JP2016187856A - ワーク加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 チャックテーブル
12 支持基盤(保持面)
13 冷却水供給ノズル
14 砥石
15 加工ホイール
16 送り機構
17 接触型のセンサ
17a 第1プローブ
17b 第2プローブ
18 非接触型のセンサ
19 エア供給ノズル
20 制御手段
W(A)、W(B)、W(C)、W(D) ウェハ
O1、O2 回転軸心
A、B 矢印(回転方向)
Claims (5)
- 複数のワークを同時に研削又は研磨して所定の厚みへと加工するワーク加工装置において、
複数の前記ワークを同心円上に配列して保持する保持面を有し、該保持面に直交する回転軸心を支点に回転するチャックテーブルと、
前記保持面上のワークと対向して配設される研削又は研磨部材と共に回転する加工ホイールと、
前記加工ホイールを回転可能に支持して前記ワーク方向に送り、前記保持面上のワークに前記研削又は研磨部材を押し付ける送り機構と、
前記ワークの厚み形状を測定する接触型のセンサと、
前記ワークの厚み形状を測定する非接触型のセンサと、
前記各センサの測定結果に基づいて前記ワークの形状を判定し、前記送り機構の動作を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とするワーク加工装置。 - 前記研削又は研磨部材と前記ワークが当接する加工位置の上流側に冷却水を供給するノズルを設け、前記加工位置の下流側に前記接触型のセンサ及び前記非接触型のセンサを配置してなる、ことを特徴とする請求項1に記載のワーク加工装置。
- 前記非接触型のセンサが測定する前記ワーク上の表面に、エアを吹き付けるノズルを設けた、ことを特徴とする請求項1または2に記載のワーク加工装置。
- 前記制御手段は、チャックテーブルの低速回転時に前記接触型のセンサを使用し、チャックテーブルが所定の回転速度を超えたら前記非接触型のセンサを使用する測定に切り換える、ことを特徴とする請求項1、2または3に記載のワーク加工装置。
- 前記ワークが半導体ウェハである、ことを特徴とする請求項1、2、3または4に記載のワーク加工装置。
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