JP2016203999A - Sheet feeder and sheet feeding method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート供給装置およびシート供給方法に関する。 The present invention relates to a sheet supply apparatus and a sheet supply method.
従来から、第1接着シートを剥離シートから剥離し、剥離した第1接着シートと第2接着シートとを積層させて供給する装置が知られている(例えば、特許文献1)。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an apparatus that peels a first adhesive sheet from a release sheet and supplies the peeled first adhesive sheet and second adhesive sheet in a stacked manner (for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載の装置では、第1のラベルL1(第1接着シート)と第2のラベルL2(第2接着シート)とを別々に吸着プレート55に供給する構成なので、第1のラベルL1に対する第2のラベルL2の積層状態が安定しないままそれらが吸着プレート55に供給されてしまうという不都合がある。
However, in the apparatus described in
本発明の目的は、第1接着シートに対する第2接着シートの積層状態を安定した状態でそれらを供給することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供することにある。 The objective of this invention is providing the sheet supply apparatus and sheet supply method which can supply them in the state in which the lamination | stacking state of the 2nd adhesive sheet with respect to the 1st adhesive sheet was stabilized.
上述した課題を解決するために、本発明は、第1接着シートを含む繰出対象物を繰り出す第1繰出手段と、前記第1繰出手段で繰り出される繰出対象物から前記第1接着シートを剥離する第1剥離手段と、帯状の第2剥離シートの一方の面に第2接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第2原反を繰り出す第2繰出手段と、前記第2繰出手段で繰り出される第2原反から前記第2接着シートを剥離する第2剥離手段とを備え、前記第1繰出手段は、前記第1剥離手段に対して前記繰出対象物の繰出方向上流側に配置され、帯状の第1剥離シートの一方の面に前記第1接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第1原反から当該第1接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第1接着シートを前記第1剥離シートまたは帯状の第3剥離シートに再仮着する脱着手段を備え、前記第2剥離手段は、前記脱着手段で再仮着される前記第1接着シートと前記第1剥離シートとの間、または、前記第1接着シートと前記第3剥離シートとの間に前記第2接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給装置である。 In order to solve the above-described problem, the present invention peels the first adhesive sheet from a first feeding unit that feeds a feeding object including the first adhesive sheet, and a feeding object that is fed by the first feeding unit. A first peeling means, a second feeding means for feeding a second original fabric in which a second adhesive sheet is temporarily attached to one surface of a belt-like second peeling sheet at a predetermined interval; and the second feeding means. And a second peeling means for peeling the second adhesive sheet from the fed second raw material, and the first feeding means is arranged on the upstream side in the feeding direction of the feeding object with respect to the first peeling means. The first adhesive sheet is temporarily peeled from the first original fabric on which the first adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like first release sheet with a predetermined interval, and the first adhesive is peeled once. Sheet is the first release sheet or strip-like third release Detachment means for re-temporarily attaching to a sheet, and the second peeling means is between the first adhesive sheet and the first release sheet re-temporarily attached by the desorption means, or the first adhesive sheet. And the third release sheet, the second adhesive sheet is inserted to form the feeding object.
前記第1繰出手段は、前記第1剥離シートの一方の面に帯状の第1接着シート基材が仮着された第1原反を繰り出すとともに、前記第1剥離手段に対して前記第1原反の繰出方向上流側に配置され、前記第1接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に前記第1接着シートを形成する第1切断手段を備えていることを特徴としてもよい。 The first feeding means feeds a first original fabric in which a belt-like first adhesive sheet base material is temporarily attached to one surface of the first release sheet, and the first original means with respect to the first release means. Disposed on the upstream side in the opposite feeding direction, comprising a first cutting means for forming a closed loop-shaped cut in the first adhesive sheet base material and forming the first adhesive sheet inside the cut. It is good.
前記第2繰出手段は、前記第2剥離シートの一方の面に帯状の第2接着シート基材が仮着された第2原反を繰り出すとともに、前記第2剥離手段に対して前記第2原反の繰出方向上流側に配置され、前記第2接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に前記第2接着シートを形成する第2切断手段を備えていることを特徴としてもよい。 The second feeding means feeds the second original fabric in which a belt-like second adhesive sheet base material is temporarily attached to one surface of the second release sheet, and the second original means with respect to the second peeling means. Disposed on the upstream side in the opposite feeding direction, comprising a second cutting means for forming a closed loop-shaped cut in the second adhesive sheet base material and forming the second adhesive sheet inside the cut. It is good.
