JP2015229789A - Tin powder and method for producing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、スズ粉及びその製造方法に関する。 The present invention relates to tin powder and a method for producing the same.
セラミックコンデンサー外部電極用ペーストや、接合用ハンダペースト、透明電極インク、３Ｄプリンター用溶接ペースト、プリント配線板などの配線導体やビア充填導体用のペースト等に配合される導電性粉末として、従来、銀、銅、スズ等の低融点金属の粉末が使用されている。これらの金属粉末の製造方法としては、アトマイズ法やアークプラズマ法等の乾式法と、湿式還元法とが知られている。 As a conductive powder blended in ceramic capacitor external electrode paste, bonding solder paste, transparent electrode ink, 3D printer welding paste, printed wiring board wiring paste and via filling conductor paste, etc. Low melting point metal powders such as copper and tin are used. As methods for producing these metal powders, dry methods such as an atomizing method and an arc plasma method, and a wet reduction method are known.
例えば特許文献１には、プラズマ法によってスズ微粒子を生成させる技術が記載されている。この方法においては、プラズマ出力と原料供給量又は生成量との比を制御することによって、スズの一次粒子生成部の温度を、平均粒径２μｍの粒子間の融合温度以下に調整している。また、プラズマによるスズの気化を、アルゴンガスと水素ガスとを含む還元性雰囲気で行っている。 For example, Patent Document 1 describes a technique for generating tin fine particles by a plasma method. In this method, the temperature of the primary particle generation unit of tin is adjusted to be equal to or lower than the fusion temperature between particles having an average particle diameter of 2 μm by controlling the ratio between the plasma output and the raw material supply amount or generation amount. Further, vaporization of tin by plasma is performed in a reducing atmosphere containing argon gas and hydrogen gas.
一方、一般的な湿式還元法では、粒径が１μｍ以下であるスズ微粒子の製造が可能である。例えば特許文献２には、二価クロムイオン溶液を還元剤として用い、スズ粒子の凝集を抑制する保護剤の存在下で、スズ化合物溶液を二価クロムイオン溶液に加えてスズを還元析出させることによって、平均粒径がサブミクロン以下のスズ微粒子を製造する方法が提案されている。 On the other hand, in a general wet reduction method, fine tin particles having a particle size of 1 μm or less can be produced. For example, in Patent Document 2, a divalent chromium ion solution is used as a reducing agent, and in the presence of a protective agent that suppresses aggregation of tin particles, the tin compound solution is added to the divalent chromium ion solution to reduce and precipitate tin. Proposed a method for producing tin fine particles having an average particle size of submicron or less.
しかし特許文献１に記載のプラズマ法によってスズ粒子を製造した場合、プラズマによるスズの気化を、アルゴンガスと水素ガスとを含む還元性雰囲気で行っていることに起因して、粗粒のスズ粒子が残留してしまう。したがって、同文献に記載の技術で得られたスズ粉を、微細配線パターンの形成に用いることには難点がある。 However, when tin particles are produced by the plasma method described in Patent Document 1, vaporization of tin by plasma is performed in a reducing atmosphere containing argon gas and hydrogen gas. Will remain. Therefore, there is a difficulty in using the tin powder obtained by the technique described in the document for forming a fine wiring pattern.
特許文献２に記載の技術では、湿式還元時に添加した保護剤が粒子中に残留するため、そのことに起因して良好な導電性が得られないことがある。 In the technique described in Patent Document 2, since the protective agent added during wet reduction remains in the particles, good conductivity may not be obtained due to that.
したがって本発明の課題は、前述した従来技術が有する種々の欠点を解消し得るスズ粉及びその製造方法を提供することにある。 Therefore, the subject of this invention is providing the tin powder which can eliminate the various fault which the prior art mentioned above has, and its manufacturing method.
前記の課題を解決すべく本発明者は鋭意検討した結果、特定の条件下でスズ粉末をプラズマ法に付すことで、適度な粒径を有し、耐酸化性が高く、導電ペーストにしたときの印刷特性が良好なスズ粉が得られることを知見した。 As a result of diligent investigation by the present inventors to solve the above-mentioned problems, when a tin powder is subjected to a plasma method under specific conditions, it has an appropriate particle size, high oxidation resistance, and a conductive paste. It was found that tin powder with good printing characteristics can be obtained.
本発明は前記の知見に基づきなされたものであり、スズ又はスズ基合金の粒子の集合体からなり、一次粒子径ＤＳＥＭが０．１μｍ以上０．８μｍ以下であり、粒子表面及びその近傍に窒素を含有するスズ粉を提供することによって前記の課題を解決したものである。 The present invention has been made on the basis of the above findings, and is composed of an aggregate of tin or tin-based alloy particles. The primary particle diameter DSEM is 0.1 μm or more and 0.8 μm or less. The above-mentioned problems are solved by providing tin powder containing nitrogen.
また本発明は、スズ又はスズ基合金の粒子の集合体からなり、一次粒子径ＤＳＥＭが０．１μｍ以上０．８μｍ以下であり、該粒子が単結晶からなるスズ粉を提供するものである。 Further, the present invention provides a tin powder comprising an aggregate of tin or tin-based alloy particles, having a primary particle diameter DSEM of 0.1 μm or more and 0.8 μm or less, and wherein the particles are formed of a single crystal. .
更に本発明は、前記のスズ粉の好適な製造方法として、スズ母粉、スズ母粉及び合金成分の母粉、又はスズ基合金の母粉を熱プラズマ法に付して、これらの母粉からスズ又はスズ基合金の粒子の集合体からなるスズ粉を製造する工程を有し、 層流状態のプラズマフレームを用いて前記の母粉を熱プラズマ法に付す、スズ粉の製造方法を提供するものである。 Furthermore, the present invention provides a method for producing the above tin powder by subjecting a tin mother powder, a tin mother powder and an alloy component mother powder, or a tin-based alloy mother powder to a thermal plasma method. Providing a method for producing tin powder, comprising the step of producing tin powder comprising aggregates of tin or tin-based alloy particles from the above, and subjecting the mother powder to a thermal plasma method using a laminar flow plasma flame To do.
本発明のスズ粉は、適度な粒径を有し、耐酸化性が高く、導電ペーストにしたときの印刷特性が良好なものである。 The tin powder of the present invention has an appropriate particle size, high oxidation resistance, and good printing characteristics when formed into a conductive paste.
