JP2017059582A - Sheet sticking device and sheet sticking method - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet sticking device and a sheet sticking method that can prevent deterioration of adhesive-sheet sticking performance per unit time as much as possible while enhancing the sticking accuracy of the adhesive sheet.SOLUTION: Pressing means 40 of a sheet sticking device 10 includes first sticking means 43 which holds an initial sticking area from a front end portion AS1 in a feeding direction of an adhesive sheet to an intermediate portion in the feeding direction of the adhesive sheet while a rear end portion AS3 in the feeding direction of the adhesive sheet AS is temporarily stuck to a release sheet RL, and moves relatively to the adherend to stick the entire initial sticking area to the adherend simultaneously, and second sticking means 44 for gradually sticking a late-stage sticking area at least from the intermediate portion in the feeding direction to the rear end portion in the feeding direction to the adherend while the adhesive sheet portion temporarily stuck to the release sheet is released from the release sheet by the peeling means in synchronism with the relative movement to the adherend WF.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。   The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sheet sticking method.

従来、保持ローラで接着シートを一旦吸着保持してウエハに貼付する装置が知られている（例えば、特許文献１）。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an apparatus for temporarily adhering and holding an adhesive sheet with a holding roller and sticking it to a wafer (for example, Patent Document 1).

特開２００６−３３９６０７号公報JP 2006-339607 A

しかしながら、特許文献１に記載の装置では、接着シートの貼付精度は向上するものの、接着シート全体を一旦保持ローラで保持してからウエハＷに貼付するため、被着体との相対移動に同期させて、剥離シートに仮着された接着シートを当該剥離シートから剥離しながら被着体に押圧して貼付する装置に比べ、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下するという不都合がある。   However, in the apparatus described in Patent Document 1, although the adhesion accuracy of the adhesive sheet is improved, since the entire adhesive sheet is temporarily held by the holding roller and then adhered to the wafer W, it is synchronized with the relative movement with the adherend. In comparison with a device that presses and adheres the adhesive sheet temporarily attached to the release sheet to the adherend while peeling from the release sheet, there is a disadvantage in that the processing capability of attaching the adhesive sheet per unit time is reduced. .

本発明の目的は、接着シートの貼付精度を向上させつつも、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a sheet sticking apparatus and a sheet sticking method capable of preventing a reduction in processing ability of sticking an adhesive sheet per unit time as much as possible while improving the sticking accuracy of the adhesive sheet. It is in.

上述した課題を解決するために、本発明は、複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記押圧手段は、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、当該初期貼付領域全体を同時に前記被着体に貼付する第１貼付手段と、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから前記剥離手段で剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付する第２貼付手段とを有することを特徴とするシート貼付装置である。   In order to solve the above-described problems, the present invention provides a feeding unit that feeds a raw material in which a plurality of adhesive sheets are temporarily attached to a strip-shaped release sheet at a predetermined interval, and the raw material that is fed by the feeding unit. A peeling means that folds the release sheet and peels the adhesive sheet from the release sheet; and a pressing means that presses and adheres the adhesive sheet to an adherend, wherein the pressing means is a feeding direction of the adhesive sheet In a state where the rear end portion is temporarily attached to the release sheet, the initial sticking region from the front end portion in the feeding direction of the adhesive sheet to the intermediate portion in the feeding direction of the adhesive sheet is held and moved relative to the adherend. The first sticking means for sticking the entire initial sticking region to the adherend at the same time, and the adhesive sheet portion temporarily attached to the release sheet in synchronism with relative movement with the adherend. And a second pasting means for gradually pasting at least a late pasting area from the intermediate portion in the feeding direction to the rear end portion in the feeding direction while being peeled off by the peeling means. This is a sheet sticking device.

前記被着体は、第１被着体と、当該第１被着体の周囲を囲う第２被着体とからなり、前記接着シートは、それら第１被着体と第２被着体とに貼付可能な大きさとされ、前記繰出方向前端部から繰出方向中間部までの第１貼付手段保持距離は、前記第２被着体の貼付開始位置から前記第１被着体の貼付開始位置までの第１被着体未貼付距離よりも長いことを特徴としてもよい。   The adherend includes a first adherend and a second adherend surrounding the first adherend, and the adhesive sheet includes the first adherend and the second adherend. The first pasting means holding distance from the feeding direction front end portion to the feeding direction intermediate portion is from the pasting start position of the second adherend to the pasting start position of the first adherend. The first adherend may be longer than the non-sticking distance.

前記第１被着体未貼付距離を計測可能な被着体検知手段を備えていることを特徴としてもよい。   An adherend detection unit capable of measuring the first adherend non-sticking distance may be provided.

本発明の他の態様は、複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記繰出工程で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、前記押圧工程は、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、当該初期貼付領域全体を同時に前記被着体に貼付する第１貼付工程と、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付する第２貼付工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法である。   In another aspect of the present invention, a plurality of adhesive sheets are fed back to a strip-shaped release sheet, the feeding step of feeding the original material temporarily attached at a predetermined interval, and the release sheet in the original fabric fed out in the feeding step is folded back. A peeling step of peeling the adhesive sheet from the release sheet, and a pressing step of pressing and sticking the adhesive sheet to an adherend, and the pressing step includes a rear end portion in the feeding direction of the adhesive sheet. In the state temporarily attached to the release sheet, the initial sticking region from the front end portion in the feeding direction of the adhesive sheet to the intermediate portion in the feeding direction of the adhesive sheet is maintained and moved relative to the adherend, so that the initial A first application step of applying the entire application region to the adherend at the same time, and the adhesive sheet portion temporarily attached to the release sheet is released from the release sheet in synchronization with the relative movement with the adherend. Naga A sheet sticking method characterized in that it comprises a second bonding step of affixing gradually to the adherend late attaching area of from at least the feeding direction intermediate portion to the feeding direction rear end.

