JP5827524B2 - Sheet sticking device and sheet sticking method - Google Patents

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Description

本発明は、半導体ウエハ等の被着体にダイシングシート等の接着シートを貼付するシート貼付装置及び貼付方法に関する。   The present invention relates to a sheet sticking apparatus and sticking method for sticking an adhesive sheet such as a dicing sheet to an adherend such as a semiconductor wafer.

半導体製造工程においては、回路面が形成された半導体ウエハ（以下、ウエハと記す）をダイシングする際に、ウエハを囲うリングフレームを設け、ウエハ及びリングフレームにダイシングシートを貼付することで、ウエハとリングフレームとを一体化することが行われている。   In a semiconductor manufacturing process, when dicing a semiconductor wafer (hereinafter referred to as a wafer) on which a circuit surface is formed, a ring frame is provided to enclose the wafer, and a dicing sheet is attached to the wafer and the ring frame, whereby the wafer and Integration with a ring frame is performed.

従来、ウエハ及びリングフレームから成る被着体にダイシングシートから成る接着シートを貼付するシート貼付装置として、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートの素材となる帯状シートが仮着された原反を繰出し可能な繰出手段と、帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して接着シートを形成する切断手段と、切断手段よりも原反の繰出方向下流側に配置され、剥離シートを折り返すことで当該剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段と、接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, as a sheet sticking device for sticking an adhesive sheet made of a dicing sheet to an adherend made of a wafer and a ring frame, a raw sheet in which a belt-like sheet as a material for the adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like release sheet Is disposed on the downstream side in the unwinding direction of the original fabric with respect to the cutting means, and is peeled off by folding the release sheet. There is known one provided with a peeling means for peeling an adhesive sheet from a sheet and a pressing means for pressing and sticking the adhesive sheet to an adherend (for example, see Patent Document 1).

このものでは、切断手段として、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを備えており、原反を繰出方向に搬送しつつダイカットローラの切断刃を接着シートに食い込ませて切り込みを形成している。この場合、切断刃の食い込みに伴い、接着シートの接着剤層が剥離シートの内部に入り込む現象が発生する。剥離シートの内部には接着剤の接着を防止する剥離処理が施されていないため、図６に示す如く、剥離手段４で剥離シートＲＬを折り返しても、剥離シートＲＬの内部に入り込んだ接着剤層ＡＤの影響で接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａが剥離シートＲＬから剥離し難くなって、接着シートＡＳの剥離不良を生ずることがある。   In this device, a die cutting roller having an endless cutting blade on the outer peripheral surface is provided as a cutting means, and the cutting blade of the die cutting roller is bitten into the adhesive sheet while the raw material is conveyed in the feeding direction. Yes. In this case, as the cutting blade bites in, a phenomenon occurs in which the adhesive layer of the adhesive sheet enters the inside of the release sheet. Since the inside of the release sheet is not subjected to a release treatment for preventing adhesion of the adhesive, as shown in FIG. 6, even if the release sheet RL is folded by the release means 4, the adhesive that has entered the inside of the release sheet RL. The leading edge portion Asa of the adhesive sheet AS in the feeding direction is hardly peeled from the release sheet RL due to the influence of the layer AD, and may cause a peeling failure of the adhesive sheet AS.

ところで、従来、特許文献２により、原反を繰出方向の反対方向である反繰出方向に搬送しつつ切断手段たるダイカットローラにより帯状シートに切り込みを形成するようにしたシート貼付装置も知られている。このものは、シート貼付装置の小型化を目的とするものであるが、本願発明者は、以下の効果も得られることを知見するに至った。即ち、原反を反繰出方向に搬送しつつ切り込みを形成すると、接着シートの繰出方向先端部に合致する切り込み部分が最後に形成され、当該部分からダイカットローラの切断刃が抜け出る際に、切断刃が剥離シートの内部に入り込んだ接着剤層を擦り取り、接着シートの繰出方向先端部が剥離シートから剥離しやすくなる。   By the way, the sheet sticking apparatus which conventionally made the cut | notch in a strip | belt-shaped sheet | seat with the die-cut roller which is a cutting means, conveying the original fabric in the anti-feeding direction which is a direction opposite to a feeding direction by patent document 2 is also known. . This is intended to reduce the size of the sheet sticking device, but the inventors of the present application have found that the following effects can also be obtained. That is, when the cut is formed while the original fabric is conveyed in the counter feed direction, the cut portion that matches the leading end of the adhesive sheet in the feed direction is formed at the end, and when the cutting blade of the die cut roller comes out from the cut portion, Scrapes off the adhesive layer that has entered the inside of the release sheet, so that the leading end of the adhesive sheet in the feeding direction is easily peeled off from the release sheet.

