JP2016121875A - X-ray inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、工業製品などの被検査物にX線を照射して得られるX線透過情報を用いて、その被検査物のX線透視画像を構築して表示し、被検査物の欠陥の有無などを検査するX線検査装置に関する。 The present invention constructs and displays an X-ray fluoroscopic image of the inspection object using X-ray transmission information obtained by irradiating the inspection object such as an industrial product with X-rays, and detects defects of the inspection object. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus for inspecting presence or absence.
被検査物のX線透視画像を表示器に表示し、その被検査物の内部欠陥などを検査するX線検査装置においては、一般に、X線発生装置とX線検出器を対向配置し、その間に被検査物を搭載して三次元方向に移動可能な観察ステージを配置した構造を採る。通常、X線発生装置はコーンビーム状のX線を発生するものが用いられ、また、X線検出器は二次元検出器が用いられる。これにより、X線検出器の出力から被検査物の二次元のX線透過情報が得られ、その情報に基づいて被検査物のX線透視画像が構築される(例えば特許文献1参照)。 In an X-ray inspection apparatus that displays an X-ray fluoroscopic image of an inspection object on a display and inspects internal defects of the inspection object, generally, an X-ray generator and an X-ray detector are arranged oppositely, A structure is adopted in which an inspection stage is mounted and an observation stage movable in a three-dimensional direction is arranged. Usually, an X-ray generator that generates cone beam X-rays is used, and a two-dimensional detector is used as the X-ray detector. Thereby, two-dimensional X-ray transmission information of the inspection object is obtained from the output of the X-ray detector, and an X-ray fluoroscopic image of the inspection object is constructed based on the information (see, for example, Patent Document 1).
より具体的には、X線検出器から所定の微小時間ごとに取り込まれる各画素出力をそれぞれ設定時間分だけ積算して、透視像を形成する各画素の画素値(濃度値)を決定する。 More specifically, the pixel outputs taken every predetermined minute time from the X-ray detector are integrated for the set time, and the pixel value (density value) of each pixel forming the fluoroscopic image is determined.
ところで、以上のようなX線検査装置におけるX線検出器からの出力を用いたX線透視画像においては、X線発生装置のX線焦点で発生するX線の揺らぎに起因して、画像上にちらつきが生じる。通常、このちらつきを抑えるために、画像取得時の積算時間、つまり上記した積算のための時間を長く設定することで対処している。 By the way, in the X-ray fluoroscopic image using the output from the X-ray detector in the X-ray inspection apparatus as described above, due to the fluctuation of the X-ray generated at the X-ray focal point of the X-ray generation apparatus, Flickering occurs. Usually, in order to suppress this flicker, the integration time at the time of image acquisition, that is, the above-described integration time is set longer.
上記の透視画像の一例を図8,9に示す。なお、図8は積算時間0.25秒の場合であり、図9は積算時間を4秒とした場合の例である。図9の透視画像では図8のものに比して画像上のちらつきが低減されている。 An example of the fluoroscopic image is shown in FIGS. FIG. 8 shows an example when the integration time is 0.25 seconds, and FIG. 9 shows an example when the integration time is 4 seconds. In the perspective image of FIG. 9, the flicker on the image is reduced as compared with that of FIG.
しかしながら、この種のX線検査装置においては、被検査物上の透視位置を変化させながら欠陥の有無等を検査する場合が多く、積算時間を長く設定すると作業効率が低下するなどの問題が生じることもある。 However, this type of X-ray inspection apparatus often inspects for the presence or absence of defects while changing the fluoroscopic position on the object to be inspected, and there is a problem in that work efficiency decreases when the integration time is set long. Sometimes.