本発明によれば、接着シート全体を保持して貼付するのではなく、当該接着シートの初期貼付領域を一旦保持してから被着体に貼付し、当該接着シートの後期貼付領域を被着体との相対移動に同期させて剥離シートから剥離しながら被着体に貼付するので、接着シートの貼付精度を向上させつつも、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができる。
また、接着シートの第１貼付手段保持距離を第１被着体未貼付距離よりも長く設定することで、第２被着体および第１被着体の貼付開始位置への接着シートの貼付が確実に行われるようになり、それらの正確な位置に接着シートを貼付することができる。
さらに、第１被着体未貼付距離を計測するように構成すれば、第１貼付手段保持距離を極力短くすることができ、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができる。 According to the present invention, instead of holding and sticking the entire adhesive sheet, the initial sticking area of the adhesive sheet is temporarily held and then sticking to the adherend, and the latter sticking area of the adhesive sheet is attached to the adherend. As it is applied to the adherend while being peeled off from the release sheet in synchronization with the relative movement of the adhesive, the processing ability to attach the adhesive sheet per unit time is reduced as much as possible while improving the accuracy of attaching the adhesive sheet. Can be prevented.
Further, by setting the first sticking means holding distance of the adhesive sheet to be longer than the first adherend non-stick distance, the sticking of the adhesive sheet to the sticking start position of the second adherend and the first adherend can be performed. As a result, the adhesive sheet can be affixed to the correct position.
Further, if the first adherend non-sticking distance is measured, the first sticking means holding distance can be shortened as much as possible, and the processing capability of sticking the adhesive sheet per unit time is reduced as much as possible. Can be prevented.

実施形態に係るシート貼付装置の側面図。The side view of the sheet sticking apparatus which concerns on embodiment. 被着体および接着シートの説明図。Explanatory drawing of a to-be-adhered body and an adhesive sheet. 動作説明図。FIG. 変形例に係るシート貼付装置の側面図。The side view of the sheet sticking apparatus which concerns on a modification.

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes within a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. To do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the near side of FIG. 1 parallel to the Y axis, when indicating the direction, “up” is the arrow direction of the Z axis, “down” is the opposite direction, “ “Left” is the arrow direction of the X axis, “Right” is the opposite direction, “Front” is the front direction orthogonal to the page, and “Rear” is the opposite direction of the Y axis arrow direction.

図１、２において、シート貼付装置１０は、複数の接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔をあけて仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出される原反ＲＳにおける剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３０と、接着シートＡＳを第１被着体としての半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦおよび、当該ウエハＷＦの周囲を囲う第２被着体としてのリングフレームＲＦとからなる被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段４０と、リングフレームＲＦにおける接着シートＡＳの貼付開始位置ＲＦ１からウエハＷＦにおける接着シートＡＳの貼付開始位置ＷＦ１までの第１被着体未貼付距離ＷＤを計測可能なカメラ等の撮像手段や光学センサ等の被着体検知手段５０とを備え、被着体ＷＫを支持して搬送する搬送手段６０の上方に配置されている。
なお、接着シートＡＳは、ウエハＷＦとリングフレームＲＦとに貼付可能な大きさであって、当該リングフレームＲＦの開口部ＲＦ２を塞ぐことのできる平面形状とされている。 1 and 2, the sheet sticking device 10 is fed by a feeding unit 20 that feeds a raw fabric RS in which a plurality of adhesive sheets AS are temporarily attached to a strip-like release sheet RL at a predetermined interval, and a feeding unit 20. A peeling plate 30 as a peeling means for folding back the peeling sheet RL in the original fabric RS and peeling the adhesive sheet AS from the peeling sheet RL, and a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as “wafer”) as the first adherend. A pressing unit 40 that presses and adheres to an adherend WK including a WF and a ring frame RF as a second adherend surrounding the wafer WF; and an adhesive sheet AS of the ring frame RF. Camera capable of measuring the first adherend non-sticking distance WD from the sticking start position RF1 to the sticking start position WF1 of the adhesive sheet AS on the wafer WF And a adherend detecting means 50 such as an imaging device and an optical sensor, is disposed above the conveying means 60 for supporting and transferring the adherend WK.
The adhesive sheet AS is a size that can be attached to the wafer WF and the ring frame RF, and has a planar shape that can block the opening RF2 of the ring frame RF.

繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動され、ピンチローラ２４とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２３と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２５とを備えている。   The feeding unit 20 is driven by a support roller 21 that supports the original fabric RS, a guide roller 22 that guides the original fabric RS, and a rotation motor 23A as a driving device, and is a drive that sandwiches the release sheet RL between the pinch rollers 24. A roller 23 and a collection roller 25 that is driven by a driving device (not shown) and collects the release sheet RL are provided.