然し、特許文献２に記載のものでは、シート貼付装置の小型化のため、剥離手段の近傍に切断手段を配置し、切断手段で切り込みを形成する際に、剥離手段の配置部を含めて原反全体を反繰出方向に搬送し、剥離手段で一旦折り返された帯状シートの部分に切り込みを形成し、この部分で接着シートが形成されるようにしている。ここで、剥離手段で一旦折り返された帯状シートの部分は反繰出方向への搬送時に剥離手段で再度折り返されることになり、この部分で形成される接着シートを傷めることがある。また、原反が繰出方向への搬送と反繰出方向への搬送に伴い剥離手段で繰返し折り返されるため、剥離シートが傷んで破断し、原反が繰出し不能になってしまう恐れもある。   However, in the device described in Patent Document 2, when the cutting unit is arranged in the vicinity of the peeling unit and the cut is formed by the cutting unit in order to reduce the size of the sheet sticking apparatus, The whole is conveyed in the anti-feeding direction, a cut is formed in the portion of the belt-like sheet once folded by the peeling means, and the adhesive sheet is formed in this portion. Here, the part of the belt-like sheet once folded by the peeling means is folded again by the peeling means when transported in the anti-feeding direction, and the adhesive sheet formed at this part may be damaged. Further, since the original fabric is repeatedly folded by the peeling means along with the conveyance in the feeding direction and the conveyance in the counter-feeding direction, the peeling sheet may be damaged and broken, and the original fabric may not be fed.

特開２００６−７３９２０号公報JP 2006-73920 A 特開２０１０−４０８７４号公報JP 2010-40874 A

本発明は、以上の点に鑑み、接着シートを傷めたり、剥離シートの破断を誘発させたりすることなく、接着シートの剥離不良を防止できるようにしたシート貼付装置及びシート貼付方法を提供することをその課題としている。   In view of the above points, the present invention provides a sheet sticking apparatus and a sheet sticking method capable of preventing a peeling failure of an adhesive sheet without damaging the adhesive sheet or inducing breakage of the release sheet. Is the issue.

上記課題を解決するために、被着体に接着シートを貼付する本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出し可能な繰出手段と、前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断手段と、前記切断手段よりも前記原反の繰出方向下流側に配置され、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記切断手段は、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含み、当該ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problem, the sheet sticking device of the present invention for sticking an adhesive sheet to an adherend is provided with a feeding means capable of feeding out a raw material in which a belt-like sheet is temporarily attached to one surface of a belt-like release sheet. A cutting means for forming an endless cut in the belt-like sheet, and forming the adhesive sheet inside the cut; and disposed downstream of the cutting means in the feeding direction of the original fabric, and from the release sheet comprising a peeling means for peeling the adhesive sheet, and a pressing means for affixing by pressing the adhesive sheet to the adherend, the cutting means comprises a die cut roller having a cutting blade endless peripheral surface, the die-cut The incision is formed while rotating a roller around its roller rotation axis and moving the roller in the feeding direction.

また、本発明においては、前記剥離手段で前記接着シートを前記剥離シートから剥離する前に、前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離用シートから浮き上がらせる浮上げ手段を備えることが望ましい。   Further, in the present invention, it is desirable to provide a lifting means that lifts the leading end portion of the adhesive sheet in the feeding direction from the peeling sheet before peeling the adhesive sheet from the peeling sheet by the peeling means.

前記浮上げ手段は、前記接着シートの繰出方向先端部を保持する保持手段を含み、当該保持手段により前記接着シートの繰出方向先端部を保持して当該繰出方向先端部を前記剥離シートから浮き上がらせるように構成してもよい。この場合、前記保持手段を前記ダイカットローラに設けることが望ましい。   The lifting means includes holding means for holding a leading end portion in the feeding direction of the adhesive sheet, and holds the leading end portion in the feeding direction of the adhesive sheet by the holding means to lift the leading end portion in the feeding direction from the release sheet. You may comprise as follows. In this case, it is desirable to provide the holding means on the die cut roller.

また、前記浮上げ手段は、前記接着シートの原反繰出方向先端部に合致する前記切り込みの部分から前記切断刃が抜け出る際の前記ダイカットローラの周速度を、当該ダイカットローラの繰出方向への移動速度よりも速くして、前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから浮き上がらせるように構成してもよい。   Further, the lifting means moves the peripheral speed of the die cut roller when the cutting blade comes out from the cut portion that coincides with the leading edge of the adhesive sheet in the original fabric feed direction in the feed direction of the die cut roller. You may comprise so that it may become faster than speed | velocity | rate and the feeding direction front-end | tip part of the said adhesive sheet may float from the said peeling sheet.

また、上記課題を解決するために、被着体に接着シートを貼付する本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出す工程と、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含む切断手段により前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断工程と、前記切り込みを形成した後に前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを備え、前記切断工程では、前記ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記原反の繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とする。 Moreover, in order to solve the said subject, the sheet | seat sticking method of this invention which sticks an adhesive sheet to a to-be-adhered body is the process of extending | stretching the original fabric by which the strip | belt-shaped sheet was temporarily attached to one side of the strip | belt-shaped peeling sheet, A cutting step of forming an endless cut in the belt-like sheet by a cutting means including a die cut roller having an endless cutting blade on the outer peripheral surface, and forming the adhesive sheet inside the cut; and after forming the cut a step of peeling off the adhesive sheet from the release sheet, and a step of pasting by pressing the adhesive sheet to the adherend, the cutting step, rotates the die cutting roller around its roller rotation axis And the said notch is formed, moving in the feed direction of the said original fabric.