このような問題を回避して画像上のちらつきを抑制する手法として、ローパスフィルタ等を用いて画像を平滑化する方法がある。この平滑化処理を採用することにより、積算時間を長くすることなく画像上のちらつきを抑制することができる。ここで、ローパスフィルタを用いて図8の画像を平滑化した画像の例を図10に示す。図10のように、画像取得時の積算時間を0.25秒としたままで、画像上のちらつきを抑制することができる。 As a technique for avoiding such a problem and suppressing flicker on the image, there is a method of smoothing the image using a low-pass filter or the like. By adopting this smoothing process, it is possible to suppress flickering on the image without increasing the integration time. Here, FIG. 10 shows an example of an image obtained by smoothing the image of FIG. 8 using a low-pass filter. As shown in FIG. 10, the flicker on the image can be suppressed while the accumulated time at the time of image acquisition is kept at 0.25 seconds.
一方、画像上のちらつきとは別に、画像の輪郭がぼやけている場合には、ハイパスフィルタやアンシャープフィルタなどを用いた輪郭強調処理を採用することが一般に知られている。図8の画像に輪郭強調処理を施した画像を図11に示す。 On the other hand, it is generally known to employ contour enhancement processing using a high-pass filter, an unsharp filter, or the like when the contour of an image is blurred apart from flickering on the image. FIG. 11 shows an image obtained by performing contour enhancement processing on the image of FIG.
ところで、透視画像上にちらつきが生じている場合、ローパスフィルタなどを用いて画像を平滑化することにより、短い積算時間で取得した画像であってもちらつきを抑えることができる反面、画像全体がぼやけてしまうという問題が生じる。特に、画像の輪郭がぼやけてしまうことにより、画像の視認性が悪化し、検査結果に影響することもある。 By the way, when flickering occurs on the fluoroscopic image, it is possible to suppress flickering even in an image acquired in a short integration time by smoothing the image using a low-pass filter or the like, but the entire image is blurred. Problem arises. In particular, when the contour of the image is blurred, the visibility of the image is deteriorated and the inspection result may be affected.
また、取得した透視画像上でのちらつきは軽微であるものの輪郭がぼやけている場合には、輪郭強調処理を施すことで輪郭の鮮明化が可能であるが、一方で画像のちらつきも同時に強調されてしまうという問題が発生する。 In addition, if the flicker on the acquired fluoroscopic image is slight but the contour is blurred, the contour can be sharpened by applying contour emphasis processing, but the image flicker is also enhanced at the same time. The problem of end up occurs.
本発明の課題は、画像取得時の積算時間を短く設定しても、画像上のちらつきを抑制しつつ、輪郭を鮮明化した透視画像を表示することができ、もって検査効率を低下させることなく、被検査物の良好なX線透視画像を表示して正確な検査を行うことのできるX線検査装置を提供することにある。 An object of the present invention is to display a fluoroscopic image with a sharp outline while suppressing flickering on an image even if the integration time at the time of image acquisition is set short, and thus without reducing inspection efficiency. An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of displaying a good X-ray fluoroscopic image of an inspection object and performing an accurate inspection.
上記の課題を解決するため、本発明のX線検査装置は、互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、被検査物を搭載する観察ステージが配置され、X線源からのX線を被検査物に照射して得られる透過X線をX線検出器で検出し、その検出出力に基づく被検査物のX線透過像を画像処理装置で画像処理したうえで表示器に表示するX線検査装置において、以下の構成を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, an X-ray inspection apparatus according to the present invention includes an observation stage on which an object to be inspected is placed between an X-ray source and an X-ray detector arranged to face each other. The X-ray detector detects the transmitted X-rays obtained by irradiating the inspection object with the X-rays of the X-ray, and the X-ray transmission image of the inspection object based on the detection output is subjected to image processing by the image processing apparatus and then the display The X-ray inspection apparatus to be displayed in the above has the following configuration.