押圧手段４０は、駆動機器としての直動モータ４１の出力軸４１Ａに支持された支持フレーム４２と、支持フレーム４２の左側に支持された第１貼付手段４３と、支持フレーム４２の右側に支持された第２貼付手段４４とを備えている。
第１貼付手段４３は、支持フレーム４２に支持された駆動機器としての直動モータ４３Ａと、直動モータ４３Ａの出力軸４３Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって保持可能な保持面４３Ｃを有する保持部材４３Ｄとを備えている。このような構成により、第１貼付手段４３は、接着シートＡＳの繰出方向後端部ＡＳ３が剥離シートＲＬに仮着された状態で、当該接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１から当該接着シートＡＳの繰出方向中間部ＡＳ２までの初期貼付領域ＡＳＦを保持し、被着体ＷＫと相対移動することで、当該初期貼付領域ＡＳＦ全体を同時に被着体ＷＫに貼付できるようになっている。
第２貼付手段４４は、支持フレーム４２に支持された駆動機器としての直動モータ４４Ａの出力軸４４Ｂに支持されたブラケット４４Ｃと、ブラケット４４Ｃに回転可能に支持された押圧ローラ４４Ｄとを備えている。このような構成により、第２貼付手段４４は、被着体ＷＫとの相対移動に同期させて、剥離シートＲＬに仮着された接着シートＡＳ部分を当該剥離シートＲＬから剥離板３０で剥離しながら、少なくとも繰出方向中間部ＡＳ２から繰出方向後端部ＡＳ３までの後期貼付領域ＡＳＲを徐々に被着体ＷＫに貼付できるようになっている。 The pressing means 40 is supported by a support frame 42 supported by an output shaft 41A of a linear motion motor 41 as a drive device, a first sticking means 43 supported by the left side of the support frame 42, and a right side of the support frame 42. And a second pasting means 44.
The first sticking means 43 is supported by a direct acting motor 43A as a driving device supported by the support frame 42 and an output shaft 43B of the direct acting motor 43A, and can be held by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. And a holding member 43D having a holding surface 43C. With such a configuration, the first sticking means 43 has the adhesive sheet AS from the feeding direction front end portion AS1 of the adhesive sheet AS in a state where the feeding direction rear end portion AS3 of the adhesive sheet AS is temporarily attached to the release sheet RL. By holding the initial sticking area ASF up to the feeding direction intermediate portion AS2 and moving relative to the adherend WK, the entire initial sticking area ASF can be stuck on the adherend WK at the same time.
The second sticking means 44 includes a bracket 44C supported by an output shaft 44B of a linear motion motor 44A as a driving device supported by the support frame 42, and a pressing roller 44D rotatably supported by the bracket 44C. Yes. With such a configuration, the second sticking means 44 peels the adhesive sheet AS part temporarily attached to the release sheet RL from the release sheet RL with the release plate 30 in synchronization with the relative movement with the adherend WK. On the other hand, at least the late application region ASR from the feeding direction intermediate portion AS2 to the feeding direction rear end portion AS3 can be gradually attached to the adherend WK.

搬送手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫを保持可能な支持面６２Ａを有する搬送テーブル６２を備えている。   The transport means 60 includes a transport table 62 that is supported by a slider 61A of a linear motor 61 as a driving device and has a support surface 62A that can hold the adherend WK by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. Yes.

次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを同図のようにセットする。次に、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して、リングフレームＲＦの左端から右端までのフレーム幅ＲＦＤ（図２参照）や、当該リングフレームＲＦに貼付されたときの接着シートＡＳの左端から右端までのシート幅ＡＳＤ（図２参照）等のデータを図示しない制御手段に入力する。その後、入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１に示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１が剥離板３０上の所定位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、回動モータ２３Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０がスタンバイ状態となる。次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段がウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを支持面６２Ａ上に載置すると、搬送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ６１を駆動し、搬送テーブル６２を左方に移動させる。そして、被着体ＷＫが被着体検知手段５０の直下を通過するときに、当該被着体検知手段５０がリングフレームＲＦの左端位置からウエハＷＦの左端位置までの被着体間距離ＷＫＤ（図２参照）を計測し、その計測結果を図示しない制御手段に出力する。ここで、図示しない制御手段には、フレーム幅ＲＦＤとシート幅ＡＳＤとが予め入力されているので、被着体間距離ＷＫＤが判明すれば、第１被着体未貼付距離ＷＤを算出できる。なお、リングフレームＲＦの左端から接着シートＡＳの貼付開始位置ＲＦ１までの距離は、予め図示しない制御手段に入力していてもよいし、被着体検知手段５０でフレーム幅ＲＦＤや開口部ＲＦ２の内径を計測し、それらとシート幅ＡＳＤとの差の２分の１の距離としてもよく、リングフレームＲＦの枠内に接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１が貼付できればどんな距離でもよい。 Next, operation | movement of the sheet sticking apparatus 10 in this embodiment is demonstrated.
First, the operator sets the original fabric RS as shown in the figure on the sheet sticking device 10 indicated by the solid line in FIG. Next, the frame width RFD (see FIG. 2) from the left end to the right end of the ring frame RF, or the adhesive sheet AS when affixed to the ring frame RF via an input means such as an operation panel or a personal computer (not shown). The data such as the sheet width ASD (see FIG. 2) from the left end to the right end is input to a control means (not shown). After that, when an automatic operation start signal is input via the input means, the feeding means 20 drives the rotation motor 23A to feed out the original fabric RS, and as shown in FIG. 1, the leading end in the feeding direction of the leading adhesive sheet AS. When it is detected by an imaging means such as a camera or a detection means (not shown) such as an optical sensor that the part AS1 has reached a predetermined position on the peeling plate 30, the rotation motor 23A stops driving, and the feeding means 20 It will be in a standby state. Next, when a transfer means (not shown) such as a human hand or an articulated robot or a belt conveyor places the wafer WF and the ring frame RF on the support surface 62A, the transfer means 60 drives a decompression means (not shown) to suck and hold them. Thereafter, the linear motor 61 is driven to move the transport table 62 to the left. Then, when the adherend WK passes directly below the adherend detection means 50, the adherend detection means 50 has a distance WKD between adherends from the left end position of the ring frame RF to the left end position of the wafer WF. 2) and outputs the measurement result to a control means (not shown). Here, since the frame width RFD and the sheet width ASD are input in advance to the control means (not shown), the first adherend non-sticking distance WD can be calculated if the distance between the adherends WKD is known. The distance from the left end of the ring frame RF to the attachment start position RF1 of the adhesive sheet AS may be input in advance to a control means (not shown), or the adherend detection means 50 may set the frame width RFD and the opening RF2 The inner diameters may be measured, and the distance may be a half of the difference between them and the sheet width ASD. Any distance may be used as long as the feeding direction front end portion AS1 of the adhesive sheet AS can be stuck in the frame of the ring frame RF.

