JP2016121875A - X線検査装置 - Google Patents
X線検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016121875A JP2016121875A JP2014259937A JP2014259937A JP2016121875A JP 2016121875 A JP2016121875 A JP 2016121875A JP 2014259937 A JP2014259937 A JP 2014259937A JP 2014259937 A JP2014259937 A JP 2014259937A JP 2016121875 A JP2016121875 A JP 2016121875A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- contour
- processing
- ray
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
【課題】画像取得時の積算時間を短く設定しても、画像上のちらつきを抑制しつつ、輪郭を鮮明化したX線透視画像を表示することのできるX線検査装置を提供する。
【解決手段】X線検出器2からの出力に基づく原画像に対し、輪郭を抽出し、その抽出された輪郭を基に、原画像を輪郭周辺領域と残余の他領域とに分割し、輪郭周辺領域については輪郭強調処理を、他領域については平滑化処理を施したうえで、各領域の画像を合成して表示器17に表示することにより、短い積算時間で取得した画像であっても、X線焦点1aで発生する揺らぎに起因する画像のちらつきを抑制し、かつ、被検査物の輪郭を鮮明化した画像を表示して、検査効率を向上させる。
【選択図】図1
【解決手段】X線検出器2からの出力に基づく原画像に対し、輪郭を抽出し、その抽出された輪郭を基に、原画像を輪郭周辺領域と残余の他領域とに分割し、輪郭周辺領域については輪郭強調処理を、他領域については平滑化処理を施したうえで、各領域の画像を合成して表示器17に表示することにより、短い積算時間で取得した画像であっても、X線焦点1aで発生する揺らぎに起因する画像のちらつきを抑制し、かつ、被検査物の輪郭を鮮明化した画像を表示して、検査効率を向上させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、工業製品などの被検査物にX線を照射して得られるX線透過情報を用いて、その被検査物のX線透視画像を構築して表示し、被検査物の欠陥の有無などを検査するX線検査装置に関する。
被検査物のX線透視画像を表示器に表示し、その被検査物の内部欠陥などを検査するX線検査装置においては、一般に、X線発生装置とX線検出器を対向配置し、その間に被検査物を搭載して三次元方向に移動可能な観察ステージを配置した構造を採る。通常、X線発生装置はコーンビーム状のX線を発生するものが用いられ、また、X線検出器は二次元検出器が用いられる。これにより、X線検出器の出力から被検査物の二次元のX線透過情報が得られ、その情報に基づいて被検査物のX線透視画像が構築される(例えば特許文献1参照)。
より具体的には、X線検出器から所定の微小時間ごとに取り込まれる各画素出力をそれぞれ設定時間分だけ積算して、透視像を形成する各画素の画素値(濃度値)を決定する。
ところで、以上のようなX線検査装置におけるX線検出器からの出力を用いたX線透視画像においては、X線発生装置のX線焦点で発生するX線の揺らぎに起因して、画像上にちらつきが生じる。通常、このちらつきを抑えるために、画像取得時の積算時間、つまり上記した積算のための時間を長く設定することで対処している。
上記の透視画像の一例を図8,9に示す。なお、図8は積算時間0.25秒の場合であり、図9は積算時間を4秒とした場合の例である。図9の透視画像では図8のものに比して画像上のちらつきが低減されている。
しかしながら、この種のX線検査装置においては、被検査物上の透視位置を変化させながら欠陥の有無等を検査する場合が多く、積算時間を長く設定すると作業効率が低下するなどの問題が生じることもある。
このような問題を回避して画像上のちらつきを抑制する手法として、ローパスフィルタ等を用いて画像を平滑化する方法がある。この平滑化処理を採用することにより、積算時間を長くすることなく画像上のちらつきを抑制することができる。ここで、ローパスフィルタを用いて図8の画像を平滑化した画像の例を図10に示す。図10のように、画像取得時の積算時間を0.25秒としたままで、画像上のちらつきを抑制することができる。
一方、画像上のちらつきとは別に、画像の輪郭がぼやけている場合には、ハイパスフィルタやアンシャープフィルタなどを用いた輪郭強調処理を採用することが一般に知られている。図8の画像に輪郭強調処理を施した画像を図11に示す。
ところで、透視画像上にちらつきが生じている場合、ローパスフィルタなどを用いて画像を平滑化することにより、短い積算時間で取得した画像であってもちらつきを抑えることができる反面、画像全体がぼやけてしまうという問題が生じる。特に、画像の輪郭がぼやけてしまうことにより、画像の視認性が悪化し、検査結果に影響することもある。