すなわち、画像処理装置は、画像上の輪郭を抽出する輪郭抽出手段と、その輪郭抽出手段により抽出された輪郭の周辺の輪郭周辺領域とそれ以外の他領域とに分割する画像領域分割処理手段と、画像を平滑化する平滑化処理手段と、画像の輪郭を強調する輪郭強調処理手段と、画像を合成する画像合成手段を含み、上記画像領域分割処理手段により分割された各領域について、上記輪郭周辺領域は輪郭強調処理を施すとともに、上記他領域は平滑化処理を施し、これらの各処理後の画像を上記画像合成手段で合成して上記表示器に表示する構成を備えている。 In other words, the image processing apparatus includes a contour extracting unit that extracts a contour on an image, an image region dividing processing unit that divides the contour around the contour extracted by the contour extracting unit into other peripheral regions. A contour processing means for smoothing the image, a contour emphasis processing means for emphasizing the contour of the image, and an image synthesizing means for synthesizing the image, and for each region divided by the image region segmentation processing means, the contour The peripheral region is subjected to contour emphasis processing, the other region is subjected to smoothing processing, and the image after each processing is synthesized by the image synthesizing means and displayed on the display.
ここで、本発明においては、上記他領域について、平滑化処理を施すことに代えて、処理を施さずに上記画像合成手段による画像合成に供するようにしてもよく、この場合、輪郭周辺領域は輪郭強調処理を行うものとする。これにより、原画像の輪郭周辺領域のみが輪郭強調された画像が表示器に表示されることになる。 Here, in the present invention, instead of performing the smoothing process on the other area, it may be used for image synthesis by the image synthesizing means without performing the process. Assume that contour enhancement processing is performed. As a result, an image in which only the contour peripheral region of the original image is contour-enhanced is displayed on the display.
また、上記輪郭周辺領域については、輪郭強調処理を施すことに代えて、処理を施さずに上記画像合成手段による画像合成に供するようにしてもよく、この場合、他領域は平滑化処理を行うものとする。これにより、輪郭周辺領域は原画像が、その他の領域は平滑化処理された画像が表示器に表示されることになる。 Further, the contour peripheral region may be subjected to image synthesis by the image synthesizing means without being subjected to processing instead of performing contour enhancement processing. In this case, the other regions are subjected to smoothing processing. Shall. As a result, the original image is displayed on the outline peripheral area, and the smoothed image is displayed on the display area in the other areas.
さらに、本発明において、上記画像領域分割処理手段は、上記輪郭周辺領域と上記他領域の間に少なくとも1つの中間領域を設けて画像を分割するように構成され、その中間領域を含めた全ての領域についてそれぞれに個別の処理を施し、処理後の各領域の画像を上記画像合成手段により合成して上記表示器に表示するとともに、上記中間領域の処理は、上記他領域とは異なる条件による平滑化処理、輪郭強調処理、無処理のいずれかとする構成を採用してもよい。 Further, in the present invention, the image area dividing processing unit is configured to divide an image by providing at least one intermediate area between the contour peripheral area and the other area, and includes all the intermediate areas including the intermediate area. Each area is individually processed, and the processed image of each area is synthesized by the image synthesizing means and displayed on the display. The intermediate area is smoothed under conditions different from those of the other areas. A configuration in which any one of the conversion processing, the contour enhancement processing, and the non-processing may be adopted.
ここで、本発明における画像領域分割処理手段による領域分割の手法としては、上記輪郭抽出手段により抽出された輪郭像を膨張処理し、その膨張処理後の輪郭像の外縁を、上記輪郭周辺領域の外縁もしくは上記中間領域の外縁として設定する方法を採用することができる。 Here, as a method of region segmentation by the image region segmentation processing unit in the present invention, the contour image extracted by the contour extraction unit is expanded, and the outer edge of the contour image after the expansion processing is converted into the contour peripheral region. A method of setting the outer edge or the outer edge of the intermediate region can be employed.
また、本発明においては、上記輪郭抽出手段により抽出された輪郭のうち、輪郭の両側の画素濃度の差が大きい部位ほど、上記輪郭強調手段による強調処理をより鮮明なものとする構成を採用することもできる。 Further, in the present invention, a configuration is adopted in which, among the contours extracted by the contour extraction unit, the enhancement processing by the contour enhancement unit becomes clearer at a portion where the difference in pixel density on both sides of the contour is larger. You can also.