本発明によれば、ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させつつ、繰出方向に移動させながら切り込みを形成することにより、接着シートの繰出方向先端部に合致する切り込み部分が最後に形成されるので、この切り込み部分から切断刃が抜け出る際に、剥離シートの内部に入り込んだ接着剤層を切断刃で擦り取ることができる。そのため、接着シートの繰出方向先端部が剥離シートから剥離しやすくなり、剥離手段での接着シートの剥離不良を防止できる。そして、本発明では、原反を反繰出方向に搬送せずに済むため、原反が剥離手段で繰り返し折り返されることがなく、接着シートを傷めたり、剥離シートの破断を誘発させたりすることも防止できる。   According to the present invention, by forming the cut while rotating the die-cut roller around the roller rotation axis and moving in the feed direction, the cut portion that matches the leading end of the adhesive sheet is finally formed. Therefore, when the cutting blade comes out of the cut portion, the adhesive layer that has entered the inside of the release sheet can be scraped off by the cutting blade. Therefore, the leading end portion of the adhesive sheet in the feeding direction can be easily peeled off from the release sheet, and the adhesive sheet can be prevented from being peeled off by the peeling means. And in the present invention, since it is not necessary to convey the original fabric in the anti-feeding direction, the original fabric is not repeatedly folded by the peeling means, and the adhesive sheet may be damaged or the release sheet may be broken. Can be prevented.

また、浮上げ手段を設けて、接着シートの繰出方向先端部を剥離用シートから浮き上がらせれば、剥離手段での接着シートの剥離不良をより確実に防止することができる。   Moreover, if the lifting means is provided and the leading end of the adhesive sheet in the feeding direction is lifted from the peeling sheet, it is possible to more reliably prevent the peeling failure of the adhesive sheet at the peeling means.

本発明の実施形態のシート貼付装置の構成を模式的に示す図。The figure which shows typically the structure of the sheet sticking apparatus of embodiment of this invention. 実施形態のシート貼付装置に設けられるダイカットローラの斜視図。The perspective view of the die cut roller provided in the sheet sticking apparatus of embodiment. 実施形態のシート貼付装置の作動を説明する説明図。Explanatory drawing explaining the action | operation of the sheet sticking apparatus of embodiment. 接着シートの先端部を剥離シートから浮き上がらせた状態を示す要部の断面図。Sectional drawing of the principal part which shows the state which raised the front-end | tip part of the adhesive sheet from the peeling sheet. 接着シートの先端部を剥離シートから浮き上がらせた状態を示す他の実施形態の要部の断面図。Sectional drawing of the principal part of other embodiment which shows the state which raised the front-end | tip part of the adhesive sheet from the peeling sheet. 従来装置における剥離手段での接着シートの剥離不良の発生状態を示す図。The figure which shows the generation | occurrence | production state of the peeling defect of the adhesive sheet in the peeling means in a conventional apparatus.

以下、図面を参照して、被着体たるウエハＷＦ及びリングプレームＲＦにダイシングシートから成る接着シートＡＳを貼付してウエハＷＦとリングフレームＲＦとを一体化するシート貼付装置に本発明を適用した実施形態について説明する。尚、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、上、下、左、右、時計回転方向、反時計回転方向といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。   Hereinafter, with reference to the drawings, the present invention is applied to a sheet sticking apparatus that attaches an adhesive sheet AS made of a dicing sheet to a wafer WF and a ring plate RF, which are adherends, and integrates the wafer WF and the ring frame RF. Embodiments will be described. In the present embodiment, reference is made to FIG. 1 when directions such as up, down, left, right, clockwise rotation direction, and counterclockwise rotation direction are shown without giving a reference figure.

図１に示すように、本実施形態のシート貼付装置は、ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを保持して搬送する搬送手段１と、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳの素材となる帯状シートＷＳが仮着された原反ＲＳを繰出し可能な繰出手段２と、帯状シートＷＳにエンドレスの切り込みＣＵを形成し、当該切り込みＣＵの内側に接着シートＡＳを形成すると共に、当該切り込みＣＵの外側に不要シート部分ＷＳａを形成する切断手段３と、切断手段３よりも原反ＲＳの繰出方向ＳＤ下流側に配置され、剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段４と、接着シートＡＳをウエハＷＦ及びリングプレームＲＦに押圧して貼付する押圧手段５とを備えている。尚、繰出手段２、切断手段３、剥離手段４及び押圧手段５は装置フレーム６に設置されている。   As shown in FIG. 1, the sheet sticking apparatus of the present embodiment is a material for the adhesive sheet AS on one surface of the transporting unit 1 that holds and transports the wafer WF and the ring frame RF and the strip-shaped release sheet RL. The feeding means 2 capable of feeding the original fabric RS temporarily attached to the belt-like sheet WS, the endless cut CU is formed in the belt-like sheet WS, the adhesive sheet AS is formed inside the cut CU, and the cut-out CU The cutting means 3 for forming the unnecessary sheet portion WSa on the outside and the cutting sheet 3 are arranged downstream of the cutting means 3 in the feed direction SD of the original RS, and the adhesive sheet AS is peeled from the release sheet RL by folding the release sheet RL. Peeling means 4 and pressing means 5 for pressing and adhering the adhesive sheet AS to the wafer WF and the ring plate RF are provided. The feeding means 2, the cutting means 3, the peeling means 4 and the pressing means 5 are installed on the apparatus frame 6.