被着体検知手段５０が計測結果を図示しない制御手段に出力すると、当該制御手段は、本計測結果を基に、繰出方向前端部ＡＳ１から繰出方向中間部ＡＳ２までの第１貼付手段保持距離ＡＳＨを算出する。なお、本実施形態の場合、第１貼付手段保持距離ＡＳＨは、図２に示すように、第１被着体未貼付距離ＷＤよりも所定距離ＭＤ分長くなるように設定されている。次いで、図示しない制御手段の算出結果を基に、繰出手段２０および押圧手段４０が回動モータ２３Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの初期貼付領域ＡＳＦが保持面４３Ｃで吸着保持されるように原反ＲＳを繰り出す。このとき、繰出方向中間部ＡＳ２が保持面４３Ｃの右端縁に位置する状態となっている。   When the adherend detection means 50 outputs the measurement result to a control means (not shown), the control means, based on the measurement result, the first sticking means holding distance ASH from the feeding direction front end portion AS1 to the feeding direction intermediate portion AS2. Is calculated. In the case of the present embodiment, the first sticking means holding distance ASH is set to be longer by a predetermined distance MD than the first adherend non-sticking distance WD, as shown in FIG. Next, based on the calculation result of the control means (not shown), the feeding means 20 and the pressing means 40 drive the rotation motor 23A and the pressure reduction means (not shown), and as shown by the two-dot chain line in FIG. The original fabric RS is fed out so that the pasting area ASF is sucked and held by the holding surface 43C. At this time, the feeding direction intermediate portion AS2 is located at the right end edge of the holding surface 43C.

次いで、図１中二点鎖線で示すように、リングフレームＲＦにおける接着シートＡＳの貼付開始位置ＲＦ１が保持面４３Ｃで吸着保持した接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１の直下に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、搬送手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止する。そして、押圧手段４０が直動モータ４１を駆動し、図３（Ａ）に示すように、保持部材４３Ｄを降下させて初期貼付領域ＡＳＦをウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに押圧する。このとき、保持部材４３Ｄの保持面４３Ｃで吸着保持している初期貼付領域ＡＳＦが当該保持面４３Ｃ内でずれないように、繰出手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、原反ＲＳを所定量繰り出してもよい。   Next, as shown by a two-dot chain line in FIG. 1, the camera indicates that the sticking start position RF1 of the adhesive sheet AS in the ring frame RF has reached directly below the front end portion AS1 in the feeding direction of the adhesive sheet AS held by suction on the holding surface 43C. When the detection unit (not shown) such as an image pickup unit or an optical sensor detects the conveyance unit 60, the linear motor 61 stops driving. Then, the pressing means 40 drives the linear motor 41, and as shown in FIG. 3A, the holding member 43D is lowered to press the initial pasting area ASF against the wafer WF and the ring frame RF. At this time, the feeding means 20 drives the rotation motor 23A so that the initial sticking area ASF sucked and held by the holding surface 43C of the holding member 43D does not shift within the holding surface 43C, and the raw material RS is set to a predetermined amount. You may pay out.