本発明は、X線検出器の出力を積算した画素情報を用いた透視画像、つまり原画像に対し、その全体に一定の画像処理を一様に施すのではなく、画像上の輪郭を基準として複数の領域に分け、それぞれに適した処理を施し、各領域の処理後の画像を合成することで課題を解決しようとするものである。 The present invention does not apply uniform image processing to the entire fluoroscopic image using pixel information obtained by integrating the output of the X-ray detector, that is, the original image, but uses the contour on the image as a reference. It is intended to solve the problem by dividing into a plurality of areas, performing processing suitable for each area, and synthesizing the processed images of each area.
すなわち、本発明においては、原画像上で被検査物の輪郭を抽出し、その抽出した輪郭の周辺領域と、その他の領域に分け、輪郭周辺領域には輪郭強調処理を、他領域には平滑化処理を行う。これにより、X線焦点で発生する揺らぎに起因する画像上でのちらつきを抑制しつつ、鮮明な輪郭を持つX線透視画像を得ることができる。 That is, in the present invention, the contour of the object to be inspected is extracted from the original image, divided into the peripheral region of the extracted contour and other regions, contour enhancement processing is performed on the contour peripheral region, and smoothing is performed on the other regions. Process. Thereby, it is possible to obtain an X-ray fluoroscopic image having a clear outline while suppressing flickering on the image due to fluctuations occurring at the X-ray focal point.
なお、原画像におけるちらつきが小さい場合には、輪郭周辺領域の輪郭強調処理のみを行い、他領域は原画像のままとしても上記と同等のX線透視画像が得られる(全体を輪郭強調処理した場合のちらつきの強調がない)。反対に、原画像における輪郭が鮮明である場合には、他領域の平滑化処理のみを行って輪郭周辺領域は原画像のままとしても、同様に上記と同等のX線透視画像が得られる(全体を平滑化処理した場合の輪郭のぼやけがない)。 In addition, when the flicker in the original image is small, only the contour emphasis processing of the contour peripheral region is performed, and the X-ray fluoroscopic image equivalent to the above can be obtained even if the other region remains the original image (the entire contour emphasis processing is performed). There is no emphasis on flickering in the case). On the other hand, when the contour in the original image is clear, the X-ray fluoroscopic image equivalent to the above can be obtained in the same manner even if only the smoothing process of other regions is performed and the contour peripheral region remains as the original image ( There is no blurring of the outline when the whole is smoothed).
本発明によれば、X線検出器からの出力データに基づく原画像から輪郭を抽出し、その輪郭の周辺領域とその他の領域に画像を分割し、それぞれの領域に適した処理を施した後に各領域の画像を合成して表示器に表示するので、X線焦点で発生する揺らぎに起因する画像のちらつきを抑制し、かつ、像の輪郭を強調したり、あるいはちらつきを強調することなく輪郭のみを強調したり、さらには輪郭のぼやけを生じることなくちらつきを抑制することが可能となり、ひいては画像取得時の積算時間を長く設定することなく、画像上のちらつきを排して鮮明な輪郭を持つX線透視画像を得て、検査効率を向上させることができる。 According to the present invention, after the contour is extracted from the original image based on the output data from the X-ray detector, the image is divided into the peripheral region and other regions of the contour, and processing suitable for each region is performed. Since the images of each region are combined and displayed on the display, the flickering of the image due to fluctuations occurring at the X-ray focal point is suppressed, and the contour of the image is emphasized or the flicker is not emphasized. It is possible to suppress the flicker without emphasizing the image or even causing the blurring of the outline, and thus eliminating the flicker on the image without setting a long integration time at the time of image acquisition. X-ray fluoroscopic images possessed can be obtained and inspection efficiency can be improved.
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の構成図であり、機械的構成を模式図で、機能的構成をブロック図でそれぞれ示している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a configuration diagram of the present invention, showing a mechanical configuration in a schematic diagram and a functional configuration in a block diagram.
