JP2016048296A5 - 反射防止膜を有する光学素子、光学系、光学機器 - Google Patents

Description

本発明は、反射防止膜を有する光学素子に関する。

そこで、本発明の目的は、屈折率が低い基板に対して入射角度特性に優れた反射防止膜を有する光学素子を提供することである。

本発明の一側面としての光学素子は、基板と、前記基板の上に設けられた反射防止膜とを有し、前記反射防止膜は、前記基板の上に設けられ、複数の薄膜から成る中間層と、前記中間層の上に設けられ、表面側から基板側に向かって屈折率が連続的に増加する部分を有する凹凸層とを備え、前記中間層は、前記基板の上に設けられた第１層と、前記第１層の上に設けられた第２層とを含み、波長５５０ｎｍにおける前記基板の屈折率をｎｓ、波長５５０ｎｍにおける前記第２層の屈折率をｎ２、前記第２層の膜厚をｄ２（ｎｍ）としたとき、
１．４０≦ｎｓ≦１．８５
ｎｓ＜ｎ２
１．７２≦ｎ２≦１．９５
２３０（ｎｍ）≦ｎ２ｄ２≦２９０（ｎｍ）
なる条件式を満たすことを特徴とする。

Claims (11)

1. 基板と、前記基板の上に設けられた反射防止膜とを有し、
   前記反射防止膜は、
   前記基板の上に設けられ、複数の薄膜から成る中間層と、
   前記中間層の上に設けられ、表面側から基板側に向かって屈折率が連続的に増加する部分を有する凹凸層とを備え、
   前記中間層は、前記基板の上に設けられた第１層と、前記第１層の上に設けられた第２層とを含み、
   波長５５０ｎｍにおける前記基板の屈折率をｎｓ、波長５５０ｎｍにおける前記第２層の屈折率をｎ２、前記第２層の膜厚をｄ２（ｎｍ）としたとき、
   １．４０≦ｎｓ≦１．８５
   ｎｓ＜ｎ２
   １．７２≦ｎ２≦１．９５
   ２３０（ｎｍ）≦ｎ２ｄ２≦２９０（ｎｍ）
   なる条件式を満たすことを特徴とする光学素子。
2. 波長５５０ｎｍにおける前記第１層の屈折率をｎ１、前記第１層の膜厚をｄ１（ｎｍ）としたとき、
   １．５５≦ｎ１≦１．７６
   １００（ｎｍ）≦ｎ１ｄ１≦３００（ｎｍ）
   なる条件式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の光学素子。
3. ｎｓ＜ｎ１
   １００（ｎｍ）≦ｎ１ｄ１≦１５０（ｎｍ）
   なる条件式を満たすことを特徴とする請求項２に記載の光学素子。
4. ｎ１＜ｎｓ
   ２００（ｎｍ）≦ｎ１ｄ１≦２９０（ｎｍ）
   なる条件式を満たすことを特徴とする請求項２に記載の光学素子。
5. 前記中間層は、前記第２層の上に設けられた第３層を有し、
   波長５５０ｎｍにおける前記第３層の屈折率をｎ３、前記第３層の膜厚をｄ３（ｎｍ）としたとき、
   １．３６≦ｎ３≦１．５５
   ｎ３ｄ３≦１００（ｎｍ）
   なる条件式を満たすことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光学素子。
6. 前記凹凸層は、屈折率が厚さ方向に変化しない均質部を含み、
   前記中間層は、前記第２層の上に設けられた第３層を有し、
   波長５５０ｎｎにおける前記均質部の屈折率をｎａ、前記均質部の厚さをｄａ（ｎｍ）、波長５５０ｎｍにおける前記第３層の屈折率をｎ３、前記第３層の膜厚をｄ３（ｎｍ）としたとき、
   １．３５≦ｎａ≦１．５８
   ７０（ｎｍ）≦ｎ３ｄ３＋ｎａｄａ≦１００（ｎｍ）
   なる条件式を満たすことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の光学素子。
7. 前記凹凸層は、酸化アルミニウムを主成分とする板状結晶を含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の光学素子。
8. 前記凹凸層における凸部のピッチは、４００ｎｍよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の光学素子。
9. 前記凹凸層の厚さは１８０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の光学素子。
10. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の光学素子を有することを特徴とする光学系。
11. 請求項１０に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。