前記第1接着シートに対する前記第2接着シートの積層状態を検知する位置ずれ検知手段を備えていることを特徴としてもよい。 A misalignment detection unit that detects a stacked state of the second adhesive sheet with respect to the first adhesive sheet may be provided.
本発明の他の態様は、第1接着シートを含む繰出対象物を繰り出す第1繰出工程と、前記第1繰出手段で繰り出される繰出対象物から前記第1接着シートを剥離する第1剥離工程と、帯状の第2剥離シートの一方の面に第2接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第2原反を繰り出す第2繰出工程と、前記第2繰出工程で繰り出される第2原反から前記第2接着シートを剥離する第2剥離工程とを含み、前記第1繰出工程は、帯状の第1剥離シートの一方の面に前記第1接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第1原反から当該第1接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第1接着シートを前記第1剥離シートまたは帯状の第3剥離シートに再仮着する脱着工程を含み、前記第2剥離工程において、前記脱着工程で再仮着される前記第1接着シートと前記第1剥離シートとの間、または、前記第1接着シートと前記第3剥離シートとの間に前記第2接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給方法である。 In another aspect of the present invention, a first feeding step of feeding a feeding object including the first adhesive sheet, and a first peeling step of peeling the first adhesive sheet from the feeding object fed by the first feeding means, , A second feeding step of feeding out the second original fabric in which the second adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like second release sheet at a predetermined interval, and a second original fed out in the second feeding step. A second peeling step of peeling the second adhesive sheet from the opposite side, wherein the first feeding step temporarily attaches the first adhesive sheet to one surface of the belt-like first release sheet with a predetermined interval. The first adhesive sheet is once peeled from the first raw fabric, and the first adhesive sheet once peeled is reattached to the first release sheet or the strip-like third release sheet, 2 In the peeling process, it is temporarily reattached in the desorption process. The insertion object is formed by inserting the second adhesive sheet between the first adhesive sheet and the first release sheet or between the first adhesive sheet and the third release sheet. A sheet feeding method is characterized.
本発明によれば、第1接着シートを供給する前に、当該第1接着シートと第2接着シートとを積層するので、第1接着シートに対する第2接着シートの積層状態を安定した状態でそれらを供給することができる。 According to the present invention, since the first adhesive sheet and the second adhesive sheet are laminated before supplying the first adhesive sheet, the laminated state of the second adhesive sheet with respect to the first adhesive sheet can be stably maintained. Can be supplied.
以下、本発明の実施形態に係るシート供給装置を採用したシート貼付装置10を図面に基づいて説明する。
なお、実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, a sheet pasting
In the embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a predetermined plane, and the Z axis is an axis that is orthogonal to the predetermined plane. . Furthermore, in the embodiment, when viewed from the near side of FIG. 1 parallel to the Y axis, when the direction is indicated, “up” is the arrow direction of the Z axis, “down” is the opposite direction, “left” “Right” is the direction of the arrow on the X axis, “Right” is the reverse direction, “Front” is the front direction orthogonal to the page, and “Rear” is the reverse direction of the Y axis arrow direction.
図1において、シート貼付装置10は、第1接着シートAS1を含む繰出対象物LSを繰り出す第1繰出手段20と、第1繰出手段20で繰り出される繰出対象物LSから第1接着シートAS1を剥離する第1剥離手段としての第1剥離板30と、帯状の第2剥離シートRL2の一方の面に第2接着シートAS2が所定の間隔をあけて仮着された第2原反RS2を繰り出す第2繰出手段40と、第2繰出手段40で繰り出される第2原反RS2から第2接着シートAS2を剥離する第2剥離手段としての第2剥離板50と、第1接着シートAS1および第2接着シートAS2をリングフレームRFおよび半導体ウエハ(以下単に「ウエハ」という場合がある)WFからなる被着体WKの一方の面に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ60と、被着体WKを支持して搬送する搬送手段70と、第1接着シートAS1に対する第2接着シートAS2の積層状態を検知する位置ずれ検知手段80とを備えている。なお、本実施形態における第1繰出手段20と第1剥離板30と第2繰出手段40と第2剥離板50と位置ずれ検知手段80とで本願発明のシート供給装置が構成される。
In FIG. 1, the
第1接着シートAS1は、基材シートBSと当該基材シートBSの一方の面に積層された接着剤AD1層とを備えた2層構造とされ、第2接着シートAS2は、接着剤AD2層を備えた1層構造とされている。 The first adhesive sheet AS1 has a two-layer structure including a base sheet BS and an adhesive AD1 layer laminated on one surface of the base sheet BS, and the second adhesive sheet AS2 is an adhesive AD2 layer. It is set as the 1 layer structure provided with.