X線発生装置1はそのX線焦点1aからコーンビーム状のX線を鉛直上方に向けて発生し、このX線発生装置1の上方に対向するように二次元のX線検出器2が配置されている。そして、これらのX線発生装置1とX線検出器2の間に、被検査物を搭載するための観察ステージ3が配置されている。この観察ステージ3は、三軸駆動機構4により、X線発生装置1とX線検出器2とを結ぶX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動させることができる。この観察ステージ3の三軸駆動機構4に対する駆動制御信号は、操作部11を操作することによって、制御部12および駆動制御部13を通じて与えられる。 The X-ray generator 1 generates cone beam X-rays vertically upward from the X-ray focal point 1a, and a two-dimensional X-ray detector 2 is arranged so as to face the X-ray generator 1 above. Has been. An observation stage 3 for mounting an inspection object is disposed between the X-ray generator 1 and the X-ray detector 2. The observation stage 3 can be moved by the triaxial drive mechanism 4 in three orthogonal directions including the X-ray optical axis direction connecting the X-ray generator 1 and the X-ray detector 2. A drive control signal for the three-axis drive mechanism 4 of the observation stage 3 is given through the control unit 12 and the drive control unit 13 by operating the operation unit 11.
なお、以上のX線発生装置1、X線検出器2および観察ステージ3は、X線防護箱5内に収容されている。 The X-ray generator 1, the X-ray detector 2 and the observation stage 3 described above are accommodated in an X-ray protective box 5.
X線検出器2からの出力は画像データ取込回路14によって所定の微小時間ごとに取り込まれ、メモリ15内で画素ごとに積算される。そして、設定された積算時間到達時点での画素ごとの積算値により、被検査物のX線透視画像の原画像が構築される。メモリ15に取得された原画像のデータは、画像処理装置16によって処理されたうえで、表示器17に表示される。 The output from the X-ray detector 2 is taken in every predetermined minute time by the image data taking circuit 14 and accumulated in the memory 15 for each pixel. Then, an original image of the X-ray fluoroscopic image of the object to be inspected is constructed by the integrated value for each pixel when the set integrated time is reached. The original image data acquired in the memory 15 is processed by the image processing device 16 and then displayed on the display 17.
画像処理装置16は、原画像上で輪郭を抽出する輪郭抽出部21、輪郭抽出部21により抽出された輪郭を基準として原画像上で輪郭周辺領域とその残余領域である他領域とに画像領域を分割する画像領域分割処理部22と、画像を平滑化する平滑化処理部23と、画像の輪郭を強調する輪郭強調処理部24、および分割された各領域の画像を合成する画像合成部25を主体として構成されている。 The image processing apparatus 16 includes an outline extraction unit 21 that extracts an outline on the original image, an image area that is divided into an outline peripheral area and another area that is a remaining area on the original image with reference to the outline extracted by the outline extraction unit 21. An image region division processing unit 22 for dividing the image, a smoothing processing unit 23 for smoothing the image, a contour enhancement processing unit 24 for enhancing the contour of the image, and an image composition unit 25 for combining the images of the divided regions. Is the main constituent.
以上の画像処理装置16による処理動作について詳述すると、まず、輪郭抽出部21により原画像上の輪郭を抽出する。このX線検出器2からの出力に基づくX線透視画像(原画像)の輪郭を抽出した画像の例を、図2に示す。なお、この図2は、前記した図8に示した積算時間0.25秒の原画像から輪郭を抽出した図である。 The processing operation by the image processing device 16 will be described in detail. First, the contour extraction unit 21 extracts a contour on the original image. An example of an image obtained by extracting the outline of an X-ray fluoroscopic image (original image) based on the output from the X-ray detector 2 is shown in FIG. Note that FIG. 2 is a diagram in which an outline is extracted from the original image having the integration time of 0.25 seconds shown in FIG.
