JP2016004015A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体試験装置100は、直流電源1と、上アームの第1補助素子2とこれに直列接続する第2補助素子3と、誘導性負荷である負荷コイル4と、開閉器である第1〜第3スイッチ5,6,7と、被試験素子DUTと第2補助素子3を配置できる治具8を備える。前記の治具8を半導体試験装置100から容易に着脱できるようにする。
【選択図】 図1
Description
続いて、FWD72の逆回復特性試験について説明する。
2 第1補助素子
3 第2補助素子
4 負荷コイル
5 第1スイッチ
6 第2スイッチ
7 第3スイッチ
8 治具
9,10,11 ゲート駆動回路
12 第1IGBT
13 第1FWD
14 第2IGBT
15 第2FWD
16 第3IGBT
17 第3FWD
21 取り付け台
22 蝶番
23 導電板
24,26 端子
25 ボルト
26 支持板
100 半導体試験装置
Claims (6)
- 直流電源と、
前記直流電源の正極に高電位側が接続する第1補助素子と、
前記直流電源の負極に低電位側が接続する第1被試験素子と、前記第1補助素子の低電位側に高電位側が接続し、前記第1試験素子の高電位側と低電位側が接続する第2補助素子と、を収納する治具と、
前記第1被試験素子の高電位側に一端が接続する誘導性負荷と、
前記誘導性負荷の他端に一端が接続し、他端が前記直流電源の負極に接続する第1開閉器と、
前記誘導性負荷の他端に一端が接続し、他端が前記第1補助素子の低電位側に接続する第2開閉器と、
を備える半導体試験装置であって、
前記治具は、前記半導体試験装置に着脱可能であることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記第1補助素子および前記第2補助素子が、スイッチング素子と、該スイッチング素子に逆並列接続される還流ダイオードで構成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体試験装置。
- 前記スイッチング素子が、絶縁ゲート型トランジスタもしくはバイポーラトランジスタであることを特徴とする請求項2に記載の半導体試験装置。
- 前記治具は、
前記被試験素子の低電位側と電気的に接続し前記直流電源の負極側と電気的に接続するための第1導電板と、
前記被試験素子の高電位側および前記第2補助素子の低電位側と電気的に接続し前記誘導性負荷の一端と電気的に接続するための第2導電板と、
前記被試験素子の高電位側および前記第2補助素子の低電位側と電気的に接続し前記第1補助素子の低電位側と電気的に接続するための第3導電板と、
を備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の半導体試験装置。 - 直流電源と、
前記直流電源の正極に高電位側が接続する第1補助素子と、
前記直流電源の負極に低電位側が接続する第1被試験素子と、前記第1補助素子の低電位側に高電位側が接続し、前記第1試験素子の高電位側と低電位側が接続する第2被試験素子と、を収納する治具と、
前記第1被試験素子の高電位側に一端が接続する誘導性負荷と、
前記誘導性負荷の他端に一端が接続し、他端が前記直流電源の負極に接続する第1開閉器と、
前記誘導性負荷の他端に一端が接続し、他端が前記第1補助素子の低電位側に接続する第2開閉器と、
を備える半導体試験装置であって、
前記治具は、前記半導体試験装置に着脱可能であることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記誘導性負荷の他端に一端が接続し、他端が前記直流電源の正極に接続する第3開閉器を備えることを特徴とする請求項1または5に記載の半導体試験装置。
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