cycle, one held and the other When subjected to gravity, one sheet does not separate from the other, but one of the adjacent ones of the glass sheets is bonded to a force that can separate the glass sheets without breaking into two or more pieces Is a method for annealing a glass sheet.

前記時間−温度サイクルが、６００℃以上であるが前記ガラスシートの歪点より低い温度を含む、請求項１記載の方法。 The method of claim 1, wherein the time-temperature cycle comprises a temperature of 600 ° C. or more but below the strain point of the glass sheet .

前記表面変性層が、プラズマ重合フルオロポリマーを含み、該プラズマ重合フルオロポリマーが、プラズマ重合ポリテトラフルオロエチレン、および４０％以下のＣ_４Ｆ_８を有するＣＦ_４−Ｃ_４、Ｆ_８混合物から析出されたプラズマ重合フルオロポリマー表面変性層のうちの１つである、請求項１記載の方法。 Wherein the surface-modified layer is observed containing plasma polymerized fluoropolymers, precipitated from the plasma polymerization fluoropolymer, plasma polymerization polytetrafluoroethylene, and _CF 4 _-C 4, _{F 8} mixture with 40% or less of _C 4 _{F 8} The method of claim 1 , wherein the method is one of a modified plasma polymerized fluoropolymer surface modified layer.

前記表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルシランである、請求項１記載の方法。 Wherein the surface-modified layer is observed containing aromatic silane, aromatic silane phenylsilane The method of claim 1, wherein.

前記表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルトリエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、および４−ペンタフルオロフェニルトリエトキシシランのうちの１つである、請求項１記載の方法。 Wherein the surface-modified layer is observed containing aromatic silane, aromatic silanes phenyltriethoxysilane, is one of the diphenyl diethoxy silane, and 4-pentafluorophenyl triethoxysilane method of claim 1, wherein .

前記時間−温度サイクルが無酸素環境で実行されることを特徴とする、請求項１〜５いずれか１項記載の方法。 The time - temperature cycle, characterized in that it is performed in an oxygen-free environment, according to claim 1 to 5 The method of any one of claims.

表面変性層が配置された前記主要面の少なくとも１つが、４０ｍＪ／ｍ ^２超の表面エネルギーを有する、請求項１記載の方法。 The method of claim 1, wherein at least one of the major surfaces on which a surface modification layer is disposed has a surface energy greater than 40 mJ / m ² .

前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが２４ｍＪ／ｍ ^２超である、請求項１記載の方法。 The method of claim 1, wherein the adhesion energy between the major surfaces of the glass sheet facing one of the interfaces is greater than 24 mJ / m ² .

前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが５０〜１０００ｍＪ／ｍ ^２である、請求項１記載の方法。 The method of claim 1, wherein the adhesion energy between the major surfaces of the glass sheet facing one of the interfaces is 50 to 1000 mJ / m ² .

ガラスシートのアニール化方法において、
各々が２つの主要面を有する複数のガラスシートを積層するステップであって、前記複数のガラスシートにおいて、ガラスシートの隣接するものの間で界面が画定され、該界面の１つに面する前記主要面の少なくとも１つに表面変性層が配置され、該表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルシランを含むステップと、
各ガラスシートを圧縮するのに十分な時間−温度サイクルに、前記ガラスシートの積層を暴露するステップと、
を有してなり、
前記表面変性層は、前記時間−温度サイクルを通して、前記界面の１つを画定する前記積層におけるガラスシートの前記隣接するものの間の結合を制御するのに十分であり、一方が保持されて他方が重力を受ける場合に一方のシートが他方から分離しないが、前記ガラスシートの前記隣接するものの一方が２つ以上の断片に破断することなく該ガラスシートを分離し得るような力となるように結合が制御される、ガラスシートのアニール化方法。 In the annealing method of the glass sheet,
Laminating a plurality of glass sheets each having two major surfaces, wherein an interface is defined between adjacent ones of the glass sheets and the major surface facing one of the interfaces. A surface-modified layer is disposed on at least one of the surfaces, the surface-modified layer comprising an aromatic silane, and the aromatic silane comprising phenylsilane;
Exposing the stack of glass sheets to a time-temperature cycle sufficient to compress each glass sheet;
Having
The surface-modified layer is sufficient to control bonding between the adjacent ones of the glass sheets in the laminate that define one of the interfaces throughout the time-temperature cycle, one being retained and the other being When subjected to gravity, one sheet does not separate from the other, but one of the adjacent ones of the glass sheets is bonded to a force that can separate the glass sheets without breaking into two or more pieces Is a method for annealing a glass sheet .

