JP2016039300A - 基板貼合せ方法および基板貼合せ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、両面粘着テープを介して補強用の支持板を基板に貼り合わせる基板貼合せ方法であって、
チャンバを構成する一対のハウジングの一方の内部に配備した保持テーブルと他方の内部に配備した保持部のいずれかに基板を保持し、他方に支持板を保持して対向させ、
前記ハウジングの一方の接合部に当該ハウジングの外形よりも大きい両面粘着テープを貼り付ける第1貼付け過程と、
一対の前記ハウジングによって両面粘着テープを挟み込んで接合した後に、当該両面粘着テープの粘着面に近接対向して配置されている基板または支持板を含むいずれかの空間を他方の空間よりも気圧を低くしながら当該両面粘着テープを貼り付ける第2貼付け過程と、
前記第2貼付け過程の後に、保持テーブルまたは保持部のいずれかを相対的に接近するよう移動させて基板または支持板を両面粘着テープに貼り付ける第3貼付け過程と、
前記支持板と基板を貼り合わせた後にチャンバを開放し、支持板および基板の外形に沿って両面粘着テープを切断する切断過程と、
を備えたことを特徴とする。
前記支持板または基板のいずれか一方を保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルと対向して他方の支持板または基板を保持する保持部と、
一対のハウジングの一方に保持テーブルを収納し、他方のハウジングに保持部を収納してなるチャンバと、
前記ハウジングの外形よりも大きい両面粘着テープを供給するテープ供給部と、
前記ハウジングの一方の接合部に両面粘着テープを貼り付けるとともに、両面粘着テープに添設されているセパレータを剥離して回収するテープ貼付け機構と、
前記両面粘着テープにより仕切られたチャンバ内の2つの空間に差圧を生じさせて基板または支持板の一方に両面粘着テープを貼り付けさせる加圧制御部と、
前記保持テーブルおよび保持部を相対的に接近させて両面粘着テープに他方の支持板または基板を貼り付ける駆動機構と、
前記支持板の外形に沿って両面粘着テープを切断する切断機構と、
前記支持板の形状に切り抜いた両面粘着テープを剥離する剥離する剥離機構と、
剥離後の前記両面粘着テープを回収するテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする。
5 … 貼付けユニット
6 … テープ切断機構
7 … チャンバ
8 … 加圧ユニット
9 … 剥離ユニット
10 … テープ回収部
12 … 第1セパレータ回収部
21 … 貼付けローラ
22 … 第2セパレータ回収部
25 … 切断ユニット
33A… 上ハウジング
33B、33C…下ハウジング
37 … 保持テーブル
60 … 制御部
61 … 加圧部材
G … 支持板
T … 両面粘着テープ
W … 半導体ウエハ
Claims (5)
- 両面粘着テープを介して補強用の支持板を基板に貼り合わせる基板貼合せ方法であって、
チャンバを構成する一対のハウジングの一方の内部に配備した保持テーブルと他方の内部に配備した保持部のいずれかに基板を保持し、他方に支持板を保持して対向させ、
前記ハウジングの一方の接合部に当該ハウジングの外形よりも大きい両面粘着テープを貼り付ける第1貼付け過程と、
一対の前記ハウジングによって前記両面粘着テープを挟み込んで接合した後に、当該両面粘着テープの粘着面に近接対向して配置されている基板または支持板を含むいずれかの空間を他方の空間よりも気圧を低くしながら当該両面粘着テープを貼り付ける第2貼付け過程と、
前記第2貼付け過程の後に、保持テーブルまたは保持部のいずれかを相対的に接近するよう移動させて基板または支持板を両面粘着テープに貼り付ける第3貼付け過程と、
前記支持板と基板を貼り合わせた後にチャンバを開放し、支持板および基板の外形に沿って両面粘着テープを切断する切断過程と、
を備えたことを特徴とする基板貼合せ方法。 - 請求項1に記載の基板貼合せ方法において、
前記第1貼付け過程は、貼付け部材によって両面粘着テープをハウジングの接合部に貼り付けながらセパレータを剥離して回収する
ことを特徴とする基板貼合せ方法。 - 請求項1または請求項2に記載の基板貼合せ方法において、
前記第2貼付け過程および第3貼付け過程のいずれかにおいて基板に両面粘着テープを貼り付けるとき、加熱器により両面粘着テープを加熱しながら基板に貼り付ける
ことを特徴とする基板貼合せ方法。 - 両面粘着テープを介して補強用の支持板を基板に貼り合わせる基板貼合せ装置であって、
前記支持板または基板のいずれか一方を保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルと対向して他方の支持板または基板を保持する保持部と、
一対のハウジングの一方に保持テーブルを収納し、他方のハウジングに保持部を収納してなるチャンバと、
前記ハウジングの外形よりも大きい両面粘着テープを供給するテープ供給部と、
前記ハウジングの一方の接合部に両面粘着テープを貼り付けるとともに、両面粘着テープに添設されているセパレータを剥離して回収するテープ貼付け機構と、
前記両面粘着テープにより仕切られたチャンバ内の2つの空間に差圧を生じさせて基板または支持板の一方に両面粘着テープを貼り付けさせる加圧制御部と、
前記保持テーブルおよび保持部を相対的に接近させて両面粘着テープに他方の支持板または基板を貼り付ける駆動機構と、
前記支持板の外形に沿って両面粘着テープを切断する切断機構と、
前記支持板の形状に切り抜いた両面粘着テープを剥離する剥離する剥離機構と、
剥離後の前記両面粘着テープを回収するテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。 - 請求項4に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記保持テーブルまたは保持部の少なくとも一方に加熱器を備えた
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。
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