搬送手段１は、装置フレーム６よりも下方位置でウエハＷＦ及びリングプレームＲＦを吸着保持するテーブル１１と、テーブル１１の下方に設けられ、スライダ１２を介してテーブル１１を左右方向に搬送可能な駆動機器としての直動モータＬＭとを備えている。   The transport means 1 is provided below the apparatus frame 6 at a position below the apparatus frame 6 and holds the wafer WF and the ring plate RF. The transport means 1 is provided below the table 11 and is capable of transporting the table 11 in the left-right direction via the slider 12. A linear motion motor LM as a device is provided.

繰出手段２は、原反ＲＳを巻回した状態で保持する繰出軸２１と、繰出軸２１と切断手段３との間に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ１で回転駆動される第１駆動ローラ２２と、切断手段３よりも繰出方向ＳＤ下流側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ２で回転駆動される第２駆動ローラ２３と、第２駆動ローラ２３と剥離手段４との間に配置されたガイドローラ２４と、剥離手段４よりも繰出方向ＳＤ下流側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３で回転駆動される第３駆動ローラ２５と、第３駆動ローラ２５よりも繰出方向ＳＤ下流側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ４で回転駆動される巻取軸２６と、駆動機器としての回動モータＤＭ５で回転駆動され、ガイドローラ２４で剥離シートＲＬから剥離された不要シート部分ＷＳａを巻き取る第２の巻取軸２７と、第１乃至第３の各駆動ローラ２２，２３，２５との間に原反ＲＳ又は剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２２ａ，２３ａ，２５ａとを備える。   The feeding means 2 is disposed between the feeding shaft 21 that holds the original fabric RS in a wound state, and between the feeding shaft 21 and the cutting means 3, and is first driven to rotate by a rotation motor DM1 as a driving device. A drive roller 22, a second drive roller 23 that is disposed downstream of the cutting unit 3 in the feeding direction SD and is driven to rotate by a rotation motor DM <b> 2 as a drive device, and the second drive roller 23 and the peeling unit 4. From a guide roller 24 disposed between them, a third drive roller 25 disposed downstream of the peeling means 4 in the feeding direction SD, and rotated by a rotation motor DM3 as a drive device, and from a third drive roller 25 Is also arranged on the downstream side in the feeding direction SD, and is driven to rotate by a rotation shaft DM5 as a driving device and rotated by a rotation motor DM5 as a driving device, and is released by a guide roller 24 by a release roller RL. A pinch roller 22a that sandwiches the original fabric RS or release sheet RL between the second winding shaft 27 that winds up the unnecessary sheet portion WSa that has been peeled off and the first to third drive rollers 22, 23, 25. , 23a, 25a.

切断手段３は、駆動機器としての回動モータＤＭ６によってローラ回転軸ＣＬ（図２参照）を中心に回転駆動されるダイカットローラ３１と、このダイカットローラ３１との間に原反ＲＳを挟み込む受け手段としての受け板３２と、回動モータＤＭ６を支持するスライダ３３を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータＬＭ２とを備える。ダイカットローラ３１は、装置フレーム６に形成された長孔６ａに沿って、第１駆動ローラ２２側の切断開始位置と、第２駆動ローラ２３側の切断終了位置との間で往復移動可能に設けられている。   The cutting means 3 includes a die cut roller 31 that is driven to rotate around a roller rotation axis CL (see FIG. 2) by a rotation motor DM6 as a driving device, and a receiving means that sandwiches the original fabric RS between the die cut roller 31. And a linear motion motor LM2 as a drive device that can move the slider 33 supporting the rotation motor DM6 in the left-right direction. The die cut roller 31 is provided so as to reciprocate between a cutting start position on the first drive roller 22 side and a cutting end position on the second drive roller 23 side along a long hole 6a formed in the apparatus frame 6. It has been.

ダイカットローラ３１の外周面には、図２に示す如くエンドレスの切断刃３１ａが設けられている。また、ダイカットローラ３１には、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａ（図４参照）を吸引保持する複数の吸引孔から成る保持手段３１ｂが設けられている。そして、回動モータＤＭ６とダイカットローラ３１と保持手段３１ｂとで浮上げ手段が構成される。   An endless cutting blade 31a is provided on the outer peripheral surface of the die cut roller 31 as shown in FIG. The die-cut roller 31 is provided with holding means 31b composed of a plurality of suction holes for sucking and holding the leading end portion Asa (see FIG. 4) of the adhesive sheet AS. The rotation motor DM6, the die cut roller 31, and the holding means 31b constitute a lifting means.

剥離手段４は、先鋭な剥離板４１を備えている。そして、剥離板４１の先端で剥離シートＲＬを急激に折り返すことにより、剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離する。   The peeling means 4 includes a sharp peeling plate 41. Then, the adhesive sheet AS is peeled from the release sheet RL by rapidly folding the release sheet RL at the tip of the release plate 41.

押圧手段５は、剥離板４１の先端に隣接する位置に配置された押圧ローラ５１を備えている。そして、押圧ローラ５１が、テーブル１１の移動で搬送されるウエハＷＦ及びリングフレームＲＦ上で転動し、接着シートＡＳをウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに押圧して貼付する。   The pressing means 5 includes a pressing roller 51 disposed at a position adjacent to the tip of the peeling plate 41. Then, the pressing roller 51 rolls on the wafer WF and the ring frame RF conveyed by the movement of the table 11, and presses and adheres the adhesive sheet AS to the wafer WF and the ring frame RF.