以下本発明を、その好ましい実施形態に基づき説明する。本発明のスズ粉は、金属スズの粒子の集合体又はスズ基合金の粒子の集合体からなる。スズ基合金としては、例えばスズ−ビスマス合金やスズ−銀−銅合金などが挙げられるが、これらに限られない。以下の説明では、簡便のため、特に断らない限り、金属スズの粒子及びスズ基合金の粒子を総称して、単に「スズ粒子」という。なお、本発明のスズ粉を構成する粒子の集合体には、本発明の効果を損なわない範囲において、スズ粒子以外の粒子が含まれていても差し支えない。 Hereinafter, the present invention will be described based on preferred embodiments thereof. The tin powder of the present invention comprises an aggregate of metallic tin particles or an aggregate of tin-based alloy particles. Examples of the tin-based alloy include, but are not limited to, a tin-bismuth alloy and a tin-silver-copper alloy. In the following description, for the sake of simplicity, unless otherwise specified, the metal tin particles and the tin-based alloy particles are collectively referred to simply as “tin particles”. The aggregate of particles constituting the tin powder of the present invention may contain particles other than tin particles as long as the effects of the present invention are not impaired.
本発明のスズ粉は、走査型電子顕微鏡（以下「ＳＥＭ」という。）観察により測定された一次粒子径ＤＳＥＭが０．１μｍ以上０．８μｍ以下であり、好ましくは０．１μｍ以上０．６μｍ以下であり、更に好ましくは０．１μｍ以上０．５μｍ以下である。一次粒子径ＤＳＥＭがこの範囲内であることによって、本発明のスズ粉は適度な粒径を有することになり、該スズ粉を配合してなる導電ペーストは、微細配線パターンの形成に好適なものとなる。また、この範囲の粒径を有するスズ粒子は比較的表面活性が高いので融点が低くなる。したがって本発明のスズ粉を金属フィラーとして配合した導電ペースト等の導電性組成物は、低温焼結性を発現するものとなる。 The tin powder of the present invention has a primary particle diameter DSEM measured by observation with a scanning electron microscope (hereinafter referred to as “SEM”) of 0.1 μm or more and 0.8 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 0.6 μm. It is below, More preferably, they are 0.1 micrometer or more and 0.5 micrometer or less. When the primary particle size DSEM is within this range, the tin powder of the present invention has an appropriate particle size, and the conductive paste formed by blending the tin powder is suitable for forming a fine wiring pattern. It will be a thing. In addition, tin particles having a particle size in this range have a relatively high surface activity and thus a low melting point. Accordingly, a conductive composition such as a conductive paste in which the tin powder of the present invention is blended as a metal filler exhibits low-temperature sinterability.
一次粒子径ＤＳＥＭは、スズ粉を２００００倍以上５００００倍以下程度にＳＥＭで拡大観察し、５００個以上の粒子の円面積相当径の平均値を算出することで求める。算出には、例えば、旭エンジニアリング株式会社製のＩＰ−１０００ＰＣを用いてもよい。 The primary particle diameter DSEM is obtained by observing the tin powder with a SEM at a magnification of 20000 times or more and 50000 times or less, and calculating the average value of the equivalent circular area diameters of 500 or more particles. For the calculation, for example, IP-1000PC manufactured by Asahi Engineering Co., Ltd. may be used.
本発明のスズ粉は、一次粒子径ＤＳＥＭが上述の範囲内であることのほか、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による累積体積５０容量％における体積累積粒径Ｄ５０が好ましくは０．１μｍ以上０．８μｍ以下であり、更に好ましくは０．１μｍ以上０．６μｍ以下であり、一層好ましくは０．１μｍ以上０．５μｍ以下である。粒径Ｄ５０がこの範囲内であることによって、本発明のスズ粉は一層適度な粒径を有することになり、該スズ粉を配合してなる導電ペーストは、微細配線パターンの形成に一層好適なものとなる。また、融点が一層低くなる。 In the tin powder of the present invention, the primary particle diameter D SEM is within the above-mentioned range, and the volume cumulative particle diameter D 50 at a cumulative volume of 50% by volume by the laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method is preferably 0.1 μm. The thickness is 0.8 μm or less, more preferably 0.1 μm or more and 0.6 μm or less, and still more preferably 0.1 μm or more and 0.5 μm or less. By the particle diameter D 50 is within this range, tin powder of the present invention will have a more moderate particle size, conductive paste obtained by mixing the tin powder is more suitable for forming fine wiring patterns It will be something. In addition, the melting point is further lowered.
本発明のスズ粉は、上述の粒径Ｄ５０を有することに加えて、粗粒の含有割合が低いものであることが好ましい。具体的には、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による累積体積９０容量％における体積累積粒径Ｄ９０と前記のＤ５０との比であるＤ９０／Ｄ５０の値が１．５以上２．５以下であることが好ましく、１．８以上２．２以下であることが更に好ましく、１．９以上２．１以下であることが一層好ましい。Ｄ９０／Ｄ５０の値がこの範囲であることによって、本発明のスズ粉を配合してなる導電ペーストは、微細配線パターンの形成に更に一層好適なものとなる。Ｄ９０そのものの値については、好ましくは０．３μｍ以上０．９μｍ以下であり、更に好ましくは０．３μｍ以上０．８μｍ以下であり、一層好ましくは０．４μｍ以上０．７５μｍ以下である。 Tin powder of the present invention, in addition to having a particle size D 50 of the above, it is preferable that the content ratio of the coarse particles is low. Specifically, and D 90 / D 50 is the ratio of the D 50 of the cumulative volume particle diameter D 90 in the cumulative volume 90% by volume by laser diffraction scattering particle size distribution measuring method of 1.5 or more 2. It is preferably 5 or less, more preferably 1.8 or more and 2.2 or less, and still more preferably 1.9 or more and 2.1 or less. When the value of D 90 / D 50 is within this range, the conductive paste formed by blending the tin powder of the present invention becomes even more suitable for forming a fine wiring pattern. The D 90 of itself, preferably at 0.3μm or 0.9μm or less, more preferably 0.3μm or 0.8μm or less, more preferably 0.4μm or 0.75μm or less.
