JP2016145755A - 物理量検出デバイス、電子機器及び移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】衝撃で破損しにくい物理量検出デバイス、電子機器、及び移動体を実現する。
【解決手段】物理量検出デバイス１は、固定部１０に継ぎ手部１１を介して延在され、物理量の変化に応じて変位する可動部１２と、可動部１２の平面視で物理量検出素子１３から所定量離れた領域に設けられた錘部１５と、を備え、平面視で可動部１２もしくは錘部１５と少なくとも一部が重なるように枕部１４ａ，１４ｂが設けられている。この構成により、物理量検出デバイス１に鉛直方向に沿った方向の衝撃が加わったときの、物理量検出素子１３の破壊や誤検出を抑制することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、物理量検出デバイス、電子機器、及び移動体に関する。

加速度、角速度、物体の姿勢等の物理量を検出するデバイスでは、物理量検出器の支持位置や支持姿勢を均一化して検出感度を高めることが要求される。そこで、物理量検出素子の基部をリードフレームに固定し、物理量検出素子とリードフレームとの固定部をモールド樹脂で固めてパッケージの一部とする物理量検出デバイスが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、物理量検出素子の基部をパッケージに固定し、基部とは反対側の端部を自由端とした物理量検出デバイスが知られている（例えば、特許文献２参照）。

特開平５−１０７２６４号公報 特開２０１０−１８１２１０号公報

前述した特許文献１や特許文献２に記載の物理量検出デバイスでは、物理量検出素子の端部をパッケージの一部に固定する構造を用いている。つまり、物理量検出素子は、パッケージに対しては剛体に近い支持部に片持ち梁状に固定されている。このように、物理量検出素子を剛体に近い支持部で固定した場合、パッケージに強い衝撃力が加えられたときに、物理量検出素子に衝撃が直接伝達されることから、物理量検出素子による検出精度が低下したり、物理量検出素子が破損したりする虞があるという課題があった。

本発明は、衝撃の印加により物理量検出素子が破壊したり検出精度が低下したりする虞があるという課題を解決することを目的としたものであり、以下の形態または適用例の物理量検出デバイス、及び当該物理量検出デバイスを備えた電子機器や移動体を提供することを目的とする。

［適用例１］本適用例に係る物理量検出デバイスは、固定部と、前記固定部に継ぎ手部を介して第１方向に沿って延在され、物理量の変化に応じて変位する可動部と、を有する基台と、前記固定部と前記可動部とに掛け渡されて固定され、前記可動部の変位に応じて物理量を検出する物理量検出素子と、前記可動部に設けられた錘部と、前記基台に対し間隙をあけて設けられ、前記可動部が変位する方向から見た平面視で前記可動部もしくは前記錘部の少なくとも一部が重なって配置された枕部と、を備えることを特徴とする。

本適用例による物理量検出デバイスは、可動部もしくは錘部と少なくとも一部が重なるように設置された枕部が配置されていることから、外部から鉛直方向に沿った方向の衝撃が加えられたときに、可動部もしくは錘部が枕部と接触することにより物理量検出素子の変位が規制されるので、継ぎ手部および物理量検出素子に加わる衝撃が緩和され、物理量検出素子の破壊や検出精度の劣化を抑えることができる。

［適用例２］上記適用例に記載の物理量検出デバイスにおいて、前記枕部は、前記平面視において、前記錘部と少なくとも一部が重なって配置されていることが好ましい。

本適用例によれば、枕部の少なくとも一部が錘部と重なって配置されるので、小型の物理量検出デバイスを提供することができる。

［適用例３］上記適用例に記載の物理量検出デバイスにおいて、前記枕部は、前記可動部の前記第１方向に交差する第２方向の幅の中心線と重なる位置に配置されていることが好ましい。

本適用例によれば、枕部が可動部の第１方向に交差する第２方向の幅の中心線と重なる位置に配置されているため、外部から衝撃力が加えられ枕部と可動部が接触したときに、枕部により可動部を水平に受けられるので、継ぎ手部が捻じれる変形を起して他の部位に接触するのを防止することができる。従って、物理量検出デバイスに鉛直方向に沿った方向の衝撃が加わったときの、物理量検出素子の破壊や誤検出を抑制できるという効果が得られる。