次に、本実施形態のシート貼付装置の作動を説明する。図１は、接着シートＡＳをウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに貼付する前の状態を示しており、帯状シートＷＳに既に♯１〜♯３の接着シートＡＳが形成されて、♯１の接着シートＡＳが剥離手段４の配置部まで搬送され、♯３の接着シートＡＳが第１と第２の両駆動ローラ２２，２３間に位置している。また、テーブル１１は右方の待機位置に待機し、ダイカットローラ３１は、切断刃３１ａの存在しない周面部分が受けローラ３２に対向する位置（以下、素通り可能位置という）で停止されている。尚、素通り可能位置において、帯状シートＷＳは、ダイカットローラ３１や切断刃３１ａに非接触となる。   Next, the operation of the sheet sticking device of this embodiment will be described. FIG. 1 shows a state before the adhesive sheet AS is attached to the wafer WF and the ring frame RF. The adhesive sheets AS of # 1 to # 3 are already formed on the belt-like sheet WS, and the adhesive sheet AS of # 1 is shown. Is conveyed to the disposition portion of the peeling means 4, and the # 3 adhesive sheet AS is positioned between the first and second drive rollers 22,23. Further, the table 11 stands by at the right standby position, and the die cut roller 31 is stopped at a position where the peripheral surface portion where the cutting blade 31 a does not exist faces the receiving roller 32 (hereinafter referred to as “passable position”). In the passable position, the belt-like sheet WS is not in contact with the die cut roller 31 or the cutting blade 31a.

待機位置にあるテーブル１１上に、図示省略した搬送手段によってウエハＷＦ及びリングフレームＲＦが載置されて保持されると、テーブル１１が左方に移動する。そして、図示省略したセンサによりテーブル１１が所定位置に到達したことが検知されると、第１乃至第３駆動ローラ２２，２３，２５、巻取軸２６及び第２の巻取軸２７を回転させて原反ＲＳを繰出方向ＳＤに搬送する。そして、図３（ａ）に示す如く、剥離手段４で剥離シートＲＬから♯１の接着シートＡＳを剥離し、この接着シートＡＳを押圧手段５によりテーブル１１上のウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに押圧して貼付する。これにより、ウエハＷＦとリングフレームＲＦとは、♯１の接着シートＡＳにより一体化され一体物となる。その後、テーブル１１は、図３（ｂ）に示す貼付完了位置にまで移動され、その位置で一体物が搬送ロボット７により取り出された後、待機位置に移動される。   When the wafer WF and the ring frame RF are placed and held on the table 11 at the standby position by the transfer means (not shown), the table 11 moves to the left. When it is detected by a sensor not shown that the table 11 has reached a predetermined position, the first to third drive rollers 22, 23, 25, the winding shaft 26 and the second winding shaft 27 are rotated. Then, the original fabric RS is conveyed in the feeding direction SD. Then, as shown in FIG. 3A, the peeling means 4 peels the adhesive sheet AS # 1 from the peeling sheet RL, and the adhesive sheet AS is pressed against the wafer WF and the ring frame RF on the table 11 by the pressing means 5. And paste it. As a result, the wafer WF and the ring frame RF are integrated by the # 1 adhesive sheet AS to become an integrated object. Thereafter, the table 11 is moved to the pasting completion position shown in FIG. 3B, and after the integrated object is taken out by the transport robot 7 at that position, the table 11 is moved to the standby position.

ここで、繰出手段２は、♯１の接着シートＡＳの貼付完了後も更に原反ＲＳを繰出方向ＳＤに搬送する。そして、図３（ｂ）に示す如く、剥離手段４の先端で♯２の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａが所定長さ剥離され、図示省略したセンサにより検知されたところで、繰出軸２１、第１乃至第３駆動ローラ２２，２３，２５、巻取軸２６及び第２の巻取軸２７の回転を停止する。この状態では、第１と第２の両駆動ローラ２２，２３間に切り込みＣＵが形成されていない帯状シートＷＳの部分が位置する。   Here, the feeding means 2 further transports the original fabric RS in the feeding direction SD even after the application of the # 1 adhesive sheet AS is completed. Then, as shown in FIG. 3 (b), the leading end portion Asa of the # 2 adhesive sheet AS is peeled by a predetermined length at the leading end of the peeling means 4, and when it is detected by a sensor (not shown), the feeding shaft 21, The rotations of the first to third drive rollers 22, 23, 25, the winding shaft 26, and the second winding shaft 27 are stopped. In this state, the portion of the belt-like sheet WS where the cut CU is not formed is positioned between the first and second drive rollers 22 and 23.

次に、図３（ｃ）に示す如く、切断開始位置で待機していたダイカットローラ３１を長孔６ａに沿って繰出方向ＳＤに移動させる。このとき、ダイカットローラ３１は、長孔６ａに沿った移動速度に等しい周速度で、ローラ回転軸ＣＬを中心に反時計回転方向に１回転され、図３（ｃ）中実線で示された切断終了位置に到達する。これにより、第１と第２の両駆動ローラ２２，２３間に位置する帯状シートＷＳの部分に切り込みＣＵが形成されて、♯４の接着シートＡＳが形成される。   Next, as shown in FIG. 3C, the die cut roller 31 that has been waiting at the cutting start position is moved along the long hole 6a in the feeding direction SD. At this time, the die cut roller 31 is rotated once in the counterclockwise direction around the roller rotation axis CL at a peripheral speed equal to the moving speed along the long hole 6a, and the cutting indicated by the solid line in FIG. The end position is reached. As a result, the cut CU is formed in the portion of the belt-like sheet WS located between the first and second drive rollers 22 and 23, and the # 4 adhesive sheet AS is formed.