第1繰出手段20は、帯状の第1剥離シートRL1の一方の面に第1接着シートAS1が所定の間隔をあけて仮着された第1原反RS1を支持する支持ローラ21と、第1原反RS1を案内する複数のガイドローラ22と、駆動機器としての回動モータ23によって駆動される駆動ローラ24と、第1剥離シートRL1を駆動ローラ24との間に挟み込むピンチローラ25と、図示しない駆動機器によって駆動され、第1剥離シートRL1を回収する回収ローラ26と、第1剥離板30に対して繰出対象物LSの繰出方向上流側に配置され、第1原反RS1から第1接着シートAS1を一旦剥離し、当該一旦剥離した第1接着シートAS1を第1剥離シートRL1に再仮着する脱着手段27とを備えている。
脱着手段27は、第1原反RS1から第1接着シートAS1を一旦剥離する脱着用剥離板27Aと、第1接着シートAS1から剥離した第1剥離シートRL1を迂回させる複数のガイドローラ27Bと、駆動機器としての回動モータ27Cにより駆動される受けローラ27Dと、受けローラ27Dの駆動により従動回転し、第1接着シートAS1と第1剥離シートRL1とを受けローラ27Dとで挟み込むピンチローラ27Eとを備えている。
The first feeding means 20 includes a
The detaching means 27 includes a
第2繰出手段40は、第2原反RS2を支持する支持ローラ41と、第2原反RS2を案内する複数のガイドローラ42と、駆動機器としての回動モータ43によって駆動される駆動ローラ44と、第2剥離シートRL2を駆動ローラ44との間に挟み込むピンチローラ45と、図示しない駆動機器によって駆動され、第2剥離シートRL2を回収する回収ローラ46とを備えている。
The second feeding means 40 includes a
第2剥離板50は、脱着手段27で再仮着される第1接着シートAS1と第1剥離シートRL1との間に第2接着シートAS2を挿入して繰出対象物LSを形成するようになっている。
The
搬送手段70は、駆動機器としてのリニアモータ71のスライダ71Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体WKを保持可能な支持面72Aを有する搬送テーブル72を備えている。
The conveyance means 70 includes a conveyance table 72 that is supported by a
位置ずれ検知手段80は、カメラ等の撮像手段や光学センサ等からなり、透明、半透明または不透明の第1剥離シートRL1を透過して第1接着シートAS1に対する第2接着シートAS2の積層状態を検知するようになっている。
The
次に、本実施形態におけるシート貼付装置10の動作について説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート貼付装置10に対し、作業者が第1原反RS1および第2原反RS2を同図のようにセットする。この際、脱着用剥離板27Aで第1剥離シートRL1を折り返す位置から第1剥離板30で第1剥離シートRL1を折り返す位置までの間に位置する第1接着シートAS1は除去しておく。
Next, operation | movement of the
First, the operator sets the first original fabric RS1 and the second original fabric RS2 as shown in the figure with respect to the
その後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、第2繰出手段40が回動モータ43を駆動し、第2原反RS2を繰り出す。そして、図1に示すように、第2接着シートAS2が第2剥離板50で第2剥離シートRL2から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第2繰出手段40が回動モータ43の駆動を停止する。
Thereafter, when an automatic operation start signal is input via an input means such as an operation panel or a personal computer (not shown), the second feeding means 40 drives the
回動モータ43の駆動が停止したことが確認されると、第1繰出手段20が回動モータ23、27Cを駆動し、第1原反RS1を繰り出す。そして、第1接着シートAS1が脱着用剥離板27Aで第1剥離シートRL1から剥離され、剥離された第1接着シートAS1がカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段で所定の位置に到達したことが検出されると、第2繰出手段40が回動モータ43を駆動し、第1原反RS1の繰出速度に合わせて第2原反RS2を繰り出す。これにより、第1接着シートAS1と第2接着シートAS2と第1剥離シートRL1とが受けローラ27Dとピンチローラ27Eとで挟み込まれ、第2接着シートAS2を間に挟んだ状態で第1接着シートAS1が第1剥離シートRL1に再仮着された繰出対象物LSが形成される。
When it is confirmed that the driving of the
そして、図1に示すように、先頭の第1接着シートAS1が第1剥離板30で第1剥離シートRL1から所定長さ剥離したことが、カメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第1繰出手段20が回動モータ23、27Cの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
As shown in FIG. 1, it is detected that the first first adhesive sheet AS1 is peeled from the first release sheet RL1 by the