上述のＤ５０及びＤ９０の測定は、例えば以下の方法で行うことができる。０．１ｇの測定試料を、ヘキサメタリン酸ナトリウムの２０ｍｇ／Ｌ水溶液１００ｍｌと混合し、超音波ホモジナイザ（日本精機製作所製 ＵＳ−３００Ｔ）で１０分間分散させる。その後、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置、例えば堀場製作所製ＬＡ−９２０を用いて粒度分布を測定する。 Measurements of the above D 50 and D 90 can be carried out, for example, by the following method. 0.1 g of a measurement sample is mixed with 100 ml of a 20 mg / L aqueous solution of sodium hexametaphosphate, and dispersed with an ultrasonic homogenizer (US-300T manufactured by Nippon Seiki Seisakusho) for 10 minutes. Thereafter, the particle size distribution is measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, for example, LA-920 manufactured by Horiba, Ltd.
本発明のスズ粉は、これを構成するスズ粒子が、粒子の表面及びその近傍の部位に窒素を含有している点にも特徴の一つを有する。スズ粒子における窒素の存在の有無は、Ｘ線光電子分光法（以下「ＥＳＣＡ」とも言う。）によって確認することができる。表面近傍の部位とは、ＥＳＣＡによって検出可能な深さまでの部位のことであり、一般には概ね１０ｎｍ程度までである。スズ粒子の表面及びその近傍の部位に窒素が存在していることで、スズ粒子の分散性が向上することが本発明者の検討の結果判明した。また、スズ粒子の耐酸化性が向上することも判明した。スズ粒子の耐酸化性の向上は、スズ粒子中のスズの結晶子径の増大に起因しているものと本発明者は考えている。更に、窒素が存在していることで、本発明のスズ粉を溶剤と混合して導電ペースト等の導電性組成物を調製するときに、スズ粒子の溶剤へのなじみが良好になることも判明した。その結果、該導電性組成物を用いて配線パターン等を印刷によって形成するときの印刷性が良好になる。ＥＳＣＡの測定には、例えばアルバック・ファイ社製ＸＰＳ Ｑｕａｎｔｕｍ２０００を用いることができる。測定条件は、Ｘ線入射エネルギー４０Ｗ、ビーム径２００μｍとして、ナロースキャンによる元素の定量分析を行った。 The tin powder of the present invention is also characterized in that the tin particles constituting it contain nitrogen at the surface of the particles and in the vicinity thereof. The presence or absence of nitrogen in the tin particles can be confirmed by X-ray photoelectron spectroscopy (hereinafter also referred to as “ESCA”). The site in the vicinity of the surface is a site up to a depth detectable by ESCA, and is generally up to about 10 nm. As a result of the inventor's investigation, it has been found that the dispersibility of tin particles is improved by the presence of nitrogen at the surface of the tin particles and in the vicinity thereof. It has also been found that the oxidation resistance of tin particles is improved. The present inventor believes that the improvement in oxidation resistance of the tin particles is caused by the increase in the crystallite diameter of tin in the tin particles. Furthermore, it has been found that the presence of nitrogen improves the familiarity of the tin particles with the solvent when preparing the conductive composition such as the conductive paste by mixing the tin powder of the present invention with the solvent. did. As a result, the printability when a wiring pattern or the like is formed by printing using the conductive composition is improved. For the measurement of ESCA, for example, XPS Quantum 2000 manufactured by ULVAC-PHI can be used. The measurement conditions were an X-ray incident energy of 40 W and a beam diameter of 200 μm, and quantitative analysis of elements by narrow scan was performed.
スズ粒子に含まれる窒素の含有量は、上述したＥＳＣＡによって測定することができる。ＥＳＣＡによって測定された窒素の含有量は、同じくＥＳＣＡによって測定されたスズの量に対して０．６ａｔｍ％以上１０ａｔｍ％以下であることが好ましく、０．７ａｔｍ％以上８．０ａｔｍ％以下であることが更に好ましく、１．０ａｔｍ％以上５．０ａｔｍ％以下であることが一層好ましい。窒素の含有量をこの範囲内に設定することで、スズ粉の導電性を損なうことなく、スズ粒子の分散性や耐酸化性が一層向上する。また、導電ペーストなどの導電性組成物の印刷適性が一層向上する。 The content of nitrogen contained in the tin particles can be measured by the above-described ESCA. The nitrogen content measured by ESCA is preferably 0.6 atm% or more and 10 atm% or less, and 0.7 atm% or more and 8.0 atm% or less with respect to the tin content similarly measured by ESCA. Is more preferably 1.0 atm% or more and 5.0 atm% or less. By setting the nitrogen content within this range, the dispersibility and oxidation resistance of the tin particles are further improved without impairing the conductivity of the tin powder. In addition, the printability of a conductive composition such as a conductive paste is further improved.
スズ粒子中に含まれている窒素がどのような形態で存在しているかは、現時点では分明ではない。本発明者がエネルギー分散型Ｘ線分光法等の分析方法によって解析した結果、窒素は硝酸根の状態でスズと化合物を形成しているのではないかと推測している。しかし、このことは本発明の範囲を制限するものではない。 At this time, it is not clear what form the nitrogen contained in the tin particles exists. As a result of analysis by the present inventor using an analysis method such as energy dispersive X-ray spectroscopy, it is presumed that nitrogen forms a compound with tin in a nitrate radical state. However, this does not limit the scope of the present invention.
上述のとおり、本発明のスズ粉は、これを構成するスズ粒子中のスズ（スズ基合金粒子の場合はスズ基合金）の結晶子径が大きいものである。具体的には、本発明のスズ粉は、これを構成する粒子の表面及びその近傍の部位に窒素を含有していることに加えて、又はそれに代えて、スズ粉を構成するスズ粒子は単結晶からなることが好ましい。この単結晶は金属スズ又はスズ基合金からなるものである。単結晶のスズ粒子からなるスズ粉は、結晶粒界が存在しないことに起因して、スズ粒子の耐酸化性が向上する。この観点から、スズ粒子は、粒子の表面及びその近傍の部位に窒素を含有しており、かつ単結晶であることが特に好ましい。単結晶である限りスズ（又はスズ基合金）の結晶系に特に制限はない。後述する好適な方法でスズ粉を製造すると、β−Ｓｎの単結晶が得られやすい。なお、スズ粒子が単結晶からなるとは、スズ粒子の内部構造としてスズ（又はスズ基合金）の単結晶相を有するという意味であり、スズ粒子の最表面が不可避的に酸化されていたり、水酸化物になっていたりすることは許容される。 As described above, the tin powder of the present invention has a large crystallite diameter of tin (tin-based alloy in the case of tin-based alloy particles) in the tin particles constituting the tin powder. Specifically, the tin powder of the present invention has a single tin particle constituting the tin powder in addition to or instead of containing nitrogen on the surface of the particle constituting the tin powder and in the vicinity thereof. It preferably consists of crystals. This single crystal is made of metallic tin or a tin-based alloy. Tin powder made of single crystal tin particles improves the oxidation resistance of tin particles due to the absence of crystal grain boundaries. From this point of view, it is particularly preferable that the tin particles contain nitrogen at the surface of the particles and in the vicinity thereof and are single crystals. As long as it is a single crystal, the crystal system of tin (or tin-based alloy) is not particularly limited. When tin powder is produced by a suitable method described later, a single crystal of β-Sn is easily obtained. The term “tin particles consist of a single crystal” means that the internal structure of the tin particles has a single crystal phase of tin (or a tin-based alloy), and the outermost surface of the tin particles is inevitably oxidized, It is allowed to be an oxide.