［適用例４］上記適用例に記載の物理量検出デバイスにおいて、前記平面視において、前記可動部に隣り合ってと分離して設けられ、前記可動部が変位した場合に前記可動部の周縁部の変位を規制する規制部を備えることを特徴とする。

本適用例の物理量検出デバイスは、可動部の周縁部の変位を規制する規制部が設けられていることから、物理量検出素子の水平方向に沿った回動変位が起こる方向の衝撃が加えられたときに、可動部もしくは錘部の変位が規制部によって規制されるので、物理量検出素子の破壊や誤検出を抑制することができる。

［適用例５］上記適用例に記載の物理量検出デバイスにおいて、前記錘部の外郭は、前記平面視で前記可動部の領域内に収まって配置されたことを特徴とする。

本適用例によれば、錘部が平面視で可動部領域内に収まって配置されているので、小型の物理量検出デバイスを提供することができる。

［適用例６］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の物理量検出デバイスを備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の耐衝撃性が高く、誤検出が抑制され検出精度が高い物理量検出デバイスを備えていることにより、信頼性が高く、高機能を有する電子機器を提供することができる。

［適用例７］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の物理量検出デバイスを備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の耐衝撃性が高く、誤検出が抑制され検出精度が高い物理量検出デバイスを備えている。上述した物理量検出デバイスは、移動体の姿勢を検出することができる。したがって、衝撃による破損が抑えられ、信頼性の高い姿勢制御が可能な移動体を提供することができる。

実施形態１に係る物理量検出デバイスを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示す断面図。 実施形態２に係る物理量検出デバイスを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ切断面を示す断面図。 実施形態２に係る物理量検出デバイスの第２実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ切断面を示す断面図。 電子機器としての傾斜計を例示する模式斜視図。 電子機器としてのスマートフォンを概略的に示す斜視図。 電子機器としてのデジタルスチルカメラを概略的に示す斜視図。 移動体としての自動車を概略的に示す斜視図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る物理量検出デバイス１を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示す断面図である。なお、図１（ａ）はリッド（蓋部材）及び配線の図示を省略している。図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、物理量検出デバイス１は、パッケージ２０と、パッケージ２０の内部に配設された物理量検出器４と、枕部１４ａ，１４ｂとを備えており、パッケージ２０の内側に突設された段部２４上に物理量検出器４が片持ち支持された状態で接続固定されている。

パッケージ２０は、容器状のパッケージベース２１と、パッケージベース２１の周縁部においてパッケージ２０の内部空間を気密封止するリッド２２とから構成されている。パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを積層し焼成した酸化アルミニウム焼結体、水晶、ガラス、シリコン等が用いられる。

リッド２２には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられる。パッケージベース２１とリッド２２との固定には、シームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材を用いて固定することが可能で、陽極接合を用いることも可能である。

物理量検出器４は、基台９（以降、カンチレバー９とする）と物理量検出素子１３とから構成されている。
さらに具体的には、物理量検出器４は、固定部１０と、固定部１０に継ぎ手部１１を介してＹ方向（第１方向ともいう）に沿って延在され、物理量の変化に応じて変位する可動部１２と、固定部１０と可動部１２とに掛け渡されて端部が固定され、可動部１２の変位に応じた物理量を検出する物理量検出素子１３と、を備えている。

可動部１２の主面１２ａには、平面視で物理量検出素子１３から所定量離れた領域に配置される錘部１５を備え、主面１２ａに対向する主面１２ｂにも、主面１２ａ側に配置された錘部１５と対称位置に錘部１５が配置されている。さらに、錘部１５と、可動部１２の主面１２ａ、主面１２ｂそれぞれの間には所定の厚みを有するスペーサー５０が介在され、接合されている。

カンチレバー９は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて平板状に形成されている。固定部１０、継ぎ手部１１、可動部１２の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。
なお、カンチレバー９の材料は、水晶に限定するものではなく、ガラス、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。

継ぎ手部１１は、主面１２ａ，１２ｂ側からのハーフエッチングによって、固定部１０と可動部１２とを区切るように、Ｘ方向（第２方向ともいう）に伸びる溝によって形成されている。継ぎ手部１１のＹ方向の断面形状（図１（ｂ）、参照）は略Ｈ字状を有している。
この継ぎ手部１１により、可動部１２は、主面１２ａ（１２ｂ）と交差する方向（Ｚ方
向）に加わる物理量に応じて、継ぎ手部１１を支点（回転軸）にして主面１２ａと交差す
る方向（Ｚ方向）に変位する。