次いで、押圧手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、直動モータ４３Ａを駆動し、図３（Ｂ）に示すように、保持部材４３Ｄを退避させ、その後、同図の二点鎖線で示すように、直動モータ４４Ａを駆動し、押圧ローラ４４Ｄで接着シートＡＳを押圧する。なお、押圧ローラ４４Ｄの最下部である押圧位置は、繰出方向中間部ＡＳ２よりも繰出方向前端部ＡＳ１側となるように設定されている。その後、繰出手段２０および搬送手段６０が回動モータ２３Ａおよびリニアモータ６１を駆動し、図３（Ｃ）に示すように、搬送テーブル６２を左方へ移動させるとともに、当該搬送テーブル６２の移動速度と接着シートＡＳの繰出速度とが同速となるように原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離シートＲＬに仮着された接着シートＡＳ部分が当該剥離シートＲＬから剥離板３０で剥離されながら、後期貼付領域ＡＳＲが押圧ローラ４４ＤによってウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに徐々に押圧されて貼付され、一体物ＷＫ１が形成される。その後、次の接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１が剥離板３０上の所定位置に到達したことが図示しない検出手段に検出されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０が再びスタンバイ状態となる。一体物ＷＫ１が形成されると、搬送手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止し、搬送テーブル６２を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止するので、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１を次工程に搬送する。そして、押圧手段４０および搬送手段６０が直動モータ４１、４３Ａ、４４Ａおよびリニアモータ６１を駆動し、保持部材４３Ｄ、押圧ローラ４４Ｄおよび搬送テーブル６２を初期位置に復帰させた後、以降上記同様の動作が繰り返される。   Next, after the pressing means 40 stops driving the decompression means (not shown), the linear motion motor 43A is driven to retract the holding member 43D as shown in FIG. 3B, and then the two-dot chain line in FIG. As shown, the linear motion motor 44A is driven, and the adhesive sheet AS is pressed by the pressing roller 44D. In addition, the pressing position which is the lowest part of the pressing roller 44D is set so as to be closer to the feeding direction front end portion AS1 than the feeding direction intermediate portion AS2. Thereafter, the feeding means 20 and the conveyance means 60 drive the rotation motor 23A and the linear motor 61 to move the conveyance table 62 to the left as shown in FIG. 3C, and the movement speed of the conveyance table 62 Then, the raw fabric RS is fed so that the feeding speed of the adhesive sheet AS becomes the same speed. As a result, while the adhesive sheet AS part temporarily attached to the release sheet RL is peeled off from the release sheet RL by the release plate 30, the late application region ASR is gradually pressed against the wafer WF and the ring frame RF by the pressing roller 44D. Affixed to form an integrated object WK1. Thereafter, when the detection means (not shown) detects that the front end portion AS1 in the feeding direction of the next adhesive sheet AS has reached a predetermined position on the peeling plate 30, the feeding means 20 stops driving the rotation motor 23A, The feeding means 20 is again in the standby state. When the integrated object WK1 is formed, the conveying means 60 stops driving the linear motor 61, stops the conveying table 62 at a predetermined position, and then stops driving the decompression means (not shown). The transfer means conveys the integrated object WK1 to the next process. The pressing means 40 and the conveying means 60 drive the linear motion motors 41, 43A, 44A and the linear motor 61 to return the holding member 43D, the pressing roller 44D and the conveying table 62 to the initial positions, and thereafter the same as above. The operation is repeated.

以上のような本実施形態によれば、接着シートＡＳ全体を保持して貼付するのではなく、当該接着シートＡＳの初期貼付領域ＡＳＦを一旦保持してから被着体ＷＫに貼付し、当該接着シートＡＳの後期貼付領域ＡＳＲを被着体ＷＫとの相対移動に同期させて剥離シートＲＬから剥離しながら被着体ＷＫに貼付するので、接着シートＡＳの貼付精度を向上させつつも、単位時間当たりに接着シートＡＳを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができる。   According to the present embodiment as described above, instead of holding and sticking the entire adhesive sheet AS, the initial sticking area ASF of the adhesive sheet AS is temporarily held and then stuck to the adherend WK, and the bonding is performed. Since the latter sticking area ASR of the sheet AS is attached to the adherend WK while being peeled off from the release sheet RL in synchronization with the relative movement with the adherend WK, the unit time is improved while improving the attaching accuracy of the adhesive sheet AS. It can prevent as much as possible that the processing capability which sticks adhesive sheet AS on a hit falls.

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。   The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to those means and steps. The process is not limited at all. For example, if the feeding means is capable of feeding the original fabric temporarily attached to the strip-like release sheet with a predetermined interval, the range of the feeding means in light of the technical common sense at the beginning of the application. If it is in, it will not be limited at all (explanation about other means and processes is omitted).

繰出手段２０は、支持ローラ２１を回転駆動させる駆動機器を備えてもよく、このような駆動機器は、原反ＲＳに所定の張力を付与する張力付与手段として機能させてもよい。
繰出手段２０は、剥離シートＲＬの一方の面に帯状の接着シート基材が仮着された原反ＲＳを繰り出してもよい。この場合、繰出手段２０は、剥離板３０に対して原反ＲＳの繰出方向上流側に、接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段を備えていてもよい。このような切断手段は、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材で構成してもよく、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよい。 The feeding unit 20 may include a driving device that rotationally drives the support roller 21, and such a driving device may function as a tension applying unit that applies a predetermined tension to the original fabric RS.
The feeding means 20 may feed out the raw fabric RS in which a belt-like adhesive sheet base material is temporarily attached to one surface of the release sheet RL. In this case, the feeding unit 20 is a cutting unit that forms a closed-loop cut in the adhesive sheet base material on the upstream side in the feed direction of the original fabric RS with respect to the peeling plate 30 and forms the adhesive sheet AS inside the cut. May be provided. Such a cutting means may be constituted by a cutting member such as a cutter blade, cutter roller, laser cutter, ion beam, thermal power, heat, water pressure, heating wire, spray of gas or liquid, etc. You may make it cut | disconnect by moving a cutting member with what combined the appropriate drive device.