次に、画像領域分割処理部22によって、図2の輪郭抽出画像を基に原画像を輪郭周辺領域と他領域に分割する。この画像領域分割処理部22は、より具体的には、モルフォロジー(形態)処理技法を用いた膨張処理により、図2の輪郭抽出画像における輪郭像を膨張処理し、その膨張処理後の輪郭像上の領域を輪郭周辺領域、その残余領域を他領域とする。図3は、図2の画像を基に輪郭周辺領域と他領域とに分割するために形成した、図2の輪郭像を膨張処理後に2値化した図である。この図3の画像において、白色部分が輪郭周辺領域であり、黒色部分が他領域となる。 Next, the image region division processing unit 22 divides the original image into a contour peripheral region and another region based on the contour extracted image of FIG. More specifically, the image region division processing unit 22 performs an expansion process on the contour image in the contour extraction image of FIG. 2 by an expansion process using a morphological (morphological) processing technique. This area is the outline peripheral area, and the remaining area is the other area. FIG. 3 is a diagram obtained by binarizing the contour image of FIG. 2 formed to divide into the contour peripheral region and other regions based on the image of FIG. 2 after the expansion processing. In the image of FIG. 3, the white portion is the outline peripheral region, and the black portion is the other region.
以上のようにして分割された輪郭周辺領域と他領域の各原画像は、輪郭周辺領域については輪郭強調処理部24に、他領域については平滑化処理部23へと送られ、それぞれの処理に供される。図4に、図3における輪郭周辺領域(白色部分領域)について輪郭強調処理を施し、かつ、他領域については黒色画素で表した画像を示し、図5には、図3における他領域(黒色部分領域)について平滑化処理を施し、かつ、輪郭周辺領域については黒色画素で表した画像を示す。なお、輪郭強調処理としてはハイパスフィルタやアンシャープフィルタを用いた処理等を、平滑化処理としてはローパスフィルタを用いた処理等を採用することができる。 The original images of the contour peripheral region and the other regions divided as described above are sent to the contour emphasis processing unit 24 for the contour peripheral region and to the smoothing processing unit 23 for the other region. Provided. FIG. 4 shows an image in which outline enhancement processing is performed on the peripheral area (white part area) in FIG. 3 and the other area is represented by black pixels, and FIG. 5 shows the other area (black part in FIG. 3). The region is smoothed, and the contour peripheral region is an image represented by black pixels. Note that a process using a high-pass filter or an unsharp filter can be used as the contour enhancement process, and a process using a low-pass filter can be used as the smoothing process.
図4,5の処理後の各領域の画像は、画像合成部25において相互に合成される。これにより、原画像上の輪郭周辺領域については輪郭強調処理を施し、かつ、他領域については平滑化処理を施した画像が得られる。そして、図4の輪郭周辺領域を輪郭強調処理した画像と、図5の他領域を平滑化処理した画像とを合成した後の画像を図6に示す。この図6の画像は、0.25秒という短い積算時間で取得した原画像でありながら、ちらつきがなく、しかも輪郭が鮮明な画像となり、この画像を表示器に表示することにより、正確で効率的な検査を実現することができる。 The images of the respective areas after the processing in FIGS. 4 and 5 are combined with each other in the image combining unit 25. As a result, it is possible to obtain an image that has been subjected to contour emphasis processing on the contour peripheral region on the original image and smoothed on other regions. FIG. 6 shows an image obtained by synthesizing the image obtained by performing the contour emphasis processing on the contour peripheral region in FIG. 4 and the image obtained by smoothing the other region in FIG. The image shown in FIG. 6 is an original image acquired with an integration time as short as 0.25 seconds, but does not flicker and has a sharp outline. By displaying this image on a display device, the image is accurate and efficient. Inspection can be realized.
以上の実施の形態においては、輪郭周辺領域を輪郭強調処理し、他領域を平滑化処理した例を示したが、原画像において比較的鮮明な輪郭が得られるような被検査物の検査にあっては、輪郭周辺領域を原画像のままで他領域を平滑化処理して、その各領域の画像を合成してもよく、この場合には、画像全体を平滑化する場合に問題となる輪郭のぼやけを防止することができる。 In the above embodiment, an example has been described in which the contour emphasis processing is performed on the contour peripheral region and the other regions are smoothed. However, the above-described embodiment is suitable for inspecting an inspection object that can obtain a relatively clear contour in the original image. For example, the contour peripheral region may be left as the original image, and other regions may be smoothed to synthesize the images of the respective regions. In this case, the contour that causes a problem when the entire image is smoothed may be used. Can be prevented from blurring.