スズ粒子が、その表面及びその近傍の部位に窒素を含有しており、かつ単結晶である場合には、粒子表面及びその近傍の部位は、スズ及び窒素を含む化合物の単結晶相になっていることが好ましく、該部位よりも粒子の内部域は、スズの単結晶相になっていることが好ましい。スズ粒子が単結晶であるか否かは、粒子を透過型電子顕微鏡（以下「ＴＥＭ」という。）観察したときの電子回折パターンから判断することができる。この電子回折パターンとして二次元点配列のネットパターンが観察される場合には、粒子は単結晶であると判断できる。 When the tin particle contains nitrogen at the surface and the vicinity thereof and is a single crystal, the particle surface and the vicinity thereof become a single crystal phase of a compound containing tin and nitrogen. It is preferable that the inner region of the particle is a single crystal phase of tin rather than the portion. Whether or not the tin particles are single crystals can be determined from an electron diffraction pattern when the particles are observed with a transmission electron microscope (hereinafter referred to as “TEM”). When a two-dimensional dot array net pattern is observed as the electron diffraction pattern, it can be determined that the particle is a single crystal.
本発明のスズ粉は、ＢＥＴ比表面積から換算された粒径ＤＢＥＴの値にも特徴の一つを有する。具体的には、粒径ＤＢＥＴの値は０．０５μｍ以上０．４μｍ以下であることが好ましく、０．０６μｍ以上０．３μｍ以下であることが更に好ましく、０．０８μｍ以上０．２５μｍ以下であることが一層好ましい。特に、粒径ＤＢＥＴと粒径Ｄ５０との比であるＤＢＥＴ／Ｄ５０の値が１以下、特に０．７以下、とりわけ０．６以下であることが、導電ペーストなどの導電性組成物の印刷適性が一層向上する点から好ましい。 The tin powder of the present invention has one of the characteristics in the value of the particle size D BET converted from the BET specific surface area. Specifically, the value of the particle diameter D BET is preferably 0.05 μm or more and 0.4 μm or less, more preferably 0.06 μm or more and 0.3 μm or less, and 0.08 μm or more and 0.25 μm or less. More preferably it is. In particular, the value of D BET / D 50 , which is the ratio of the particle size D BET to the particle size D 50 , is 1 or less, particularly 0.7 or less, and particularly 0.6 or less. This is preferable from the viewpoint of further improving the printability of the product.
粒径ＤＢＥＴに関連して、スズ粉のＢＥＴ比表面積は、１ｍ２／ｇ以上１０ｍ２／ｇ以下であることが好ましく、２ｍ２／ｇ以上１０ｍ２／ｇ以下であることが更に好ましく、３ｍ２／ｇ以上９ｍ２／ｇ以下であることが一層好ましい。ＢＥＴ比表面積は、吸着ガスである窒素を３０容量％、キャリアガスであるヘリウムを７０容量％含有する窒素−ヘリウム混合ガスを用いて、ＢＥＴ比表面積測定装置（（株）島津製作所製、マイクロメリィックス フローソーブII２３００）により、ＪＩＳ Ｒ １６２６「ファインセラミック粉体の気体吸着ＢＥＴ法による比表面積測定方法」の６．２流動法の（３．５）一点法に従って測定することができる。 In relation to the particle size D BET, BET specific surface area of the tin powder is preferably from 1 m 2 / g or more 10 m 2 / g, more preferably at most 2m 2 / g or more 10 m 2 / g, 3m is more preferably not more than 2 / g or more 9m 2 / g. The BET specific surface area was measured using a BET specific surface area measurement device (manufactured by Shimadzu Corp. In accordance with (3.5) single point method of 6.2 flow method of JIS R 1626 “Method for measuring specific surface area of fine ceramic powder by gas adsorption BET method”.
先に述べたとおり、本発明のスズ粉は、スズ粒子が窒素を含有していることで、耐酸化性が高いものである。これに加えて、又はこれに代えて、本発明のスズ粉は、スズ粒子が単結晶であることで、耐酸化性が高いものである。換言すれば、本発明のスズ粉は、スズ粒子表面に存在する酸素の含有量が低いものである。スズ粒子表面に存在する酸素の含有量は、窒素の含有量と同様に、ＥＳＣＡによって測定することができる。ＥＳＣＡによって測定された酸素の含有量は、同じくＥＳＣＡによって測定されたスズの量に対して８０ａｔｍ％以上２３０ａｔｍ％以下であることが好ましく、１００ａｔｍ％以上２００ａｔｍ％以下であることが更に好ましく、１５０ａｔｍ％以上１９０ａｔｍ％以下であることが一層好ましい。 As described above, the tin powder of the present invention has high oxidation resistance because the tin particles contain nitrogen. In addition to or instead of this, the tin powder of the present invention has high oxidation resistance because the tin particles are single crystals. In other words, the tin powder of the present invention has a low content of oxygen present on the surface of the tin particles. The content of oxygen present on the surface of the tin particles can be measured by ESCA in the same manner as the content of nitrogen. The oxygen content measured by ESCA is preferably 80 atm% or more and 230 atm% or less, more preferably 100 atm% or more and 200 atm% or less with respect to the amount of tin similarly measured by ESCA, and 150 atm%. More preferably, it is 190 atm% or less.