錘部１５には、例えば、Ｃｕ、Ａｕなどの金属に代表されるカンチレバー９の材質よりも比重の大きい材料が用いられている。本実施形態では、錘部１５はカンチレバー９の平面サイズ内において、質量を極力大きくするために、可動部１２の継ぎ手部１１側とは反対側の自由端側から、物理量検出素子１３と重ならない範囲で継ぎ手部１１の近くまで延在され、平面視において、略Ｕ字形状を有している。

物理量検出素子１３は、図１（ａ）に示すように、固定部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ方向）に延在され、Ｘ方向に屈曲振動をする振動梁部１３ａ，１３ｂと、振動梁部１３ａ，１３ｂの両端部に形成された一対の接続基部１３ｄ，１３ｅと、を備えている。物理量検出素子１３は、２本の振動梁部１３ａ，１３ｂと一対の接続基部１３ｄ，１３ｅとで二組の音叉を構成することから、双音叉素子（双音叉型振動片）とも呼ばれている。
物理量検出素子１３は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。

なお、物理量検出素子１３の材質は、水晶に限定されるものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ₂Ｂ₄Ｏ₇）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体を皮膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。ただし、物理量検出素子１３は、カンチレバー９との線膨張率の差を小さくすることを考慮すればカンチレバー９と同質にすることが望ましい。

物理量検出素子１３は、一方の接続基部１３ｄが可動部１２の主面１２ａ側に、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なＡｕ／Ｓｎ合金被膜などの接合部材１７を介して固定され、他方の接続基部１３ｅが固定部１０の主面１０ａ側に接合部材１７を介して固定されている。
なお、図１（ｂ）に示すように、物理量検出素子１３と、固定部１０の主面１０ａ及び可動部１２の主面１２ａとの間には、可動部１２の変位時に物理量検出素子１３と固定部１０及び可動部１２とが互いに接触しないように、適切な隙間が設けられている。

図１（ａ），（ｂ）に示すように、物理量検出素子１３は、振動梁部１３ａ，１３ｂの図示しない励振電極（検出電極を兼ねる）から接続基部１３ｅに形成された引き出し電極１３ｆ，１３ｇが、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー１８によって、固定部１０の主面１０ａに設けられた接続電極１０ｂ，１０ｃと接続されている。詳述すると、引き出し電極１３ｆは接続電極１０ｂと接続され、引き出し電極１３ｇは接続電極１０ｃと接続されている。
なお、励振電極、引き出し電極１３ｆ，１３ｇ、接続電極１０ｂ，１０ｃは、Ｃｒを下地層とし、その上にＡｕが積層された構成となっている。
また、接続電極１０ｂ，１０ｃは、パッケージベース２１の外側底面に設けられた外部接続電極２５と、図示しないパッケージベース２１の層内配線により接続されて引き出されている。外部接続電極２５は、例えば半田などの接続部材を介して外部基板との接続、および、外部基板に対する物理量検出デバイス１の固定に供する。

また、図１（ａ）に示すように、パッケージベース２１の内側の４隅のうち２箇所に、パッケージベース２１の凹底面２３ａから突設された段部２４が形成されており、段部２４それぞれの上面には突起部２４ａ，２４ｂが突設されている。突起部２４ａ，２４ｂは、図１（ａ）に示すように、平面視して固定部１０の形成領域に設けられており、これら突起部２４ａ，２４ｂは、通常時において、カンチレバー９の裏面（固定部１０の主面１０ａの対向面）に当接している。従って、突起部２４ａ，２４ｂｄは、物理量検出器４の−Ｚ方向の位置を規制する機能を有する。

物理量検出デバイス１は、リッド２２の接合後、パッケージ２０の内部が減圧された状態（真空度の高い状態）で、パッケージベース２１の封止部２９に開口された貫通孔２９ａにＡｕ／Ｇｅ合金、ハンダなどからなる封止材２９ｂを投入し、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ２０の内部が気密に封止される。
なお、パッケージ２０の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。