次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が被着体WKを支持面72A上に載置すると、搬送手段70が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ71を駆動し、搬送テーブル72を左方に移動させる。そして、被着体WKが所定位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第1繰出手段20が回動モータ23、27Cを駆動し、搬送テーブル72の搬送速度に合わせて第1原反RS1を繰り出す。これにより、先頭の第1接着シートAS1が第2接着シートAS2と共に第1剥離シートRL1から剥離され、当該第1接着シートAS1の外縁部がリングフレームRFに、第2接着シートAS2がウエハWFに押圧ローラ60によって押圧されて貼付され、一体物WK1が形成される。
Next, when a transfer means (not shown) such as a human hand or an articulated robot or a belt conveyor places the adherend WK on the support surface 72A, the transfer means 70 drives a decompression means (not shown) and holds them by suction. The
その後、次回貼付予定の第1接着シートAS1が図示しない検出手段に検出されると、第1繰出手段20が回動モータ23、27Cの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。なお、第1剥離板30で剥離した第1、第2接着シートAS1、AS2を被着体WKに貼付している最中も、第2繰出手段40が上記と同様に駆動し、繰出対象物LSを形成する。
Thereafter, when the first adhesive sheet AS1 to be attached next time is detected by a detection means (not shown), the first feeding means 20 stops driving the
一体物WK1が形成されると、搬送手段70がリニアモータ71の駆動を停止し、搬送テーブル72を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止するので、人手または図示しない移送手段が、一体物WK1を次工程に搬送する。そして、搬送手段70がリニアモータ71を駆動し、搬送テーブル72を初期位置に復帰させた後、上記同様の動作が繰り返される。
When the integrated object WK1 is formed, the conveyance means 70 stops driving the
なお、位置ずれ検知手段80が第1接着シートAS1に対する第2接着シートAS2の積層状態を検知し、それらが所望の積層状態と違って位置ずれした状態で積層されていたり、第2接着シートAS2が折れた状態で積層されていたり、第2接着シートAS2が破損した状態で積層されていたりした場合、シート貼付装置10の貼付動作を停止したり、警告ライトやブザー等の警告手段を駆動して作業者に知らせたりすることができる。
The
以上のような本実施形態によれば、第1接着シートAS1を供給する前に、当該第1接着シートAS1と第2接着シートAS2とを積層するので、第1接着シートAS1に対する第2接着シートAS2の積層状態を安定した状態でそれらを供給することができる。 According to the present embodiment as described above, since the first adhesive sheet AS1 and the second adhesive sheet AS2 are laminated before supplying the first adhesive sheet AS1, the second adhesive sheet with respect to the first adhesive sheet AS1. They can be supplied in a stable state of the laminated state of AS2.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第2繰出手段は、帯状の第2剥離シートの一方の面に第2接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第2原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。 The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to those means and steps. The process is not limited at all. For example, if the second feeding means is capable of feeding the second original fabric in which the second adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like second release sheet with a predetermined interval, the second application means can be applied. There is no limitation as long as it is within the range in light of the original technical common sense (explanation of other means and steps is omitted).