本発明のスズ粉を構成するスズ粒子の形状に特に制限はなく、例えば球形状、フレーク状、多面体状など種々の形状を採用することができる。スズ粒子の分散性を高める観点からは、球形状又は略球形状であることが好ましい。例えば、本発明のスズ粉を電子顕微鏡（例えば８５０００倍）で観察したときに、多くのスズ粒子が真球形状又は略真球形状を呈していることが好ましい。具体的には、スズ粉を構成するスズ粒子の５０個数％以上、特に８０個数％以上、とりわけ９０個数％以上、更に９５個数％以上（１００個数％含む）が球形状又は略球形状であることが好ましい。このように、真球形状又は略真球形状のスズ粒子を含有するスズ粉であれば、特に優れた分散性を得ることができる。したがって、例えばフレーク粉と混合することにより、緻密性をより一層高めることができる。「真球形状又は略真球形状のスズ粒子を含有する」とは、スズ粉を構成するスズ粒子のうちの少なくとも６０個数％以上、中でも８０個数％以上、その中でも９０個数％以上（１００個数％を含む）が、真球形状又は略真球形状のスズ粒子が占めるという意味である。また、「略真球形状」とは、完全な真球形状ではないが、球状として認識可能な形状を意味するものである。 There is no restriction | limiting in particular in the shape of the tin particle which comprises the tin powder of this invention, For example, various shapes, such as spherical shape, flake shape, and polyhedron shape, are employable. From the viewpoint of enhancing the dispersibility of tin particles, a spherical shape or a substantially spherical shape is preferable. For example, when the tin powder of the present invention is observed with an electron microscope (for example, 85,000 times), it is preferable that many tin particles have a true spherical shape or a substantially true spherical shape. Specifically, 50 number% or more, especially 80 number% or more, especially 90 number% or more, and further 95 number% or more (including 100 number%) of the tin particles constituting the tin powder are spherical or substantially spherical. It is preferable. Thus, if it is tin powder containing a true spherical shape or a substantially spherical shape tin particle, the especially outstanding dispersibility can be obtained. Therefore, for example, by mixing with flake powder, the denseness can be further enhanced. “Containing true or substantially spherical tin particles” means at least 60% by number of tin particles constituting the tin powder, more than 80% by number, and more than 90% by number (100%). Means that the tin particles having a true spherical shape or a substantially true spherical shape occupy. The “substantially true sphere shape” means a shape that is not a complete true sphere shape, but can be recognized as a sphere.
次に、本発明のスズ粉の好適な製造方法について説明する。本製造方法は、スズ母粉、スズ母粉及び合金成分の母粉、又はスズ基合金の母粉（以下、これらを総称して単に「母粉」と言う。）をＤＣプラズマ法に付して、これらの母粉からスズ又はスズ基合金の粒子の集合体からなるスズ粉を製造する工程を有する。そして、層流状態のプラズマフレームを用いて前記の母粉をＤＣプラズマ法に付す。プラズマ法には、ＤＣプラズマ法のほかにＲＦプラズマ法などが知られているが、本発明のスズ粉の製造にはＤＣプラズマ法を用いることが非常に有利であることが本発明者の検討の結果判明した。以下、この製造方法について詳述する。 Next, the suitable manufacturing method of the tin powder of this invention is demonstrated. In this production method, tin mother powder, tin mother powder and alloy component mother powder, or tin-based alloy mother powder (hereinafter collectively referred to simply as “mother powder”) are subjected to the DC plasma method. And a step of producing a tin powder comprising an aggregate of tin or tin-based alloy particles from these mother powders. Then, the mother powder is subjected to a DC plasma method using a laminar plasma flame. As the plasma method, the RF plasma method is known in addition to the DC plasma method, but the inventors have studied that it is very advantageous to use the DC plasma method for the production of the tin powder of the present invention. As a result. Hereinafter, this manufacturing method will be described in detail.
ＤＣプラズマ法を行うには、公知のＤＣプラズマ装置を使用することができる。そして、ＤＣプラズマ装置に母粉を供給して、該母粉を加熱噴射するときに、プラズマフレームが層流状態で太く長くなるようにプラズマの発生条件を調整することが好ましい。こうすることで、単結晶のスズ粒子を首尾よく形成することができる。また、粗粒の母粉が残存しにくくなる。 To perform the DC plasma method, a known DC plasma apparatus can be used. Then, it is preferable to adjust the plasma generation conditions so that the plasma flame becomes thick and long in a laminar flow state when the mother powder is supplied to the DC plasma apparatus and heated. By doing so, single-crystal tin particles can be successfully formed. In addition, coarse mother powder is less likely to remain.
プラズマフレームが層流状態であるか否かは、プラズマフレームを、フレーム幅が最も太く観察される側面から観察したときに、フレーム幅に対するフレーム長さの縦横比（以下、フレームアスペクト比）が３以上であるか否かによって判断することができる。具体的には、フレームアスペクト比が３以上であれば層流状態と判断することができ、３未満であれば乱流状態と判断することができる。 Whether or not the plasma frame is in a laminar flow state is determined by the fact that the aspect ratio of the frame length to the frame width (hereinafter referred to as the frame aspect ratio) is 3 when the plasma frame is observed from the side where the frame width is observed to be the thickest. It can be determined by whether or not this is the case. Specifically, if the frame aspect ratio is 3 or more, it can be determined as a laminar flow state, and if it is less than 3, it can be determined as a turbulent flow state.
本製造方法においては、プラズマガスとしてアルゴンと窒素の混合ガスを使用することも好ましい。これによって、スズ粒子の表面及びその近傍の部位に窒素を首尾よく含有させ得る。またスズ粒子が一層単結晶になりやすくなる。 In this production method, it is also preferable to use a mixed gas of argon and nitrogen as the plasma gas. Thereby, nitrogen can be successfully contained in the surface of the tin particle and in the vicinity thereof. In addition, the tin particles are more likely to become single crystals.