また、原画像におけるちらつきが検査に影響を与える可能性が低い場合には、他領域を原画像のままで輪郭周辺領域を輪郭強調処理して、その各領域の画像を合成してもよく、この場合には、画像全体を輪郭強調処理する場合に問題となるちらつきの強調を防止することができる。 If there is a low possibility that flickering in the original image will affect the inspection, the contour peripheral region may be subjected to contour emphasis processing while the other region remains as the original image, and the image of each region may be synthesized. In this case, it is possible to prevent flickering emphasis, which becomes a problem when performing contour emphasis processing on the entire image.
さらに、以上の実施の形態においては、原画像を輪郭周辺領域と他領域の2つの領域に分割した例を示したが、これらの各領域の間に1つ又は複数の中間領域を設け、各領域に対してそれぞれに異なる処理を施して合成することもできる。 Furthermore, in the above embodiment, the example in which the original image is divided into two regions of the contour peripheral region and the other region has been shown, but one or a plurality of intermediate regions are provided between these regions, It is also possible to combine the regions by performing different processes.
すなわち、図7に模式的に示すように、原画像上で抽出された輪郭Eを基準としてこれを膨張させることで形成した輪郭周辺領域eの外側に中間領域nを形成し、他領域aを合わせた合計3つの領域について、それぞれに個別の処理を施したうえで合成する。例えば、輪郭周辺領域eについては輪郭強調処理、他領域aについては平滑化処理を施し、また中間領域nについては原画像のままとするか、あるいは、他領域aと中間領域nに対して処理条件を相違させた平滑化処理を施したうえで、各領域の画像を合成する。 That is, as schematically shown in FIG. 7, the intermediate region n is formed outside the contour peripheral region e formed by expanding the contour E extracted on the original image as a reference, and the other region a is formed. A total of three regions are combined and processed individually. For example, the contour peripheral region e is subjected to contour enhancement processing, the other region a is subjected to smoothing processing, and the intermediate region n is left as the original image, or the other region a and the intermediate region n are processed. The image of each area | region is synthesize | combined after performing the smoothing process which made conditions differ.
また、輪郭周辺領域の画像に対する輪郭強調処理について、全ての処理条件を同一とせず、原画像上での輪郭を挟んだ両側の画像の濃淡差に合わせて異なる条件での輪郭強調処理を行うこともできる。すなわち、輪郭抽出処理においては画素の濃度値を微分する等の処理を行って隣り合う画素の濃度値の差が大きい部分を探し出し、その部分を輪郭部分として抽出するのであるが、その濃度値の差が大きい部分と小さい部分とで輪郭強調処理の条件を変更する。具体的には、抽出された輪郭のうち、両側の濃度値の差が大きい部分ほど、より鮮明な輪郭となるような強調処理を施す。このような処理を施した画像においては、濃度値の差が小さい部分における輪郭が必要以上に強調されたものとならず、被検査物のX線透視画像に、より現実の透視像に近いニュアンスを持たせることができる。 Also, with respect to the contour emphasis processing for the image of the contour peripheral region, all the processing conditions are not the same, and the contour emphasis processing is performed under different conditions according to the contrast of the images on both sides sandwiching the contour on the original image. You can also. That is, in the contour extraction process, a process such as differentiation of the density value of a pixel is performed to find a part where the density value difference between adjacent pixels is large, and that part is extracted as a contour part. The condition for the contour enhancement process is changed between a portion where the difference is large and a portion where the difference is small. Specifically, enhancement processing is performed so that a portion where the density value difference between both sides is larger in the extracted contour becomes a clearer contour. In the image subjected to such processing, the contour in the portion where the difference in density value is small is not emphasized more than necessary, and the nuance closer to the actual fluoroscopic image is added to the X-ray fluoroscopic image of the inspection object. Can be given.