また、取得した透視画像上でのちらつきは軽微であるものの輪郭がぼやけている場合には、輪郭強調処理を施すことで輪郭の鮮明化が可能であるが、一方で画像のちらつきも同時に強調されてしまうという問題が発生する。
本発明の課題は、画像取得時の積算時間を短く設定しても、画像上のちらつきを抑制しつつ、輪郭を鮮明化した透視画像を表示することができ、もって検査効率を低下させることなく、被検査物の良好なX線透視画像を表示して正確な検査を行うことのできるX線検査装置を提供することにある。
上記の課題を解決するため、本発明のX線検査装置は、互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、被検査物を搭載する観察ステージが配置され、X線源からのX線を被検査物に照射して得られる透過X線をX線検出器で検出し、その検出出力に基づく被検査物のX線透過像を画像処理装置で画像処理したうえで表示器に表示するX線検査装置において、以下の構成を備えることを特徴とする。
すなわち、画像処理装置は、画像上の輪郭を抽出する輪郭抽出手段と、その輪郭抽出手段により抽出された輪郭の周辺の輪郭周辺領域とそれ以外の他領域とに分割する画像領域分割処理手段と、画像を平滑化する平滑化処理手段と、画像の輪郭を強調する輪郭強調処理手段と、画像を合成する画像合成手段を含み、上記画像領域分割処理手段により分割された各領域について、上記輪郭周辺領域は輪郭強調処理を施すとともに、上記他領域は平滑化処理を施し、これらの各処理後の画像を上記画像合成手段で合成して上記表示器に表示する構成を備えている。
ここで、本発明においては、上記他領域について、平滑化処理を施すことに代えて、処理を施さずに上記画像合成手段による画像合成に供するようにしてもよく、この場合、輪郭周辺領域は輪郭強調処理を行うものとする。これにより、原画像の輪郭周辺領域のみが輪郭強調された画像が表示器に表示されることになる。
また、上記輪郭周辺領域については、輪郭強調処理を施すことに代えて、処理を施さずに上記画像合成手段による画像合成に供するようにしてもよく、この場合、他領域は平滑化処理を行うものとする。これにより、輪郭周辺領域は原画像が、その他の領域は平滑化処理された画像が表示器に表示されることになる。
さらに、本発明において、上記画像領域分割処理手段は、上記輪郭周辺領域と上記他領域の間に少なくとも1つの中間領域を設けて画像を分割するように構成され、その中間領域を含めた全ての領域についてそれぞれに個別の処理を施し、処理後の各領域の画像を上記画像合成手段により合成して上記表示器に表示するとともに、上記中間領域の処理は、上記他領域とは異なる条件による平滑化処理、輪郭強調処理、無処理のいずれかとする構成を採用してもよい。
ここで、本発明における画像領域分割処理手段による領域分割の手法としては、上記輪郭抽出手段により抽出された輪郭像を膨張処理し、その膨張処理後の輪郭像の外縁を、上記輪郭周辺領域の外縁もしくは上記中間領域の外縁として設定する方法を採用することができる。
また、本発明においては、上記輪郭抽出手段により抽出された輪郭のうち、輪郭の両側の画素濃度の差が大きい部位ほど、上記輪郭強調手段による強調処理をより鮮明なものとする構成を採用することもできる。
本発明は、X線検出器の出力を積算した画素情報を用いた透視画像、つまり原画像に対し、その全体に一定の画像処理を一様に施すのではなく、画像上の輪郭を基準として複数の領域に分け、それぞれに適した処理を施し、各領域の処理後の画像を合成することで課題を解決しようとするものである。
すなわち、本発明においては、原画像上で被検査物の輪郭を抽出し、その抽出した輪郭の周辺領域と、その他の領域に分け、輪郭周辺領域には輪郭強調処理を、他領域には平滑化処理を行う。これにより、X線焦点で発生する揺らぎに起因する画像上でのちらつきを抑制しつつ、鮮明な輪郭を持つX線透視画像を得ることができる。
なお、原画像におけるちらつきが小さい場合には、輪郭周辺領域の輪郭強調処理のみを行い、他領域は原画像のままとしても上記と同等のX線透視画像が得られる(全体を輪郭強調処理した場合のちらつきの強調がない)。反対に、原画像における輪郭が鮮明である場合には、他領域の平滑化処理のみを行って輪郭周辺領域は原画像のままとしても、同様に上記と同等のX線透視画像が得られる(全体を平滑化処理した場合の輪郭のぼやけがない)。
本発明によれば、X線検出器からの出力データに基づく原画像から輪郭を抽出し、その輪郭の周辺領域とその他の領域に画像を分割し、それぞれの領域に適した処理を施した後に各領域の画像を合成して表示器に表示するので、X線焦点で発生する揺らぎに起因する画像のちらつきを抑制し、かつ、像の輪郭を強調したり、あるいはちらつきを強調することなく輪郭のみを強調したり、さらには輪郭のぼやけを生じることなくちらつきを抑制することが可能となり、ひいては画像取得時の積算時間を長く設定することなく、画像上のちらつきを排して鮮明な輪郭を持つX線透視画像を得て、検査効率を向上させることができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の構成図であり、機械的構成を模式図で、機能的構成をブロック図でそれぞれ示している。