その後、ダイカットローラ３１を素通り可能位相に保持した状態で、切断開始位置に移動させる。以上により１回のシート貼付作業が終了し、以降上記同様の動作が繰り返される。   Thereafter, the die cut roller 31 is moved to the cutting start position while being kept in a passable phase. Thus, one sheet pasting operation is completed, and thereafter the same operation as described above is repeated.

本実施形態によると、ダイカットローラ３１を繰出方向ＳＤに移動させながら切り込みＣＵを形成するため、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａ（図４参照）に合致する切り込み部分ＣＵａが最後に形成される。そして、切り込み部分ＣＵａからダイカットローラ３１の切断刃３１ａが抜け出る際、切断刃３１ａが切り込み部分ＣＵａの底部を擦り上げるように動く。これにより、切り込み部分ＣＵａにおいて剥離シートＲＬの内部に接着剤層ＡＤが入り込んでいたとしても、切断刃３１ａがこの接着剤層ＡＤを擦り取り、剥離シートＲＬの内部の剥離処理が施されていない部分への接着を解除して、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを剥離シートＲＬから剥離しやすくすることができる。更に、本実施形態では、図４に示す如く、ダイカットローラ３１に設けた保持手段３１ｂが接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを保持しつつ、剥離シートＲＬから離隔する方向（上方）に回転移動するため、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａが確実に剥離シートＲＬから浮き上がる。これにより、従来装置で問題となっていた剥離手段４での接着シートＡＳの剥離不良を確実に防止することができる。   According to this embodiment, since the cut CU is formed while moving the die cut roller 31 in the feed direction SD, the cut portion CUa that matches the feed direction front end portion Asa (see FIG. 4) of the adhesive sheet AS is formed last. . Then, when the cutting blade 31a of the die cut roller 31 comes out of the cut portion CUa, the cutting blade 31a moves so as to scrub the bottom of the cut portion CUa. Thereby, even if the adhesive layer AD enters the inside of the release sheet RL at the cut portion CUa, the cutting blade 31a scrapes the adhesive layer AD, and the release process inside the release sheet RL is not performed. It is possible to release the adhesion to the part, and to easily peel the front end portion Asa of the adhesive sheet AS in the transport direction from the release sheet RL. Furthermore, in this embodiment, as shown in FIG. 4, the holding means 31b provided on the die cut roller 31 rotates and moves in the direction (upward) away from the release sheet RL while holding the conveyance direction front end portion Asa of the adhesive sheet AS. Therefore, the conveyance direction front end portion Asa of the adhesive sheet AS is surely lifted from the release sheet RL. Thereby, it is possible to reliably prevent the peeling failure of the adhesive sheet AS in the peeling means 4 that has been a problem in the conventional apparatus.

また、上記特許文献２に記載の如く、原反ＲＳを反繰出方向（繰出方向ＳＤの反対の方向）に搬送しながら切り込みＣＵを形成するものと異なり、切り込みＣＵが形成されて接着シートＡＳになる帯状シートＷＳの部分は剥離手段４で１度も折り返されていない部分になるから、接着シートＡＳを傷めることがない。また、原反ＲＳが繰出方向と反繰出方向への搬送に伴い剥離手段４で繰返し折り返され、剥離シートＲＬが傷んで破断するといった不具合も防止できる。   Further, as described in Patent Document 2, the cut CU is formed and the adhesive sheet AS is formed on the adhesive sheet AS, unlike the case where the cut CU is formed while conveying the original fabric RS in the counter feed direction (the direction opposite to the feed direction SD). Since the part of the belt-like sheet WS to be formed is a part that has not been folded back once by the peeling means 4, the adhesive sheet AS is not damaged. Further, it is possible to prevent a problem that the raw fabric RS is repeatedly folded by the peeling means 4 along with the conveyance in the feeding direction and the counter feeding direction, and the peeling sheet RL is damaged and broken.

以上、本発明の実施形態について図面を参照して説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記実施形態では、切断手段としてのダイカットローラ３１に保持手段３１ｂを設けることで、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを剥離シートＲＬから浮き上がらせる浮上げ手段が切断手段３と一体化されることになるが、切断手段３とは別に浮上げ手段を設けることも可能である。つまり、切断手段３よりも繰出方向ＳＤ下流側に、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを保持する保持手段と、この保持手段を剥離シートＲＬから離隔接近する方向に移動する駆動手段とから成る浮上げ手段を配置してもよい。但し、上記実施形態のように浮上げ手段を切断手段３と一体化した方が構造の簡素化を図ることができ、有利である。尚、保持手段３１ｂは、吸引孔に限定されず、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを接着剤や粘着剤等で保持したり、チャックシリンダ等の駆動機器で把持したりするものであってもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, this invention is not limited to this. For example, in the above-described embodiment, the lifting unit that lifts the leading end portion Asa of the adhesive sheet AS in the conveyance direction from the release sheet RL is integrated with the cutting unit 3 by providing the die cutting roller 31 as the cutting unit with the holding unit 31b. However, it is possible to provide a lifting means separately from the cutting means 3. That is, it comprises a holding means for holding the leading end portion Asa of the adhesive sheet AS in the feeding direction SD downstream of the cutting means 3 and a driving means for moving the holding means in a direction approaching and separating from the release sheet RL. Lifting means may be arranged. However, it is advantageous that the lifting means is integrated with the cutting means 3 as in the above embodiment because the structure can be simplified. The holding means 31b is not limited to the suction hole, and holds the front end portion Asa of the adhesive sheet AS in the conveying direction with an adhesive or an adhesive, or holds it with a driving device such as a chuck cylinder. Also good.