ＤＣプラズマ装置としては、例えば図１に示すとおり、粉末供給装置２、チャンバ３、ＤＣプラズマトーチ４、回収ポット５、粉末供給ノズル６、ガス供給装置７及び圧力調整装置８を備えたプラズマ装置１を用いることができる。この装置においては、母粉は、粉末供給装置２から粉末供給ノズル６を通してＤＣプラズマトーチ４内部を通過する。プラズマトーチ４には、アルゴン、又はアルゴンと窒素の混合ガスが、ガス供給装置７から供給されプラズマフレームが発生する。また、ＤＣプラズマトーチ４で発生させたプラズマフレーム内で、原料粉末はガス化され、チャンバ３に放出された後、冷却され微粉末となって回収ポット５内に蓄積回収される。チャンバ３の内部は、圧力調整装置８によって粉末供給ノズル６よりも相対的に陰圧が保持されるように制御され、プラズマフレームを安定して発生する構造をとっている。なお図１に示す装置は、これはＤＣプラズマ装置の一例であって、本発明のスズ粉の製造はこの装置に限定されるものではない。 As the DC plasma apparatus, for example, as shown in FIG. 1, the plasma apparatus 1 including a powder supply apparatus 2, a chamber 3, a DC plasma torch 4, a recovery pot 5, a powder supply nozzle 6, a gas supply apparatus 7, and a pressure adjustment apparatus 8. Can be used. In this apparatus, the mother powder passes through the DC plasma torch 4 from the powder supply device 2 through the powder supply nozzle 6. The plasma torch 4 is supplied with argon or a mixed gas of argon and nitrogen from the gas supply device 7 to generate a plasma flame. Further, in the plasma flame generated by the DC plasma torch 4, the raw material powder is gasified, discharged into the chamber 3, cooled, and then accumulated and collected in the collection pot 5 as a fine powder. The interior of the chamber 3 is controlled by the pressure adjusting device 8 so that a negative pressure is maintained relative to the powder supply nozzle 6 and has a structure in which a plasma flame is stably generated. The apparatus shown in FIG. 1 is an example of a DC plasma apparatus, and the production of the tin powder of the present invention is not limited to this apparatus.
母粉は、特に限定されるものではない。母粉のプラズマ噴射性とコストの観点から、母粉の粒径Ｄ５０は３．０μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましく、中でも５．０μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましい。また、母粉の形状に特に制限はなく、例えば樹枝状、棒状、フレーク状、キュービック状、又は球状ないし略球状などが挙げられる。プラズマトーチへの供給効率を安定化する観点からは、球状ないし略球状の母粉を用いることが好ましい。スズ基合金からなる粒子を製造する場合には、スズ母粉及び合金成分の母粉の双方をプラズマ装置に供給すればよい。この場合、スズ母粉と合金成分の母粉との供給量の比率は、目的とするスズ基合金の組成と同じとなるようにすることが有利である。スズ母粉及び合金成分の母粉の双方を供給することに代えて、目的とするスズ基合金と同組成のスズ基合金の母粉をプラズマ装置に供給することもできる。 The mother powder is not particularly limited. From the viewpoint of plasma jetting property and cost of the mother powder, the particle diameter D 50 of the mother powder is preferably 3.0 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 5.0 μm or more and 15 μm or less. Moreover, there is no restriction | limiting in particular in the shape of mother powder, For example, dendritic shape, rod shape, flake shape, cubic shape, spherical shape or substantially spherical shape etc. are mentioned. From the viewpoint of stabilizing the supply efficiency to the plasma torch, it is preferable to use a spherical or substantially spherical mother powder. When producing particles made of a tin-based alloy, both the tin mother powder and the alloy component mother powder may be supplied to the plasma apparatus. In this case, it is advantageous to make the ratio of the supply amount of the tin mother powder and the alloy component mother powder the same as the composition of the target tin-based alloy. Instead of supplying both the tin mother powder and the alloy component mother powder, a tin-based alloy mother powder having the same composition as the target tin-based alloy may be supplied to the plasma apparatus.
ＤＣプラズマ装置を使用して母粉を加熱噴射する場合、プラズマガスとして、アルゴン、又はアルゴンと窒素の混合ガスを使用して、上述のとおり、プラズマフレームが層流状態で太く長くなるように調整することが好ましい。このように調整すれば、投入した母粉はプラズマ炎中で瞬時に蒸発気化し、プラズマフレーム内で十分なエネルギーを供給することができるため、プラズマ尾炎部に向かって核形成、凝集及び凝縮が生じて微粒子、特にサブミクロンオーダーの微粒子を首尾よく形成することができる。 When the mother powder is heated and sprayed using a DC plasma device, argon or a mixed gas of argon and nitrogen is used as the plasma gas, and as described above, the plasma flame is adjusted to be thick and long in a laminar flow state. It is preferable to do. If adjusted in this way, the injected mother powder can be instantly evaporated in the plasma flame, and sufficient energy can be supplied in the plasma flame. As a result, fine particles, particularly fine particles of submicron order, can be successfully formed.
プラズマフレームが層流状態で太く長くなるようにするためには、プラズマ出力とガス流量を調整することが有利であることが本発明者の検討の結果判明した。詳細には、直流熱プラズマ装置のプラズマ出力を２ｋＷ以上３０ｋＷ以下に設定することが好ましく、４ｋＷ以上１５ｋＷ以下に設定することが更に好ましい。また、プラズマガスのガス流量に関しては、０．１Ｌ／ｍｉｎ以上２０Ｌ／ｍｉｎ以下に設定することが好ましく、０．５Ｌ／ｍｉｎ以上１８Ｌ／ｍｉｎ以下に設定することが更に好ましい。 In order to make the plasma flame thicker and longer in a laminar flow state, it has been found as a result of examination by the present inventors that it is advantageous to adjust the plasma output and the gas flow rate. Specifically, the plasma output of the direct-current thermal plasma apparatus is preferably set to 2 kW to 30 kW, more preferably 4 kW to 15 kW. Further, the gas flow rate of the plasma gas is preferably set to 0.1 L / min or more and 20 L / min or less, and more preferably set to 0.5 L / min or more and 18 L / min or less.
プラズマフレームを層流状態に安定的に保つためには、上述の範囲のプラズマ出力及びガス流量を保ちつつ、プラズマ出力（Ａ）に対する、アルゴンガス流量（Ｂ）と窒素ガス流量（Ｃ）との和の比である計算式（Ｂ＋Ｃ）／Ａで算出した値（単位：Ｌ／（ｍｉｎ・ｋＷ））を、０．５０以上２．００以下に設定することが好ましい。特に（Ｂ＋Ｃ）／Ａの値を０．７０以上１．７０以下、とりわけ０．７５以上１．５０以下に設定すると、母粉のガス化に必要な流速を確実に得ることができ、またプラズマフレームを層流で安定した状態に保持することができるので好ましい。ガスとしてアルゴンのみを用いる場合には、Ｂ／Ａの値を上述の範囲に設定することが好ましい。 In order to stably maintain the plasma flame in a laminar flow state, the argon gas flow rate (B) and the nitrogen gas flow rate (C) with respect to the plasma output (A) are maintained while maintaining the plasma output and gas flow rate in the above range. The value (unit: L / (min · kW)) calculated by the calculation formula (B + C) / A, which is the ratio of the sum, is preferably set to 0.50 or more and 2.00 or less. In particular, when the value of (B + C) / A is set to 0.70 or more and 1.70 or less, particularly 0.75 or more and 1.50 or less, the flow rate necessary for gasification of the mother powder can be obtained with certainty, and plasma can be obtained. This is preferable because the frame can be maintained in a stable state in a laminar flow. When only argon is used as the gas, it is preferable to set the B / A value within the above range.