前記時間−温度サイクルが、４００℃以上であるが前記ガラスの歪点より低い温度を含む、請求項１０記載の方法。 The method of claim 10, wherein the time-temperature cycle comprises a temperature above 400 ° C. but below the strain point of the glass .

前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが２４ｍＪ／ｍ ^２超である、請求項１０記載の方法。 The method of claim 10, wherein the adhesion energy between the major surfaces of the glass sheet facing one of the interfaces is greater than 24 mJ / m ² .

前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが５０〜１０００ｍＪ／ｍ ^２である、請求項１０記載の方法。 The method of claim 10, wherein the adhesion energy between the major surfaces of the glass sheet facing one of the interfaces is 50 to 1000 mJ / m ² .

ガラスシートのアニール化方法において、
各々が２つの主要面を有する複数のガラスシートを積層するステップであって、前記複数のガラスシートにおいて、ガラスシートの隣接するものの間で界面が画定され、該界面の１つに面する前記主要面の少なくとも１つに表面変性層が配置され、該表面変性層が芳香族シランを含み、該芳香族シランがフェニルトリエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、および４−ペンタフルオロフェニルトリエトキシシランのうちの１つを含むステップと、
各ガラスシートを圧縮するのに十分な時間−温度サイクルに、前記ガラスシートの積層を暴露するステップと、
を有してなり、
前記表面変性層は、前記時間−温度サイクルを通して、前記界面の１つを画定する前記積層におけるガラスシートの前記隣接するものの間の結合を制御するのに十分であり、一方が保持されて他方が重力を受ける場合に一方のシートが他方から分離しないが、前記ガラスシートの前記隣接するものの一方が２つ以上の断片に破断することなく該ガラスシートを分離し得るような力となるように結合が制御される、ガラスシートのアニール化方法。 In the annealing method of the glass sheet,
Laminating a plurality of glass sheets each having two major surfaces, wherein an interface is defined between adjacent ones of the glass sheets and the major surface facing one of the interfaces. A surface modification layer is disposed on at least one of the surfaces, the surface modification layer includes an aromatic silane, and the aromatic silane is selected from phenyltriethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, and 4-pentafluorophenyltriethoxysilane. Including one of the following:
Exposing the stack of glass sheets to a time-temperature cycle sufficient to compress each glass sheet;
Having
The surface-modified layer is sufficient to control bonding between the adjacent ones of the glass sheets in the laminate that define one of the interfaces throughout the time-temperature cycle, one being retained and the other being When subjected to gravity, one sheet does not separate from the other, but one of the adjacent ones of the glass sheets is bonded to a force that can separate the glass sheets without breaking into two or more pieces Is a method for annealing a glass sheet .

前記時間−温度サイクルが、４００℃以上であるが前記ガラスの歪点より低い温度を含む、請求項１４記載の方法。 The method of claim 14, wherein the time-temperature cycle comprises a temperature above 400 ° C. but below the strain point of the glass .

前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが２４ｍＪ／ｍ ^２超である、請求項１４記載の方法。 The method of claim 14, wherein the adhesion energy between the major surfaces of the glass sheet facing one of the interfaces is greater than 24 mJ / m ² .

前記界面の１つに面する前記ガラスシートの主要面の間の接着エネルギーが５０〜１０００ｍＪ／ｍ ^２である、請求項１４記載の方法。 The method of claim 14, wherein the adhesion energy between the major surfaces of the glass sheet facing one of the interfaces is 50 to 1000 mJ / m ² .