剥離手段は、剥離板３０の代わりに、丸棒や回転可能または回転不能な剥離用ローラを採用してもよい。   As the peeling means, a round bar or a rotatable or non-rotatable peeling roller may be adopted instead of the peeling plate 30.

押圧手段は、押圧手段４０に代えて、図４に示すように、図示しない駆動機器により昇降可能に支持された保持面４５Ｂを備えた保持部材４５Ａを有する第１貼付手段４５と、保持部材４５Ａに回転可能に支持された押圧ローラ４６Ａを有する第２貼付手段４６とを備えた押圧手段４０Ａを採用してもよい。この場合、図４（Ａ）に示すように、保持部材４５Ａで初期貼付領域ＡＳＦを吸着保持して被着体ＷＫに貼付した後、同図の二点鎖線で示すように、図示しない駆動機器で押圧ローラ４６Ａの回転中心を中心として保持部材４５Ａを退避させ、図４（Ｂ）に示すように、上記実施形態と同様にして後期貼付領域ＡＳＲを被着体ＷＫに貼付する。
押圧手段４０、４０Ａは、接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１が剥離板３０上の所定位置に到達した状態で、保持面４３Ｃ、４５Ｂで当該接着シートＡＳを吸着保持できる位置に少なくとも第１貼付手段４３、４５を図示しない駆動機器で移動させた後、繰出手段２０が原反ＲＳを繰り出す動作に同期させ、図示しない駆動機器の駆動により少なくとも第１貼付手段４３、４５を図１中実線で示す位置（第１貼付手段４５は不図示）に復帰させることにより、初期貼付領域ＡＳＦを保持面４３Ｃ、４５Ｂで吸着保持するようにしてもよい。
押圧手段４０、４０Ａは、第１貼付手段４３、４５と第２貼付手段４４、４６とをそれぞれ別々の駆動機器で昇降させるようにしてもよい。
押圧手段４０、４０Ａは、接着シートＡＳの初期貼付領域ＡＳＦを保持面４３Ｃ、４５Ｂで吸着保持するとき、当該接着シートＡＳを保持面４３Ｃ、４５Ｂ方向に付勢する大気やガス等のエアの噴き付けやガイド棒等の付勢手段を備えていてもよい。
第１貼付手段４３、４５は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳを保持してもよい。
第１貼付手段４３、４５は、保持部材４３Ｄ、４５Ａを移動させずに、被着体ＷＫを移動させて、または、保持部材４３Ｄ、４５Ａと被着体ＷＫとの両方を移動させて接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧してもよい。
第２貼付手段４４は、押圧ローラ４４Ｄでの押圧位置を繰出方向中間部ＡＳ２と一致するように設定してもよいし、繰出方向中間部ＡＳ２よりも繰出方向後端部ＡＳ３側となるように設定してもよい。
第２貼付手段４４、４６は、押圧ローラ４４Ｄ、４６Ａを適宜な駆動機器で回転させてもよい。
第２貼付手段４４、４６は、押圧ローラ４４Ｄ、４６Ａの代わりに、または併用して、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって後期貼付領域ＡＳＲを吸着保持し、駆動機器の駆動によって当該後期貼付領域ＡＳＲを被着体ＷＫに貼付してもよい。
第２貼付手段４４、４６は、押圧ローラ４４Ｄ、４６Ａの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよい。
第２貼付手段４４、４６は、押圧ローラ４４Ｄ、４６Ａを移動させずに、被着体ＷＫを移動させてもよいし、押圧ローラ４４Ｄ、４６Ａと被着体ＷＫとの両方を移動させて接着シートＡＳを押圧してもよい。 As shown in FIG. 4, the pressing means replaces the pressing means 40 with a first attaching means 45 having a holding member 45A having a holding surface 45B supported by a drive device (not shown) so as to be movable up and down, and a holding member 45A. The pressing means 40 </ b> A provided with the second sticking means 46 having the pressing roller 46 </ b> A rotatably supported by the motor may be employed. In this case, as shown in FIG. 4A, after the initial sticking area ASF is sucked and held by the holding member 45A and stuck to the adherend WK, as shown by a two-dot chain line in the figure, a driving device (not shown) Then, the holding member 45A is retracted around the rotation center of the pressing roller 46A, and as shown in FIG. 4 (B), the later application region ASR is applied to the adherend WK as in the above embodiment.
The pressing means 40, 40 </ b> A are at least first pasted at a position where the adhesive sheet AS can be adsorbed and held by the holding surfaces 43 </ b> C, 45 </ b> B in a state where the feeding direction front end AS <b> 1 has reached a predetermined position on the peeling plate 30. After the means 43 and 45 are moved by a driving device (not shown), the feeding means 20 synchronizes with the operation of feeding the raw material RS, and at least the first pasting means 43 and 45 are shown by solid lines in FIG. The initial pasting area ASF may be sucked and held by the holding surfaces 43C and 45B by returning to the position shown (the first pasting means 45 is not shown).
The pressing means 40, 40A may raise and lower the first sticking means 43, 45 and the second sticking means 44, 46 with separate driving devices.
When the pressing means 40, 40A sucks and holds the initial sticking area ASF of the adhesive sheet AS on the holding surfaces 43C, 45B, a jet of air such as air or gas that urges the adhesive sheet AS in the direction of the holding surfaces 43C, 45B. An urging means such as an attachment or a guide rod may be provided.
The 1st sticking means 43 and 45 may hold | maintain the adhesive sheet AS with chuck | zipper means, such as a mechanical chuck and a chuck cylinder, Coulomb force, an adhesive agent, an adhesive, magnetic force, Bernoulli adsorption, a drive device.
The first pasting means 43, 45 is an adhesive sheet in which the adherend WK is moved without moving the holding members 43D, 45A, or both the holding members 43D, 45A and the adherend WK are moved. The AS may be pressed against the adherend WK.
The second sticking means 44 may set the pressing position on the pressing roller 44D so as to coincide with the feeding direction intermediate portion AS2, or may be closer to the feeding direction rear end portion AS3 than the feeding direction intermediate portion AS2. It may be set.
The 2nd sticking means 44 and 46 may rotate press roller 44D and 46A with a suitable drive device.
The second sticking means 44, 46 may employ a pressing member made of a blade material, rubber, resin, sponge, or the like, instead of or in combination with the pressing rollers 44D, 46A. The adhesive sheet AS may be adhered to the adherend WK by spraying, or the late pasting region ASR is sucked and held by a decompression means such as a decompression pump or a vacuum ejector, and the latter pasting region ASR is covered by driving the drive device. You may affix on the body WK.
The 2nd sticking means 44 and 46 may comprise the surface of press roller 44D, 46A with the member which can be elastically deformed, such as rubber | gum and resin, and may be comprised with the member which does not elastically deform.
The second pasting means 44 and 46 may move the adherend WK without moving the pressing rollers 44D and 46A, or may be bonded by moving both the pressing rollers 44D and 46A and the adherend WK. The sheet AS may be pressed.

