JP2016127228A - パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法 - Google Patents
パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016127228A JP2016127228A JP2015002134A JP2015002134A JP2016127228A JP 2016127228 A JP2016127228 A JP 2016127228A JP 2015002134 A JP2015002134 A JP 2015002134A JP 2015002134 A JP2015002134 A JP 2015002134A JP 2016127228 A JP2016127228 A JP 2016127228A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- purge
- container
- stocker
- abnormality
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】パージストッカ1は、容器F内にパージガスを供給するパージ装置4、4aと、容器Fにおけるパージの状態を検出する検出装置36と、検出装置36がパージの異常を検出した場合に、容器Fのパージを確認する検査部4bと、を備える。
【選択図】図1
Description
まず、第1実施形態について説明する。図1(A)は、本実施形態に係るパージストッカ1の一例を示す図、図1(B)は容器Fおよびパージ装置4の一例を示す図である。パージストッカ1は、例えば、半導体素子の製造に用いられるウェハや、レチクルなどの物品を収容する容器Fを保管する自動倉庫である。容器Fは、例えば、FOUP、SMIF Pod、レチクルPodなどである。図1(A)に示すように、パージストッカ1は、筐体2、複数の保管棚3、複数のパージ装置4、スタッカクレーン(搬送装置)5、及び制御装置6を備える。筐体2は、外部に対して隔離可能な内部空間2aを有する。筐体2は、筐体2の外部と内部空間2aとで容器Fが受け渡される入出庫ポート(図示せず)を備えている。複数の保管棚3、複数のパージ装置4、及びスタッカクレーン5は、筐体2の内部空間2aに配置されている。制御装置6は、筐体2の内部または外部のいずれに配置されてもよい。制御装置6は、パージ装置4およびスタッカクレーン5を制御する。
次に、第2実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態において、上述した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。図4は、本実施形態に係るパージストッカ100の構成および動作を示す図である。図4に示すように、パージストッカ100は、参照容器FRを備える。参照容器FRは、パージの異常が検出された場合、このパージを行ったパージ装置4のパージテストに利用される。参照容器FRは、容器Fと同一構造である(図1(B)参照)。参照容器FRが容器Fと同一構造である場合、容器Fに対するパージの結果と、参照容器FRに対するパージの結果との比較の条件を揃えることができる。ただし、参照容器FRは、容器Fと異なる構造であってもよく、例えば、蓋部22がない容器であってもよい。また、参照容器FRは、2個以上配置されてもよい。また、参照容器FRは、他の保管棚3において適切にパージされた容器Fが使用されてもよい。
次に、変形例について説明する。容器Fおよびパージ装置4の双方に異常がない場合に、例えば容器Fをパージ装置4に接続する際の位置ずれ、姿勢などによって、パージの異常が生じる可能性がある。本変形例においては、パージの異常が検出された場合、まず、パージのリトライを行い、リトライにおいてもパージの異常が検出された場合に、上記した第1実施形態または第2実施形態の手法により検査を行う。
次に、第3実施形態について説明する。本実施形態において、上述した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。図7は、第3実施形態に係るパージストッカ200の構成を示し、(A)は斜視図、(B)は上面図である。図7に示すように、パージストッカ200は、ストッカ本体46及び検査部450を備える。ストッカ本体46は、例えば、図1に示すパージストッカ1と同様の構成を有している。ストッカ本体46の内部は、スタッカクレーン5(図1参照)の可動範囲5aが設定されている。検査部450は、ストッカ本体46内であって可動範囲5aから離れて配置されている。検査部450が配置されるエリアAは、スタッカクレーン5の可動範囲5aから隔離された空間であり、例えば、インターロックが作動することなくストッカ本体46内に人の立ち入りが可能なエリアである。
3・・・保管棚
4、400・・・パージ装置
5・・・スタッカクレーン(搬送装置)
5a・・・可動範囲
6・・・制御装置
33・・・排気側センサ(検出装置)
38・・・圧力計(検出装置)
45、450、451・・・検査部
F、Fx・・・容器
FR・・・参照容器
Claims (10)
- 容器内にパージガスを供給するパージ装置と、
前記容器におけるパージの状態を検出する検出装置と、
前記検出装置がパージの異常を検出した場合に前記容器のパージを確認する検査部と、を備えるパージストッカ。 - 前記容器を搬送する搬送装置と、複数の前記パージ装置と、を備え、
前記検査部は、前記検出装置がパージの異常を検出した場合に、パージの異常を検出した際の前記パージ装置と別の前記パージ装置が用いられ、
前記搬送装置は、前記容器を別の前記パージ装置に搬送する、請求項1記載のパージストッカ。 - 前記容器を保持する複数の棚を備え、
前記パージ装置は、前記複数の棚のそれぞれに設けられる、請求項2に記載のパージストッカ。 - 前記検査部は、前記搬送装置の可動範囲から離れて配置される、請求項2または請求項3記載のパージストッカ。
- 容器内にパージガスを供給するパージ装置と、
前記容器を搬送する搬送装置と、
前記容器におけるパージの状態を検出する検出装置と、
前記検出装置がパージの異常を検出した場合に、前記搬送装置によって搬送されかつ前記容器に代えて前記パージ装置に接続される参照容器と、を備えるパージストッカ。 - 前記参照容器は、前記容器と同一構造である請求項4に記載のパージストッカ。
- 前記容器を搬送する搬送容器を備え、
前記搬送装置は、前記検出装置がパージの異常を検出した場合に、前記パージ装置に対して前記容器を再度接続する動作を行う、請求項1記載のパージストッカ。 - 前記検出装置は、前記容器から排出されるパージガスを監視することによって、パージの状態を検出する、請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載のパージストッカ。
- 前記検出装置は、前記容器から排出されるパージガスについて、単位時間あたりの流量、酸素濃度、及び水分濃度のうち少なくとも1つに基づいて前記容器におけるパージの状態を検出する、請求項8に記載のパージストッカ。
- 容器内にパージガスを供給するパージ装置を備えるパージストッカの稼働方法であって、
前記容器におけるパージの状態を検出することと、
パージの異常を検出した場合に、前記パージストッカに備える検査部により前記容器に対するパージを確認すること、または、前記パージストッカに備える参照容器を前記容器に代えて前記パージ装置に接続することと、を含むパージストッカの稼働方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015002134A JP6409579B2 (ja) | 2015-01-08 | 2015-01-08 | パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015002134A JP6409579B2 (ja) | 2015-01-08 | 2015-01-08 | パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016127228A true JP2016127228A (ja) | 2016-07-11 |
JP6409579B2 JP6409579B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=56359776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015002134A Active JP6409579B2 (ja) | 2015-01-08 | 2015-01-08 | パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6409579B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180028929A (ko) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템 |