続いて、枕部１４ａ，１４ｂの固定位置について図１（a）を参照して説明する。
枕部１４ａ，１４ｂはカンチレバー９と間隙をあけて分離して設けられ、可動部１２の変位方向（Ｚ方向）から見た平面視で、錘部１５と少なくとも一部が重なるように配置され、パッケージベース２１またはリッド２２のカンチレバー９と対向する面に、例えば低融点ガラスや接着剤などの接合部材１４ｄ，１４ｅを介して接合されている。本実施形態では、リッド２２に接合部材１４ｄを介して枕部１４ａが接合され、パッケージベース２１に接合部材１４ｅを介して枕部１４ｂが接合されている。
なお、図示のように、枕部１４ａ，１４ｂは平面視で錘部１５と少なくとも一部が重なるように設けるのが好ましいが、錘部１５が可動部１２の内側に設けられ断面で見たときに可動部１２の端部が錘部１５よりも突出した形態においては、枕部１４ａ，１４ｂは平面視で可動部１２と少なくとも一部が重なっていれば良い。
また、本実施形態では、枕部１４ａ，１４ｂが、各々平面視でカンチレバー９の可動部１２と全部が重なるように配置されている。このようにすることにより、枕部１４ａ，１４ｂによるカンチレバー９の衝撃緩和を図りながら、物理量検出デバイス１の小型化を図る際に有利となる。

枕部１４ａ，１４ｂは、カンチレバー９が接触した場合に衝撃を緩和するために、錘部１５や可動部１２よりも硬度が低い材料を用いて形成される。例えば、シリコーン樹脂などの各種樹脂材料やゴムなどの弾性体により枕部１４ａ，１４ｂを形成することが好ましい。

以上説明した物理量検出デバイス１は、平面視で、錘部１５または可動部１２と少なくとも一部が重なるように配置された枕部１４ａ，１４ｂが、Ｚ軸方向の外部から衝撃力が加わった場合に、可動部１２もしくは錘部１５が枕部１４ａ，１４ｂと接触することになり、これによって、継ぎ手部１１および物理量検出素子１３の破壊を防止することができる。

また、枕部１４ａ，１４ｂが可動部１２（カンチレバー９）のＹ方向（第２方向）の中心線と重なる位置に配置された場合、Ｚ軸方向の外部から衝撃力が加わり、枕部１４ａ，１４ｂと錘部１５および可動部１２が接触した場合、継ぎ手部１１および物理量検出素子１３に捻じれ方向の力が加わることがなくなるため、捻じれ方向の力による継ぎ手部１１および物理量検出素子１３の破壊を防止することができる。

さらに、平面視で、枕部１４ａ，１４ｂの配置される位置が、可動部１２の領域と重なっていれば、錘部１５の領域が可動部１２の領域から飛び出す必要がなく、パッケージベース２１の大きさを可動部１２に合わせることができ、可動部１２のサイズに合わせた小型な物理量検出デバイス１を作製することが可能になる。

（実施形態２）
続いて、実施形態２に係る物理量検出デバイスについて説明する。実施形態２は、前述した実施形態１に対して、カンチレバー９の可動部１２の周縁部の位置を規制する規制部が設けられている点が異なる。よって、実施形態１との相違箇所を中心に、共通部には同じ符号を付して説明する。
図２は、物理量検出デバイスの実施形態２の第１実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ切断面を示す断面図である。

図２（ａ）において、実施形態２の第１実施例の物理量検出デバイス１０１は、平面視でカンチレバー９の可動部１２の周縁部から所定の隙間を開けて規制部１１４ａ，１１４ｂが配置されている。ここで規制部１１４ａ，１１４ｂは、図２（ｂ）に示すように、可動部１２が水平方向（図中Ｘ軸方向）に変位した場合に、可動部１２または錘部１５の少なくとも一方と接触するように配置されている。即ち、規制部１１４ａ，１１４ｂは、可動部１２または錘部１５の少なくとも一方の周縁部の位置を規制する。本実施例では、規制部１１４ａ，１１４ｂが、可動部１２の周縁部のうちＹ方向に対向する２辺を規制する位置に配置されている。