図1は本発明の構成図であり、機械的構成を模式図で、機能的構成をブロック図でそれぞれ示している。
X線発生装置1はそのX線焦点1aからコーンビーム状のX線を鉛直上方に向けて発生し、このX線発生装置1の上方に対向するように二次元のX線検出器2が配置されている。そして、これらのX線発生装置1とX線検出器2の間に、被検査物を搭載するための観察ステージ3が配置されている。この観察ステージ3は、三軸駆動機構4により、X線発生装置1とX線検出器2とを結ぶX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動させることができる。この観察ステージ3の三軸駆動機構4に対する駆動制御信号は、操作部11を操作することによって、制御部12および駆動制御部13を通じて与えられる。
なお、以上のX線発生装置1、X線検出器2および観察ステージ3は、X線防護箱5内に収容されている。
X線検出器2からの出力は画像データ取込回路14によって所定の微小時間ごとに取り込まれ、メモリ15内で画素ごとに積算される。そして、設定された積算時間到達時点での画素ごとの積算値により、被検査物のX線透視画像の原画像が構築される。メモリ15に取得された原画像のデータは、画像処理装置16によって処理されたうえで、表示器17に表示される。
画像処理装置16は、原画像上で輪郭を抽出する輪郭抽出部21、輪郭抽出部21により抽出された輪郭を基準として原画像上で輪郭周辺領域とその残余領域である他領域とに画像領域を分割する画像領域分割処理部22と、画像を平滑化する平滑化処理部23と、画像の輪郭を強調する輪郭強調処理部24、および分割された各領域の画像を合成する画像合成部25を主体として構成されている。
以上の画像処理装置16による処理動作について詳述すると、まず、輪郭抽出部21により原画像上の輪郭を抽出する。このX線検出器2からの出力に基づくX線透視画像(原画像)の輪郭を抽出した画像の例を、図2に示す。なお、この図2は、前記した図8に示した積算時間0.25秒の原画像から輪郭を抽出した図である。
次に、画像領域分割処理部22によって、図2の輪郭抽出画像を基に原画像を輪郭周辺領域と他領域に分割する。この画像領域分割処理部22は、より具体的には、モルフォロジー(形態)処理技法を用いた膨張処理により、図2の輪郭抽出画像における輪郭像を膨張処理し、その膨張処理後の輪郭像上の領域を輪郭周辺領域、その残余領域を他領域とする。図3は、図2の画像を基に輪郭周辺領域と他領域とに分割するために形成した、図2の輪郭像を膨張処理後に2値化した図である。この図3の画像において、白色部分が輪郭周辺領域であり、黒色部分が他領域となる。
以上のようにして分割された輪郭周辺領域と他領域の各原画像は、輪郭周辺領域については輪郭強調処理部24に、他領域については平滑化処理部23へと送られ、それぞれの処理に供される。図4に、図3における輪郭周辺領域(白色部分領域)について輪郭強調処理を施し、かつ、他領域については黒色画素で表した画像を示し、図5には、図3における他領域(黒色部分領域)について平滑化処理を施し、かつ、輪郭周辺領域については黒色画素で表した画像を示す。なお、輪郭強調処理としてはハイパスフィルタやアンシャープフィルタを用いた処理等を、平滑化処理としてはローパスフィルタを用いた処理等を採用することができる。
図4,5の処理後の各領域の画像は、画像合成部25において相互に合成される。これにより、原画像上の輪郭周辺領域については輪郭強調処理を施し、かつ、他領域については平滑化処理を施した画像が得られる。そして、図4の輪郭周辺領域を輪郭強調処理した画像と、図5の他領域を平滑化処理した画像とを合成した後の画像を図6に示す。この図6の画像は、0.25秒という短い積算時間で取得した原画像でありながら、ちらつきがなく、しかも輪郭が鮮明な画像となり、この画像を表示器に表示することにより、正確で効率的な検査を実現することができる。
以上の実施の形態においては、輪郭周辺領域を輪郭強調処理し、他領域を平滑化処理した例を示したが、原画像において比較的鮮明な輪郭が得られるような被検査物の検査にあっては、輪郭周辺領域を原画像のままで他領域を平滑化処理して、その各領域の画像を合成してもよく、この場合には、画像全体を平滑化する場合に問題となる輪郭のぼやけを防止することができる。
また、原画像におけるちらつきが検査に影響を与える可能性が低い場合には、他領域を原画像のままで輪郭周辺領域を輪郭強調処理して、その各領域の画像を合成してもよく、この場合には、画像全体を輪郭強調処理する場合に問題となるちらつきの強調を防止することができる。
さらに、以上の実施の形態においては、原画像を輪郭周辺領域と他領域の2つの領域に分割した例を示したが、これらの各領域の間に1つ又は複数の中間領域を設け、各領域に対してそれぞれに異なる処理を施して合成することもできる。
すなわち、図7に模式的に示すように、原画像上で抽出された輪郭Eを基準としてこれを膨張させることで形成した輪郭周辺領域eの外側に中間領域nを形成し、他領域aを合わせた合計3つの領域について、それぞれに個別の処理を施したうえで合成する。例えば、輪郭周辺領域eについては輪郭強調処理、他領域aについては平滑化処理を施し、また中間領域nについては原画像のままとするか、あるいは、他領域aと中間領域nに対して処理条件を相違させた平滑化処理を施したうえで、各領域の画像を合成する。