第1繰出手段20は、第1剥離シートRL1の一方の面に帯状の第1接着シート基材が仮着された第1原反RS1を繰り出してもよい。この場合、第1繰出手段20は、第1剥離板30に対して第1原反RS1の繰出方向上流側に配置され、第1接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第1接着シートAS1を形成する第1切断手段を備えていてもよい。
第1切断手段としては、図1中二点鎖線で示すように、駆動機器としての回動モータ28Aにより回転可能に設けられ、外周に閉ループ状の切断刃28Bを備えたカッターローラ28を例示することができる。
カッターローラ28は、支持ローラ21と脱着用剥離板27Aとの間に配置されてもよいし、脱着手段27と第1剥離板30との間に配置されてもよく、第1接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成できるかぎり任意の場所に配置することができる。この場合、第1繰出手段20は、第1接着シートAS1の外側に位置する不要な第1接着シート部分が第1剥離板30に到達する前に、当該不要な第1接着シート部分を回収する回収手段を備えてもよい。
第1繰出手段20は、図2に示すように、第3剥離シートRL3を支持する支持ローラ29Aと、第3剥離シートRL3を案内するガイドローラ29Bとを備えてもよい。この場合、第1繰出手段20は、脱着用剥離板27Aで第1接着シートAS1が一旦剥離された第1剥離シートRL1を駆動機器によって回収する回収手段を設ければよい。そして、第2剥離板50は、脱着手段27で再仮着される第1接着シートAS1と第3剥離シートRL3との間に第2接着シートAS2を挿入して繰出対象物LSを形成するように配置されればよい。
The first feeding means 20 may feed out the first original fabric RS1 in which a belt-like first adhesive sheet base material is temporarily attached to one surface of the first release sheet RL1. In this case, the first feeding means 20 is disposed on the upstream side in the feeding direction of the first original fabric RS1 with respect to the
As the first cutting means, as shown by a two-dot chain line in FIG. 1, a
The
As shown in FIG. 2, the first feeding means 20 may include a
脱着手段27は、図2に示すように、ピンチローラ27Eを回動モータ27Cや別の駆動機器により受けローラ27Dと共に回転するようにした駆動プーリと、従動プーリ27Fと、駆動プーリおよび従動プーリ27Fに掛け回された平ベルトや丸ベルト等のベルト部材27Gとを備えた構成としてもよいし、ベルト部材27Gを介して第1接着シートAS1を吸引可能な吸引手段27Hを設けてもよい。
脱着手段27は、第1接着シートAS1の繰出方向先端部や第2接着シートAS2の繰出方向先端部に大気、窒素ガスやネオン等のガスや混合気を吹き付けたり、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引することで、各繰出方向先端部の折れ曲がりを防止する折れ曲がり防止手段を備えていてもよい。
ガイドローラ27Bは、1体でもよいし2体以上でもよく、ガイドローラ27Bにより形成される迂回ルートの形状は、円形状、半円形状、楕円形状、矩形状、五角形以上の多角形状、それらが部分的に組み合わさった形状等何でもよい。
脱着手段27は、ガイドローラ27Bの代わり、または、それと併用して平面や曲面で第1剥離シートRL1を案内する板状のガイドプレートを採用してもよい。
脱着手段27は、図1、2中二点鎖線で示すように、受けローラ27Dとピンチローラ27Eとで第1接着シートAS1を挟み込む位置よりも第1剥離シートRL1または第3剥離シートRL3の繰出方向上流側で、当該第1剥離シートRL1または第3剥離シートRL3に第2接着シートAS2を仮着する構成としてもよい。
脱着手段27は、第2接着シートAS2を第1剥離シートRL1または第3剥離シートRL3に仮着させてもよくさせなくてもよい。
脱着手段27は、ピンチローラ27Eを駆動機器で駆動させ、受けローラ27Dがピンチローラ27Eに従動回転するように構成してもよいし、受けローラ27Dおよびピンチローラ27Eが駆動機器で駆動するように構成してもよい。
脱着手段27は、ピンチローラ27Eの代わりに、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができるし、大気やガス等のエアの噴き付けにより第1接着シートAS1を第1剥離シートRL1に再仮着する構成も採用することができる。
As shown in FIG. 2, the detaching means 27 includes a driving pulley in which a
The detaching means 27 blows air, a gas such as nitrogen gas or neon, or a gas mixture to the leading end of the first adhesive sheet AS1 or the leading end of the second adhesive sheet AS2, or a decompression pump, a vacuum ejector, etc. Bending prevention means for preventing bending of the leading end portion in each feeding direction by suction by a decompression means (not shown) may be provided.