熱プラズマを発生させる動作ガスとしてのプラズマガスは、上述のようにアルゴン、又はアルゴンと窒素の混合ガスを使用すること好ましい。特に、アルゴンガスと窒素ガスとを混合したガスを使用すると、窒素（２原子分子）ガスによって、一層大きな振動エネルギー（熱エネルギー）を母粉に付与することができ、そのことに起因して凝集状態を均一にできるので、粗粒が少なく、粒度分布がよりシャープな粒子を得ることができる。尤も、窒素ガスの含有量が過度に多いと、プラズマフレームが減退してしまう傾向にある。この観点から、ブラズマガスにおけるアルゴンガスと窒素ガスの割合は、アルゴンガス：窒素ガスの流量比で９９：１から１０：９０までの範囲であることが好ましく、９５：５から６０：４０までの範囲であることが更に好ましく、９５：５から８０：２０までの範囲であることが一層好ましい。また、目的とするスズ粉の粒度分布をシャープにする観点からは、アルゴンガスと窒素ガスの割合は、流量比で９９：１から５０：５０までの範囲、特に９５：５から５０：５０までの範囲のように、窒素ガスよりもアルゴンガスの流量の方が多い比率内で調整すること好ましい。 As described above, it is preferable to use argon or a mixed gas of argon and nitrogen as the plasma gas as the working gas for generating the thermal plasma. In particular, when a gas in which argon gas and nitrogen gas are mixed is used, larger vibration energy (thermal energy) can be imparted to the mother powder by the nitrogen (diatomic molecule) gas, which causes aggregation. Since the state can be made uniform, particles with less coarse particles and a sharper particle size distribution can be obtained. However, if the content of nitrogen gas is excessively large, the plasma flame tends to decline. From this viewpoint, the ratio of argon gas to nitrogen gas in the plasma gas is preferably in the range of 99: 1 to 10:90 in terms of the flow ratio of argon gas: nitrogen gas, and in the range of 95: 5 to 60:40. More preferably, it is more preferably in the range of 95: 5 to 80:20. In addition, from the viewpoint of sharpening the particle size distribution of the target tin powder, the ratio of argon gas to nitrogen gas is in the range of 99: 1 to 50:50, particularly 95: 5 to 50:50 in terms of flow ratio. It is preferable to adjust within a ratio in which the flow rate of the argon gas is larger than that of the nitrogen gas, as in this range.
このようにして得られたスズ粉は、そのままでも用いることができるが、コンタミネーションとして存在する粗大凝集粒子の除去を行うために分級することが望ましい。分級は、適切な分級装置を用いて、目的とする粒度が中心となるように、粗粉や微粉を分離するようにすればよい。 The tin powder thus obtained can be used as it is, but it is desirable to classify it in order to remove coarse agglomerated particles present as contamination. The classification may be performed by separating coarse powder and fine powder using an appropriate classification device so that the target particle size is the center.
本発明のスズ粉は、それ単独で、あるいは他のスズ粉又は他の金属粉と混合されて、導電性組成物に配合される金属フィラーとして好適に用いられる。導電性組成物としては、例えば導電ペーストや導電インクなどが挙げられる。これらの導電性組成物は、金属フィラーとしてのスズ粉、バインダ樹脂及び有機溶媒等の成分を含むものである。導電性組成物は、例えばこれを所定の手段によって塗布することで、プリント配線基板の配線回路を形成することができる。またプリント配線基板中のビア充填用材料や、プリント配線基板に電子デバイスを表面実装するときの接着剤として用いることもできる。更に、チップ部品の電極形成に用いることもできる。 The tin powder of the present invention is suitably used as a metal filler blended in the conductive composition by itself or mixed with other tin powder or other metal powder. Examples of the conductive composition include conductive paste and conductive ink. These conductive compositions contain components such as tin powder, a binder resin, and an organic solvent as a metal filler. For example, the conductive composition can be applied by a predetermined means to form a wiring circuit of a printed wiring board. It can also be used as a via filling material in a printed wiring board or as an adhesive for surface mounting an electronic device on the printed wiring board. Further, it can be used for forming electrodes of chip parts.
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲は、かかる実施例に制限されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited to such examples.
〔実施例１〕
本実施例では、図１に示す構造のＤＣプラズマ微粉製造装置を用いて下記に従いスズ粉を製造した。原料粉末供給口から、母粉としてスズ粉（粒径Ｄ５０＝７μｍ、球状粒子）を３ｇ／ｍｉｎの供給量で導入した。これとともに、アルゴンガス及び窒素ガスの混合ガスを、プラズマガスとしてプラズマフレームの内部に供給した。アルゴンガスの流量は１２．８Ｌ／ｍｉｎ、窒素ガスの流量は０．８Ｌ／ｍｉｎとした。アルゴンガスの流量（Ｂ）と窒素ガスの流量（Ｃ）との比は９４：６であった。プラズマ出力は１０．１ｋＷであり、プラズマ出力（Ａ）、アルゴンガス流量（Ｂ）及び窒素ガス流量（Ｃ）の関係式（Ｂ十Ｃ）／Ａは１．３（Ｌ／（ｍｉｎ・ｋＷ））であった。プラズマフレームはフレームアスペクト比が４であり、層流状態であった。このようにして、目的とするスズ粉を得た。得られたスズ粉のスズ粒子は球形状のものであった（以下の実施例２及び３においても同じ。）。図２に、得られたスズ粒子のＴＥＭ像を示す。また図３に、ＴＥＭ像による電子回折パターンを示す。
[Example 1]
In this example, tin powder was produced according to the following using a DC plasma fine powder production apparatus having the structure shown in FIG. From the raw material powder supply port, tin powder (particle diameter D 50 = 7 μm, spherical particles) was introduced as a mother powder at a supply rate of 3 g / min. At the same time, a mixed gas of argon gas and nitrogen gas was supplied into the plasma flame as a plasma gas. The flow rate of argon gas was 12.8 L / min, and the flow rate of nitrogen gas was 0.8 L / min. The ratio of the argon gas flow rate (B) to the nitrogen gas flow rate (C) was 94: 6. The plasma output is 10.1 kW, and the relational expression (B + C) / A of the plasma output (A), the argon gas flow rate (B), and the nitrogen gas flow rate (C) is 1.3 (L / (min · kW)). )Met. The plasma flame had a flame aspect ratio of 4 and was in a laminar flow state. Thus, the target tin powder was obtained. The tin particles of the obtained tin powder were spherical (the same applies to Examples 2 and 3 below). FIG. 2 shows a TEM image of the obtained tin particles. FIG. 3 shows an electron diffraction pattern by a TEM image.