また、保持手段３１ｂを設けずに浮上げ手段を構成することも可能である。即ち、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａに合致する切り込み部分ＣＵａから切断刃３１ａが抜け出る際に、ダイカットローラ３１の周速度が当該ダイカットローラ３１の繰出方向ＳＤへの移動速度よりも速くなるように速度制御することである。これによれば、図５に示す如く、切断刃３１ａが接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａに対し反繰出方向への相対速度を持って移動するため、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを切断刃３１ａでえぐるように剥離シートＲＬから浮き上がらせることができる。尚、上記速度制御は、切り込み部分ＣＵａから切断刃３１ａが抜け出る際に、ダイカットローラ３１の回転速度を増速することと、ダイカットローラ３１の繰出方向ＳＤへの移動速度を減速することとの少なくとも一方により行うことができる。また、ダイカットローラ３１に保持手段３１ｂを設けると共に上記速度制御を行うようにしてもよい。   Further, it is possible to configure the lifting means without providing the holding means 31b. That is, when the cutting blade 31a comes out of the cut portion CUa that coincides with the conveyance direction front end portion Asa of the adhesive sheet AS, the peripheral speed of the die cut roller 31 is faster than the moving speed of the die cut roller 31 in the feeding direction SD. Speed control. According to this, as shown in FIG. 5, the cutting blade 31a moves with a relative speed in the counter-feeding direction with respect to the conveyance direction front end portion Asa of the adhesive sheet AS, so that the conveyance direction front end portion Asa of the adhesive sheet AS is moved. It can be lifted from the release sheet RL so as to be removed by the cutting blade 31a. The speed control includes at least increasing the rotational speed of the die cut roller 31 and decreasing the moving speed of the die cut roller 31 in the feeding direction SD when the cutting blade 31a comes out of the cut portion CUa. It can be done by one side. Further, the die cut roller 31 may be provided with a holding means 31b and the speed control may be performed.

また、上記実施形態は、ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦから成る被着体を搬送しつつ接着シートＡＳを貼付しているが、被着体を停止させた状態で装置フレーム６を駆動機器によって右方向に移動させたり、被着体の左方向への移動と、装置フレーム６の右方向への移動とを同時に行うようにしたりしてもよい。
更に、剥離手段で剥離された接着シートを吸着保持する吸着パッドとその移動手段とを設け、この吸着パッドを移動手段で被着体の直上位置に移動させて押し下げることにより、接着シートを被着体に押圧して貼付してもよい。この場合、吸着パッドとその移動手段とで押圧手段が構成されることになる。
また、押圧手段は、押圧ローラ５１以外に、気体を吹き付けたり、板状の部材等で構成したりすることにより、接着シートを被着体に押圧して貼付するものであってもよい。 In the above-described embodiment, the adhesive sheet AS is stuck while the adherend including the wafer WF and the ring frame RF is being conveyed. However, the apparatus frame 6 is moved in the right direction by the driving device while the adherend is stopped. Alternatively, the movement of the adherend to the left and the movement of the device frame 6 to the right may be performed simultaneously.
Furthermore, an adsorption pad for adsorbing and holding the adhesive sheet peeled off by the peeling means and its moving means are provided, and the adhesive pad is attached by moving the suction pad to a position directly above the adherend by the moving means and pushing it down. You may affix and press on a body. In this case, the suction pad and its moving means constitute a pressing means.
In addition to the pressing roller 51, the pressing means may be configured to press and adhere the adhesive sheet to the adherend by blowing gas or by using a plate-like member or the like.

更に、切り込みＣＵの形状は、円形、多角形、楕円形、又はそれらが組み合わさった形状のもの等であってもよい。
また、上記実施形態では、ダイカットローラ３１を１回転させて接着シートＡＳを形成したが、ダイカットローラ３１に設けられた切断刃３１ａの数やその大きさ等に応じて半回転や３分の１回転等、１回転以下でもよいし、１回転半、２回転等の１回転以上でもよい。
更に、ダイカットローラ３１との間に原反ＲＳを挟み込む受け手段は、上記以外に、ダイカットローラ３１と同期して回転、移動可能なローラや、ダイカットローラ３１と同期して移動可能な圧縮エアの噴き付け部材等を採用することができるし、それらを組み合せることもできる。 Further, the shape of the cut CU may be a circle, a polygon, an ellipse, or a combination thereof.
In the above embodiment, the adhesive sheet AS is formed by rotating the die cut roller 31 once. However, depending on the number and size of the cutting blades 31 a provided on the die cut roller 31, half rotation or one third. One rotation or less, such as rotation, may be one rotation or more, such as one rotation half, two rotations, or the like.
In addition to the above, the receiving means for sandwiching the raw fabric RS with the die cut roller 31 is a roller that can rotate and move in synchronization with the die cut roller 31, or a compressed air that can move in synchronization with the die cut roller 31. A spraying member or the like can be employed, or they can be combined.