One
The detaching means 27 may adopt a plate-like guide plate that guides the first release sheet RL1 in a plane or a curved surface instead of the
As shown by a two-dot chain line in FIGS. 1 and 2, the detaching means 27 feeds the first release sheet RL1 or the third release sheet RL3 from a position where the first adhesive sheet AS1 is sandwiched between the receiving roller 27D and the
The desorption means 27 may or may not temporarily attach the second adhesive sheet AS2 to the first release sheet RL1 or the third release sheet RL3.
The detaching means 27 may be configured such that the
The detaching means 27 can employ a pressing member made of a blade material, rubber, resin, sponge or the like instead of the
第1、第2剥離手段や脱着用剥離板27Aは、回転可能な剥離用ローラで構成してもよい。
The first and second peeling means and the
第2繰出手段40は、第2剥離シートRL2の一方の面に帯状の第2接着シート基材が仮着された第2原反RS2を繰り出してもよい。この場合、第2繰出手段40は、第2剥離板50に対して第2原反RS2の繰出方向上流側に配置され、第2接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第2接着シートAS2を形成する第2切断手段を備えていてもよい。
第2切断手段としては、図1中二点鎖線で示すように、例えば、駆動機器としての回動モータ47Aにより回転可能に設けられ、外周に閉ループ状の切断刃47Bを備えたカッターローラ47を例示することができる。この場合、第2繰出手段40は、第2接着シートAS2の外側に位置する不要な第2接着シート部分が第2剥離板50に到達する前に、当該不要な第2接着シート部分を回収する回収手段を備えてもよい。
第1、第2切断手段は、レーザカッタ、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材で構成してもよく、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので構成してもよい。
第1、第2切断手段により形成される切り込みの形状は、円形、半円形状、楕円形状、矩形、五角形以上の多角形等何でもよい。
第1、第2切断手段は、両方設けてもよいし、いずれか一方だけ設けてもよく、接着シートの形状(切込が形成されていない接着シート基材であるか否か)に合わせて任意の構成を採用することができる。
The second feeding means 40 may feed out the second original fabric RS2 in which a belt-like second adhesive sheet base material is temporarily attached to one surface of the second release sheet RL2. In this case, the second feeding means 40 is disposed on the upstream side in the feeding direction of the second original fabric RS2 with respect to the
As the second cutting means, as shown by a two-dot chain line in FIG. 1, for example, a
The first and second cutting means may be constituted by a cutting member such as a laser cutter, a heating wire, or a spray of gas or liquid, or may be constituted by a combination of an articulated robot or an appropriate drive device. Good.
The shape of the cut formed by the first and second cutting means may be any shape such as a circle, a semicircle, an ellipse, a rectangle, a pentagon or more polygon.
Both the first and second cutting means may be provided, or only one of them may be provided, depending on the shape of the adhesive sheet (whether or not the adhesive sheet base material has no cut). Any configuration can be employed.
押圧手段は、押圧ローラ60の代わりに、第2接着シートAS2が積層された第1接着シートAS1を減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持し、被着体WKに押圧して貼付する構成でもよい。
押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができるし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
押圧手段は、押圧部材を停止させておき、被着体WKを移動させてもよいし、押圧部材と被着体WKとの両方を移動させて押圧して貼付してもよい。
Instead of the
As the pressing means, a pressing member made of a blade material, rubber, resin, sponge, or the like can be adopted, and a configuration of pressing by blowing air such as air or gas can also be adopted.
The pressing means may stop the pressing member and move the adherend WK, or may move and press both the pressing member and the adherend WK for pasting.
搬送手段70は、被着体WKを停止させておき、または、被着体WKを移動させつつ、第1繰出手段20、押圧ローラ60等の他の手段を適宜な方向に移動させて上記と同様の貼付動作を行ってもよい。
搬送手段70は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体WKを保持する構成でもよい。
被着体WKを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置10において搬送手段70はあってもよいしなくてもよく、その他押圧手段等は、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいしなくてもよい。
シート貼付装置10は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体WKの下面や側面に第2接着シートAS2が積層された第1接着シートAS1を貼付するように構成してもよい。
The conveying means 70 stops the adherend WK or moves the adherend WK while moving other means such as the first feeding means 20 and the
The conveyance means 70 may be configured to hold the adherend WK by chuck means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, Coulomb force, adhesive, adhesive, magnetic force, Bernoulli adsorption, or the like.