また、以上の各実施の形態においては、短い積算時間で取得した原画像に対して本発明を適用することにより、透視画像を鮮明化しつつ、ちらつきを抑制する効果を得る場合を示したが、本発明の輪郭周辺領域と他領域に分割して各領域に必要とする処理を施す技術は、例えば長い積算時間で取得した原画像の輪郭のみを強調するような用途にも適用し得ることは勿論である。 Further, in each of the above embodiments, by applying the present invention to the original image acquired in a short integration time, the case of obtaining the effect of suppressing flicker while sharpening the fluoroscopic image, The technique of performing the necessary processing for each area by dividing the outline peripheral area and other areas of the present invention can be applied to, for example, an application that emphasizes only the outline of the original image acquired in a long integration time. Of course.
1 X線発生装置
2 X線検出器
3 観察ステージ
4 三軸駆動機構
5 X線防護箱
11 操作部
12 制御部
13 駆動制御部
14 画像データ取込回路
15 メモリ
16 画像処理装置
17 表示器
21 輪郭抽出部(輪郭抽出手段)
22 画像領域分割処理部(画像領域分割処理手段)
23 平滑化処理部(平滑化処理手段)
24 輪郭強調処理部(輪郭強調処理手段)
25 画像合成部(画像合成手段)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray generator 2 X-ray detector 3 Observation stage 4 Triaxial drive mechanism 5 X-ray protective box 11 Operation part 12 Control part 13 Drive control part 14 Image data acquisition circuit 15 Memory 16 Image processing apparatus 17 Display 21 Outline Extraction unit (contour extraction means)
22 Image area division processing unit (image area division processing means)
23 Smoothing processor (smoothing processor)
24 Outline enhancement processing unit (contour enhancement processing means)
25 Image composition unit (image composition means)
Claims (6)
上記画像処理装置は、画像上の輪郭を抽出する輪郭抽出手段と、その輪郭抽出手段により抽出された輪郭の周辺の輪郭周辺領域とそれ以外の他領域とに分割する画像領域分割処理手段と、画像を平滑化する平滑化処理手段と、画像の輪郭を強調する輪郭強調処理手段と、画像を合成する画像合成手段を含み、
上記画像領域分割処理手段により分割された各領域について、上記輪郭周辺領域は輪郭強調処理を施すとともに、上記他領域は平滑化処理を施し、これらの各処理後の画像を上記画像合成手段で合成して上記表示器に表示することを特徴とするX線検査装置。 An observation stage on which the inspection object is mounted is disposed between the X-ray source and the X-ray detector that are arranged opposite to each other, and transmitted X-rays obtained by irradiating the inspection object with X-rays from the X-ray source In an X-ray inspection apparatus that detects an X-ray detector, displays an X-ray transmission image of an object to be inspected based on the detection output on an image processing apparatus, and displays the image on a display.
The image processing apparatus includes: a contour extracting unit that extracts a contour on an image; an image region dividing processing unit that divides a contour peripheral region around the contour extracted by the contour extracting unit and other regions; Smoothing processing means for smoothing the image, contour enhancement processing means for enhancing the contour of the image, and image composition means for synthesizing the image,
For each area divided by the image area dividing processing means, the outline peripheral area is subjected to outline emphasis processing, and the other areas are subjected to smoothing processing, and the image after each processing is synthesized by the image synthesizing means. And displaying on the display.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014259937A JP2016121875A (en) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | X-ray inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014259937A JP2016121875A (en) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | X-ray inspection device |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2016121875A true JP2016121875A (en) | 2016-07-07 |
Family
ID=56327300
Family Applications (1)
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Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018146555A (en) * | 2017-03-09 | 2018-09-20 | アンリツインフィビス株式会社 | X-ray inspection device |
JP2018155553A (en) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | アンリツインフィビス株式会社 | X-ray inspection device |
WO2023228416A1 (en) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | テクノホライゾン株式会社 | X-ray inspection device, x-ray inspection method, and x-ray inspection program |
-
2014
- 2014-12-24 JP JP2014259937A patent/JP2016121875A/en active Pending
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