第１実施例の物理量検出デバイス１０１によれば、外部からの衝撃力が印加されカンチレバー９の可動部１２が水平方向（Ｚ方向を軸としたＸＹ平面の回転方向）に変位した場合に、規制部１１４ａ，１１４ｂが錘部１５および可動部１２の変位を規制するので、継ぎ手部１１および物理量検出素子１３の破壊を防止することができる。

図３は、物理量検出デバイスの実施形態２の第２実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ切断面を示す断面図である。
図３（ａ）において、実施形態２の第２実施例の物理量検出デバイス３０１は、平面視でカンチレバー９の可動部１２の周縁部から所定の隙間を開けて規制部２１４が配置されている。第２実施例の規制部２１４は、可動部１２の周縁部のうちの長手方向の一辺である長辺に沿って配置される第１規制部２１４ａと、可動部１２の周縁部のうちの前述の長辺と交差するＸ方向の一辺である短辺に沿って配置される第２規制部２１４ｂとが一体形成され平面視でＬ字形状を有している。規制部２１４は、カンチレバー９の可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして水平方向（Ｚ方向を軸としたＸＹ平面の回転方向）の第１規制部２１４ａ側に変位した場合には、可動部１２の一方の長辺側が第１規制部２１４ａによって変位を規制され、それと反対方向に可動部１２が変位した場合には、可動部１２の短辺側の一部が第２規制部２１４ｂに接触して変位が規制されるように配置されている。

第２実施例の物理量検出デバイス３０１によれば、カンチレバー９の可動部１２が継ぎ手部１１を支点として一方の長辺側に変位した場合には、平面視でＬ字形状の規制部２１４の第１規制部２１４ａが可動部１２の変位を規制し、可動部１２が他方の長辺側に変位した場合は、第２規制部２１４ｂが可動部の変位を規制する。したがって、１つの部品である規制部２１４により、継ぎ手部１１および物理量検出素子１３の破壊や検出結果に誤差が生ずるのを抑制することができる。

（実施形態３）
続いて、前述した物理量検出デバイス１，１０１，３０１を用いた電子機器について、幾つかの例をあげ説明する。
まず、電子機器としての傾斜計について説明する。
図４は、傾斜計５を例示する模式斜視図である。傾斜計５は、実施形態１または実施形態２に記載の物理量検出デバイス１を、傾斜センサーとして備えている。
傾斜計５は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計５は、外部からケーブル４０を介して電力が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって物理量検出デバイス１（傾斜センサー）に駆動信号が送られている。
傾斜計５は、図示しない物理量検出回路によって、傾斜センサーに加わる重力加速度に応じて変化する共振周波数から、傾斜計５の姿勢の変化（傾斜計５に対する重力加速度が加わる方向の変化）を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線などで基地局にデータ転送する。従って、傾斜計５は、被計測場所における異常の早期発見に貢献することができる。

（実施形態４）
続いて、電子機器としてのスマートフォン、デジタルスチルカメラについて説明する。図５は、スマートフォン２０１を概略的に示す斜視図である。スマートフォン２０１には、物理量検出デバイスが組み込まれている。スマートフォン２０１に用いる物理量検出デバイスは角速度センサー１００であって、スマートフォン２０１の姿勢を検出するモーションセンシングが実施される。角速度センサー１００の検出信号は、例えばマイクロコンピューターチップ（ＭＰＵ）２０２に供給される。ＭＰＵ２０２は、モーションセンシングに応じて様々な処理を実行することができる。モーションセンシングは、携帯電話機、携帯型ゲーム機、ゲームコントローラー、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイス、ヘッドマウンティングディスプレイ、タブレットパソコン等の電子機器で利用することができる。

図６は、電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラ（以下「カメラ」という）２０３を概略的に示す斜視図である。カメラ２０３には、物理量検出デバイスとして角速度センサー１００が組み込まれている。角速度センサー１００は、カメラ２０３の姿勢を検出することができる。角速度センサー１００の検出信号は、手ぶれ補正装置２０４に供給される。手ぶれ補正装置２０４は、角速度センサー１００の検出信号に応じて例えばレンズセット２０５内の特定のレンズを移動させ、手ぶれ補正を行うことができる。上記手ぶれ補正はデジタルビデオカメラにも利用することができる。

（実施形態５）
続いて、前述した物理量検出デバイス１，１０１，３０１を用いた移動体について説明する。
図７は、移動体の一具体例としての自動車２０６を概略的に示す斜視図である。自動車２０６には、物理量検出デバイスとしての角速度センサー１００が組み込まれている。角速度センサー１００は、車体２０７の姿勢を検出することができる。角速度センサー１００の検出信号は車体姿勢制御装置２０８に供給される。車体姿勢制御装置２０８は、例えば車体２０７の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御したり個々の車輪２０９のブレーキを制御したりすることができる。物理量検出デバイスとしての角速度センサー１００を用いた姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種移動体で利用することができる。

以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記実施形態では、枕部１４ａ，１４ｂ、規制部１１４ａ，１１４ｂ，２１４を接合部材を介してパッケージベース２１やリッド２２に接合した実施形態を説明した。これに限らず、枕部や規制部として機能する形状の凸部をパッケージベース２１やリッド２２各々の製造時形成しておくこととしてもよい。

また、上記実施形態２の第１実施例の物理量検出デバイス１０１における規制部１１４ａ，１１４ｂ、および、実施形態２の第２実施例の物理量検出デバイス３０１における規制部２１４は、パッケージベース２１の凹部の凹底部分に設けた例を説明した。これに限らず、規制部１１４ａ，１１４ｂ、または規制部２１４を、リッド２２側に配置させた構成としてもよいし、パッケージベース２１およびリッド２２の両方に配置してもよい。

１，１０１，３０１…物理量検出デバイス、４…物理量検出器、５…電子機器としての傾斜計、９…カンチレバー（基台）、１０…固定部、１０ａ…主面、１０ｂ，１０ｃ…接続電極、１１…継ぎ手部、１２…可動部、１２ｂ…主面、１３…物理量検出素子、１３ａ，１３ｂ…振動梁部、１３ｄ，１３ｅ…接続基部、１３ｆ，１３ｇ…引き出し電極、１４ａ，１４ｂ…枕部、１４ｄ，１４ｅ…接合部材、１５…錘部、１７…接合部材、１８…金属ワイヤー、２０…パッケージ、２１…パッケージベース、２２…リッド、２９…封止部、２９ａ…貫通孔、２９ｂ…封止材、４０…ケーブル、５０…スペーサー、１００…角速度センサー、１１４ａ，１１４ｂ…規制部、２０１…電子機器としてのスマートフォン、２０２…ＭＰＵ、２０３…電子機器としてのカメラ、２０４…手ぶれ補正装置、２０５…レンズセット、２０６…移動体としての自動車、２０７…車体、２０８…車体姿勢制御装置、２０９…車輪、２１４…規制部、２１４ａ…第１規制部、２１４ｂ…第２規制部。

Claims (7)

1. 固定部と、前記固定部に継ぎ手部を介して第１方向に沿って延在され、物理量の変化に応じて変位する可動部と、を有する基台と、
   前記固定部と前記可動部とに掛け渡されて固定され、前記可動部の変位に応じて物理量を検出する物理量検出素子と、
   前記可動部に設けられた錘部と、
   前記基台に対して間隙をあけて設けられ、前記可動部が変位する方向から見た平面視で前記可動部もしくは前記錘部の少なくとも一部が重なって配置された枕部と、
   を備えることを特徴とする物理量検出デバイス。
2. 請求項１に記載の物理量検出デバイスにおいて、
   前記枕部は、前記平面視において、前記錘部と少なくとも一部が重なって配置されていることを特徴とする物理量検出デバイス。
3. 請求項１または請求項２に記載の物理量検出デバイスにおいて、
   前記枕部は、前記可動部の前記第１方向に交差する第２方向の幅の中心線と重なる位置に配置されたとこを特徴とする物理量検出デバイス。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の物理量検出デバイスにおいて、
   前記平面視において、前記可動部に隣り合って設けられ、前記可動部が変位した場合に前記可動部の周縁部の変位を規制する規制部、
   を備えることを特徴とする物理量検出デバイス。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の物理量検出デバイスにおいて、
   前記錘部の外郭は、前記平面視で前記可動部の領域内に収まって配置されたことを特徴とする物理量検出デバイス。
6. 請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の物理量検出デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
7. 請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の物理量検出デバイスを備えていることを特徴とする移動体。

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