When the adherend WK is transported by another apparatus, the
The
位置ずれ検知手段80は、第1接着シートAS1を透過して当該第1接着シートAS1に対する第2接着シートAS2の積層状態を検知するように構成してもよいし、シート貼付装置10や本願発明のシート供給装置においてなくてもよい。なお、基材シートBSおよび接着剤AD1層は、それぞれが透明、半透明または不透明でもよく、位置ずれ検知手段80は、そのような第1接着シートAS1を透過して第2接着シートAS2の積層状態を検知することができる。
The misregistration detection means 80 may be configured to detect the laminated state of the second adhesive sheet AS2 with respect to the first adhesive sheet AS1 through the first adhesive sheet AS1, or the
前記実施形態では、本願発明のシート供給装置を採用したシート貼付装置10を図示して説明したが、シート供給装置を単体として使用してもよく、この場合、シート供給装置から供給された、第2接着シートAS2が積層された第1接着シートAS1を人手で保持し、被着体WKに貼付することができる。
第1接着シートAS1の平面形状の大きさは、第2接着シートAS2よりも大きくてもよいし、同じ大きさでもよいし、小さくてもよい。
シート貼付装置10(本願発明のシート供給装置)がスタンバイ状態のとき、または、停止中に、第1接着シートAS1と第2接着シートAS2とが受けローラ27Dとピンチローラ27Eとの間に挟み込まれていない状態とする変位手段を設けてもよい。このような変位手段は、脱着用剥離板27Aと受けローラ27Dとピンチローラ27Eとを第1原反RS1の繰出方向上流側または下流側に移動させる構成とすることができる。これにより、第1接着シートAS1と第2接着シートAS2とが受けローラ27Dとピンチローラ27Eとの間に挟み込まれている状態で再び繰り出されたときに、それらに速度差ができて何れか一方が引っ張られたり、何れか一方に皺ができたりすることを防止したり、受けローラ27Dとピンチローラ27Eとで第1接着シートAS1と第2接着シートAS2とに押し跡が形成されることを防止したりすることができる。
In the above embodiment, the
The size of the planar shape of the first adhesive sheet AS1 may be larger than the second adhesive sheet AS2, may be the same size, or may be smaller.
The first adhesive sheet AS1 and the second adhesive sheet AS2 are sandwiched between the receiving roller 27D and the
さらに、本発明における第1接着シートAS1、第2接着シートAS2、被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第1、第2接着シートAS1、AS2は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該第1、第2接着シートAS1、AS2を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような第1、第2接着シートAS1、AS2は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、ウエハWFだけでもよいしリングフレームRFだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第1、第2接着シートAS1、AS2は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 Furthermore, the material, type, shape, and the like of the first adhesive sheet AS1, the second adhesive sheet AS2, and the adherend WK in the present invention are not particularly limited. For example, the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 are not limited to adhesive forms such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive is used, a heating means such as an appropriate coil heater for heating the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 or a heating pipe heating side may be provided. In addition, the first and second adhesive sheets AS1, AS2 are, for example, a single layer having only an adhesive layer, a base sheet and an adhesive layer, and an intermediate layer therebetween. In addition, the base sheet may have three or more layers having a cover layer on the upper surface, and may also be a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the base sheet from the adhesive layer. The sheet may have a single layer or a multilayer intermediate layer, or may be a single layer or a multilayer without an intermediate layer. Further, as the adherend WK, for example, only the wafer WF or the ring frame RF may be used, a food wafer, a resin container, a semiconductor wafer such as a silicon semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer, a circuit board, an electrode substrate, an optical disk, etc. The information recording substrate, the glass plate, the steel plate, the pottery, the wooden plate, the resin plate, or any other member or article can be targeted. Note that the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 are replaced with functional and application readings, for example, information description labels, decorative labels, protective sheets, dicing tapes, die attach films, die bonding tapes, recordings. Arbitrary sheets, such as a layer formation resin sheet, a film, a tape, etc. may be sufficient.
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。 The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).