また、輪郭周辺領域の画像に対する輪郭強調処理について、全ての処理条件を同一とせず、原画像上での輪郭を挟んだ両側の画像の濃淡差に合わせて異なる条件での輪郭強調処理を行うこともできる。すなわち、輪郭抽出処理においては画素の濃度値を微分する等の処理を行って隣り合う画素の濃度値の差が大きい部分を探し出し、その部分を輪郭部分として抽出するのであるが、その濃度値の差が大きい部分と小さい部分とで輪郭強調処理の条件を変更する。具体的には、抽出された輪郭のうち、両側の濃度値の差が大きい部分ほど、より鮮明な輪郭となるような強調処理を施す。このような処理を施した画像においては、濃度値の差が小さい部分における輪郭が必要以上に強調されたものとならず、被検査物のX線透視画像に、より現実の透視像に近いニュアンスを持たせることができる。
また、以上の各実施の形態においては、短い積算時間で取得した原画像に対して本発明を適用することにより、透視画像を鮮明化しつつ、ちらつきを抑制する効果を得る場合を示したが、本発明の輪郭周辺領域と他領域に分割して各領域に必要とする処理を施す技術は、例えば長い積算時間で取得した原画像の輪郭のみを強調するような用途にも適用し得ることは勿論である。
1 X線発生装置
2 X線検出器
3 観察ステージ
4 三軸駆動機構
5 X線防護箱
11 操作部
12 制御部
13 駆動制御部
14 画像データ取込回路
15 メモリ
16 画像処理装置
17 表示器
21 輪郭抽出部(輪郭抽出手段)
22 画像領域分割処理部(画像領域分割処理手段)
23 平滑化処理部(平滑化処理手段)
24 輪郭強調処理部(輪郭強調処理手段)
25 画像合成部(画像合成手段)
2 X線検出器
3 観察ステージ
4 三軸駆動機構
5 X線防護箱
11 操作部
12 制御部
13 駆動制御部
14 画像データ取込回路
15 メモリ
16 画像処理装置
17 表示器
21 輪郭抽出部(輪郭抽出手段)
22 画像領域分割処理部(画像領域分割処理手段)
23 平滑化処理部(平滑化処理手段)
24 輪郭強調処理部(輪郭強調処理手段)
25 画像合成部(画像合成手段)
Claims (6)
- 互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、被検査物を搭載する観察ステージが配置され、X線源からのX線を被検査物に照射して得られる透過X線をX線検出器で検出し、その検出出力に基づく被検査物のX線透過像を画像処理装置で画像処理したうえで表示器に表示するX線検査装置において、
上記画像処理装置は、画像上の輪郭を抽出する輪郭抽出手段と、その輪郭抽出手段により抽出された輪郭の周辺の輪郭周辺領域とそれ以外の他領域とに分割する画像領域分割処理手段と、画像を平滑化する平滑化処理手段と、画像の輪郭を強調する輪郭強調処理手段と、画像を合成する画像合成手段を含み、
上記画像領域分割処理手段により分割された各領域について、上記輪郭周辺領域は輪郭強調処理を施すとともに、上記他領域は平滑化処理を施し、これらの各処理後の画像を上記画像合成手段で合成して上記表示器に表示することを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1における上記他領域について、平滑化処理を施すことに代えて、処理を施さずに上記画像合成手段による画像合成に供することを特徴とするX線検査装置。
- 請求項1における上記輪郭周辺領域について、輪郭強調処理を施すことに代えて、処理を施さずに上記画像合成手段による画像合成に供することを特徴とするX線検査装置。
- 上記画像領域分割処理手段は、上記輪郭周辺領域と上記他領域の間に少なくとも1つの中間領域を設けて画像を分割するように構成され、その中間領域を含めた全ての領域についてそれぞれに個別の処理を施し、処理後の各領域の画像を上記画像合成手段により合成して上記表示器に表示するとともに、上記中間領域の処理は、上記他領域とは異なる条件による平滑化処理、輪郭強調処理、無処理のいずれかとすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 上記画像領域分割処理手段は、上記輪郭抽出手段により抽出された輪郭像を膨張処理し、その膨張処理後の輪郭像の外縁を、上記輪郭周辺領域の外縁もしくは上記中間領域の外縁として設定することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 上記輪郭抽出手段により抽出された輪郭のうち、輪郭の両側の画素濃度の差が大きい部位ほど、上記輪郭強調手段による強調処理をより鮮明なものとすることを特徴とする請求項1、2又は4のいずれか1項に記載のX線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014259937A JP2016121875A (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014259937A JP2016121875A (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | X線検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016121875A true JP2016121875A (ja) | 2016-07-07 |