被着体検知手段５０（図示しない制御手段）は、上記以外の算出方法で第１被着体未貼付距離ＷＤを算出してもよい。   The adherend detection means 50 (control means not shown) may calculate the first adherend non-sticking distance WD by a calculation method other than the above.

搬送手段６０は、被着体ＷＫを移動させずに、または、被着体ＷＫを移動させつつ、繰出手段２０、押圧手段４０等の他の手段を適宜な方向に移動させて上記と同様の貼付動作を行ってもよい。
搬送手段６０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被着体ＷＫを保持する構成でもよい。
被着体ＷＫを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置１０において搬送手段６０はあってもよいし、なくてもよく、その他被着体検知手段５０等の本願請求項１に記載のないものは、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいし、なくてもよい。 The transport means 60 moves the other means such as the feeding means 20 and the pressing means 40 in an appropriate direction without moving the adherend WK or while moving the adherend WK. A pasting operation may be performed.
The conveyance means 60 may be configured to hold the adherend WK by chuck means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, coulomb force, adhesive, adhesive, magnetic force, Bernoulli adsorption, driving equipment, or the like.
When the adherend WK is transported by another apparatus, the sheet pasting apparatus 10 may or may not include the transport means 60, and the adherend detection means 50 and the like are not described in claim 1 of the present application. What is necessary is just to employ | adopt as needed, respectively, and it may or may not exist.

接着シートＡＳにおける繰出方向中間部ＡＳ２は、任意の箇所とすることができ、第１貼付手段保持距離ＡＳＨは、第１被着体未貼付距離ＷＤよりも短くてもよいし、同じ距離でもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよい。
さらに、本発明における接着シートＡＳ、被着体ＷＫ等の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、接着シートＡＳを適宜加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、ウエハＷＦだけでもよいし、リングフレームＲＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板、環状でないフレーム等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The feeding direction intermediate portion AS2 in the adhesive sheet AS can be an arbitrary location, and the first sticking means holding distance ASH may be shorter than or the same as the first adherend non-sticking distance WD. .
The sheet sticking device 10 may be configured to stick the adhesive sheet AS to the lower surface or the side surface of the adherend WK by placing it upside down or placing it horizontally.
Furthermore, the material, type, shape, etc. of the adhesive sheet AS, the adherend WK, etc. in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS is not limited to adhesive forms such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive is used, a heating means such as an appropriate coil heater or a heat pipe heating side for appropriately heating the adhesive sheet AS may be provided. The adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, a base sheet and an adhesive layer, an intermediate layer between them, or a cover layer on the upper surface of the base sheet. It may be a three-layer or more layer, or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the substrate sheet from the adhesive layer. It may have an intermediate layer, or may be a single layer or multiple layers without an intermediate layer. Further, the adherend WK may be only the wafer WF or only the ring frame RF, and may be a food wafer, a resin container, a semiconductor wafer such as a silicon semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer, a circuit board, an electrode substrate, an optical disk, etc. An arbitrary member such as an information recording substrate, a glass plate, a steel plate, earthenware, a wooden plate or a resin plate, a non-annular frame, an article, or the like can also be targeted. Note that the adhesive sheet AS can be read in a functional or application manner, and can be any information such as an information description label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, and a recording layer forming resin sheet. Sheets, films, tapes, etc. may be used.