20・・・第1繰出手段
27・・・脱着手段
28・・・カッターローラ(第1切断手段)
30・・・第1剥離板(第1剥離手段)
40・・・第2繰出手段
47・・・カッターローラ(第2切断手段)
50・・・第2剥離板(第2剥離手段)
80・・・位置ずれ検知手段
AS1・・・第1接着シート
AS2・・・第2接着シート
LS・・・繰出対象物
RL1・・・第1剥離シート
RL2・・・第2剥離シート
RL3・・・第3剥離シート
RS1・・・第1原反
RS2・・・第2原反
20 ... First feeding means 27 ... Desorption means 28 ... Cutter roller (first cutting means)
30 ... 1st peeling board (1st peeling means)
40 ... second feeding means 47 ... cutter roller (second cutting means)
50 ... Second peeling plate (second peeling means)
80 ... Misalignment detecting means AS1 ... first adhesive sheet AS2 ... second adhesive sheet LS ... delivery object RL1 ... first release sheet RL2 ... second release sheet RL3 ... -3rd exfoliation sheet RS1 ... 1st original fabric RS2 ... 2nd original fabric
Claims (5)
前記第1繰出手段で繰り出される繰出対象物から前記第1接着シートを剥離する第1剥離手段と、
帯状の第2剥離シートの一方の面に第2接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第2原反を繰り出す第2繰出手段と、
前記第2繰出手段で繰り出される第2原反から前記第2接着シートを剥離する第2剥離手段とを備え、
前記第1繰出手段は、前記第1剥離手段に対して前記繰出対象物の繰出方向上流側に配置され、帯状の第1剥離シートの一方の面に前記第1接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第1原反から当該第1接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第1接着シートを前記第1剥離シートまたは帯状の第3剥離シートに再仮着する脱着手段を備え、
前記第2剥離手段は、前記脱着手段で再仮着される前記第1接着シートと前記第1剥離シートとの間、または、前記第1接着シートと前記第3剥離シートとの間に前記第2接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給装置。 First feeding means for feeding a feeding object including the first adhesive sheet;
A first peeling means for peeling the first adhesive sheet from a feeding object fed by the first feeding means;
A second feeding means for feeding out a second original fabric in which the second adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the strip-shaped second release sheet with a predetermined interval;
A second peeling means for peeling the second adhesive sheet from the second raw material fed by the second feeding means,
The first feeding means is arranged on the upstream side in the feeding direction of the feeding object with respect to the first peeling means, and the first adhesive sheet has a predetermined interval on one surface of the strip-shaped first peeling sheet. Detachment means for temporarily peeling the first adhesive sheet from the first original fabric temporarily attached and re-temporarily attaching the once peeled first adhesive sheet to the first release sheet or the strip-shaped third release sheet. ,
The second peeling means includes the first peeling sheet between the first adhesive sheet and the first peeling sheet re-temporarily attached by the removing means, or the first peeling sheet and the third peeling sheet. 2. A sheet feeding apparatus, wherein the feeding object is formed by inserting two adhesive sheets.
前記第1繰出手段で繰り出される繰出対象物から前記第1接着シートを剥離する第1剥離工程と、
帯状の第2剥離シートの一方の面に第2接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第2原反を繰り出す第2繰出工程と、
前記第2繰出工程で繰り出される第2原反から前記第2接着シートを剥離する第2剥離工程とを含み、
前記第1繰出工程は、帯状の第1剥離シートの一方の面に前記第1接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第1原反から当該第1接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第1接着シートを前記第1剥離シートまたは帯状の第3剥離シートに再仮着する脱着工程を含み、
前記第2剥離工程において、前記脱着工程で再仮着される前記第1接着シートと前記第1剥離シートとの間、または、前記第1接着シートと前記第3剥離シートとの間に前記第2接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給方法。 A first feeding step of feeding out a feeding object including the first adhesive sheet;
A first peeling step of peeling the first adhesive sheet from a feeding object fed by the first feeding means;
A second feeding step of feeding out a second original fabric in which the second adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like second release sheet with a predetermined interval;
Including a second peeling step of peeling the second adhesive sheet from the second original fabric fed in the second feeding step,
In the first feeding step, the first adhesive sheet is temporarily peeled from the first original fabric in which the first adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like first release sheet with a predetermined interval, A desorption step of temporarily attaching the first adhesive sheet once peeled to the first release sheet or the strip-shaped third release sheet;
In the second release step, the first release sheet and the first release sheet re-temporarily attached in the desorption step, or between the first adhesive sheet and the third release sheet. 2. A sheet supply method comprising inserting an adhesive sheet to form the feeding object.
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C23 | Notice of termination of proceedings |
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C03 | Trial/appeal decision taken |
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C30A | Notification sent |
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