Family
ID=56327300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014259937A Pending JP2016121875A (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | X線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016121875A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018146555A (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-20 | アンリツインフィビス株式会社 | X線検査装置 |
JP2018155553A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | アンリツインフィビス株式会社 | X線検査装置 |
WO2023228416A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | テクノホライゾン株式会社 | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム |
-
2014
- 2014-12-24 JP JP2014259937A patent/JP2016121875A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018146555A (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-20 | アンリツインフィビス株式会社 | X線検査装置 |
JP2018155553A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | アンリツインフィビス株式会社 | X線検査装置 |
WO2023228416A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | テクノホライゾン株式会社 | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9311695B2 (en) | Image processing method and radiographic apparatus using the same | |
JP5901614B6 (ja) | 画像処理装置および画像処理方法 | |
JP2016041387A5 (ja) | X線ct装置 | |
JP2017130060A5 (ja) | ||
JP2019134269A5 (ja) | ||
JP2013061850A5 (ja) | ||
JP2016015252A5 (ja) | ||
JP6164926B2 (ja) | ノイズ低減処理装置 | |
JP2010079780A (ja) | 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム | |
JP2016121875A (ja) | X線検査装置 | |
JP2012054873A5 (ja) | ||
JP5974205B1 (ja) | 画像処理装置、画像処理装置の作動方法 | |
JP5745438B2 (ja) | 検査方法および検査装置 | |
JP2010009348A (ja) | 画像処理装置および方法ならびにプログラム | |
JP2015037215A5 (ja) | 画像処理装置および画像処理方法 | |
JP4513962B2 (ja) | 擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置 | |
JP2013128212A5 (ja) | ||
CN105530505B (zh) | 三维图像转换方法和装置 | |
JP2017049036A (ja) | 画像測定装置及びその制御プログラム | |
JP2010175281A (ja) | 外観面画像生成装置 | |
JP2006208340A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2006196937A (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 | |
JP6344651B2 (ja) | フォーカスアシスト機能付き撮像装置 | |
JP7010225B2 (ja) | ***領域検出システム、***領域検出方法、及びプログラム | |
JP2022052210A5 (ja) |