〔実施例２及び３〕
以下の表１に示す条件を採用する以外は、実施例１と同様にしてスズ粉を得た。
[Examples 2 and 3]
A tin powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the conditions shown in Table 1 below were adopted.
〔実施例４〕
本実施例では、ガス種としてアルゴンガスのみを用いた。そして表１に示す条件を採用し、それ以外は実施例１と同様にしてスズ粉を得た。
Example 4
In this example, only argon gas was used as the gas species. Then, the conditions shown in Table 1 were adopted, and other than that, tin powder was obtained in the same manner as in Example 1.
〔比較例１〕
実施例４において、ＤＣプラズマ法に代えてＲＦプラズマ法を用いた。そして表１に示す条件を採用し、それ以外は実施例４と同様にしてスズ粉を得た。
[Comparative Example 1]
In Example 4, the RF plasma method was used instead of the DC plasma method. Then, the conditions shown in Table 1 were adopted, and other than that, tin powder was obtained in the same manner as in Example 4.
〔評価〕
実施例及び比較例で得られたスズ粉について、上述の方法で粒径ＤＳＥＭ、Ｄ５０Ｄ５０及びＤ９０、ＢＥＴ表面積、ＤＢＥＴの値を測定した。またＥＳＣＡによって、スズの量に対する窒素の含有量及びスズの量に対する酸素の含有量を測定した。更に、以下の方法でスズ粉の凝集状態を評価した。それらの結果を以下の表１に示す。
[Evaluation]
For tin powder obtained in Examples and Comparative Examples, the particle diameter D SEM in the manner described above, D 50 D 50 and D 90, BET surface area, measured values of D BET. Further, the content of nitrogen with respect to the amount of tin and the content of oxygen with respect to the amount of tin were measured by ESCA. Furthermore, the aggregation state of tin powder was evaluated by the following method. The results are shown in Table 1 below.
〔スズ粉の凝集状態の評価〕
実施例及び比較例で得られたスズ粉を用いて導電性ペーストを調製した。導電性ペーストは、スズ粉を８５質量％、エチルセルロースを０．７５質量％、ターピネオールを１４．２５質量％の組成比率で混錬し調製した。この導電性ペーストを、ガラス基板上にアプリケーターで２０μｍ厚に塗布して塗膜を形成し、該塗膜を８０℃で３時間乾燥して導電膜を得た。この導電膜の表面を光学顕微鏡で５０倍の倍率で観察し、スズ粉の凝集状態を評価した。具体的には、導電膜の表面に斜めから光を投影し、スズ粉の凝集体に起因して生じる影の観察を行った。そして、以下の基準で凝集状態を評価した。
◎：凝集物が観察されない
○：凝集物が僅かにみられる
△：凝集物が点在している
×：凝集物が多くみられる
[Evaluation of Aggregation of Tin Powder]
A conductive paste was prepared using the tin powder obtained in Examples and Comparative Examples. The conductive paste was prepared by kneading 85% by mass of tin powder, 0.75% by mass of ethyl cellulose, and 14.25% by mass of terpineol. This conductive paste was applied to a glass substrate with an applicator to a thickness of 20 μm to form a coating film, and the coating film was dried at 80 ° C. for 3 hours to obtain a conductive film. The surface of this conductive film was observed with an optical microscope at a magnification of 50 times, and the aggregation state of the tin powder was evaluated. Specifically, light was projected obliquely onto the surface of the conductive film, and the shadows caused by the tin powder aggregates were observed. And the aggregation state was evaluated according to the following criteria.
◎: Aggregates are not observed ○: Aggregates are slightly observed Δ: Aggregates are scattered
×: Many aggregates are observed
表１に示す結果から明らかなとおり、各実施例で得られたスズ粉は、粗粒が少ないものであることが判る。また、凝集状態が低いことが判る。これに対して、ＤＣプラズマ法ではなく、ＲＦプラズマ法を用いた比較例１のスズ粉は、粒子の凝集の程度が高いものとなってしまった。 As is clear from the results shown in Table 1, it can be seen that the tin powder obtained in each example has few coarse particles. Moreover, it turns out that an aggregation state is low. On the other hand, the tin powder of Comparative Example 1 using the RF plasma method instead of the DC plasma method has a high degree of particle aggregation.
また、図２に示すＴＥＭ像から明らかなとおり、実施例１のスズ粉においては、スズ粒子の表面にスズと窒素とからなる化合物のエピタキシャル成長層が観察される。この層の厚みは２ないし３ｎｍである。更に、図３に示す電子回折パターンから晃かなとおり、このスズ粒子はβ−Ｓｎの単結晶相を粒子内部に有していることが判る。 Further, as is apparent from the TEM image shown in FIG. 2, in the tin powder of Example 1, an epitaxial growth layer of a compound composed of tin and nitrogen is observed on the surface of the tin particles. The thickness of this layer is 2 to 3 nm. Further, as can be seen from the electron diffraction pattern shown in FIG. 3, this tin particle has a β-Sn single crystal phase inside the particle.
１ プラズマ装置
２ 粉末供給装置
３ チャンバ
４ ＤＣプラズマトーチ
５ 回収ポット
６ 粉末供給ノズル
７ ガス供給装置
８ 圧力調整装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plasma apparatus 2 Powder supply apparatus 3 Chamber 4 DC plasma torch 5 Recovery pot 6 Powder supply nozzle 7 Gas supply apparatus 8 Pressure adjustment apparatus
Claims (9)
層流状態のプラズマフレームを用いて前記の母粉をＤＣプラズマ法に付す、スズ粉の製造方法。 Tin mother powder, tin mother powder and alloy powder mother powder, or tin-based alloy mother powder is subjected to the DC plasma method, and tin powder comprising aggregates of tin or tin-based alloy particles from these mother powders. Having a manufacturing process,
A method for producing tin powder, wherein the mother powder is subjected to a DC plasma method using a laminar flow state plasma flame.
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