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。   The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).

１０・・・・・・シート貼付装置
２０・・・・・・繰出手段
３０・・・・・・剥離板（剥離手段）
４０、４０Ａ・・押圧手段
４３、４５・・・第１貼付手段
４４、４６・・・第２貼付手段
５０・・・・・・被着体検知手段
ＡＳ・・・・・・接着シート
ＡＳ１・・・・・繰出方向前端部
ＡＳ２・・・・・繰出方向中間部
ＡＳ３・・・・・繰出方向後端部
ＡＳＦ・・・・・初期貼付領域
ＡＳＨ・・・・・第１貼付手段保持距離
ＡＳＲ・・・・・後期貼付領域
ＲＦ・・・・・・リングフレーム（第２被着体）
ＲＦ１・・・・・第２被着体の貼付開始位置
ＲＬ・・・・・・剥離シート
ＲＳ・・・・・・原反
ＷＤ・・・・・・第１被着体未貼付距離
ＷＦ・・・・・・ウエハ（第１被着体）
ＷＦ１・・・・・第１被着体の貼付開始位置
ＷＫ・・・・・・被着体 10 .... Sheet pasting device 20 .... Feeding means 30 ... Peeling plate (peeling means)
40, 40A ··· pressing means 43, 45 ··· first pasting means 44, 46 ··· second pasting means 50 ··· adherend detection means AS ···· adhesive sheet AS1 ··· ... Feeding direction front end AS2... Feeding direction intermediate part AS3... Feeding direction rear end ASF. ASR: Late application area RF: Ring frame (second adherend)
RF1 ... start position RL of the second adherend RL ... release sheet RS ... raw fabric WD ... first adherend non-stick distance WF ..... Wafer (first adherend)
WF1... First adherend pasting start position WK.

Claims (4)

複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、当該初期貼付領域全体を同時に前記被着体に貼付する第１貼付手段と、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから前記剥離手段で剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付する第２貼付手段とを有することを特徴とするシート貼付装置。 A feeding means for feeding out the original fabric temporarily attached to the strip-shaped release sheet with a predetermined interval between the plurality of adhesive sheets;
A peeling means for folding the release sheet in the original fabric fed by the feeding means and peeling the adhesive sheet from the release sheet;
A pressing means for pressing and adhering the adhesive sheet to an adherend,
The pressing means holds an initial sticking region from a front end portion in the feeding direction of the adhesive sheet to an intermediate portion in the feeding direction of the adhesive sheet in a state where the rear end portion in the feeding direction of the adhesive sheet is temporarily attached to the release sheet. The first sticking means for simultaneously sticking the entire initial sticking region to the adherend by moving relative to the adherend, and the release sheet in synchronization with the relative movement of the adherend. First, a late pasting region from at least the intermediate portion in the feeding direction to the rear end portion in the feeding direction is gradually stuck to the adherend while peeling the temporarily attached adhesive sheet portion from the peeling sheet by the peeling means. A sheet sticking device having two sticking means. 前記被着体は、第１被着体と、当該第１被着体の周囲を囲う第２被着体とからなり、前記接着シートは、それら第１被着体と第２被着体とに貼付可能な大きさとされ、前記繰出方向前端部から繰出方向中間部までの第１貼付手段保持距離は、前記第２被着体の貼付開始位置から前記第１被着体の貼付開始位置までの第１被着体未貼付距離よりも長いことを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。   The adherend includes a first adherend and a second adherend surrounding the first adherend, and the adhesive sheet includes the first adherend and the second adherend. The first pasting means holding distance from the feeding direction front end portion to the feeding direction intermediate portion is from the pasting start position of the second adherend to the pasting start position of the first adherend. The sheet sticking apparatus according to claim 1, wherein the sheet sticking apparatus is longer than the first adherend non-sticking distance. 前記第１被着体未貼付距離を計測可能な被着体検知手段を備えていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。   The sheet sticking apparatus according to claim 2, further comprising an adherend detection unit capable of measuring the first adherend non-sticking distance. 複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、
前記押圧工程は、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、当該初期貼付領域全体を同時に前記被着体に貼付する第１貼付工程と、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付する第２貼付工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。 A feeding step of feeding out the original fabric temporarily attached to the strip-shaped release sheet with a predetermined interval between the plurality of adhesive sheets;
A peeling step in which the peeling sheet in the original fabric fed in the feeding step is folded back and the adhesive sheet is peeled off from the peeling sheet;
A pressing step of pressing and bonding the adhesive sheet to an adherend,
The pressing step maintains an initial sticking region from the front end portion in the feeding direction of the adhesive sheet to the intermediate portion in the feeding direction of the adhesive sheet in a state where the rear end portion in the feeding direction of the adhesive sheet is temporarily attached to the release sheet. The first sticking step of simultaneously sticking the entire initial sticking region to the adherend by moving relative to the adherend, and the relative movement with the adherend are synchronized with the release sheet. A second pasting step of gradually pasting at least a late pasting region from the intermediate portion in the feeding direction to the rear end portion in the feeding direction while peeling the temporarily attached adhesive sheet portion from the release sheet; The sheet sticking method characterized by including.

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