また、剥離手段は、上述したものに限定されず、ガイド板やローラ等で剥離シートＲＬを折り曲げることにより、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離するものであってもよい。
また、第２の巻取軸２７を省略し、不要シート部分ＷＳａを剥離シートＲＬと共に巻取軸２６に巻き取るように構成してもよい。 Further, the peeling means is not limited to the above-described one, and the adhesive sheet AS may be peeled from the release sheet RL by bending the release sheet RL with a guide plate or a roller.
Further, the second winding shaft 27 may be omitted, and the unnecessary sheet portion WSa may be wound around the winding shaft 26 together with the release sheet RL.

更に、帯状シートＷＳや接着シートＡＳは、接着剤層ＡＤ単層のものでもよいし、単数又は複数の層からなる基材シートに接着剤層ＡＤが積層されたものでもよい。
また、被着体はウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに限定されるものではなく、リングフレームＲＦのないウエハＷＦ単体や、ガラス板、鋼板、陶器、木板、半導体基板または樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、更に、ウエハＷＦは、シリコーン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
更に、被着体が適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、接着シートＡＳがラベルであってもよく、被着体がウエハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。
また、接着シートＡＳは、上記に限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。 Furthermore, the belt-like sheet WS and the adhesive sheet AS may be those having a single adhesive layer AD, or may be one in which the adhesive layer AD is laminated on a base sheet composed of one or more layers.
Further, the adherend is not limited to the wafer WF and the ring frame RF, and other adherends such as a wafer WF alone without the ring frame RF, a glass plate, a steel plate, a ceramic, a wooden plate, a semiconductor substrate, or a resin plate. The body can also be a target, and the wafer WF may be a silicone semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer.
Furthermore, the adherend may be an appropriate article (for example, a cardboard case or a resin container), and the adhesive sheet AS may be a label, the adherend is a wafer, and the adhesive sheet AS is a protective sheet, It may be a die attach film.
Further, the adhesive sheet AS is not limited to the above, and other arbitrary sheets, films, tapes, and the like can be used for arbitrary uses and shapes.

更に、上記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。   Furthermore, the drive device in the above embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed.

ＷＦ…ウエハ（被着体）、ＲＦ…リングフレーム（被着体）、ＲＳ…原反、ＲＬ…剥離シート、ＷＳ…帯状シート、ＡＳ…接着シート、ＡＳａ…繰出方向先端部、ＣＵ…切り込み、ＣＬ…ローラ回転軸、ＤＭ６…回動モータ（浮上げ手段）、２…繰出手段、３…切断手段、３１…ダイカットローラ（浮上げ手段）、３１ａ…切断刃、３１ｂ…保持手段（浮上げ手段）、４…剥離手段、５…押圧手段。   WF ... wafer (adhered body), RF ... ring frame (adhered body), RS ... original fabric, RL ... release sheet, WS ... band-like sheet, AS ... adhesive sheet, Asa ... leading end in feeding direction, CU ... notch, CL: roller rotation shaft, DM6: rotation motor (lifting means), 2 ... feeding means, 3 ... cutting means, 31 ... die cut roller (lifting means), 31a ... cutting blade, 31b ... holding means (lifting means) 4) peeling means, 5 ... pressing means.

Claims (2)

被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出し可能な繰出手段と、
前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断手段と、
前記切断手段よりも前記原反の繰出方向下流側に配置され、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記切断手段は、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含み、当該ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とするシート貼付装置。 In a sheet sticking device for sticking an adhesive sheet to an adherend,
A feeding means capable of feeding out the original fabric in which the belt-like sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like release sheet;
Cutting means for forming an endless cut in the belt-like sheet, and forming the adhesive sheet inside the cut;
A peeling means that is arranged on the downstream side in the feed direction of the original fabric than the cutting means, and peels the adhesive sheet from the release sheet
And a pressing means for affixing by pressing the adhesive sheet to the adherend,
The cutting means includes a die cut roller having an endless cutting blade on an outer peripheral surface, and the cut is formed while rotating the die cut roller around the roller rotation axis and moving in the feeding direction. Sheet sticking device. 被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法において、
帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出す工程と、
外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含む切断手段により前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断工程と、
前記切り込みを形成した後に前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを備え、
前記切断工程では、前記ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記原反の繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とするシート貼付方法。
In the sheet sticking method for sticking the adhesive sheet to the adherend,
A step of feeding out the raw material in which the belt-like sheet is temporarily attached to one surface of the belt-like release sheet;
A cutting step of forming an endless cut in the belt-like sheet by a cutting means including a die cut roller having an endless cutting blade on the outer peripheral surface, and forming the adhesive sheet inside the cut;
Peeling the adhesive sheet from the release sheet after forming the cuts; and
And a step of pasting by pressing the adhesive sheet to the adherend,
In the cutting step, the sheet cutting method is characterized in that the cut is formed while the die cut roller is rotated about its roller rotation axis and moved in the feeding direction of the original fabric.
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