JP2018129400A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 株式会社ダイフク | 流量測定システム |
JP2021030112A (ja) * | 2019-08-19 | 2021-03-01 | 敏夫 宮下 | 気液混合装置 |
JP2021053555A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | 敏夫 宮下 | 気液混合装置 |
WO2022158174A1 (ja) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 村田機械株式会社 | パージ装置及び搬送システム |
KR20220147534A (ko) | 2021-04-27 | 2022-11-03 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 검사 시스템 |
JP7487703B2 (ja) | 2021-04-27 | 2024-05-21 | 株式会社ダイフク | 収容棚 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102101413B1 (ko) * | 2019-04-29 | 2020-04-16 | 주식회사 아셀 | 파티클 측정장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008159734A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Asyst Technologies Japan Inc | コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ |
JP2010182747A (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Dan Takuma:Kk | 保管システムおよび保管方法 |
WO2014141563A1 (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板収納器搬送方法及びプログラム |
-
2015
- 2015-01-08 JP JP2015002134A patent/JP6409579B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008159734A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Asyst Technologies Japan Inc | コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ |
JP2010182747A (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Dan Takuma:Kk | 保管システムおよび保管方法 |
WO2014141563A1 (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板収納器搬送方法及びプログラム |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180028929A (ko) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템 |
KR102489603B1 (ko) * | 2016-09-09 | 2023-01-16 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템 |
JP2018129400A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 株式会社ダイフク | 流量測定システム |
JP2021030112A (ja) * | 2019-08-19 | 2021-03-01 | 敏夫 宮下 | 気液混合装置 |
JP7350564B2 (ja) | 2019-08-19 | 2023-09-26 | 敏夫 宮下 | 気液混合装置 |
JP2021053555A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | 敏夫 宮下 | 気液混合装置 |
JP7352254B2 (ja) | 2019-09-27 | 2023-09-28 | 敏夫 宮下 | 気液混合装置 |
WO2022158174A1 (ja) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 村田機械株式会社 | パージ装置及び搬送システム |
KR20220147534A (ko) | 2021-04-27 | 2022-11-03 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 검사 시스템 |
US11982594B2 (en) | 2021-04-27 | 2024-05-14 | Daifuku Co., Ltd. | Inspection system |
JP7487703B2 (ja) | 2021-04-27 | 2024-05-21 | 株式会社ダイフク | 収容棚 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6409579B2 (ja) | 2018-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6409579B2 (ja) | パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法 | |
CN108140598B (zh) | 吹净装置、吹净储料器以及吹净方法 | |
EP2717306B1 (en) | Load port apparatus, carrier system, and container conveyance method | |
JP6451453B2 (ja) | ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法 | |
EP3104401B1 (en) | Purge device and purge method | |
JP5874691B2 (ja) | 不活性気体供給設備 | |
KR101973136B1 (ko) | 불활성 가스 주입 설비 및 불활성 가스 주입 방법 | |
TWI643684B (zh) | Purification storage and purification method | |
KR101942394B1 (ko) | 퍼지 장치 및 퍼지 방법 | |
JP6468358B2 (ja) | パージストッカ、及びパージストッカにおけるパージガスの供給方法 | |
TWI699847B (zh) | 淨化裝置、淨化倉儲及淨化方法 | |
US9230845B2 (en) | Article storage facility and article storage method | |
KR101674454B1 (ko) | 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼 | |
CN108398168B (zh) | 流量测定*** | |
JP6414338B2 (ja) | 保管装置および保管方法 | |
JP6217281B2 (ja) | 自動倉庫、及びガス供給方法 | |
WO2016129170A1 (ja) | パージ装置、パージストッカ、及びパージ異常検出方法 | |
KR102663006B1 (ko) | 용기 보관 장치 및 방법 | |
JP2024040529A (ja) | パージ装置及び搬送システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171023 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180626 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180828 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180910 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6409579 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |