JP2016132084A - 両頭平面研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1シリンダ35及び第2シリンダ45は、第1シリンダロッド37及び第2シリンダロッド47を進退させることで、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40を案内ロッド51に沿って摺動させる。第1シリンダロッド37の先端部は、球面軸受55を介して第1ワーク保持体30に揺動可能に取り付けられる。第1シリンダ本体36は、内部ケース8に取り付けられる。第2シリンダロッド47の先端部は、球面軸受55を介して第1ワーク保持体30に揺動可能に取り付けられる。第2シリンダ本体46は、第2ワーク保持体40に取り付けられる。
【選択図】図3
Description
前記第1及び第2シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向に対して前記シリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構とを備えたことを特徴とするものである。
前記第2シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第1ワーク保持体に揺動可能に取り付けられ、
前記第2シリンダのシリンダ本体は、前記第2ワーク保持体に取り付けられていることを特徴とするものである。
前記第2シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記第1ワーク保持体に取り付けられ、
前記第2シリンダのシリンダ本体は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第2ワーク保持体に揺動可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
前記第1及び第2シリンダは、前記ワークの周方向に間隔をあけて複数配設されていることを特徴とするものである。
図1〜図4に示すように、両頭平面研削装置1は、半導体ウェーハ等の薄板円板状のワークWを保持して回転駆動するワークドライブ装置2と、ワークドライブ装置2により保持及び回転されるワークWの両面を研削砥石3により研削する砥石装置4とを備えている。ワークドライブ装置2及び砥石装置4は、水平なベッド5上に着脱自在に固定されている。
図6は、本実施形態2に係る両頭平面研削装置の構成を示す正面断面図である。以下、前記実施形態1と同じ部分については同じ符号を付し、相違点についてのみ説明する。
前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
3 研削砥石
30 第1ワーク保持体
35 第1シリンダ
36 第1シリンダ本体
37 第1シリンダロッド
40 第2ワーク保持体
45 第2シリンダ
46 第2シリンダ本体
47 第2シリンダロッド
51 案内ロッド
55 球面軸受(芯ズレ吸収機構)
W ワーク
Claims (4)
- 薄板状のワークを挟み込むように配置されて流体の圧力により該ワークを非接触支持する第1及び第2ワーク保持体と、該第1及び第2ワーク保持体を摺動可能に支持する案内ロッドと、該第1及び第2ワーク保持体に支持された該ワークの両面の被研削面を研削する一対の研削砥石とを備えた両頭平面研削装置であって、
シリンダ本体と、該シリンダ本体から進退するシリンダロッドとを有し、該シリンダロッドを進退させることで、前記第1及び第2ワーク保持体を前記案内ロッドに沿って摺動させる第1及び第2シリンダと、
前記第1及び第2シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向に対して前記シリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構とを備えたことを特徴とする両頭平面研削装置。 - 請求項1において、
前記第2シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第1ワーク保持体に揺動可能に取り付けられ、
前記第2シリンダのシリンダ本体は、前記第2ワーク保持体に取り付けられていることを特徴とする両頭平面研削装置。 - 請求項1において、
前記第2シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記第1ワーク保持体に取り付けられ、
前記第2シリンダのシリンダ本体は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第2ワーク保持体に揺動可能に取り付けられていることを特徴とする両頭平面研削装置。 - 請求項1乃至3のうち何れか1つにおいて、
前記第1及び第2シリンダは、前記ワークの周方向に間隔をあけて複数配設されていることを特徴とする両頭平面研削装置。
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CN116141020A (zh) * | 2019-03-19 | 2023-05-23 | 哈尔滨工业大学 | 一种五自由度增减材机床 |
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